一种用于自动化立库的货架的制作方法

1.本发明涉及半导体加工设备领域，特别涉及一种用于自动化立库的货架。


背景技术：

2.在半导体加工设备领域中，采用不同结构形式的货架来对形如晶圆等半导体元器件进行缓存是众所周知的。在研究和实现半导体元器件缓存的过程中，研究人员发现现有技术中的货架至少存在如下问题：
3.结构复杂，涉及到的零部件过多，物料在货架中进出多受阻碍而使取放作业变得不流畅且效率低下，并且物料在取放过程中容易与货架发生刮擦或碰撞，从而导致物料损坏，上述缺陷在形如晶圆这类薄圆盘状物料的取放过程中显得尤为突出。
4.有鉴于此，实有必要开发一种用于自动化立库的货架，用以解决上述问题。


技术实现要素：

5.为了克服上述货架所存在的问题，本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单并且拆装方便的的用于自动化立库的货架，其采用轻量化设计精简了所需的零部件，使得物料在货架中进出较为顺畅，大大降低了物料在取放过程中与货架发生刮擦或碰撞的几率，能够防止物料在取放过程中发生损坏。
6.就用于自动化立库的货架而言，本发明为解决上述技术问题的用于自动化立库的货架包括：
7.上下间隔设置的上安装板与下安装板；
8.至少两块置物板，其上下层叠地布置于所述上安装板与下安装板之间；以及
9.多组连接件，其从上至下依次穿过所述上安装板、置物板及下安装板以将所述上安装板、置物板及下安装板串联并紧固成稳固的整体；
10.其中，相邻两块所述置物板间隔设置以形成位于两者之间的置物空间。
11.在实践中发现，现有技术中将置物板进行连接固定多采用较为厚重的型材连接而成的框架结构，而传统的框架结构由于单根型材体积较大，从而使得货架整体占地空间较大，上述缺点在有限的空间限定下会导致货架的内部存储空闲相对缩水，从而限制了货架的收纳能力，为解决这一问题，对用于自动化立库的货架作了进一步改进：所述连接件包括：
12.连接杆；
13.至少两个夹持套筒，其沿所述连接杆的长度方向依次穿套于所述连接杆上；以及
14.分别螺接于所述连接杆两端的上紧固螺母及下紧固螺母。
15.为了进一步对货架进行轻量化设计，对用于自动化立库的货架作了进一步改进：所述上安装板与下安装板的形状及尺寸均相同。
16.可选的，所述上安装板包括：
17.沿一直线方向延伸的上安装板主体；以及
18.至少两根上安装臂，其从所述上安装板主体的一侧出发以大致垂直于所述上安装板主体的方向水平向外延伸；
19.其中，相邻两根所述上安装臂平行且间隔设置以形成位于两者之间的置物通道。
20.可选的，所述置物板包括：
21.沿一直线方向延伸的连接部；以及
22.至少两块承重部，其从所述连接部的一侧出发以大致垂直于所述连接部的方向水平向外延伸；
23.其中，相邻两根所述承重部平行且间隔设置以形成位于两者之间的让位通道；每个所述让位通道与相应一个所述置物通道在竖直方向上相对齐以使得每根所述上安装臂与相应一块所述承重部相对齐；所述上安装板主体在所述连接部上的投影与所述连接部至少部分重合；每根所述上安装臂在水平面上的投影面积小于相应一块所述承重部在水平面上的投影面积，从而使得相邻两块所述承重部的相向内侧形成有用于承托物料的承托区域。
24.可选的，每个所述置物通道的边缘设有至少三组所述连接件，每根所述连接杆从所述上安装板的顶面出发依次穿过所述置物板直至从所述下安装板的底面穿出，相邻两个所述夹持套筒间隔设置以形成位于两者之间的夹持间隙；当将所述上紧固螺母及下紧固螺母紧固后，每块所述置物板被每根连接杆上穿套的相应两个相邻夹持套筒夹持于夹持间隙之中。
25.可选的，每根所述上安装臂穿套有至少一组所述连接件，所述上安装板主体上与所述置物通道相对的区域上穿套有至少一组所述连接件。
26.前述为了避免物料的外周与货架发生碰撞或刮擦，承托区域的外周并未设置额外的定位结构，然而在实践中发现，取消了相应的定位结构会使得物料在货架上位置不能确定，其在置物板上极易发生窜动或滑动甚至跌落的问题，并且形如晶圆等一些薄圆盘状结构的物料，在置物板上长时间存放后，物料的中心区域附近由于长时间没有收到支撑力的承托，会使得物料的中心区域在其自身重力作用下会发生弯曲变形，为解决这一问题，对用于自动化立库的货架作了进一步改进：两两相邻的两根所述承重部之间设有从所述连接部出发水平延伸至相应一个所述让位通道中的中心承重板。
27.可选的，所述中心承重板的根部与所述连接部相固接，所述中心承重板的自由端上设有向上凸起的中心定位端子。
28.可选的，所述中心承重板的长度为所述承重部的1/3～1/2。
29.上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其采用轻量化设计精简了所需的零部件，使得物料在货架中进出较为顺畅，大大降低了物料在取放过程中与货架发生刮擦或碰撞的几率，能够防止物料在取放过程中发生损坏。
30.上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于两两相邻的两根所述承重部之间设有从所述连接部出发水平延伸至相应一个所述让位通道中的中心承重板，从而使得当物料搁置于具有让位通道的置物板上时，物料的中心区域能够被中心承重板所承托，避免长时间放置后物料的中心区域发生弯曲变形，同时，中心承重板的自由端上设置的中心定位端子能够通过对物料的中心进行定位限制，从而防止物料放置在置物板上时出现窜动甚至跌落的风险。
附图说明
31.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制，其中：
32.图1为根据本发明一个实施方式提出的用于自动化立库的货架的立体图；
33.图2为根据本发明一个实施方式提出的用于自动化立库的货架中连接件的立体图，图中的局部放大部分示出了夹持套筒的详细结构；
34.图3为根据本发明一个实施方式提出的用于自动化立库的货架的俯视图；
35.图4为根据本发明一个实施方式提出的用于自动化立库的货架的仰视图；
36.图5为根据本发明一个实施方式提出的用于自动化立库的货架中单片置物板的立体图；
37.图6为根据本发明一个实施方式提出的用于自动化立库的货架的立体图，图中示出了货架上存放满圆盘状物料时的状态。
具体实施方式
38.下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
39.在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。
40.除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
41.在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词是相对于各附图中所示的构造进行定义的，特别地，“高度”相当于从顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸，它们是相对的概念，因此有可能会根据其所处不同位置、不同使用状态而进行相应地变化，所以，也不应当将这些或者其他的方位用于解释为限制性用语。
42.涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接或关系，除非以其他方式明确地说明。
43.根据本发明的一实施方式结合图1和图3的示出，可以看出，用于自动化立库的货架包括：
44.上下间隔设置的上安装板41与下安装板44；
45.至少两块置物板42，其上下层叠地布置于所述上安装板41与下安装板44之间；以及
46.多组连接件43，其从上至下依次穿过所述上安装板41、置物板42及下安装板44以将所述上安装板41、置物板42及下安装板44串联并紧固成稳固的整体；
47.其中，相邻两块所述置物板42间隔设置以形成位于两者之间的置物空间。由于其采用轻量化设计精简了所需的零部件，使得物料在货架中进出较为顺畅，大大降低了物料在取放过程中与货架发生刮擦或碰撞的几率，能够防止物料在取放过程中发生损坏。
48.在实践中发现，现有技术中将置物板进行连接固定多采用较为厚重的型材连接而成的框架结构，而传统的框架结构由于单根型材体积较大，从而使得货架整体占地空间较大，上述缺点在有限的空间限定下会导致货架的内部存储空闲相对缩水，从而限制了货架的收纳能力，为解决这一问题，对用于自动化立库的货架作了进一步改进：
49.参照图2，所述连接件43包括：
50.连接杆431；
51.至少两个夹持套筒434，其沿所述连接杆431的长度方向依次穿套于所述连接杆431上；以及
52.分别螺接于所述连接杆431两端的上紧固螺母432及下紧固螺母433。
53.为了进一步对货架进行轻量化设计，对用于自动化立库的货架作了进一步改进：
54.参照图1、图3及图4，所述上安装板41与下安装板44的形状及尺寸均相同。
55.参照图3，所述上安装板41包括：
56.沿一直线方向延伸的上安装板主体411；以及
57.至少两根上安装臂412，其从所述上安装板主体411的一侧出发以大致垂直于所述上安装板主体411的方向水平向外延伸；
58.其中，相邻两根所述上安装臂412平行且间隔设置以形成位于两者之间的置物通道413。
59.参照图4，所述下安装板44包括：
60.沿一直线方向延伸的下安装板主体441；以及
61.至少两根下安装臂442，其从所述下安装板主体441的一侧出发以大致垂直于所述下安装板主体441的方向水平向外延伸；
62.其中，相邻两根所述下安装臂442平行且间隔设置。
63.进一步地，所述置物板42包括：
64.沿一直线方向延伸的连接部421；以及
65.至少两块承重部422，其从所述连接部421的一侧出发以大致垂直于所述连接部421的方向水平向外延伸；
66.其中，相邻两根所述承重部422平行且间隔设置以形成位于两者之间的让位通道423；每个所述让位通道423与相应一个所述置物通道413在竖直方向上相对齐以使得每根所述上安装臂412与相应一块所述承重部422相对齐；所述上安装板主体411在所述连接部421上的投影与所述连接部421至少部分重合；每根所述上安装臂412在水平面上的投影面积小于相应一块所述承重部422在水平面上的投影面积，从而使得相邻两块所述承重部422
的相向内侧形成有用于承托物料的承托区域。
67.进一步地，每个所述置物通道413的边缘设有至少三组所述连接件43，每根所述连接杆431从所述上安装板41的顶面出发依次穿过所述置物板42直至从所述下安装板44的底面穿出，相邻两个所述夹持套筒434间隔设置以形成位于两者之间的夹持间隙；当将所述上紧固螺母432及下紧固螺母433紧固后，每块所述置物板42被每根连接杆431上穿套的相应两个相邻夹持套筒434夹持于夹持间隙之中。
68.进一步地，每根所述上安装臂412穿套有至少一组所述连接件43，所述上安装板主体411上与所述置物通道413相对的区域上穿套有至少一组所述连接件43。
69.前述为了避免物料的外周与货架发生碰撞或刮擦，承托区域的外周并未设置额外的定位结构，然而在实践中发现，取消了相应的定位结构会使得物料在货架上位置不能确定，其在置物板上极易发生窜动或滑动甚至跌落的问题，并且形如晶圆等一些薄圆盘状结构的物料，在置物板上长时间存放后，物料的中心区域附近由于长时间没有收到支撑力的承托，会使得物料的中心区域在其自身重力作用下会发生弯曲变形，为解决这一问题，对用于自动化立库的货架作了进一步改进：
70.参照图5，两两相邻的两根所述承重部422之间设有从所述连接部421出发水平延伸至相应一个所述让位通道423中的中心承重板424。
71.参照图4及图6，所述中心承重板424的根部与所述连接部421相固接，所述中心承重板424的自由端上设有向上凸起的中心定位端子4241。形如晶圆等圆盘状的物料24的圆心处开设有定位凹槽，当物料24搁置于相应一块置物板42的承托区域上时，物料24圆心处的定位凹槽与所述中心定位端子4241相适配，并使得物料24中心区域受到中心承重板424所承托，从而避免长时间放置后物料的中心区域发生弯曲变形，同时，中心承重板的自由端上设置的中心定位端子能够通过对物料的中心进行定位限制，从而防止物料放置在置物板上时出现窜动甚至跌落的风险。
72.进一步地，所述中心承重板424的长度为所述承重部422的1/3～1/2。
73.这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本发明的说明的。对本发明的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。
74.本文中所描述的不同实施方案的零部件可经组合以形成上文未具体陈述的其它实施例。零部件可不考虑在本文中所描述的结构内而不会不利地影响其操作。此外，各种单独零部件可被组合成一或多个个别零部件以执行本文中所描述的功能。
75.此外，尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本发明的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。