一种应用于传样系统的样品停放台抓取结构的制作方法

本实用新型涉及一种应用于传样系统的样品停放台抓取结构，属于真空内快速抓取装置技术领域，可用于超高真空，表面科学，航天航空研究，半导体等领域

背景技术：

超高真空传样系统主要是将不同的超高真空系统互联起来，使样品在超高真空的环境下传递到不同的生长系统或者分析系统中，是现在大型仪器中常用的样品转运方式。

但是在现有的设计当中，目前公开的抓取方式如cn107973073a，是通过停放台放置于台子上使用侧边弹簧丝压紧。弹簧丝形变较大，使用弹簧丝压紧的力度较难控制。同时没有径向的限制。不容易对准位置。翻转角度后，在重力作用下，会有径向运动的可能性，导致偏离中心，影响使用效果。

技术实现要素：

本实用新型的目的是：解决现有技术当中停放台采用了弹簧丝压紧而导致的力度难以控制、抓取和放置过程当中不易对准，以及翻转角度后，在重力作用下，径向运动的可能性，导致偏离中心的问题。本实用新型的抓取头结构当中，抓取模块和停放模块都装配有弹簧，对位采用轴与孔的配合，轴与孔的配合也能限制径向运动。

技术方案如下：

一种应用于超高真空传样系统的样品停放台抓取结构，包括：抓取模块、停放模块、和停放台；在停放台的周边设有限位杆；

抓取模块包括：抓取座，抓取座下方设置抓取轴，抓取轴外部套接抓取弹簧，抓取弹簧的下部设有抓取帽；抓取座的侧方设置有向下伸出的能卡设所述停放台的限位杆的抓取薄片；

停放模块包括：停放座，停放座的周边设有向上伸出的能支撑所述停放台的停放薄片，所述停放薄片用于卡设所述限位杆；停放座的中心位置设置有向下伸出的孔道，孔内停放帽和停放弹簧放置于停放座的孔道内，停放帽设置于停放弹簧的上部。

在一个实施方式中，所述抓取薄片上设有卡槽，所述限位杆能够卡设于所述卡槽内。

在一个实施方式中，停放盖设置于停放座的孔道的下方，用于限制停放帽和停放弹簧运动。

在一个实施方式中，停放台的中部还设有停放台中心孔，停放台中心孔与抓取轴的位置相配合。

在一个实施方式中，抓取帽上设有抓取轴凸台，用于卡接于停放台中心孔上。

在一个实施方式中，停放台上设有弹簧片，用于夹持样品。

在一个实施方式中，抓取座以抓取轴为中心旋转。

在一个实施方式中，停放台的中心下方还设置有停放台凸台，停放台凸台的位置和停放座中心孔相配合。

有益效果

1.样品停放台在和抓取模块上和停放模块上，轴与孔的配合，均可以保证径向位置准确，不会侧向偏移。2.样品停放台在和抓取模块上和停放模块上，由于压簧的作用力，任何位置翻转都不会使停放台脱落。

附图说明

图1是本实用新型提供的抓取头结构的剖面示意图；

图2是本实用新型提供的抓取头结构的剖面示意图；

图3是本实用新型提供的抓取头安装时的结构示意图；

图4是本实用新型提供的抓取头安装完毕时的结构示意图；

图5是停放台的结构示意图；

图6是抓取模块的结构示意图；

图7是停放座的结构示意图；

1、抓取轴；2、抓取弹簧；3、抓取座；4、抓取薄片；5、抓取帽；6、停放薄片；7、停放座；8、停放帽；9、停放弹簧；10、停放盖；11、停放台；12、弹簧片；13、限位杆；14、停放座中心孔；15、停放台中心孔；16、停放台凸台；17、抓取轴凸台；18、第一限位勾；19、第二限位勾；20、卡槽。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，在权利要求和说明书中使用的序数词例如“第一”、“第二”、“第三”等，用于修饰权利要求项而不是由于本身含有任何优先、在先或一项权利要求的顺序在另一权利要求之前或者执行方法步骤的时间顺序。但是，仅仅作为标签使用以区别例如带有特定名称的权利要求的元素与另外一个带有相同名称的元素（而不是用于顺序性的属于），来区分权利要求的元素。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

应理解的是，当一个元件被提及与另一个元件“连接”时，它可以与其他元件直接相连或者与其他元件间接相连，而它们之间插入有元件。除非有明确相反的说明，否则术语“包括”和“具有”应理解为表述包含所列出的元件，而非排除任意其他元件。

本文使用的词语“包括”、“包含”、“具有”或其任何其他变体意欲涵盖非排它性的包括。例如，包括列出要素的工艺、方法、物品或设备不必受限于那些要素，而是可以包括其他没有明确列出或属于这种工艺、方法、物品或设备固有的要素。

如图1和图2所示，本实用新型提供的抓取结构包含三部分：抓取模块，停放模块，和停放台11。抓取模块和停放模块与传递装置相连接，通过传递装置，实现大气下的运动带动抓取模块和停放模块在真空内的运动，从而实现停放台在真空内的转移。在真空环境下，可以有效避免大气的成分会对停放台产生污染。抓取用于在实现停放台11的安装和转移，其中，超高真空指的是压强为10^-8mbar～10^-12mbar(毫巴)的空间，也可以应用于普通大气压下，或者是应用于较低的真空条件下（1.333×10^-1～1.333×10^-6pa）。

抓取装置包含抓取座3、抓取薄片4、抓取弹簧2、抓取轴1、抓取帽5。抓取薄片4，固定在抓取座3的侧面上，并且向下伸出，抓取轴1安装在抓取座3中心位置的底部，抓取弹簧2套接于抓取轴1外部，抓取弹簧2底部设置有抓取帽5，并且抓取弹簧2把抓取帽5推在底侧，抓取帽可在抓取轴1上沿轴向运动；停放装置包含停放薄片6、停放座7、停放帽8、停放弹簧9、停放盖子10。停放薄片6固定在停放座7上的侧面，并且向上突出，停放座7的中心位置设置有向下伸出的孔道，孔内停放帽（8）和停放弹簧（9）放置于停放座（7）的孔道内，停放帽（8）设置于停放弹簧（9）的上部，当停放台（11）有力作用时，停放帽（8）和停放弹簧（9）可以在孔内上下运动。停放弹簧9把停放帽8推在上侧，停放帽9可在停放座7上，上下运动，底侧用停放盖子10封住。

停放台11在抓取模块上的位置关系：抓取轴1与抓取座3的孔配合通过销固定一起。抓取帽5安放于抓取轴1上。能沿抓取轴轴向运动。抓取轴1底端设有抓取轴凸台17限制抓取帽掉落。抓取弹簧2安放于抓取轴1上，一端作用在抓取座3下端，另一端作用在抓取帽5上，给抓取帽5施加弹簧压力。停放台11的限位杆相间的3根，固定安放于停放台11侧面。抓取轴凸台17与停放台中心孔15配合。抓取帽5贴合在停放台11，在抓取弹簧2的弹簧压力作用下，停放台11固定在抓取模块上。

停放座（7）的孔道的下方安装有停放台11，停放台11在停放模块上的位置关系：停放座7中设有停放座中心孔14。停放座上还设有停放帽（8）、停放弹簧（9）。停放帽（8）和停放弹簧（9）放置于停放座（7）的孔道内部。停放帽（8）和停放弹簧（9）可以在孔内上下运动。停放盖10安装于停放台11底部，限制停放帽8和停放弹簧9运动，同时反向作用停放台11。停放弹簧9，一端作用在停放帽8下端，另一端作用在停放盖10上，给停放帽8施加弹簧压力。停放台11的限位杆相间的3根，安放在停放薄片的槽里。停放台11下方设置有停放台凸台16，停放台凸台16与停放座中心孔14配合。停放帽8贴合在停放台凸台16上，在停放弹簧9的弹簧压力作用下，停放台11固定在停放模块上，停放台凸台16的位置和停放座中心孔14相配合，停放台11的中心设有停放台中心孔15.其作用是与抓取轴的凸台17配合。

停放座7的中心设有停放座中心孔15.其作用与停放台11的停放台凸台16配合，从而实现停放台11在停放模块上的定位，同时也可以使停放台11保证径向位置准确，不会侧向偏移。停放台11的中心设有停放台中心孔15.其作用是与抓取轴的凸台17配合。从而实现停放台11在抓取模块上的定位，同时也可以使停放台11保证径向位置准确，不会侧向偏移。

限位杆13与停放台11是一体的。限位杆位于停放台侧面径向对齐停放台中心，6个成均等分布。

抓取座3的三个均等分布的角部分别具有弧形外壁，弧形外壁设有能放置停放台11的抓取薄片4，所述抓取薄片4设有卡限位杆13的凹槽。抓取薄片4其自抓取座3的弧形外壁竖直向下延伸设置。所述抓取薄片4上设有卡槽20，所述限位杆13能卡设于所述卡槽20内，卡槽20大体为开设于抓取薄片4的下端的具有一定长度的凹槽20，其凹槽的一端设有其开口，卡槽20的开口的宽度大于限位杆13的直径，以利于限位杆13经开口进入卡槽内；卡槽20一侧还设有第一限位勾18，用于阻止限位杆13向上弹出。

停放座7的三个均等分布的角部分别具有弧形外壁，弧形外壁设有能支撑停放台11的停放薄片6，所述停放薄片6设有卡限位杆13的凹槽。停放座7的中心设有停放座中心孔14。停放薄片6其自停放座7的弧形外壁竖直向上延伸设置。停放薄片6上的凹槽结构与抓取薄片4凹槽结构相同，都是用于卡接并固定限位杆13，停放薄片6的卡槽的一侧设有第二限位勾19，用于防止限位杆13向下弹出。

抓取装置把停放台往停放装置传样过程：

以下结构中，抓取座3受到外力的驱动，可以发生以抓取轴1为轴心旋转。

如图3和图4所示，停放台11在抓取座上，整体往停放装置上运动。停放台凸台16会对准停放座中心孔14，完成径向方向的定位。当停放台11进入停放薄片6的槽后，由于抓取弹簧2的弹簧力量小于停放弹簧9的弹簧力量，向下运动使限位杆抵到抓取薄片4的槽上侧。再向下和旋转的运动，使停放台11沿槽运动，同时停放台凸台16，碰到停放帽8，带动停放帽8上下运动。在停放装置的停放弹簧9弹簧力作用下，固定在停放薄片6槽里。动作抓取装置，使抓取薄片4从限位杆上离开。完成传样。在此过程中，停放座7的中心设有停放座中心孔15.其作用与停放台11的凸台16配合，从而实现停放台11在停放模块上的定位，同时也可以使停放台11保证径向位置准确，不会侧向偏移。停放台11的中心设有停放台中心孔15.其作用是与抓取轴的凸台17配合。从而实现停放台11在抓取模块上的定位，同时也可以使停放台11保证径向位置准确，不会侧向偏移；停放台11在和抓取模块上和停放模块上，由于抓取弹簧2和停放弹簧9的弹簧作用力下，克服其他外力作用，任何位置翻转都不会使停放台脱落。

抓取装置把停放台从停放装置取走过程：

停放台11在停放模块上抓取模块整体往停放台11上运动。抓取轴1的凸起部分会对准停放台中心孔15，完成径向方向的定位。在向下和旋转的运动下，使停放台11的侧面柱子进入抓取薄片4的槽里。由于抓取弹簧2的力量小于停放弹簧9的力量，向下运动使限位杆11抵到抓取薄片4的上侧。再抓取模块向下和旋转的运动，使停放台11沿槽运动，使限位杆从停放薄片6的槽里离开。在抓取弹簧2弹簧力作用下，停放台11在弹簧力作用下，固定在抓取薄片4上。完成把停放台11取走。