一种等离子弹性密封门的制作方法

本实用新型涉及真空装置技术领域，具体指一种等离子弹性密封门。

背景技术：

等离子技术是指处于电离状态的气态物质，其中带负电荷的粒子(电子、负离子)数等于带正电荷的粒子(正离子)数。通过气体放电或加热的办法，从外界获得足够能量，使气体分子或原子中轨道所束缚的电子变为自由电子，便可形成等离子体。等离子体本身是一种良导体，所以能利用磁场来控制等离子体的分布和它的运动，这有利于化工过程的控制。

等离子技术应用的前提都需要在抽真空环境下，即等离子加工设备必须具备抽真空腔体，而抽真空腔体需要用密封门来保证其内部的密封性。等离子加工装置一般包括抽真空腔体和密封门，抽真空腔体和密封门之间通过结构配合构成封闭结构，二者之间的结合部通过密封胶条保证气密性。现有的等离子抽真空设备结构复杂，成本很高，占用空间较多，稳定性存在不足。

因此，有必要对现有技术进行改进和发展。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种结构紧凑、装配方便的等离子弹性密封门。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型所述的一种等离子弹性密封门,包括门框体，所述门框体内设有密封板，密封板可活动地嵌装在门框体内；所述门框体内设有导向机构，导向机构与密封板连接进而使密封板可沿垂直门框体面板的方向往复活动。

根据以上方案，所述导向机构包括若干导向块，若干导向块对称地设置在门框体两侧壁板的内侧，导向块上设有导向槽；所述密封板的两侧边上均设有若干导向杆，若干导向杆分别穿设于对应的导向槽内。

根据以上方案，所述导向槽在导向块上使其构成u形的开口结构，且导向槽的开口端靠近门框体的面板。

根据以上方案，所述门框体的两侧壁板上设有若干固定孔，导向块通过固定孔及螺栓固定连接在门框体的壁板上。

根据以上方案，所述门框体与密封板之间设有若干回缩弹簧，若干回缩弹簧之间等距间隔分布，回缩弹簧的一端与门框体的面板固定连接，回缩弹簧的另一端与密封板抵触连接。

根据以上方案，所述门框体的两侧壁板的外侧设有摆臂端子。

本实用新型有益效果为：本实用新型结构合理，密封板与门框体一体安装在密封舱的仓口上，密封板与密封胶条接触时可回缩，密封舱抽真空时，密封板反弹并压缩密封胶条与其保持紧密接触从而保证密封性；整体结构紧凑，可消除结构间隙，保证密封舱的气密稳定性。

附图说明

图1是本实用新型的整体分解结构示意图；

图2是图1中a部放大结构示意图。

图中：

1、门框体；2、密封板；3、导向块；11、固定孔；12、回缩弹簧；13、摆臂端子；21、导向杆；31、导向槽。

具体实施方式

下面结合附图与实施例对本实用新型的技术方案进行说明。

如图1所示，本实用新型所述的一种等离子弹性密封门,包括门框体1，所述门框体1内设有密封板2，密封板2可活动地嵌装在门框体1内；所述门框体1内设有导向机构，导向机构与密封板2连接进而使密封板2可沿垂直门框体1面板的方向往复活动；所述门框体1与密封舱对接以后，密封板2与密封舱仓口上的密封胶条抵触，密封板2通过导向机构回缩使其与密封胶条平稳接触，密封舱抽真空时，密封板2通过导向机构反弹并压缩密封胶条，与其保持紧密接触从而保证密封舱的气密性。

所述导向机构包括若干导向块3，若干导向块3对称地设置在门框体1两侧壁板的内侧，导向块3上设有导向槽31；所述密封板2的两侧边上均设有若干导向杆21，若干导向杆21分别穿设于对应的导向槽31内；所述导向杆21与导向槽31的配合用于控制密封板2的动作行程，其中导向杆21与导向块的3的配合将密封板2可活动地安装在门框体1内。

所述导向槽31在导向块3上使其构成u形的开口结构，且导向槽31的开口端靠近门框体1的面板；所述导向块3通过导向槽31控制了密封板2的行程极限，防止密封板2脱离门框体1。

所述门框体1的两侧壁板上设有若干固定孔11，导向块3通过固定孔11及螺栓固定连接在门框体1的壁板上；所述密封板2采用了内嵌的安装方式，因此在装配时为了提高效率，导向块3属于后装部件，导向块3通过门框体1外侧的螺栓穿过固定孔11后固定连接；所述密封板2的装配方式使密封门整体结构更加紧凑，占用空间更少。

所述门框体1与密封板2之间设有若干回缩弹簧12，若干回缩弹簧12之间等距间隔分布，回缩弹簧12的一端与门框体1的面板固定连接，回缩弹簧12的另一端与密封板2抵触连接；所述密封板2在抵触密封胶条时会受到压迫从而沿导向槽31滑动，回缩弹簧12支撑密封板2使其与密封胶条始终接触，从而便于后续的抽真空程序，不再需要门框体1与密封舱之间的位置具有足够的精确性，使抽真空舱整体结构的容错性获得增强。

所述门框体1的两侧壁板的外侧设有摆臂端子13，所述密封门采用气压连杆驱动，摆臂端子13用于连接驱动机构，摆臂端子13采用圆柱体结构以便于铰链结构的连接和安装。

以上所述仅是本实用新型的较佳实施方式，故凡依本实用新型专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均包括于本实用新型专利申请范围内。

技术特征：

1.一种等离子弹性密封门,包括门框体(1)，其特征在于：所述门框体(1)内设有密封板(2)，密封板(2)可活动地嵌装在门框体(1)内；所述门框体(1)内设有导向机构，导向机构与密封板(2)连接进而使密封板(2)可沿垂直门框体(1)面板的方向往复活动。

2.根据权利要求1所述的等离子弹性密封门，其特征在于：所述导向机构包括若干导向块(3)，若干导向块(3)对称地设置在门框体(1)两侧壁板的内侧，导向块(3)上设有导向槽(31)；所述密封板(2)的两侧边上均设有若干导向杆(21)，若干导向杆(21)分别穿设于对应的导向槽(31)内。

3.根据权利要求2所述的等离子弹性密封门，其特征在于：所述导向槽(31)在导向块(3)上使其构成u形的开口结构，且导向槽(31)的开口端靠近门框体(1)的面板。

4.根据权利要求3所述的等离子弹性密封门，其特征在于：所述门框体(1)的两侧壁板上设有若干固定孔(11)，导向块(3)通过固定孔(11)及螺栓固定连接在门框体(1)的壁板上。

5.根据权利要求1所述的等离子弹性密封门，其特征在于：所述门框体(1)与密封板(2)之间设有若干回缩弹簧(12)，若干回缩弹簧(12)之间等距间隔分布，回缩弹簧(12)的一端与门框体(1)的面板固定连接，回缩弹簧(12)的另一端与密封板(2)抵触连接。

6.根据权利要求1所述的等离子弹性密封门，其特征在于：所述门框体(1)的两侧壁板的外侧设有摆臂端子(13)。

技术总结
本实用新型涉及真空装置技术领域，具体指一种等离子弹性密封门；包括门框体，所述门框体内设有密封板，密封板可活动地嵌装在门框体内；所述门框体内设有导向机构，导向机构与密封板连接进而使密封板可沿垂直门框体面板的方向往复活动；本实用新型结构合理，密封板与门框体一体安装在密封舱的仓口上，密封板与密封胶条接触时可回缩，密封舱抽真空时，密封板反弹并压缩密封胶条与其保持紧密接触从而保证密封性；整体结构紧凑，可消除结构间隙，保证密封舱的气密稳定性。

技术研发人员：李志强
受保护的技术使用者：深圳市方瑞科技有限公司
技术研发日：2020.01.06
技术公布日：2020.12.01