专利名称：紧固工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种紧固工具。
背景技术：
在集成电路制造领域，快速热处理(Rapid Thermal Process, RTP)系统可用于进 行退火工艺。在快速热处理过程中，通过在受控的环境中快速加热晶圆达到最大温度，之后 将该最大温度保持一定的时间，然后，将所述晶圆冷却到室温，可以使错位的原子获得能量 后复位，来修复晶格损伤。 具体请参考图l，其为快速热处理系统的截面图，如图所示，用于进行快速热处理 工艺的快速热处理系统100包括一腔体(未图示)，在所述腔体内设置有加热部件(未图
示)，所述加热部件用于加热晶圆iio，所述加热部件可以是卤素灯或紫外灯等，所述腔体
内还设置有反射板(Reflector Plate) 120，所述反射板120具有面对晶圆110的光学反射 面，以增加晶圆iio的反射率。 随着半导体工业的发展，对快速热处理工艺的温度均匀性的要求也越来越高。因 此，快速热处理系统100还包括多个探针(Probe)，以探测晶圆110的不同半径部分的温度 或其它热特性，其中，所述探针包括水晶头131以及包覆所述水晶头131的外壳132，所述外 壳132的一端设置有螺纹和六角螺栓133，具体的说，反射板120上具有多个通孔，所述探针 插入反射板120中的通孔中，并且通过外壳132上的螺纹与腔室底板(chamber bottom) 140 螺纹连接，以固定所述探针，并确保快速热处理系统100的腔体的密封性，所述探针的另一 端则通过光纤150与控制器160连接，所述控制器160可以进行闭环控制来调节所述加热 部件的功率。 在快速热处理系统100中，探针是至关重要的，因此，需要定期对探针进行维护， 清洗所述探针表面的污染物或更换新的探针，以确保可以准确的测量晶圆iio表面的温 度。在维护所述探针的过程中，首先需要将光纤150移走，并将紧固工具套在六角螺栓133 上，其中所述紧固工具可以是扳手，然后转动所述扳手进而将探针从腔室底板140上卸载 下来，以便于更换或清洗。然而，由于腔室底板140下方的空间较小，传统的扳手体积又较 大，在使用过程中经常碰触到快速热处理系统100的其它部件，给装卸探针带来极大的不 便，非常费力，影响了工作效率。并且，水晶头131是易损坏的材质，而传统的扳手很难控制 转动的力度，因此在装卸所述探针的过程中，很容易损坏水晶头。
实用新型内容本实用新型提供一种紧固工具，其结构紧凑，使用方便，可以快速的装卸探针，提
高工作效率。
本实用新型实施例提出了一种紧固工具，包括套筒；手柄杆，其通过一传动装置
与所述套筒连接，当转动所述手柄杆时，所述传动装置带动所述套筒转动。
可选的，所述传动装置包括壳体；转轴，设置于所述壳体内，其一端与所述套筒连接；第一齿轮，设置于所述转轴的另一端；第二齿轮，设置于所述手柄杆的一端，与所述 第一齿轮啮合连接。 可选的，所述壳体为圆柱形壳体，所述壳体的上部设置有通孔，所述转轴的一端自 所述通孔伸出与所述套筒连接，所述转轴与所述套筒连接的端部为四方柱，所述套筒上设 置有与所述四方柱匹配的四方孔，所述壳体的侧壁设置有圆孔，所述手柄杆的另一端自所 述圆孔伸出所述壳体的外部。 可选的，所述壳体与所述手柄杆成90。角，所述壳体的长度为10 15cm，所述壳
体的侧壁设置有凹槽。 可选的，所述紧固工具还包括与所述手柄杆的另一端连接的手柄握把。 可选的，所述第一齿轮为锥齿轮，所述第二齿轮为锥齿轮。 与现有技术相比，本实用新型所提供的紧固工具具有以下优点 1、本实用新型的手柄杆通过传动装置与套筒连接，当转动所述手柄杆时，所述传
动装置带动所述套筒转动，可方便省力的装卸探针。 2、本实用新型通过所述传动装置可准确控制套筒转动的力度，确保不会损坏探 针。 3、本实用新型结构紧凑，体积小，不受工作空间的局限，可避免在使用过程中碰触 到快速热处理系统的其它部件，提高了工作效率。
图1为快速热处理系统的截面图； 图2为本实用新型一实施例所提供的紧固工具的结构示意图； 图3为本实用新型一实施例所提供的紧固工具的截面示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的紧固工具作进一步详细说明。根 据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非 常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的 目的。 在背景技术中已经提及，在快速热处理系统中，探针是至关重要的，需要经常更换 或清洗探针。然而，由于腔室底板下方的空间较小，传统的扳手体积又较大，在使用过程中 经常碰触到快速热处理系统的其它部件，给装卸探针带来极大的不便，非常费力，影响了工 作效率。并且，水晶头是极易损坏的材质，传统的扳手无法控制转动的力度，很容易损坏水晶头。 本实用新型提供一种紧固工具，其结构紧凑，使用方便，不受工作空间的局限，可 以快速省力的装卸探针，并确保不会损坏水晶头，提高了工作效率。 具体请参考图2至图3，并结合图l，其中，图2为本实用新型一实施例所提供的紧 固工具的结构示意图，图3为本实用新型一实施例所提供的紧固工具的截面示意图。如图 所示，紧固工具200包括套筒210 ;手柄杆220，所述手柄杆220通过传动装置与所述套筒 210连接，当转动所述手柄杆220时，所述传动装置带动所述套筒210转动，可方便省力的装卸探针。 其中，所述传动装置包括壳体231、转轴232、第一齿轮233、第二齿轮234，所述 转轴232设置于所述壳体231内，其一端与所述套筒210连接，第一齿轮233则设置于所述 转轴232的另一端，第二齿轮234设置于所述手柄杆220的一端，第二齿轮234与第一齿轮 233啮合连接。其中，所述第一齿轮233和第二齿轮234可以是锥齿轮。 在使用所述紧固装置200的过程中，可以准确的将套筒210套在探针的六角螺栓 133上，并且保持稳定，当转动所述手柄杆220时，所述第二齿轮234带动所述第一齿轮233 转动，第一齿轮233则带动转轴232转动，进而带动套筒210转动，可以方便省力的装卸探 针。由于所述紧固装置200采用齿轮传动的方式旋转套筒210，因此可准确控制套筒210转 动的力度，确保不会损坏探针。 具体的说，所述壳体231为圆柱形壳体，其上部设置有通孔(未图示)，所述转轴 232的一端自所述通孔伸出与所述套筒210连接，其中所述转轴232与所述套筒210连接的 端部为四方柱(未图示)，所述套筒210上则设置有与所述四方柱匹配的四方孔(未图示)， 所述四方柱可嵌合在所述四方孔内，确保所述转轴232转动时，所述套筒210也随之转动。 在本实用新型一实施例中，所述套筒210为带内六角的套筒，其尺寸与探针的六角螺栓133 的尺寸匹配，可恰好套在所述六角螺栓133上。当然，由于所述套筒210与所述转轴232是 通过嵌合的方式连接在一起，方便拆卸，因此，可以根据工艺要求，更换不同尺寸的套筒。 详细的，所述壳体231的侧壁设置有圆孔(未图示)，所述手柄杆220的另一端自 所述圆孔伸出至所述壳体231的外部，所述壳体231与所述手柄杆220大致成90°角，所述 壳体231的长度可以为10 15cm。本实用新型一实施例所提供的紧固装置结构紧凑，体积 小，不受工作空间的局限，可避免在使用过程中碰触到快速热处理系统的其它部件，提高了 工作效率。 优选的，所述壳体231的侧壁还设置有至少一个凹槽235，所述紧固工具200还包 括与所述手柄杆220的另一端连接的手柄握把221，方便操作人员施力，有利于快速的装卸 探针。 综上所述，本实用新型提供一种紧固工具，所述紧固工具包括套筒以及手柄杆，所 述手柄杆通过传动装置与所述套筒连接，当转动所述手柄杆时，所述传动装置带动所述套 筒转动。本实用新型的手柄杆通过传动装置与套筒连接，当转动所述手柄杆时，所述传动装 置带动所述套筒转动，可方便省力的装卸探针，且通过所述传动装置可准确控制套筒转动 的力度，确保不会损坏探针，此外，本实用新型结构紧凑，体积小，不受工作空间的局限，提 高了工作效率。 显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求一种紧固工具，包括套筒；手柄杆，其通过一传动装置与所述套筒连接，当转动所述手柄杆时，所述传动装置带动所述套筒转动。
2. 如权利要求1所述的紧固工具，其特征在于，所述传动装置包括 壳体；转轴，设置于所述壳体内，其一端与所述套筒连接； 第一齿轮，设置于所述转轴的另一端；第二齿轮，设置于所述手柄杆的一端，与所述第一齿轮啮合连接。
3. 如权利要求2所述的紧固工具，其特征在于，所述壳体为圆柱形壳体。
4. 如权利要求2或3所述的紧固工具，其特征在于，所述壳体的上部设置有通孔，所述 转轴的一端自所述通孔伸出与所述套筒连接。
5. 如权利要求4所述的紧固工具，其特征在于，所述转轴与所述套筒连接的端部为四 方柱，所述套筒上设置有与所述四方柱匹配的四方孔。
6. 如权利要求5所述的紧固工具，其特征在于，所述壳体的侧壁设置有圆孔，所述手柄 杆的另一端自所述圆孔伸出所述壳体的外部。
7. 如权利要求6所述的紧固工具，其特征在于，所述壳体与所述手柄杆成90。角。
8. 如权利要求7所述的紧固工具，其特征在于，所述壳体的长度为10 15cm。
9. 如权利要求8所述的紧固工具，其特征在于，所述壳体的侧壁设置有凹槽。
10. 如权利要求9所述的紧固工具，其特征在于，所述紧固装置还包括与所述手柄杆的 另一端连接的手柄握把。
11. 如权利要求10所述的紧固工具，其特征在于，所述第一齿轮为锥齿轮。
12. 如权利要求11所述的紧固工具，其特征在于，所述第二齿轮为锥齿轮。
专利摘要本实用新型提供一种紧固工具，所述紧固工具包括套筒以及手柄杆，所述手柄杆通过一传动装置与所述套筒连接，当转动所述手柄杆时，所述传动装置带动所述套筒转动。本实用新型的手柄杆通过传动装置与套筒连接，当转动所述手柄杆时，所述传动装置带动所述套筒转动，可方便省力的装卸探针，且通过所述传动装置可准确控制套筒转动的力度，确保不会损坏探针，此外，本实用新型结构紧凑，体积小，不受工作空间的局限，提高了工作效率。
文档编号B25B23/00GK201455878SQ200920075288
公开日2010年5月12日 申请日期2009年7月24日 优先权日2009年7月24日
发明者许鹖 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司