一种用于微型光学元件的提取装置的制作方法

文档序号:15531934发布日期:2018-09-25 21:41阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于微型光学元件的提取装置,包括移动工作台(6)、吸嘴(3)以及用于移动吸嘴(3)的机械手臂(4),其特征在于,所述吸嘴(3)固定连接在机械手臂(4)前端,所述吸嘴(3)内设有中空结构的吸嘴杆(7),所述吸嘴杆(7)底端工作面上开设有气孔(14),所述吸嘴杆(7)底部设有晶片罩(8),所述晶片罩(8)与吸嘴杆(7)可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于微型光学元件的提取装置,其特征在于,所述吸嘴杆(7)上端与真空管道连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于微型光学元件的提取装置,其特征在于,所述气孔(14)设有多个,所述气孔(14)的直径大于光学元件的最小尺寸。

4.根据权利要求1所述的一种用于微型光学元件的提取装置,其特征在于,所述移动工作台(6)上方设置定位系统,所述定位系统为视觉图像定位系统,所述视觉图像定位系统内包括相机(1)、与相机连接的图形处理装置及设置在相机(1)下方的光源装置。

5.根据权利要求1所述的一种用于微型光学元件的提取装置,其特征在于,所述吸嘴(3)上可拆卸连接有标定工装(11),所述标定工装(11)上设有与吸嘴杆(7)配合的配合孔(12),配合孔(12)两侧标定工装(11)上设有定标孔(13),所述配合孔(12)位于两侧定标孔(13)之间的中点位置。

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