用于制造设施的带有部件机架系统的折叠梯子的制作方法

发明领域

本公开的实施方式涉及一种在制造设施中使用的折叠梯子(stepladder)，以及相关的装置和系统。

背景技术：

由于半导体制造设施中的空间成本高昂，制造商已寻求通过彼此紧靠地安装工具和设备来使空间利用率最大化。但是，要接近(access)制造设施的设备通常需要工人使用梯子以便到达较高的位置。这样的梯子必须由工人携带在制造设施地板周围，并且由于设施中间隔紧密，这可能是麻烦的，并且还存在与设备碰撞和生成潜在不希望的微粒的风险。

发明概述

本公开的实施方式提供了一种在制造设施中使用的折叠梯子。折叠梯子被配置为使操作员能够接近制造设施中的设备，以例如监视或维修此类设备。折叠梯子被安装到制造设施中的模块的一侧，并且能够在模块上方旋转/翻转，从而将梯子妥善安置(stow)在模块上方并使得能接近模块下方区域。折叠梯子可以是气体弹簧辅助的，以便于将折叠梯子从制造设施地板上升起，并且进一步可以在与之附接的模块上升起和倒转时通过偏心(overcenter)气体弹簧几何形状保持在适当位置。安全销也可用于将折叠梯子锁定在适当位置。

在一些实施方式中，提供了一种梯子组件，其包括以下：安装板，其连接至在制造设施中搬运、转移、存储和/或处理基板的模块的侧表面；折叠梯子，其包括具有在第一接头处连接至安装板的臂的梯子框架，其中折叠梯子围绕第一接头在降低位置和升高位置之间旋转，降低位置通过将折叠梯子搁置在制造设施的地板上来限定，并且升高位置通过将折叠梯子悬离地板并且悬在模块大致上方来限定，其中，折叠梯子从降低位置到升高位置的旋转包括折叠梯子的重心移动通过与第一接头的旋转轴线相交的垂直平面；连接至梯子框架的多个台阶板，所述台阶板在折叠梯子处于降低位置时为用户限定台阶面。

在一些实施方式中，折叠梯子从降低位置到升高位置的旋转包括折叠梯子的重心从模块侧向的位置到模块上方的位置的移动。

在一些实施方式中，梯子组件进一步包括连接在安装板和臂之间的气体弹簧，气体弹簧被配置为施加拉伸力，所述拉伸力减小将折叠梯子从降低位置提升到升高位置所需的力的量。

在一些实施方式中，当折叠梯子处于升高位置时，拉伸力阻止折叠梯子朝向降低位置的旋转，并且其中当折叠梯子处于降低位置时，拉伸力阻止折叠梯子朝向升高位置的旋转。

在一些实施方式中，随着折叠梯子在降低位置和升高位置之间旋转，气体弹簧围绕连接气体弹簧和安装板的第二接头旋转，其中第二接头水平地偏离将臂连接至安装板的第一接头。

在一些实施方式中，随着折叠梯子从降低位置朝向升高位置旋转，气体弹簧的拉伸力围绕第二接头旋转，从指向第一接头的第一侧，通过指向第一接头并与第一接头对准，到指向与第一接头的第一侧相对的第一接头的第二侧。

在一些实施方式中，臂包括主体长度和沿主体长度限定的连接器，所述连接器与气体弹簧在偏离臂的主体长度的位置处形成第二接头。

在一些实施方式中，安装板包括中央开口，所述中央开口使得能可视性查看(providesvisibilityaccessto)沿模块的侧面限定的观察窗。

在一些实施方式中，梯子组件进一步包括连接至梯子框架的套筒，所述套筒在折叠梯子的台阶板中的一个台阶板下方延伸，所述套筒被配置为容纳在制造设施中使用的电子设备。

在一些实施方式中，在其下方延伸有套筒的台阶板中的一个台阶板由允许观察电子设备的基本上透明的材料限定。

在一些实施方式中，电子设备包括用于制造设施中的处理模块的至少一个电源。

在一些实施方式中，模块是存储基板的缓冲模块。

在一些实施方式中，提供了一种梯子组件，其包括以下：安装板，其连接至在制造设施中搬运、转移、存储和/或处理基板的模块的侧面；折叠梯子，其包括具有在第一接头处连接至安装板的臂的梯子框架，其中折叠梯子围绕第一接头在降低位置和升高位置之间旋转，降低位置通过将折叠梯子搁置在制造设施的地板上来限定，并且升高位置通过将折叠梯子悬离地板并且悬在模块大致上方来限定，其中折叠梯子从降低位置到升高位置的旋转包括折叠梯子的重心移动通过与第一接头的旋转轴线相交的垂直平面；连接至梯子框架的多个台阶板，所述台阶板在折叠梯子处于降低位置时为用户限定台阶面；连接至梯子框架的套筒，所述套筒在折叠梯子的台阶板中的一个台阶板下方延伸，所述套筒被配置为容纳在制造设施中使用的电子设备；连接在安装板和臂之间的气体弹簧，所述气体弹簧构造成施加拉伸力，所述拉伸力减小将折叠梯子从降低位置提升到升高位置所需的力的量。

在一些实施方式中，当折叠梯子处于升高位置时，拉伸力阻止折叠梯子朝向降低位置的旋转，并且其中当折叠梯子处于降低位置时，拉伸力阻止折叠梯子朝向升高位置的旋转。

在一些实施方式中，随着折叠梯子在降低位置和升高位置之间旋转，气体弹簧围绕连接气体弹簧和安装板的第二接头旋转，其中第二接头水平地偏离将臂连接至安装板的第一接头。

在一些实施方式中，随着折叠梯子从降低位置朝向升高位置旋转，气体弹簧的拉伸力围绕第二接头旋转，从指向第一接头的第一侧，通过指向第一接头并与第一接头对准，到指向与第一接头的第一侧相对的第一接头的第二侧。

在一些实施方式中，臂包括主体长度和沿主体长度限定的连接器，所述连接器与气体弹簧在偏离臂的主体长度的位置处形成第二接头。

在一些实施方式中，安装板包括中央开口，所述中央开口使得能可视性查看沿模块的侧面限定的观察窗。

在一些实施方式中，在其下方延伸有套筒的台阶板中的一个台阶板由允许观察电子设备的基本上透明的材料限定。

在一些实施方式中，电子设备包括用于制造设施中的处理模块的至少一个电源。

附图说明

图1是根据本公开的实施方式的用于制造设施中的梯子组件的立体图。

图2a是概念性地示出了根据本公开的实施方式的用于在制造设施中处理基板的群集工具系统的俯视图。

图2b是根据图2a的实施方式的群集工具系统的一部分的立体图，示出了根据本公开的实施方式的处于降低位置的折叠梯子。

图2c是根据图2a的实施方式的群集工具系统的一部分的立体图，示出了根据本公开的实施方式的处于升高位置的折叠梯子。

图3是根据本公开的实施方式的梯子组件的立体图，示出了处于升高位置的折叠梯子100。

图4a示出了根据本公开的实施方式的梯子组件的上部的侧视图。

图4b示出了根据本公开的实施方式的梯子组件的侧视图，示出了处于升高位置的折叠梯子100。

图5示出了根据本公开的实施方式的梯子组件的侧视图，示出了在操作期间作用在折叠梯子上的力和所产生的力矩。

图6是示出操作员在将折叠梯子从降低位置提升到升高位置时所需的力的曲线图，展示了根据本公开的实施方式的梯子组件的气体弹簧的作用。

图7是根据本公开的实施方式的梯子100的上部的立体图。

图8是根据本公开的实施方式的安装板102的特写视图。

发明详述

在以下描述中，阐述了许多具体细节以提供对所呈现的实施方案的透彻理解。可以在没有一些或所有这些具体细节的情况下实践所公开的实施方案。在其他情况下，没有详细描述公知的处理操作以免不必要地使所公开的实施方案晦涩难懂。尽管将结合具体实施方案描述所公开的实施方案，但是应当理解，其并不旨在限制所公开的实施方案。

图1是根据本公开的实施方式的用于制造设施中的梯子组件的立体图。梯子组件包括：安装板102，其安装到在制造设施中的基板的处理中所使用的模块的侧面；以及折叠梯子100，其连接至安装板。折叠梯子100进一步包括经由一对连接臂连接至安装板102的梯子框架104。在一些实施方式中，梯子框架104的宽度(从一侧到另一侧)大约为0.3至1米。在一些实施方式中，梯子框架的宽度大约为0.4至0.7米。在一些实施方式中，梯子框架的宽度大约为0.5米。

更具体地，梯子框架104包括左臂106a和右臂106b。左臂106a在左铰链接头108a(或旋转接头或销接头)处连接至安装板102。右臂106b在右铰链接头108b处连接至安装板102。应当注意，铰链接头为折叠梯子100建立了旋转轴线，并且折叠梯子100围绕铰链接头在降低位置和升高位置之间旋转。在所示的实施方式中，折叠梯子100被示出为处于降低位置。

安装板102包括中央开口103，所述中央开口103使得能穿过安装板进行可视性查看。例如，这有助于使得能够观察安装板102所连接的模块侧上的窗口。

梯子框架104的侧部包括上侧导轨和下侧导轨。示出了左上侧导轨110a以及右上侧导轨110b。还示出了左下侧导轨112a和右下侧导轨112b。折叠梯子100下部的两个台阶/梯级基本上限定在上侧导轨之间。在所示的实施方式中，折叠梯子100包括四个台阶/梯级。下部的两个台阶由限定供用户站立的台阶面的台阶板114a和114b限定。如图所示，台阶板114a和114b连接至左上侧导轨110a和右上侧导轨110b，例如通过多个螺钉或其他紧固件进行连接。在一些实施方式中，每个下部台阶的高度(depth)大约为10至25厘米。在一些实施方式中，每个下部台阶的高度大约为15至20厘米。在一些实施方式中，每个下部台阶的高度大约为17至18厘米。

梯子框架104进一步包括台阶框架116a和116b，以及连接垂直侧导轨117a和117b。折叠梯子100的第三台阶由限定第三台阶的周边的台阶框架116a构建。类似地，折叠梯子100的第四台阶由限定第四台阶的周边的台阶框架116b构建。折叠梯子100的第三和第四台阶(上部台阶)的台阶表面进一步分别由台阶板114c和114d限定，台阶板114c和114d分别设置在台阶框架116a和116b中并由台阶框架116a和116b围绕。在所示的实施方式中，对应于第三和第四台阶的梯子框架基本上限定了这些台阶的高度轮廓(elevationcontour)。在一些实施方式中，每个上部台阶的高度大约为15至25厘米。在一些实施方式中，每个上部台阶的高度大约为20厘米。在一些实施方式中，上部台阶的高度的尺寸适于容纳预定数量的电源，例如四个电源。

台阶框架116a的前角连接至上侧导轨110a和110b的上端。一对垂直侧轨117a和117b连接在台阶框架116a的后角与台阶框架116b的前角之间。垂直侧轨117a和117b限定了折叠梯子的第三和第四台阶之间的高度变化。

还将注意到，所示的台阶板114c和114d由基本上透明或半透明的材料限定，所述材料使得能够观察在折叠梯子的这些第三和第四台阶下方存储的设备。台阶板114c和114d因此充当电子设备的盖子以及台阶表面，从而当用户踏上/站立在折叠梯子100的第三或第四台阶上时保护电子设备。

套筒118a在台阶框架116a和/或台阶板114c的下方延伸，并且被配置为容纳电子设备。在一些实施方式中，套筒118a连接至台阶框架116a。在一些实施方式中，电子设备用于在制造设施中的基板的处理中使用的一个或多个模块。在一些实施方式中，电子设备可以包括用于处理室的电源。

第二套筒118b在台阶框架116b和/或台阶板114d的下方延伸，并且还被配置为容纳电子设备。在一些实施方式中，套筒118b连接至台阶框架116b。限定在折叠梯子的第三和第四台阶下方的套筒118a和118b为电子设备提供了可用的存储位置。在一些实施方式中，套筒118a和118b由金属片形成。可以将由套筒容纳的电子设备固定到套筒上，例如经由托架、螺钉和/或其他硬件进行固定。在一些实施方式中，电源通过套筒接地，例如通过套筒的支架或安装凸缘接地。

套筒可以根据标准部件安装系统定义部件机架系统。在一些实施方式中，套筒118a和/或118b的尺寸适于并被配置为提供标准的19英寸(482.6mm)宽度的机架安装系统。在一些实施方式中，给定的套筒可以容纳四个机架单元[每个机架单元的厚度为1.75英寸(44.45mm)]。

折叠梯子100包括脚120a和120b，其被配置为在折叠梯子100处于降低位置时接触制造设施的地板。

应当理解，梯子组件的各种部件可以由本领域中已知的任何合适的材料限定，包括但不限于金属、合金、塑料、铝、不锈钢等。而且，梯子组件的部件可以通过任何合适的技术相互连接，包括但不限于螺钉、螺栓、销、夹子、焊件、夹具等。

图2a是概念性地示出了根据本公开的实施方式的用于在制造设施中处理基板的群集工具系统的俯视图。设备前端模块(efem)200将基板/晶片接收到系统中。例如，可以通过一个或多个装载端口接收基板，所述装载端口被配置为使得能够从诸如前开口统一吊舱(foup)或其他基板载体之类的基板载体装置装载和卸载基板，所述基板载体装置可以通过自动化的材料搬运系统围绕制造设施移动。将基板从efem200传送通过装载锁202，所述装载锁202将群集工具的处理环境与外部环境和/或污染隔离开，并且能够维持例如受控的气体环境或受控的真空环境以进行处理。第一晶片传送模块204连接至装载锁202，并且被配置为将基板传送进出处理模块210或212。

处理模块被配置为对基板执行多种处理操作中的任何一种，包括但不限于生产线操作的前端、生产线操作的后端、蚀刻、沉积、清洁、等离子处理、退火或任何其他处理操作。在一些实施方式中，处理模块是多工位处理模块，其具有用于同时处理多个基板的多个工位。此类多工位处理模块可以被配置为将基板从一个工位内部迁移到另一工位。多工位处理模块的一个示例是由朗姆研究公司(lamresearchcorporation)制造的strata处理模块。

如图示的实施方式中所示，晶片传送模块204也连接至缓冲模块206。折叠梯子100a和100b连接至缓冲模块206的侧面，并且各自被配置为参照上面的图1所描述的折叠梯子100。第二晶片传送模块208进一步连接至缓冲模块206。应当理解，装载锁202、晶片传送模块204、缓冲模块206和晶片传送模块208在图示的实施方式中进行线性布置。然而，在其他实施方式中，其他布置也是可能的。第二晶片传送模块208被配置为将基板传送进出处理模块214或216中的任一者。如上所述，在一些实施方式中，处理模块214和216也可以是多工位处理模块。

如图所示，折叠梯子100a在处理模块210和214之间的空间中连接至缓冲模块206的一侧。而折叠梯子100b连接至与折叠梯子100a的一侧相对的缓冲模块206的一侧，并定位在处理模块212和216之间的空间中。折叠梯子100a使得能接近处理模块210和214的升高部分，而折叠梯子100b使得能接近处理模块212和216的升高部分。这两个折叠梯子都使得能接近缓冲模块206的顶部以及转移模块204和208的顶部。折叠梯子的配置因此有效地利用了可用空间，同时还为电子设备提供了存储位置。折叠梯子的铰链配置使它们能够在使用时进行存放，同时能够轻松安全地将它们向上移动并从道上移开，以使得能接近折叠梯子下面和后面的区域。

图2b是根据图2a的实施方式的群集工具系统的一部分的立体图，示出了根据本公开的实施方式的处于降低位置的折叠梯子。如图所示，折叠梯子100a经由安装板连接至缓冲模块206，并且示出为处于降低位置，使得折叠梯子也搁置在制造设施的地板220上。如上所述，折叠梯子100a能够从制造设施地板220上抬升起到在缓冲模块206大致上方的升高位置。

在所示的实施方式中，示出了可以站立人员的制造设施地板220。制造设施地板220被定义为支撑在下面的底层地板222上方的高架地板(elevatedfloor)。制造设施地板220可以经穿孔或打孔以允许气流通过地板220以从制造环境中去除颗粒。在一些实施方式中，制造设施地板220和底层地板222之间的距离大约为2英尺(大约为60厘米)。在一些实施方式中，制造设施地板220和底层地板222之间的距离在大约1.5至2.5英尺(大约45至75厘米)的范围内。在一些实施方式中，制造设施地板220和底层地板222之间的距离在大约1至4英尺(大约0.3至1.2米)的范围内。

在制造设施地板220和底层地板222之间定义的底层地板空间可用于设备存储，以及诸如工艺气体管线、真空管线、电气/rf管线/进料、数据电缆、液体供应管线等各种设施管线的通过。

图2c是根据图2a的实施方式的群集工具系统的一部分的立体图，示出了根据本公开的实施方式的处于升高位置的折叠梯子。如图所示，折叠梯子100a处于升高的位置，从而基本上悬在缓冲模块206上方。通过将折叠梯子100a从降低位置升高到升高位置，折叠梯子100a围绕其接头旋转至安装板。随着折叠梯子100a旋转，其在此过程中也基本倒转(旋转/倒置)。

图3是根据本公开的实施方式的梯子组件的立体图，示出了处于升高位置的折叠梯子100。在该图中，可以看到梯子组件的附加部件。值得注意的是，气体弹簧300a和300b在图示的实施方式中示出，并且被配置为施加拉伸力，所述拉伸力减小了操作员将折叠梯子100从降低位置提升到升高位置所需的力的量。为此，每个气体弹簧被连接至安装板102和折叠梯子100的一个臂。更具体地，气体弹簧300a在上铰链接头306a处连接至左臂106a；并且气体弹簧300b在上铰链接头306b处连接至右臂106b。

气体弹簧300a在下铰链接头302a处也连接至安装板102；而气体弹簧300b在相应的下铰链接头302b处连接至安装板102。更具体地，气体弹簧300a连接至安装板102的下延伸部304a的一端。气体弹簧300b连接至安装板102的下延伸部304b的一端。下延伸部304a和304b各自从安装有安装板102的模块的侧面侧向突出，从而提供了到气体弹簧300a和300b的连接点，使得所形成的下铰链接头基本上水平地偏离模块的所述侧面。如下所述，这参照图4a和4b更清楚地示出。

继续参照图3，示出了沿着折叠梯子100的背面布置的链条308。链条308将电缆从电子设备(存储在折叠梯子100的第三和第四台阶下面)布线在连接有安装板102的模块(例如，缓冲模块206)下方。链条308由多个铰接链节组成，所述多个铰接链节使链条308能够随着折叠梯子100升高或降低而移动和改变形状。

图4a示出了根据本公开的实施方式的梯子组件的上部的侧视图。在图示的实施方式中，折叠梯子100被示出为处于降低位置。可以看出，下延伸部304a从垂直平面400横向向外延伸，所述垂直平面400由固定有安装板102的模块206的侧面限定。下延伸部304a被配置为定位下铰链接头302a(具有由与两个下铰链接头302a和302b相交的垂直平面404限定的横向位置)，以便相比折叠梯子100的臂106a和安装板102之间的接头108a(具有由与铰链接头108a和108b相交的垂直平面402限定的横向位置；垂直平面400与铰链接头108a和108b所限定的旋转轴线相交)在横向上更远离垂直平面400(即，远离模块206的所述侧面)。

气体弹簧300a连接至折叠梯子100的臂106a的连接器406a。连接器406a被配置为将铰链接头306a放置在偏离臂106a的主体长度的位置。

将气体弹簧300a分别连接至安装板102的左臂106a和下延伸部302a的上铰链接头306a和下铰链接头302a的位置被配置为使得当折叠梯子100处于降低位置时，由矢量fgs所示的气体弹簧的拉伸力被引导到铰链接头108a的后面。即，当折叠梯子100处于降低位置并搁置在制造设施地板上时，气体弹簧300a的对准使得气体弹簧的拉伸力指向铰链接头108a的横向朝向平面400的一侧，所述平面400由附接有安装板102的模块的一侧限定。

应当理解，由于上述部件的几何形状以及当折叠梯子100处于降低位置时气体弹簧的对准，气体弹簧的拉伸力实际上促进了折叠梯子100的向下旋转。即，当折叠梯子处于降低位置并搁置在制造设施地板上时，气体弹簧的力最初阻止折叠梯子100远离降低位置向升高位置的旋转。该特征有助于将折叠梯子100固定在降低位置，并且有助于防止折叠梯子100在降低位置时的不期望的移动。但是，一旦折叠梯子100远离降低位置(并朝向升高位置)旋转到一定程度，则部件的几何形状使得气体弹簧的拉伸力促进朝向升高位置的旋转(换言之，减少了将折叠梯子朝向升高位置抬高所需的力的量)。

图4b示出了根据本公开的实施方式的梯子组件的侧视图，示出了处于升高位置的折叠梯子100。在正确的位置，折叠梯子100基本上悬在模块206上方。当从降低位置升高到升高位置时，由指示器410示出的折叠梯子100的重心遵循以铰链接头108a所限定的旋转轴线为中心的环形路径414。此外，重心从当折叠梯子处于降低位置时横向于模块206的初始(地理)位置移动到当梯子处于升高位置时在模块206上方的位置。应当理解，随着折叠梯子100旋转到升高位置，其重心从在制造设施的地板正上方(而不是模块206上方)的位置(以附图标记412示出)水平地经过铰链接头108a移动到在模块206正上方的位置(如附图标记410所示)。即，重心以角度量θ移动通过并经过垂直平面402(与铰链接头108a的旋转轴线相交)。

当折叠梯子100处于升高位置时，气体弹簧的拉伸力起作用以保持折叠梯子的升高位置。即，气体弹簧的拉伸力阻止折叠梯子100远离升高位置朝向降低位置的移动。这作为一种安全措施起作用以防止折叠梯子的意外降低或不期望有的降低。

应当理解，由于在图4a和4b中具体示出的侧视图，已经参照梯子组件的一侧上的诸如臂106a、铰链接头108a、气体弹簧300a、上铰链接头306a、下铰链接头302a等部件描述了上述操作机构。然而，应当理解，可以针对梯子组件的另一侧描述类似的操作机构，这些对于本领域技术人员而言是显而易见的，因此为了简洁起见在本公开中没有具体描述。

图5示出了根据本公开的实施方式的梯子组件的侧视图，示出了在操作期间作用在折叠梯子上的力和所产生的力矩。在图示的视图中，折叠梯子100的顺时针旋转与折叠梯子从降低位置向升高位置的移动相关；而逆时针旋转与折叠梯子从升高位置向降低位置的移动相关。如图所示，折叠梯子100处于升高位置和降低位置之间。气体弹簧的拉伸力fgs起作用，产生沿顺时针方向的力矩mgs。由操作员/用户提升折叠梯子100所提供的力fop起作用，产生也沿顺时针方向的力矩mop。而折叠梯子的重量产生力fw，所述力fw起作用，产生力矩mw，所述力矩mw沿逆时针方向，从而与力矩mgs和mop反作用。

图6是示出操作员在将折叠梯子从降低位置提升到升高位置时所需的力的曲线图，展示了根据本公开的实施方式的梯子组件的气体弹簧的作用。

曲线600示出了折叠梯子的操作员将折叠梯子从降低位置升高/旋转到升高位置所需的力的量与折叠梯子的旋转角的函数关系。0度的梯子旋转角对应于降低位置，其中折叠梯子100搁置在制造设施地板上。可以看出，操作员所需的力的量从0度时约35lbf(磅力单位)的初始量迅速增加到大约60度时超过70lbf的峰值量，然后随着折叠梯子继续向上旋转而逐渐减小。在大约150度旋转时，操作员所需的力达到0lbf，这对应于折叠梯子的重心与折叠梯子围绕其旋转的铰链接头(附图标记108a和108b)垂直对准的点。超过此点，随着折叠梯子的重量现在将折叠梯子向下拉，所需的力的量就变为负向。

曲线602示出了借助于如在本公开中已经描述的气体弹簧，操作员在将折叠梯子从降低位置提升/旋转到升高位置时所需的力的量。可以看出，在0度旋转时所需的初始力略高于40lbf，这比没有气体弹簧时所需的力要大。如先前所解释的，这是由于当折叠梯子100处于降低位置时气体弹簧的几何形状，使得气体弹簧的拉伸力阻止折叠梯子远离降低位置的旋转。然而，一旦折叠梯子旋转超过初始量，例如在一些实施方式中大约为5至7度，气体弹簧的拉伸力则显著降低操作员将折叠梯子朝向升高位置旋转所需的力的量。与没有气体弹簧的情况相比，操作员所需的力的量仅在大约110度旋转时从正向转向负向。

从图示的曲线图中可以看出，来自气体弹簧的力既增强了折叠梯子在处于降低位置而搁置在制造设施上时的稳定性，又极大地减少了操作员在将折叠梯子提升到升高位置时所需的力的量。

应当理解，图示的曲线图仅以示例的方式提供，但不做限制，以展示一种示出气体弹簧的效果的具体实施方式。在其他实施方式中，在具有和不具有气体弹簧的情况下，提升折叠梯子所需的具体力(specificforces)可能不同于图6所示的具体实施方式。

图7是根据本公开的实施方式的折叠梯子100的上部的立体图。在所示的图中，示出了折叠梯子100的第四台阶(最上层台阶)。如前所述，台阶的周边由台阶框架116b限定。台阶的表面由台阶板114d限定，所述台阶板114d由基本上透明的材料制成，以使得能够观察在台阶下方存储的电子设备。因此，台阶板114d既用作电子设备的保护盖，又用作操作员踩踏/站立的台阶面。台阶板114d可以由提供合适的可见性和强度的任何透明或基本上透明的材料形成。举例但不做限制地，台阶板114d可以由塑料或玻璃材料、透明聚合物、丙烯酸类聚合物、有机玻璃等形成。在一些实施方式中，台阶板114d被限定为格栅(grate)的形式，所述格栅具有足够的孔以使得能够适当观察下方设置的电子设备。

如上所述，电子设备可以包括一个或多个电源，所述电源容纳在折叠梯子的第四台阶下方的套筒118b内。在图示的实施方式中，存储在第四台阶下方的电子设备包括四个电源702a、702b、702c和702d。在台阶板114d的下侧中限定的多个凹部700a、700b、700c和700d容纳用于电源的电源开关。这使得能够轻松地接通或断开各个电源。

此外，在某些实施方式中，每个电源都对应于多工位处理模块(例如，处理模块210、212、214或216之一)中的单个处理工位。因此，在多工位处理模块包含四个工位的实施方式中，存储在折叠梯子的单个台阶下方的电源则为单个多工位处理模块中的每个工位供电。此外，然后参照图2a的群集工具系统，折叠梯子100a和100b的第三和第四台阶中的每一个都被配置为容纳用于处理模块210、212、214和216的电源。例如，折叠梯子100的第三台阶可以容纳用于处理模块210的工位的电源，而折叠梯子100的第四台阶可以容纳用于处理模块214的工位的电源。而且，折叠梯子100b的第三台阶可以容纳用于处理模块212的工位的电源，而折叠梯子100b的第四台阶可以容纳用于处理模块216的工位的电源。

继续参照图7，在图示的实施方式中，台阶板114d由包括两个盖板710a和710b以及其上刻有数字的刻字横杆704的部件组件限定。数字标识给定多工位处理模块的处理工位，数字下方的电源分别对应于所述处理工位。应当理解，根据本公开的实施方式，台阶板114c也可以由类似的组装配置限定。

尽管已经参照折叠梯子100的第四台阶对参照图7的实施方式进行了描述，但是应当理解，类似的描述也可以应用于折叠梯子100的第三台阶。

图8是根据本公开的实施方式的安装板102的特写视图。如图所示，安装板102包括一对铰链接头支架板800a和800b。铰链接头支架板包括孔802a和802b。左臂106a的上端设置在铰链接头支架板800a和800b之间，并且铰链接头108a由连接器销形成，所述连接器销插入通过孔802a、左臂106a的对应孔706a(在图7中示出)以及孔802b。

此外，铰链接头支架板包括容纳安全销806a的孔804a、804b、806a和806b。当折叠梯子100处于降低位置时，臂106a的孔708a(在图7中示出)则与孔806a和806b对准。在该位置，安全销806a可以插入通过孔806a、708a和806b，以将折叠梯子锁定在降低位置。

当折叠梯子100处于升高位置时，臂106a的孔708a则与孔804a和804b对准。在该位置，安全销806a可以插入通过孔804a、708a和804b，以将折叠梯子锁定在升高位置。

应当理解，相对于安装板102的另一侧存在相似的部件，包括铰链接头支架板800c和800d以及安全销806b，它们具有与上述相似的操作机制，但右臂106b和右铰链接头108b除外。

在一些实施方式中，安装板102通过穿过螺孔810的带螺纹的螺钉或螺栓附接到模块的侧面。

尽管出于清楚理解的目的已经详细地描述了前述实施方案，但是显而易见的是，可以在所公开的实施方案的范围内进行某些改变和修改。应该注意的是，存在许多实现本实施方案的方法、系统和设备的替代方式。因此，本实施方案应被认为是说明性的而不是限制性的，并且实施方案不限于在此给出的细节。