1.本实用新型涉及精密微调位移台技术领域，特别涉及一种精密微调气浮装置。
背景技术：
2.精密微调位移台具有精度高、稳定性好等优点，在精密量仪领域的应用日趋成熟，现已被广泛应用于高精密制造领域。
3.但是，随着科学技术水平的不断发展，现阶段对精密微调位移台的技术指标有了更高的要求。现有精密微调位移台多采用金属材质，热膨胀系数高，而且在目前的使用过程中对精密微调位移台的精度和稳定性要求更甚，因此现有的精密微调位移台的微调精度和稳定性已经难以满足使用需求。
4.因此，鉴于上述方案于实际制作及实施使用上的缺失之处，而加以修正、改良，同时本着求好的精神及理念，并由专业的知识、经验的辅助，以及在多方巧思、试验后，方创设出本实用新型，特再提供一种精密微调气浮装置，用于解决精密微调位移台的微调精度和稳定性不能满足使用需求的问题。
技术实现要素：
5.本实用新型的目的在于提供一种精密微调气浮装置，用于解决现有技术中存在精密微调位移台的微调精度和稳定性不能满足使用需求的问题。
6.本实用新型的技术方案是这样实现的：一种精密微调气浮装置，包括底座，所述底座上设置有导轨，所述导轨上设置有微调气浮滑台和锁紧气浮滑台，所述微调气浮滑台、锁紧气浮滑台各与所述导轨滑动连接，所述导轨上设置有光栅尺，所述锁紧气浮滑台上设置有微调机构，所述微调机构包括气源开关、梯形丝杠组件和蜗轮蜗杆组件，所述锁紧气浮滑台包括台面与用于支撑台面的两个台撑，两个所述台撑内侧设置有均压槽与正气孔，所述微调气浮滑台包括主滑块和侧滑块，所述主滑块和侧滑块相连接，所述侧滑块上设置有均压槽与正气孔。
7.作为一种优选的实施方式，所述底座为花岗石底座，所述导轨为花岗石导轨，所述微调气浮滑台为花岗石微调气浮滑台。
8.作为一种优选的实施方式，所述底座呈“l”状，所述导轨设置在所述“l”状底座的底部平台上，所述导轨上端设置有凹槽，所述光栅尺设置在导轨的凹槽内。
9.作为一种优选的实施方式，所述微调气浮滑台下侧的中部位置设置有空腔，所述锁紧气浮滑台位于所述微调气浮滑台中部位置的空腔内。
10.作为一种优选的实施方式，所述侧滑块设置有四块，四块侧滑块分布在主滑块底侧的四个角上。
11.作为一种优选的实施方式，所述正气孔设置在各所述侧滑块的内侧，所述均压槽设置在所述正气孔四周，所述均压槽呈“十”字状。
12.作为一种优选的实施方式，所述梯形丝杠组件包括弹性片、连接座、梯形丝杠和梯
形螺母，所述蜗轮蜗杆组件包括蜗杆座台、蜗轮、蜗杆和铝合金手轮，所述蜗杆座台设置在所述锁紧气浮滑台上，所述蜗杆座台上转动连接有蜗杆，所述铝合金手轮设置在蜗杆端头，所述蜗轮设置在梯形丝杠上，所述微调气浮滑台利用弹性片、连接座固定连接有螺母座，所述梯形螺母设置在所述螺母座上，蜗轮与蜗杆相啮合，所述气源开关与所述微调机构电连接。
13.本实用新型的有益效果是：
14.精密微调装置采用花岗石材料为主体，以光栅单元实现微调数值反馈，微位移分辨率可达0.1μm，相比于传统位移台，具有更高的精度及稳定性。
15.1.本实用新型采用花岗石气浮滑台作为主体，保证装置的超低摩擦、高稳定性；
16.2.本实用新型通过蜗轮蜗杆传动具备较大传动比，实现高精度微调，同时具备自锁功能；
17.3.本实用新型梯形丝杠上端装有弹性片，消除了断气后气膜厚度变化对装置精度的影响。
附图说明
18.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为本实用新型实施方式的结构示意图；
20.图2为本实用新型微调气浮滑台的结构示意图；
21.图3为本实用新型微调机构的结构示意图。
22.图中，1-梯形丝杠组件；2-气源开关；3-蜗轮蜗杆组件；4-锁紧气浮滑台；5-底座；6-微调气浮滑台；7-光栅尺；8-导轨；9-主滑块；10-侧滑块；11-正气孔；12-均压槽；13-梯形螺母；14-蜗轮；15-梯形丝杠；16-蜗杆；17-铝合金手轮；18-弹性片；19-连接座；20-蜗杆座台。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
24.需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
25.另外，在本实用新型中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
26.在实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”等应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以
是电连接；可以是直接相连，也可以通过中介媒体相连，还可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
27.如图1～图3所示，一种精密微调气浮装置，包括底座5，底座5上设置有导轨8，导轨8上设置有微调气浮滑台6和锁紧气浮滑台4，微调气浮滑台6、锁紧气浮滑台4与导轨8滑动连接，导轨8上设置有光栅尺7，锁紧气浮滑台4上设置有微调机构，微调机构包括气源开关2、梯形丝杠15组件1和蜗轮蜗杆组件3，锁紧气浮滑台4包括台面与用于支撑台面的两个台撑，两个台撑内侧设置有均压槽12与正气孔11，微调气浮滑台6包括主滑块9和侧滑块10，主滑块9和侧滑块10相连接，侧滑块10上设置有均压槽12与正气孔11。
28.底座5为花岗石底座5，导轨8为花岗石导轨8，微调气浮滑台6为花岗石微调气浮滑台6。
29.底座5呈“l”状，导轨8设置在“l”状底座5的底部平台上，导轨8上端设置有凹槽，光栅尺7设置在导轨8的凹槽内。
30.微调气浮滑台6下侧的中部位置设置有空腔，锁紧气浮滑台4位于微调气浮滑台6中部位置的空腔内。
31.侧滑块10设置有四块，四块侧滑块10分布在主滑块9底侧的四个角上。
32.正气孔11设置在各侧滑块10的内侧，均压槽12设置在正气孔11四周，均压槽12呈“十”字状。
33.梯形丝杠15组件1包括弹性片18、连接座19、梯形丝杠15和梯形螺母13，蜗轮蜗杆组件3包括蜗杆座台20、蜗轮14、蜗杆16和铝合金手轮17，蜗杆座台20设置在锁紧气浮滑台4上，蜗杆座台20上转动连接有蜗杆16，铝合金手轮17设置在蜗杆16端头，蜗轮14设置在梯形丝杠15上，微调气浮滑台6利用弹性片18、连接座19固定连接有螺母座，梯形螺母13设置在螺母座上，蜗轮14与蜗杆16相啮合，气源开关2与微调机构电连接。
34.本实用新型具体是这样实现的：
35.精密微调气浮装置主要由微调气浮滑台6、锁紧气浮滑台4、蜗轮蜗杆组件3、梯形丝杠15组件1、光栅反馈系统(光栅尺7)、底座5等组成，微调气浮滑台6与锁紧气浮滑台4置于已经调整水平的导轨8上，导轨8内侧粘有光栅尺7，作为微调数值反馈的标准，锁紧气浮滑台4上装有蜗轮蜗杆组件3和梯形丝杠15组件1，梯形丝杠15组件1中的梯形螺母13通过弹性片18与连接座19固定在花岗石微调气浮滑台6上，可实现微调气浮滑台6沿x轴方向上的微位移。
36.整个装置中导轨8、底座5和微调滑台均选用花岗石材料，花岗石相对于传统金属材料，具有变形小、稳定性好，加工精度高，热膨胀系数小等优点。花岗石微调气浮滑台6由一块主滑块9、四块侧滑块10组成，每个气浮块工作面上都有正气孔11，正气孔11四周开有均压槽12，通入压缩空气后在工作面形成一定厚度的气膜，保证花岗石微调气浮滑台6可沿导轨8方向做几乎无摩擦的高精度直线位移。
37.锁紧气浮滑台4主气浮块带有负气孔与真空腔，真空腔一方面可以在通正气的时候收集正气孔11散射气体，避免气体扰动对装置精度的影响，另一方面可以在断掉正气时锁紧微调机构。蜗杆16通过支撑座固定在锁紧气浮滑台4上，蜗轮14安装在定制的梯形丝杠15上，当操作者旋转铝合金手轮17时，同轴蜗杆16进行转动，带动蜗轮14转动，螺母座通过弹性片18、连接座19与花岗石微调气浮滑台6固定，螺母座沿x轴方向做直线运动，从而带动
花岗石微调气浮滑台6沿x轴方向做直线运动。花岗石气浮滑台进行微调时，关闭锁紧气浮滑台4的正气气源开关2，负气仍在工作，将锁紧气浮滑台4固定在导轨8上，考虑滑台气膜厚度变化的影响，添加弹性片18可消除z轴方向位移对整个装置x方向微调精度的影响，此处x、y、z构成坐标系，x指的是左右方向，y指的是前后方向，z指的是上下方向，x、y、z三坐标轴互相垂直，类似墙角。
38.本实用新型的有益效果是：
39.精密微调装置采用花岗石材料为主体，以光栅单元实现微调数值反馈，微位移分辨率可达0.1μm，相比于传统位移台，具有更高的精度及稳定性。
40.1.本实用新型采用花岗石气浮滑台作为主体，保证装置的超低摩擦、高稳定性；
41.2.本实用新型通过蜗轮蜗杆传动具备较大传动比，实现高精度微调，同时具备自锁功能；
42.3.本实用新型梯形丝杠上端装有弹性片，消除了断气后气膜厚度变化对装置精度的影响。
43.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础；当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。