一种半导体制造用机械手臂的制作方法

1.本实用新型涉及机械手臂技术领域，特别是一种半导体制造用机械手臂。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，在半导体生产中往往会用到机械手臂。
3.但是现在的机械手臂的安装和拆卸工作都较为麻烦，当机械手臂损坏需要拆卸进行维修或更换时的操作较为麻烦，较为浪费时间，增大了操作人员的劳动强度，降低了安装和拆卸机械手臂的效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种半导体制造用机械手臂，有效解决了现有技术的不足。
5.本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：一种半导体制造用机械手臂，包括底座，所述底座的一侧固定连接有安装座，所述安装座的一侧开设有安装槽，所述安装槽的内壁开设有定位孔，所述定位孔的内壁插接有定位杆，所述定位杆的顶端固定连接有连接座，所述连接座的外表面开设有第一连接孔，所述连接座的一侧固定连接有安装板，所述安装板的一侧固定连接有机械手臂本体，所述底座的一侧固定连接有支撑板，所述支撑板的一侧通过轴承转动连接有丝杆，所述丝杆的一端固定连接有摇把，所述丝杆的外表面螺纹连接有移动架，所述移动架的一侧固定连接有第一连接杆。
6.可选的，所述移动架的一侧插接有第二连接杆，所述第二连接杆的顶端固定连接有拉环，所述第二连接杆的外表面固定连接有压板，所述压板的一侧固定连接有弹簧，所述安装板的一侧开设有第二连接孔，所述安装座的一侧开设有第三连接孔，所述第一连接杆的外表面开设有连接通孔。
7.可选的，所述底座的一侧开设有导向槽，所述移动架的一侧固定连接有导向滑块，所述导向滑块与导向槽滑动连接，所述导向滑块与导向槽的大小相适配，通过所述导向滑块与导向槽能够保证移动架不会随丝杆的转动而转动，使所述移动架只能够沿导向槽的方向做直线运动。
8.可选的，所述连接座与安装槽相卡接，所述连接座与安装槽的大小相适配。
9.可选的，所述移动架的形状为倒立的l形，所述第一连接杆与第一连接孔的大小相适配，从而能够使所述第一连接杆顺利的插进第一连接孔的内部，进而固定所述连接座。
10.可选的，所述第二连接杆的一部分位于弹簧的内部，所述弹簧远离压板的一侧与移动架固定连接。
11.可选的，所述第二连接孔与第二连接杆的位置相对应，所述第二连接孔、第三连接孔和连接通孔均与第二连接杆的大小相适配，从而能够使所述第二连接杆顺利的插进第二
连接孔、第三连接孔和连接通孔的内部。
12.本实用新型具有以下优点：
13.1、该半导体制造用机械手臂，在安装所述机械手臂本体时，使所述连接座卡进安装槽的内部并使定位杆插进定位孔的内部，从而能够快速的对连接座进行定位，此时所述第一连接孔与第一连接杆的位置相对应，然后转动所述摇把使丝杆旋转，进而能够使所述移动架带动第一连接杆向第一连接孔的位置移动，进而使所述第一连接杆插进第一连接孔的内部，在所述移动架移动的过程中向上拉动所述拉环，此时所述弹簧处于被压缩的状态，当所述第一连接杆插进第一连接孔的内部后，松开所述拉环，在所述弹簧的作用下使第二连接杆插入第二连接孔、第三连接孔和连接通孔的内部，进而完成安装所述机械手臂本体的工作，当需要拆卸所述机械本体时，向上拉动所述拉环使第二连接杆从第二连接孔、第三连接孔和连接通孔的内部移出，然后反转所述摇把使第一连接杆从第一连接孔的内部移出，然后将所述连接座从安装槽的内部移出即可，从而使得对所述机械手臂本体的安装和拆卸工作都较为简便，从而当机械手臂损坏需要拆卸进行维修或更换时的操作较为简便，极大的节约了安装和拆卸所述机械手臂本体所需要的时间，操作简便，减小了操作人员的劳动强度，达到了提高安装和拆卸所述机械手臂本体效率的效果。
14.2、该半导体制造用机械手臂，通过所述第一连接杆和第一连接孔能够固定安装座和连接座，通过所述第二连接杆、第二连接孔和第三连接孔能够固定安装板、安装座和连接座，通过所述第二连接杆和连接通孔能够固定第一连接杆，使所述第一连接杆的位置不易移动，通过所述压板和弹簧能够挤压安装板，从而使得所述连接座与安装座之间的连接较为牢固，保证了所述连接座和机械手臂本体在安装后的稳定性。
附图说明
15.图1为本实用新型的第一视角结构示意图；
16.图2为本实用新型的第二视角结构示意图；
17.图3为本实用新型的内部结构示意图；
18.图4为本实用新型未装配连接座的结构示意图；
19.图5为本实用新型连接座及其连接构件的结构示意图；
20.图6为本实用新型安装座及其连接构件的结构示意图；
21.图7为本实用新型第一连接杆的结构示意图。
22.图中：1-底座，2-安装座，3-安装槽，4-定位孔，5-定位杆，6-连接座，7-第一连接孔，8-安装板，9-机械手臂本体，10-支撑板，11-丝杆，12-摇把，13-移动架，14-第一连接杆，15-第二连接杆，16-拉环，17-压板，18-弹簧，19-第二连接孔，20-第三连接孔，21-连接通孔，22-导向槽，23-导向滑块。
具体实施方式
23.下面结合附图对本实用新型做进一步的描述，但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。
24.实施例1：
25.如图1-7所示，一种半导体制造用机械手臂，它包括底座1，底座1的一侧固定连接
有安装座2，安装座2的一侧开设有安装槽3，安装槽3的内壁开设有定位孔4，定位孔4的内壁插接有定位杆5，定位杆5的顶端固定连接有连接座6，连接座6的外表面开设有第一连接孔7，连接座6的一侧固定连接有安装板8，安装板8的一侧固定连接有机械手臂本体9，底座1的一侧固定连接有支撑板10，支撑板10的一侧通过轴承转动连接有丝杆11，丝杆11的一端固定连接有摇把12，丝杆11的外表面螺纹连接有移动架13，移动架13的一侧固定连接有第一连接杆14。
26.作为本实用新型的一种可选技术方案：移动架13的一侧插接有第二连接杆15，第二连接杆15的顶端固定连接有拉环16，第二连接杆15的外表面固定连接有压板17，压板17的一侧固定连接有弹簧18，安装板8的一侧开设有第二连接孔19，安装座2的一侧开设有第三连接孔20，第一连接杆14的外表面开设有连接通孔21。
27.作为本实用新型的一种可选技术方案：底座1的一侧开设有导向槽22，移动架13的一侧固定连接有导向滑块23，导向滑块23与导向槽22滑动连接，导向滑块23与导向槽22的大小相适配，通过导向滑块23与导向槽22能够保证移动架13不会随丝杆11的转动而转动，使移动架13只能够沿导向槽22的方向做直线运动。
28.作为本实用新型的一种可选技术方案：连接座6与安装槽3相卡接，连接座6与安装槽3的大小相适配。
29.作为本实用新型的一种可选技术方案：移动架13的形状为倒立的l形，第一连接杆14与第一连接孔7的大小相适配，从而能够使第一连接杆14顺利的插进第一连接孔7的内部，进而固定连接座6。
30.作为本实用新型的一种可选技术方案：第二连接杆15的一部分位于弹簧18的内部，弹簧18远离压板17的一侧与移动架13固定连接。
31.作为本实用新型的一种可选技术方案：第二连接孔19与第二连接杆15的位置相对应，第二连接孔19、第三连接孔20和连接通孔21均与第二连接杆15的大小相适配，从而能够使第二连接杆15顺利的插进第二连接孔19、第三连接孔20和连接通孔21的内部。
32.实施例2：
33.本实施例在上述技术方案的基础上将摇把12改为减速电机，即丝杆11的一端固定连接有减速电机，减速电机固定安装在支撑板10的一侧，通过减速电机的启动来使丝杆11旋转，从而避免了操作人员手动转动摇把12的情况，减小了操作人员的劳动强度。
34.本实用新型的工作过程如下：
35.在安装机械手臂本体9时，使连接座6卡进安装槽3的内部并使定位杆5插进定位孔4的内部，从而能够快速的对连接座6进行定位，此时第一连接孔7与第一连接杆14的位置相对应，然后转动摇把12使丝杆11旋转，进而能够使移动架13带动第一连接杆14向第一连接孔7的位置移动，进而使第一连接杆14插进第一连接孔7的内部，在移动架13移动的过程中向上拉动拉环16，此时弹簧18处于被压缩的状态，当第一连接杆14插进第一连接孔7的内部后，松开拉环16，在弹簧18的作用下使第二连接杆15插入第二连接孔19、第三连接孔20和连接通孔21的内部，进而完成安装机械手臂本体9的工作，当需要拆卸机械本体9时，向上拉动拉环16使第二连接杆15从第二连接孔19、第三连接孔20和连接通孔21的内部移出，然后反转摇把12使第一连接杆14从第一连接孔7的内部移出，然后将连接座6从安装槽3的内部移出即可。
36.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。