一种框架式双轴机械手的制作方法

本实用新型涉及机械手，具体涉及半导体硅片脱胶机用的自动上下料的机械手，属于机械手技术领域。

背景技术：

目前，在实际工业生产过程中，一般都需要对物料进行取放、搬运等操作，但是在很多加工生产过程中都是采用人工操作，一方面操作不便且效率低下，另一方面较重的物料容易对工人造成工伤。本实用新型通过机械手实现搬运物料的动作，且具有较高的定位精度。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种能够实现搬用物料的动作，具有较高定位精度，解决半导体硅料上下脱胶机的搬运问题的框架式双轴机械手。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是提供了一种框架式双轴机械手，包括长方体框架的机架护栏，所述机架护栏上水平设有水平移动机构，所述水平移动机构上设有竖直移动机构，所述竖直移动机构下设有工装夹具，所述工装夹具的下方设有小车导向机构，所述机架护栏上设有电气控制柜，用于控制各个机构的电气。

优选地，所述水平移动机构包括横梁，所述横梁上水平设有线性滑轨一和齿条一。

优选地，所述竖直移动机构包括竖梁，所述竖梁上设有竖直的线性导轨二和齿条二，上下移动的机械臂通过齿轮设置在齿条二上。

优选地，所述竖直移动机构通过带有齿轮的移动滑座，安装在齿条一上，所述移动滑座下安装有水平伺服电机，用于驱动竖直移动机构通过移动滑座在水平移动机构移动，

优选地，所述竖梁上设有平衡气缸，所述机械臂与平衡气缸相连，可抓取更重的物体。

优选地，所述工装夹具通过垂直安装板与机械臂和平衡气缸连接。

优选地，所述小车导向机构上设有小车限位机构，所述小车限位机构上设有限位气缸，通过旋转小车限位机构上的限位气缸可以将物料小车锁死在小车导向机构上。

优选地，所述小车导向上方设有物料到位感应机构，所述物料到位感应机构安装在机架护栏上，可以检测物料小车的物料到位情况。

优选地，所述机架护栏上设有悬臂柜。

优选地，所述小车导向机构一侧设有有料检测机构。

本实用新型采用两个独立的驱动装置，即水平移动机构和竖直移动机构，实现对物料的水平、上下运动；所述竖直移动机构采用了平衡气缸，可抓取相对更重的物体；整个物料的搬运过程所占时间大大减少，并减少人力消耗，从而提高整个工作效率。

附图说明

图1为本实用新型提供的框架双轴机械手中的水平移动机构的结构示意图；

图2为本实用新型提供的框架双轴机械手中的竖直移动机构的结构示意图；

图3为本实用新型提供的框架双轴机械手中的小车导向机构的结构示意图；

图4为本实用新型提供的框架双轴机械手中的有料检测机构的结构示意图；

图5为本实用新型提供的框架双轴机械手的总装图。

图中序号：1.机架护栏、2.平衡气缸、3.移动滑座、4.齿条一、5.线性滑轨一、6.悬臂柜、7.有料检测、8.小车导向机构、9.小车限位机构、10.工装夹具、 11.物料到位感应机构；12.水平移动机构、13.竖直移动机构、14.横梁、15. 机械臂、16.竖梁、17.有料感应器、18.压料感应器。

具体实施方式

为使本实用新型更明显易懂，兹以优选实施例，并配合附图作详细说明如下。

如图1至图5所示，为本实用新型提供的一种框架式双轴机械手，包括长方体框架结构的机架护栏1、水平移动机构12、竖直移动机构13、工装夹具10、小车导向机构8、限位机构9、电气控制柜、物料到位感应机构11和有料检测机构7。

所述机架护栏1上安装有电气控制柜，用于控制各个机构的电气，所述机架护栏1水平设有水平移动机构12；所述水平移动机构12包括横梁14，横梁14 上水平分布有线性滑轨一5和齿条一4，横梁14的两端安装有防撞限位装置；水平移动机构12的齿条一4上通过带有齿轮的移动滑座3安装有竖直移动机构13，移动滑座3下安装有水平伺服电机，用于驱动竖直移动机构13通过移动滑座3在水平移动机构12移动，所述竖直移动机构13包括竖梁16，所述竖梁16 上设有竖直的线性导轨二和齿条二，上下移动的机械臂15通过齿轮设置在齿条二上，在竖梁16上还设有平衡气缸2，所述机械臂15与平衡气缸2相连，可抓取更重的物体；所述竖直移动机构13下设有工装夹具10，工装夹具10的两侧安装有一对有料传感器17和一对压料传感器18，该有料传感器17用来检测是否有料，压料传感器18用来防止压料或碰撞。在感应到抓取过程中出现错误，此时物料传感器和防撞传感器会发送信号给电气控制柜内的控制系统，控制系统停止各机构的运作，并通过机架护栏1上的信号灯发出警报。

工装夹具10通过垂直安装板与机械臂15和平衡气缸2连接；所述工装夹具 10的下方设有小车导向机构8，该小车导向机构8上设有小车限位机构9，所述小车限位机构9上设有限位气缸，通过旋转小车限位机构9上的限位气缸可以将物料小车锁死在小车导向机构8上。

进一步，该小车导向机构8的上方设有物料到位感应机构11，物料到位感应机构11安装在机架护栏1上，可以检测物料小车的物料到位情况。

进一步，机架护栏1上设有悬臂柜6，与电气控制柜相连，用于显示、调试、设置参数。

操作时，物料经小车导向机构8送入机架护栏1下方，工装夹具10上的有料传感器17检测到物料小车到位信号，发送给限位机构9开始运作，通过限位气缸将物料小车锁死；物料到位感应装置11检测到物料到位，水平移动机12构和竖直移动机构13开始动作，将物料抓取后移动到脱胶机槽体内；工装夹具10 上的有料传感器17能检测是否有料，工装夹具10上的压料传感器18可以用来防止压料或碰撞；当抓过程出现错误时，此时有料传感器17和压料传感器18会发送信号给电气控制柜，柜内的控制系统停止各机构的运作，并通过机架护栏1 上的信号灯发出警报；当有料检测7感应到脱胶机槽体内该位置无物料时，水平移动机构和竖直移动机构再次动作，将物料放置到该位置。

本实用新型采用两个独立的驱动装置，即水平移动机构12和竖直移动机构13，实现对物料的水平、上下运动；所述竖直移动机构13采用了平衡气缸，可抓取相对更重的物体；整个物料的搬运过程所占时间大大减少，并减少人力消耗，从而提高整个工作效率。