一种光罩拿取装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种光罩拿取装置，其包括一个支架和一个用于产生真空的注射器，所述支架带有用于吸住光罩的真空吸盘，所述注射器上带有用于固定注射器活塞的阻挡部件，所述真空吸盘上有若干真空孔，且所述注射器通过真空管连接所述真空孔。通过本实用新型所述的光罩拿取装置可以简单安全地从机台拿取光罩，还能够避免碰触到光罩的薄膜。
【专利说明】一种光罩拿取装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光刻【技术领域】，特别是涉及一种用于从机台上拿取光罩的光罩拿取装置。
【背景技术】
[0002]光罩是光刻部门的灵魂，它由玻璃和薄膜组成，其中薄膜非常薄，任何时候不能有触碰，否则影响成像及其他问题。某些时候，光罩会因为真空的问题(比如玻璃面脏，机台真空值低)而发生故障停留在载台上，此时必须先将光罩用手取出来(因光罩机械臂不能吸住光罩)，但由于光罩的边缘会被载台支撑住，没有足够的空间能人工下手拿取光罩，同时拿取光罩时一定不能碰光罩的薄膜面。所以，从机台光罩载台上拿取光罩是比较困难的。
实用新型内容
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种光罩拿取装置，用于解决手动从光罩载台上拿取光罩时存在的问题。
[0004]本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:一种光罩拿取装置，其包括一个支架和一个用于产生真空的注射器，所述支架带有用于吸住光罩的真空吸盘，所述注射器上带有用于固定注射器活塞的阻挡部件，所述真空吸盘上有若干真空孔，且所述注射器通过真空管连接所述真空孔。
[0005]在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。
[0006]进一步，所述支架上端设计有便于将支架上提的部件。
[0007]进一步，所述真空吸盘有两个，且对称地设置在所述支架的底部。
[0008]进一步，所述阻挡部件采用螺母。
[0009]本实用新型的有益效果是:通过本实用新型所述的光罩拿取装置可以简单安全地从机台拿取光罩，且工程师在迅速拿取光罩的同时，还能够避免碰触到光罩的薄膜，从而能迅速恢复机台功能。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型所述光罩拿取装置的结构示意图；
[0011]图2为本实用新型中真空吸盘与真空孔的位置示意图。
[0012]附图中，各标号所代表的部件列表如下:
[0013]1、支架，2、注射器，3、真空吸盘，4、阻挡部件，5、真空孔，6、真空管。
【具体实施方式】
[0014]以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
[0015]如图1所示，本实施例给出了一种光罩拿取装置，其包括一个支架I和一个用于产生真空的注射器2，所述支架I带有用于吸住光罩的真空吸盘3，所述注射器2上带有用于固定注射器活塞的阻挡部件4，所述真空吸盘3上有若干真空孔5，且所述注射器2通过真空管6连接所述真空孔5。如图2所示，所述真空吸盘3有两个，且对称地设置在所述支架的底部。另外，所述阻挡部件4可以采用螺母。
[0016]将所述光罩拿取装置放在光罩上，并让真空吸盘接触光罩的玻璃面。当向外拉注射器的活塞时，通过真空管和真空孔，真空吸盘内部的气压会低于外部大气压，光罩就会被真空吸盘吸住，然后通过阻挡部件将注射器的活塞固定，然后向上提支架，光罩就会被安全地带离光罩载台。为便于操作，所述支架上端设计有便于将支架上提的部件。
[0017]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种光罩拿取装置，其特征在于，包括一个支架和一个用于产生真空的注射器，所述支架带有用于吸住光罩的真空吸盘，所述注射器上带有用于固定注射器活塞的阻挡部件，所述真空吸盘上有若干真空孔，且所述注射器通过真空管连接所述真空孔。
2.根据权利要求1所述的光罩拿取装置，其特征在于，所述支架上端设计有便于将支架上提的部件。
3.根据权利要求1所述的光罩拿取装置，其特征在于，所述真空吸盘有两个，且对称地设置在所述支架的底部。
4.根据权利要求1所述的光罩拿取装置，其特征在于，所述阻挡部件采用螺母。
【文档编号】B25B27/00GK203510080SQ201320678553
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年10月30日 优先权日:2013年10月30日
【发明者】姚佳辉, 陈培刚 申请人:武汉新芯集成电路制造有限公司