一种多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于机械技术领域，涉及一种多线切割机，特别是一种多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构。
【背景技术】
[0002]多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。目前的多线切割机多属于直线切割，其工作台系统的移动大多通过涡轮蜗杆减速器进行传递，传递精度低，而且结构相对比较复杂，占用空间较大，拆卸也非常不便。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构，它传递精度高，而且拆装方便。
[0004]本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:一种多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构，包括伺服电机、传动轴和能沿着传动轴轴向滑动的料板座，其特征在于，所述传动轴和伺服电机之间通过谐波减速机相连接，所述伺服电机的输出轴连接在谐波减速机的输入端，所述传动轴通过锥度联轴器连接在谐波减速机的输出端。
[0005]本技术方案中，传动轴通过谐波减速机与伺服电机相连接，其轴向传递精度可以达到微米级，能够保证精密的传动精度，从而保证切割精度，同时，传动轴的输入端具有与锥度联轴器内锥面配合连接的外锥面，传动轴通过锥度联轴器与谐波减速机相连，能够最大限度地达到结构紧凑，节约多线切割机的空间，还可以方便拆装。
[0006]在上述的多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构中，还包括平移底座、主机座、减速机座和连接法兰，所述主机座设置在平移底座上，所述减速机座设置在主机座上，所述谐波减速机设置在减速机座内，所述伺服电机设置在连接法兰上，所述连接法兰连接在减速机座输入端的端面上，所述传动轴通过轴承设置在减速机座的输出端内。该结构紧凑，能够有效地节约多线切割机的空间，同时伺服电机、谐波减速机及输出轴的安装定位均十分稳定，工作精度高，而且拆装非常的方便。
[0007]在上述的多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构中，所述传动轴与锥度联轴器之间通过调节螺栓相连接。传动轴的输入端端面上设置有具有内螺纹的螺孔，通过调节螺栓的旋进深度能够对传动轴与锥度联轴器的结合度进行调整，从而保证多线切割机工作台的移动精度。
[0008]在上述的多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构中，所述减速机座的输出端的端面上设置有一轴承压板。该轴承压板用于对轴承进行限位，在调节螺栓相对传动轴旋出时能够避免轴承随着传动轴移动而脱出减速机座，保证连接的精度。
[0009]在上述的多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构中，所述传动轴为丝杆，所述料板座通过螺帽座连接在传动轴上。伺服电机和丝杆螺母结构相配合，能够实现工作台的高精度移动，此外本技术方案中的传动轴也可以为转动轴。
[0010]与现有技术相比，本实用新型具有以下的优点:
[0011]1、采用谐波减速器，其轴向精度可以达到微米级，能够保证精密的传动精度，从而保证切割精度；
[0012]2、采用直联结构和锥度连接，最大限度地达到结构紧凑，节约了多线切割机移动或摆动机构的空间；
[0013]3、采用锥度连接，一可保证连接精度，二可以方便拆装。
【附图说明】
[0014]图1是实用新型的结构示意图。
[0015]图2是图1中的A-A截面图。
[0016]图中，1、伺服电机；2、传动轴；3、料板座；4、谐波减速机；5、锥度联轴器；6、主机座；7、减速机座；8、连接法兰；9、轴承；10、调节螺栓；11、轴承压板；12、螺帽座；13、螺帽座高度调整垫片；14、上滑台板；15、平移底座。
【具体实施方式】
[0017]以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
[0018]参照图1和图2，本实施例为一种多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构，包括伺服电机1、传动轴2、平移底座15、主机座6、减速机座7、连接法兰8、上滑台板14和料板座3。主机座6设置在平移底座15上，减速机座7设置在主机座6上，谐波减速机4设置在减速机座7内，伺服电机I设置在连接法兰8上，连接法兰8连接在减速机座7输入端的端面上，传动轴2通过轴承9设置在减速机座7的输出端内，减速机座7的输出端的端面上设置有一轴承压板11，该轴承压板11用于对轴承9进行限位，避免轴承9脱出减速机座7ο传动轴2和伺服电机I之间通过谐波减速机4相连接，伺服电机I的输出轴连接在谐波减速机4的输入端，传动轴2通过锥度联轴器5连接在谐波减速机4的输出端，传动轴2的输入端上具有一用于与锥度联轴器5输出端内锥面配合连接的外锥面，传动轴2的输入端端面上设置有一螺纹孔，调节螺栓10由谐波减速机4内部穿入并连接在传动轴2的输入端上。
[0019]本实施例中的传动轴2为丝杆，料板座3通过上滑台板14、螺帽座12连接在传动轴2上。上滑台板14和螺帽座12之间还设置有一螺帽座高度调整垫片13，用于保证传动的精度。
[0020]本实施例在安装时，先将锥度联轴器5连接到谐波减速机4的输出端，再将传动轴2插入到锥度联轴器5中，由于传动轴和锥度联轴器5通过相连接，不用特意校准，安装更加快捷方便，当传动轴2插入到锥度联轴器5后，将调节螺栓10由谐波减速机4内部穿入并连接在传动轴2的输入端上，通过旋紧调节螺栓10，可以使得传动轴2相对锥度联轴器5内移，从而保证两者的结合更加紧密，最后再将伺服电机I连接到与减速机座7固连的连接法兰8上即可。当对本实施例进行拆卸时，反向操作即可。
[0021]本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
【主权项】
1.一种多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构，包括伺服电机(I)、传动轴(2)和能沿着传动轴(2)轴向滑动的料板座(3)，其特征在于，所述传动轴(2)和伺服电机(I)之间通过谐波减速机(4)相连接，所述伺服电机(I)的输出轴连接在谐波减速机(4)的输入端，所述传动轴(2)通过锥度联轴器(5)连接在谐波减速机(4)的输出端。
2.根据权利要求1所述的多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构，其特征在于，还包括平移底座(15)、主机座(6)、减速机座(7)和连接法兰(8)，所述主机座(6)设置在平移底座(15)上，所述减速机座(7)设置在主机座(6)上，所述谐波减速机(4)设置在减速机座(7)内，所述伺服电机(I)设置在连接法兰(8)上，所述连接法兰(8)连接在减速机座(7)输入端的端面上，所述传动轴(2)通过轴承(9)设置在减速机座(7)的输出端内。
3.根据权利要求2所述的多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构，其特征在于，所述传动轴(2)与锥度联轴器(5)之间通过调节螺栓(10)相连接。
4.根据权利要求3所述的多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构，其特征在于，所述减速机座(7)的输出端的端面上设置有一轴承压板(11)。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构，其特征在于，所述传动轴(2)为丝杆，所述料板座(3)通过螺帽座(12)连接在传动轴(2)上。
【专利摘要】本实用新型提供了一种多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构，属于机械技术领域。它解决了现有的多线切割机工作台传动精度差的问题。本多线切割机高精度工作台系统的传动连接结构，包括伺服电机、传动轴和能沿着传动轴轴向滑动的料板座，其特征在于，所述传动轴和伺服电机之间通过谐波减速机相连接，所述伺服电机的输出轴连接在谐波减速机的输入端，所述传动轴通过锥度联轴器连接在谐波减速机的输出端。它传递精度高，而且拆装方便。
【IPC分类】F16D1-05, B28D5-04
【公开号】CN204604618
【申请号】CN201520090468
【发明人】王敏, 徐君, 叶坤, 金建华
【申请人】浙江晶磁机电科技有限公司
【公开日】2015年9月2日
【申请日】2015年2月9日