本发明涉及一种用于对抓取设备的真空抽吸器进行状态检控(检查控制)的方法和设备，所述真空抽吸器为了抓取工件而被加载以真空。
背景技术：
由ep1967301a1已知一种具有加工装置的用于加工板状工件的机械组件以及一种用于加工产品的操作设备。所述加工机器用于加工板状工件、尤其板材。优选地在此设置：执行冲压和/或切割加工。为了操纵工件，操作设备包括抓取设备。所述抓取设备具有一个或多个抽吸板，其中，在每个抽吸板上设置有多个真空抽吸器。为了抓取工件，将真空抽吸器贴靠到工件上。随后，施加真空，由此工件被真空抽吸器抓取。随后，可以进行工件的操纵。所述真空抽吸器中的每个真空抽吸器都包括作用在工件上的抽吸元件以及用于控制该真空抽吸器的阀。
在使用这样的抓取设备时，这样的真空抽吸器遭受磨损。所述磨损可能在抽吸开口边缘出现，例如以裂缝的形式出现。此外，在抽吸元件到抽吸板的保持区域中可能出现过载，所述过载损害抽吸器的功能正常性。对于真空抽吸器的功能正常性也重要的是，监控阀的状态，以便可靠地操控抽吸元件来抓取工件以及松开工件。
技术实现要素：
本发明的任务是，提出一种用于对抓取设备的真空抽吸器进行状态检控的方法以及一种用于执行对真空抽吸器的状态检控的设备，以执行简单的检查，该检查可以由操作者人工进行或可自动化进行。
所述任务通过用于对抓取设备的真空抽吸器进行状态检控的方法来解决，所述真空抽吸器为了抓取工件而被加载以真空，其中，每个真空抽吸器配有作用在工件上的抽吸元件并且每个抽吸元件或一组抽吸元件配有至少一个阀，在所述方法中，将抓取设备的包括多个真空抽吸器的至少一个抽吸板和包括多个检查装置的检查设备相对彼此定向，使得对每个真空抽吸器都存在与其相对置的一个检查装置，其中，每个检查装置都布置在初始状态或初始位置中，并且，根据第一实施方式，为了检查抽吸元件，使所述至少一个抽吸板的真空抽吸器和检查设备的检查装置形成接触，并且，以真空加载真空抽吸器，并且，从每个检查装置在该检查装置检测到初始状态或初始位置的改变的情况下输出信号。这使得能够通过使抽吸元件与对应的检查装置形成接触以及通过施加真空来检测：对应的抽吸元件是否执行抓取功能。如果是，就通过检查装置触发信号。由此能够以简单的方式检测：所施加的真空是否被抽吸元件也转化为保持力。
替代地，在本发明的第二实施方式中，为了检查抓取设备的操控各一个抽吸元件或操控一组抽吸元件的阀而设置：在抽吸元件和检查装置相对彼此定向之后，以真空加载真空抽吸器并且随后使所述至少一个抽吸板的真空抽吸器和检查设备的检查装置形成接触。对于每个检查装置而言，只要由该检查装置检测到该检查装置的初始位置的改变，就由该检查装置输出信号。只要检查装置的初始位置改变，这对阀的检查就意味着：存在故障。
通过这样的方法使得能够实现对多个真空抽吸器的功能正常性的至少一个简单复查。尤其在抽吸板具有多个小抽吸元件时，可以由此对抽吸元件以及对抓取设备的一个或多个阀节约时间地执行功能检查。
优选地设置，在检查装置的形状或位置方面或者在检查装置的形状和位置的组合方面对检查装置的初始位置的改变进行检测。这使得能够实现检查装置的简单的机械结构以及可靠的识别。
此外，优选地设置，检查装置的初始位置到检查装置的切换位置中的变化通过至少一个光具检测并且输出。至少一个光学信号的输出使得操作者能简单地人工检控而且也使得能实现自动化的评价。也可以通过在状态改变时由检查装置输出电信号来实现简单地识别抓取设备的功能正常的和损坏的抽吸元件和阀，所述电信号可以在显示器上示出或转换为光学信号。
优选地在准备所述检查时将检查装置置于初始位置中。只要一抽吸元件配属于检查装置并且存在真空，就引起状态改变并且检查装置被转变到切换位置中。通过该示例性的到切换位置中的主动转变来输出一信号。该信号可以呈光学信号或电信号的形式，使得实现所检查的对应抽吸元件或阀的简单分类。只要不发生信号变化，就由此识别到：该抽吸元件或阀不再是功能正常的或至少需要复查。
在用于执行所述方法的检查装置的第一优选的实施方式中设置，检查装置构造为弹片(schnappscheibe)，该弹片在检查装置的初始位置中与抽吸元件相反地定向，并且，在与抽吸元件接触并且施加真空之后，该弹片在功能正常的抽吸元件的情况下转变到作为切换位置的凸形定向中。替代地，代替弹片可以设置具有极冠形拱起的膜，该膜在检查装置的初始位置中相对于抽吸元件凹形地定向。在检查装置转变到切换位置中时，极冠形的拱起优选地凸形地定向。此外，替代地可以设置，检查装置构造为平坦的膜，该膜在切换位置中同样占据凸形的定向并且从而用信号通知：功能正常的抽吸元件作用在检查装置上。
检查装置的切换位置可以优选地由使用者视觉地和/或触觉地检测或通过传感器或通过电开关元件或通过具有磁性颗粒的可写入(beschreibbar)的传感器光学地和/或电学地检测。所有这些实施方式使得能够实现简单的检测。
此外，优选地设置，检查装置构造为在保持板的腔室中的磁体盘，该磁体盘在所述腔室内可改变高度地受引导，并且，在与抽吸元件接触和施加真空之后在抽吸元件功能正常的情况下，磁体盘由初始位置转变到切换位置中。在关断真空且从抽吸板上取下检查装置之后，可以视觉检测出哪个真空抽吸器是功能正常的，即优选地磁体盘由腔室中的下方位置转变到腔室内的上方位置所对应的那些真空抽吸器。通过磁体盘的磁性保持力可以保持切换位置。
所述方法的另一优选的实施方式设置，检查设备通过电信号显示抽吸元件的功能正常性，其中，检查装置由电路板上的至少一个接触面构成，该电路板配有具有接触部的切换垫，其中，每个接触部设置在切换垫的一压力室中，并且所述接触部在初始位置中相对于接触面间隔开地定位，并且，在接触抽吸元件和施加真空之后，通过在电路板中与接触面相邻的至少一个钻孔在压力室中产生负压，并且在功能正常的抽吸元件的情况下，接触部贴靠到接触面上并且输出电信号。由此使得能够实现简单和快速的检查。
此外，在用于真空抽吸器的功能检查的方法中优选地设置，在真空抽吸器和检查装置接触且真空抽吸器随后相对于检查装置移动运动之后，由每个检查装置在该检查装置检测到初始位置的改变的情况下输出信号。在该用于状态检控的方法的实施方式中设置，通过检查装置和/或抓取设备的所述至少一个抽吸板相对彼此的主动运动引起检查装置由初始位置到切换位置中的改变并且根据所希望的信号输出显示或不显示所述改变并且相应地评价该改变。
真空抽吸器的简单的状态检控优选地能够通过以下方式实现：检查装置作为弹簧支承的推杆在位置方面可改变地在检查设备的保持板上受引导，并且，在抽吸元件功能正常时，通过传感器检测出推杆位置的由初始位置到切换位置中的改变，所述改变通过抽吸板和检查装置的远离彼此的移动运动发生。只要抽吸元件基于施加真空而施加所需的抽吸力，则在抽吸板和检查装置相对彼此的间距增加的情况下，弹簧支承的推杆相对于检查设备的保持板移动。由此可以触发切换信号。例如，可以在推杆的端部上设置电接触部，该电接触部在初始位置中与在导体轨上的一个接触部贴靠并且从而构成电接通，并且，通过移离推杆发生中断并且检查装置转变到切换位置中。由此也可以检查：抽吸板是否能够借助其真空抽吸器施加还需要的保持力来可靠地操纵工件。
此外，优选地设置，检测所述至少一个抽吸板和检查装置的相对彼此且从彼此离开的移动运动的路程段并且由检测出的路程和检查装置的切换位置的改变来求出抽吸元件从检查装置扯脱的扯脱力。由此可以得出进一步的结论：例如是否仍能够通过抽吸元件产生足够的保持力，或，是否保持力虽然还存在但要考虑尽快替换并且因此预防性地替换这样的抽吸元件。
此外，可以优选地设置，为了检查抓取设备的阀，检查装置构造为弹簧支承的推杆，该推杆在位置方面可改变地在检查设备的保持板上受引导并且，在阀功能故障的情况下，通过传感器检测出推杆位置由初始位置由于抓取设备的所述至少一个保持板和检查装置之间的间距增大而改变。阀的检查按照以下方式构型：在将所述至少一个抽吸板从检查装置移除时，抽吸元件在阀功能正常的情况下从推杆脱开，使得推杆保留在初始位置中并且由此识别功能正常的阀。在检查阀时，只要推杆由初始位置移离并且转变到切换位置中，就输出信号，该信号意味着阀不再功能正常。
此外，本发明的任务通过检查设备解决，该检查设备具有多个检测装置，所述检查装置在一承载组件的外侧上或在一壳体上在一个平面内并排地设置，其中，每个检查装置设置在初始位置中并且可转变到切换位置中，并且，每个检查装置独立于其它检查装置地可通过配属于该检查装置的抽吸元件转变到切换位置中，并且，可在每个检查装置方面独立地检测初始位置和/或切换位置。这使得能够实现对设置在抓取设备上的所有真空抽吸器进行简单和快速地单个检查。尤其在抽吸元件以小直径构造且一个抽吸板配有多个抽吸元件的情况下，可以由此使得能够节约时间地检查布置在所述至少一个抽吸板上的真空抽吸器的一部分或全部。此外使得能够单个检查和单个识别或者说状态检控每个单个的抽吸元件。因为每个抽吸元件或一组抽吸元件通过对应的阀激活，所以也由此使得能够对对应的各阀进行状态检控。
根据一个优选的实施方式，检查设备具有张紧在承载组件中的膜或具有带弹片的膜或具有带极冠形拱起的膜，所述膜相对于承载组件的外侧凹形地定向。所述实施方式使得能够简单地复查真空抽吸器的功能正常性。在施加真空时，真空通过贴靠在检查装置上的抽吸元件作用到平坦的膜、带弹片的膜或带极冠形拱起的膜上，使得膜在位置和/或形状方面发生改变，在形状改变方面例如产生凸形拱起，该凸形拱起朝抽吸元件中真空作用的方向上定向。
此外优选地设置，检查设备的承载组件的与平坦的、张紧的膜或带弹片或极冠形拱起的板或者说膜相对置的底部敞开地构造或透明地构造或接收与膜间隔开地布置的光学传感器。这使得能够实现检查设备的结构简单的构型，所述构型在底部敞开或透明的情况下使得使用者能够视觉检控。自动化的检查能够通过布置在承载组件中的光学传感器实现。
检查装置可以有利地在平坦的膜、带弹片的膜或带极冠形拱起的膜的与抽吸元件的贴靠面相对置的一侧上具有接触面，该接触面贴靠在一传感器的接触部上。这使得能够在以真空加载平坦的膜、带弹片的膜或带极冠形拱起的膜且由此引起关于接触面的路程改变时发生传感器的切换。由此使得能够实现简单的和自动化的检查。
传感器的接触面可以优选地构造为电接触面，该电接触面优选地贴靠在电路板的接触部上，或，传感器的接触面构造为由磁性颗粒制成的可写入的面。在具有电接触部的第一实施方式中，使得又能够以简单的方式实现功能正常或功能故障的真空抽吸器的分类。使得能够实现自动的检查和评价。在具有磁性颗粒的第二实施方式中，使得使用者能够简单地以视觉监控。
检查设备的另一优选的实施方式设置，检查装置由腔室构成，该腔室中具有在位置或者说高度方面可改变的盘、尤其磁体盘，其中，腔室在用于抽吸元件的贴靠侧以及在相对置的侧具有钻孔。由此，盘可以占据下方位置，例如初始位置，而在上方位置中用信号通知切换状态。盘在腔室中的上方位置可以基于磁性保持力来保持。
检查设备的另一替代的构型设置，检查装置由电路板上的接触面构成，该电路板配有带接触部的切换垫，其中，每个接触部设置在切换垫的一个压力室中，该接触部在初始状态中与接触面间隔开地定位并且在抽吸元件接触电路板且在电路板上施加真空之后通过在电路板中与接触面相邻的至少一个钻孔在压力室中产生负压并且该接触部变得贴靠在相对置的接触面上。所述替代的构型具有的优点是：不设置可机械运动的部件。切换垫优选地由硅酮构造并且从而是可屈服的。借助所述检查设备也能够测试抽吸元件的可靠的吹下功能。其方式是：在压力室中产生超压。优选地，切换垫可以沿两个方向偏移，并且尤其在切换垫的每一侧上都设置接触面并且每个接触面分别配属于一个电路板的至少一个接触部。
检查设备的另一优选的实施方式设置，每个检查装置构造为弹簧支承的推杆，该推杆在位置方面可改变地在检查设备的承载组件的保持板上受引导并且在推杆位置的由初始位置改变到相对于该初始位置移离的切换位置中时可检测到信号。这样的检查设备既适用于检查抽吸元件又适用于检查真空抽吸器的阀。此外，借助这样的检查设备能够以简单的方式求出抽吸元件的保持力。
附图说明
下面根据在附图中所示的示例详细说明和阐述本发明以及本发明的其他优选实施方式和扩展方式。从说明书和附图中得到的特征可以根据本发明地单独应用或在多个特征的情况下以任意组合应用。附图示出了：
图1加工机器和具有抓取设备的操作设备的立体视图，该抓取设备具有真空抽吸器；
图2从下方看的在图1中的抓取设备的抽吸板的示意性的视图；
图3在检查位置中示出用于真空抽吸器的检查设备的第一实施方式的示意性的侧视图；
图4根据图3的检查设备的示意性的部分视图；
图5在检查位置中示出用于真空抽吸器的检查设备的一个替代的实施方式的示意性的侧视图；
图6在检查位置中示出用于真空抽吸器的检查设备的另一替代的实施方式的示意性的侧视图；
图7在检查位置中示出用于真空抽吸器的检查设备的另一替代的实施方式的示意性的侧视图；
图8检查设备的检查装置的示意性的部分视图；
图9在检查位置中示出用于真空抽吸器的检查设备的另一替代的实施方式的示意性的侧视图；
图10在检查位置中示出用于真空抽吸器的检查设备的一个替代于图9的实施方式的示意性的侧视图；
图11在检查位置中示出用于真空抽吸器的检查设备的另一替代的实施方式的示意性的侧视图；
图12在检查位置中示出用于真空抽吸器的检查设备的另一替代的实施方式的示意性的侧视图；和
图13在检查位置中示出用于真空抽吸器的检查设备的另一替代的实施方式的示意性的侧视图。
具体实施方式
在图1中立体地示出加工机器11，该加工机器例如构造为冲压机。为了分离加工例如呈板材形式的板状工件12，设有优选位置固定的加工装置21，其具有冲头14和没有详细示出的印模。替代地，也可以使用激光冲压机，其中，与冲头14相邻地设有激光加工头。待加工的工件12在工件加工期间位于工件承放件16上。工件12在加工过程中借助优选地包括夹具18的保持装置17保持，并且，该工件12可以借助通过箭头表示的常规线性驱动装置19相对于冲头14沿工件平面(x/y平面)的x方向移动，工件12可以沿工件平面的y方向运动，其方式是：工件承放件16借助通过箭头表示的传统线性驱动装置20与保持装置17一起相对于支承工件承放件16的基座24移动。工件12可以以这种方式相对于冲头14沿x和y方向移动，使得工件12的对应待加工区域可以定位在冲头14的加工区域中。该加工区域位于冲头14和未详细示出的可更换的冲模之间。在激光冲压机的情况下，可以相应地在激光加工头的位置固定的加工区域中布置激光光具。
相对于加工机器11的工件承放件16，在一端侧上设有操作装置26，该操作装置也可以包括抓取设备27，该抓取设备可沿着至少一个线性轴28从用于板状材料12的装载位置和卸载位置29,30移动到取走位置或等待位置中，以便接收已加工的工件36并且例如将其由加工机器11引导出或将其存放在仓库50中。
抓取设备27可以具有抽吸框架34，该抽吸框架包括一个或多个抽吸板33，就像在图2中以从下方看的视图所示的那样的抽吸板。在每个抽吸板33上设有多个真空抽吸器35。这些真空抽吸器35中的每个都用作取走抽吸器。真空抽吸器35根据第一实施方式包括抽吸元件31和配属于抽吸元件31但位于壳体38内的阀40(图3)，所述抽吸元件相对于抽吸板33的壳体38的外侧面37突出。替代地可以设置，真空抽吸器35包括抽吸元件31，该抽吸元件与多个另外的抽吸元件31或与一组抽吸元件31一起借助一个阀40可操控。所述阀40可以涉及纯机械的阀，即所谓的被动式阀。这样的被动式阀仅通过空气流动来切换，该空气流动例如通过施加真空而产生。替代地，阀40也可以是可操控的、尤其可电操控的阀，例如电磁阀。在该实施方式中也可以设置，每个抽吸元件31配有一个阀40或一个阀40将一组抽吸元件31共同操控。后一种实施方式例如在图5中示出。为了操控这样的可控阀40、尤其电磁阀，设有未详细示出的电控制装置。
抽吸元件31可以构造为由弹性塑料构成的折叠管或者说波纹管。抽吸板33借助软管线路与真空泵连接。为了单个地操控抽吸元件31，操控这些阀40。真空抽吸器35的数量以及抽吸元件31的大小而且它们在行列方面以及布置成其它栅格的布置方式是任意的并且可以适配于各操纵任务，在抽吸板33上在一个或多个抽吸器场39内也可以设置直径尺寸不同的抽吸元件31。在根据图2的实施例中，例如布置三个抽吸器场39，它们分别具有五个真空抽吸器35。这些抽吸器场39中的每个抽吸器场和在该抽吸器场39中的每个真空抽吸器35优选地可独立地操控。
抽吸板33也可以借助至少一个线性驱动装置在吸气框架34上沿在图1中所示的xyz坐标系内的y轴和/或z轴可移动地驱动。
在图3中部分地示出检查设备41的示意性的侧视图。该检查设备41和具有抽吸元件31的抽吸板33布置在相对于检查设备41的检查位置42中。检查设备41在图4中以从上方看的局部视图示出。检查设备41包括壳体或包括承载组件44，该承载组件具有轮廓，该轮廓相应于抽吸板33的一个抽吸器场39或抽吸板33的多个抽吸器场39或相应于抽吸板33。检查设备41也可以具有相应于抽吸框架34上的多个抽吸板33的面延伸尺度。
根据第一示例性的实施方式设置，承载组件44矩形地构造并且基本上相应于在图2中的抽吸板33的轮廓。
检查设备41具有多个检查装置45。优选地，检查装置45的数量相应于抽吸板33的真空抽吸器35的数量。替代地，在检查设备41上的检查装置45的数量也可以相应于抽吸板33的一个抽吸器场39的真空抽吸器35的数量。
检查设备41的检查装置45根据在图3和图4中所示的第一实施方式通过张紧在承载组件44的框架47中的膜46构造。该膜46具有极冠形的拱起48，所述拱起可以被设置到膜46中。在初始位置49中，拱起48相对于承载组件44的外侧或壳体或检查设备41凹形地布置。与膜46相对置地设置有承载组件44的底部51。该底部51优选地透明地构造。替代地，也可以取消该底部51。
为了检查真空抽吸器35、尤其抽吸元件31，检查设备41的检查装置45和抽吸板33的抽吸元件31彼此对准并且朝向彼此运动，使得抽吸元件31的抽吸开口边缘32置于检查设备41上并且优选地包围检查装置45。接下来，施加真空，所述真空通过抽吸元件31作用到检查装置45上。只要抽吸元件31功能正常，则检查装置45就由初始位置49转变到切换位置52中。该切换位置52可以是自保持的。然而也可以是只有施加真空并且通过真空抽吸器35将真空作用到检查装置45上时，才保持占据所述切换位置52。
只要检查装置45转变到切换位置52中，这就意味着在当前情况中抽吸元件31功能正常。在检查装置45保持在初始位置49中的情况中，抽吸元件31功能故障。该抽吸元件需要检查且必要时需要更换。
通过从下方观察检查设备41可以视觉检测：真空抽吸器35中的哪个正常并且哪个有损坏。这可以通过对应的检查装置45占据切换位置52来识别。替代地，代替于操作者的视觉检控，也可以借助至少一个图像检测装置进行光学检测。此外可以设置：如果检查装置45自保持地构造，则在关断真空且从抽吸板33移除检查设备41之后使得能够从上方观察检查设备41并且可以进行评价。
而根据图3的检查设备41的一个替代的实施方式如下，代替极冠形的拱起48，检查装置45具有所谓的弹片(schnappscheibe)。所述弹片在初始位置49中可以类似于凹形定向的极冠形拱起49。在将抽吸元件31对准检查装置45并且施加真空之后，所述弹片可以朝抽吸元件31的内部空间的方向运动。通过咔嗒声可以识别出：存在的是功能正常的真空抽吸器35。此外，这样的弹片自保持在切换位置52中。由此可以借助视觉检控检测出功能正常和功能故障的真空抽吸器35。
根据图3的检查设备41的另一替代构型设置，在承载组件44中设有膜46，该膜张紧在框架47中并且构造为连贯地平坦的面。一旦抽吸元件31贴靠在该膜46上并且被加载以真空，则膜46就由平坦的初始位置49过渡到切换位置52中并且在抽吸元件31功能正常时具有凸形的拱起。由此也使得能够检查真空抽吸器35。
因此，在根据图3的检查设备41的实施方式和所说明的替代方案中，通过负压进行初始位置49到切换位置52中的触发或改变。
在图5中示出检查设备41的替代于图3和4的实施方式。检查设备41的该实施方式在结构上可以相应于检查设备41的在图3中所描述的第一和第二替代方案。即检查装置45由具有极冠形拱起48或具有所谓的弹片的膜46构造。该膜46配有可写入的传感器54。该可写入的传感器54类似于检查装置45地面式延伸。极冠形的拱起48的每个极或弹片的每个向下指向的边缘在初始位置49中与可写入的传感器54处于接触。在功能正常的抽吸元件31的情况下，一旦抽吸元件31置于膜46上并且施加真空，则检查装置45就可以由初始位置49转变到切换位置52中。由此，极56不再与传感器54处于接触。这能够引起光学变化。可写入的传感器54例如可以包括多个磁性颗粒，所述磁性颗粒在初始状态49中例如在极56的区域中引起发黑。在切换位置52中，可写入的传感器54返回到初始状态或者说初始颜色中。上述情况也可以交换。
在图6中示出检查设备41的一个替代于图3的构型。在图6中的该实施方式中，抽吸元件31例如表示为盆形的抽吸元件。在所有实施方式中可以选择性地使用波纹管形和盆形的抽吸元件31。
此外，在图6中的该实施方式中，补充于检查设备41的在图3中所描述的实施方式之外地，每个检查装置45配有光学传感器58。在此可以涉及一个或多个图像检测装置，例如ccd摄像机。所述ccd摄像机不但可以检测初始位置49而且可以检测切换位置52并且将检测出的数据输出给控制和数据处理装置59。优选地，可以在数据处理装置59上预给定显示器，以便显示功能正常和/或功能故障的抽吸元件31的位置。由此可以使替换变得容易。
替代光学传感器58也可以设置接近开关，该接近开关识别检查装置45由初始位置49到切换位置52中的变化。
在图7中示出检查设备41的另一替代于图3的构型。该检查设备41包括检查装置45，该检查装置由具有极冠形拱起48的膜46或由具有弹片的膜46构成。在极56上或者在弹片向下立起的边缘上构造有导电的接触面61，该接触面在初始位置49中贴靠在电传感器63上。该电传感器63可以构造为电路板81，该电路板具有多个导体轨64，所述导体轨分别通到配属于每个检查装置45的膜46的极冠形拱起48或弹片边缘的接触部65(图8)。在初始位置49中，极冠形拱起48或者说弹片和电传感器63的接触部65之间导电接触。一旦检查装置45转变到切换位置52中，所述电接触就中断。由此，可以借助控制和数据处理装置59来精确地求出功能正常和/或功能故障的抽吸元件31的位置。
在图9中示出检查设备41的另一替代的实施方式。检查装置45包括在所述壳体或者说在承载组件44中的腔室71，盘72、优选地磁体盘72可上下运动地支承在所述腔室中。部分地覆盖所述腔室71的上方层或板75由磁性材料构造。在壳体44的面向抽吸元件31的外侧上设置有第一钻孔73并且相对置地在底部51上设置有第二钻孔74，所述两个钻孔从外部通到腔室71中。
在功能良好的抽吸元件31的情况下，一旦抽吸元件31贴靠在检查装置45上并且施加真空，则盘72进行由初始位置49到切换位置52中的偏移。在盘72构造为磁体的情况下，在板75上的抽吸板33从检查设备41取下之后，所述盘保留在切换位置52中，使得由此可以进行评价。
在检查设备41的上述实施方式中设置，为了执行状态检控，在真空抽吸器35和抽吸板33相对于检查设备41定位并且对准各检查装置45之后，在抽吸板33相对于检查设备41静止地定位时施加负压。
在图10中示出检查设备41的一个替代于图9的实施方式。该检查设备41例如由三个层体或板构造。最上方的板75由磁性材料构造。该磁性板75置于非磁性的层体或层94上。在该非磁性的层94中加工出腔室71。在该非磁性的层94上，与磁性的层或板75相对置地配有另一层或板95。所述另一层或板可以由非磁性材料构成。优选地，所述另一层或板磁性地构造。在所述层95中设有通到腔室71中的钻孔74。
此外，在该实施例中设置，设置在上方层75中的钻孔73尽可能大地构造，但关于腔室71的周壁而言构成小突出，使得布置在腔室71中的盘72不会从腔室71脱出。抽吸元件31的直径或者横截面几何形状与钻孔73的横截面几何形状相协调，使得抽吸元件31可穿过第一钻孔73移动到腔室71中或可定位在腔室71中。
为了检查抽吸元件31，在该实施方式中设置：抽吸板33朝向检查设备41运动，使得每个抽吸元件31配属于一个检查装置45。随后，抽吸元件31分别沉入到腔室71中。在抽吸元件31在初始位置49中坐置于盘72上之后，施加真空。随后，抽吸板33和检查设备41从彼此离开地运动。这可以通过两者的相对运动或仅通过抽吸板33或检查设备41的移动运动进行。只要抽吸元件31功能正常，则盘72就由初始位置49转变到切换位置52中。盘72通过磁性保持力相对于板75保持在该位置72中。接下来，关断在抽吸板33中施加的真空并且移离抽吸元件31。通过随后的目检可以检测：保留在初始位置49中的盘72示明坏的抽吸元件31的位置。在盘72转变到切换位置52中时例如输出一信号变化：该抽吸元件31功能正常。
在图11中以侧视图示出检查设备41的另一替代于之前所说明的实施方式的构型。在检查设备41的该实施方式中设置，检查装置45具有可上下运动的推杆76。该推杆76具有用于接收抽吸元件31的贴靠面77。推杆76在保持板78中且相对于该保持板可上下运动地受引导。通过力存储元件79将推杆76定位在初始状态或者说初始位置49中。在该初始位置49中，构造在推杆76上的接触面61贴靠在底部51上的接触部65上。在此，又可以设置如在图7和8中所说明的那样的电传感器63。为了检查抽吸元件31，设置：将抽吸板33相对于检查设备41定向和定位并且使抽吸元件31与检查装置45形成接触。在这种情况中，抽吸元件31的抽吸开口边缘32贴靠在对应推杆76的贴靠面77上。接下来，施加真空。在该实施方式中附加地设置，在抽吸板33和检查设备41之间引入相对运动。抽吸板33可以相对于检查设备41移离，或，检查设备41可以相对于抽吸板33移离，或，进行相对彼此的相对运动，其方式是：抽吸元件31和检查设备41从彼此离开地运动。在此，只要抽吸元件31功能正常，则检查装置45就转变到切换位置52中。这意味着，推杆76由在图11中所示的初始位置49移离。推杆76的接触面61相对于接触部65分离。由此，一信号被传达给数据处理装置59并且用信号通知：该抽吸元件31功能正常。如果检查装置45留在初始位置49中，则不发生信号变化并且这被评价为功能故障的抽吸元件31。
借助所说明的检查装置也能够实现对将待检查的抽吸元件激活的各阀进行状态检控。
此外，在检查设备41的该实施例中(图11)，可以求取抽吸元件31的保持/扯脱力。检测抽吸板33和检查设备41彼此相互远离所走过的移动路段。在推杆76的移离阶段期间，检查装置45处于切换位置52中。在抽吸元件31从检查装置45、尤其贴靠面77扯脱，即松脱的时刻，检查装置45返回到初始位置49中。该信号同样可以被检测并且与走过的路程一起被评价，以便由此求出抽吸元件31的扯脱力，或者，走过相应于预给定保持力的限定移动路程。根据求出的结果可以推断出存在的抽吸元件保持力。
在图11中所说明的检查设备41也设置用于对用于真空抽吸器35的各阀40进行检查和状态检控。将抽吸板33相对检查装置45定位和定向在相对于检查设备41移离的状态中。检查装置45处于如在图11中所示的初始位置49中。随后，以真空加载真空抽吸器35。接下来，使真空抽吸器35与检查设备41形成接触。随后将抽吸板33从检查设备41移离或将检查设备41从抽吸板33移离或使两者从彼此离开地运动。这优选地沿着预给定的路线进行。即使通过真空吸附装置35仅使检查装置45由初始位置49稍微朝切换位置52的方向运动，也基于接触部65和接触面61之间的中断而产生信号。这样的信号被评价。
在图12中示出检查设备41的另一替代于之前所说明的实施方式的实施方式。检查设备41又具有多个检查装置45。在此设置，承载组件44的上侧构造为电路板81。每个检查装置45具有接触部65。在电路板81和承载组件44的底部51之间布置有切换垫82。该切换垫82为了构成检查装置45而具有压力室83，在所述压力室内设置接触面61。所述接触面与接触部65相对置。至少一个设置在电路板81中的钻孔84通到压力室83中。在底部51中，在压力室83的区域中同样优选地设有钻孔85。所述钻孔85被切换垫82覆盖。切换垫82优选地由硅酮构成。
一旦抽吸元件31与检查设备41处于接触，就施加真空。经由钻孔84在压力室83中产生负压。接触面61朝接触部65的方向运动。接触面61由初始位置49转变到切换位置52中。在接触面61与接触部65接触时输出一信号。配属于检查装置45的抽吸元件31的功能正常性被确定。钻孔85避免产生吸入效应，该吸入效应会抑制接触面61或者抽吸垫82由初始位置49到切换位置52的偏移运动。
替代地可以设置，经由底部51中的钻孔85，附加地将空气垫或压缩空气加载到切换垫82上。由此可以改变切换垫82的初始位置49和切换位置52之间的切换点。
前述的该实施方式具有的优点是不需要机械运动部件。此外提供了一种低成本的结构。
在图13中示出检查设备41的另一替代的实施方式。检查设备41的该实施方式具有多个检查装置45。这些检查装置45由第一层88和第二层89构成，所述第一层和第二层优选地构造为穿孔层。尤其设置穿孔的硅酮膜。孔的大小优选地适配于上和/或下电路板81上的接触部65的大小。在两个层88和89之间设有第三层91。优选地，该第三层构造为闭合的硅酮膜。在该第三层91上，优选，面向上电路板81和面向下电路板81地分别设置接触面61。在此，接触面61到电路板81的接触部65的间距这样地设置，使得当在压力室83中形成负压时，接触面61可以贴靠到上电路板81的接触部65上。该压力室83则从在图13中所示的初始位置49转变到切换位置52中，该切换位置例如相应于在图12中的切换位置52。如在图13中所示，第三层91可以在施加超压的情况下沿相反的方向偏移并且转变到一切换位置52中。因此，第三层91的偏移取决于待执行的检查并且不但可以朝上电路板81或者说抽吸元件31的方向进行，而且可以朝下电路板81的方向或者说远离抽吸元件进行。检查设备41因此借助于两个层88,89之间的第三层91构成压差膜片。由此在压力室83中既可以产生超压又可以产生负压。在图13中的压力室83在结构上原则上相应于在图12中的压力室83。由于通过第三层91使得既可朝上电路板81方向偏移也可朝下电路板81方向偏移，所以根据如何操控阀40或者抽吸元件31而定，压力室83不但可以作用为负压室而且可以作用为超压室。例如在检查时可以以超压加载阀40，以便例如将工件从抓取设备27吹下。为了检查这一点，将检查设备41相对于抽吸元件31定位在初始位置49中。以压力加载阀40。一旦设置在第三层95上的接触面61与在下电路板81上的接触部65接触并且占据切换位置52，就识别出：已经建立并且存在为吹下所需的超压。如果没有确定这样的接触并且第三层91与接触面61停留在初始位置49中，就识别出：阀40没有打开，从而在阀40上存在故障。