1.一种基板搬运机器人，其特征在于，具备：
基台；
手，具有载置基板的基板载置部；
多关节构造的机器人臂，其基端部与所述基台连结，前端部与所述手连结，并且包括多个关节，
机器人臂驱动机构，包括驱动源、和将所述驱动源的驱动力传递至所述机器人臂的所述关节来使该关节位移的驱动力传递部；以及
机器人控制部，控制所述驱动源的动作以使所述手在目标位置采取目标姿势，
所述机器人控制部使所述手从所述手拾起所述基板的位置亦即第1目标位置的下方的第1下方位置上升到所述第1目标位置的上方的第1上方位置，并且在从所述第1下方位置到该第1下方位置与所述第1目标位置之间的第1中间位置的第1区间，使多个所述关节中的至少1个所述关节单向地位移。
2.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其特征在于，
所述机器人控制部在所述第1区间使各所述关节单向地位移。
3.根据权利要求1或2所述的基板搬运机器人，其特征在于，
所述基板搬运机器人将保持于定位器的所述基板移送至工作台，
所述第1目标位置是将保持于所述定位器的所述基板拾起的位置。
4.根据权利要求1或2所述的基板搬运机器人，其特征在于，
所述驱动力传递部包括将所述驱动力传递至所述关节的齿轮、齿形带以及链中的至少任一个。
5.一种基板搬运机器人，其特征在于，具备：
基台；
手，具有载置基板的基板载置部；
多关节构造的机器人臂，其基端部与所述基台连结，前端部与所述手连结，并且包括多个关节；
机器人臂驱动机构，包括驱动源、和将所述驱动源的驱动力传递至所述机器人臂的所述关节来使该关节位移的驱动力传递部；以及
机器人控制部，控制所述驱动源的动作以使所述手在目标位置采取目标姿势，
所述机器人控制部使所述手从所述手将所述基板放置于工作台的位置亦即第2目标位置的上方的第2上方位置下降到所述第2目标位置的下方的第2下方位置，并且在从所述第2上方位置到该第2上方位置与所述第2目标位置之间的第2中间位置的第2区间，使多个所述关节中的至少1个所述关节单向地位移。
6.根据权利要求5所述的基板搬运机器人，其特征在于，
所述机器人控制部在所述第2区间使各所述关节单向地位移。
7.根据权利要求5或6所述的基板搬运机器人，其特征在于，
所述驱动力传递部包括将所述驱动力传递至所述关节的齿轮、齿形带以及链中的至少任一个。
8.一种基板搬运方法，是基板搬运机器人的基板搬运方法，该基板搬运机器人具备：
基台；
手，具有载置基板的基板载置部；
多关节构造的机器人臂，其基端部与所述基台连结，前端部与所述手连结，并且包括多个关节；以及
机器人臂驱动机构，包括驱动源、和将所述驱动源的驱动力传递至所述机器人臂的各所述关节来使该关节位移的驱动力传递部，
所述基板搬运方法的特征在于，
使所述手位于所述手拾起所述基板的位置亦即第1目标位置的下方的第1下方位置，
使所述手朝向所述第1目标位置的上方的第1上方位置上升，并且在从所述第1下方位置到该第1下方位置与所述第1目标位置之间的第1中间位置的第1区间，使多个所述关节中的至少1个所述关节单向地位移。