磁控管铝环辅助安装工具的制作方法

本技术涉及集成电路制造，尤其涉及一种磁控管铝环辅助安装工具。

背景技术：

1、在现代半导体生产过程中，会大量使用光刻胶来将电路板图通过掩模版和光刻胶进行感光与显影，转移到晶圆的光刻胶上，从而在晶圆表面形成特定的光刻胶图形，然后在光刻胶的保护下，对下层薄膜或晶圆基底完成进行图形刻蚀或离子注入，最后再将原有的光刻胶彻底去除。去胶是光刻工艺中的最后一步。在刻蚀/离子注入等图形化工艺完成后，晶圆表面剩余光刻胶已完成图形转移和保护层的功能，通过去胶工艺进行完全清除。

2、去胶工艺通常在去胶机中进行，而去胶机进行机型大保养时会涉及到拆装磁控管上面的铝环，如图1，铝环1安装时需要沿磁控管2上的定位槽3平齐安装，传统的安装方法是靠人眼去安装，存在安装时间长、零件容易损坏以及铝环1安装倾斜有漏率的风险。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种磁控管铝环辅助安装工具，解决了人眼安装铝环存在的安装时间长、零件容易损坏以及安装倾斜有漏率等问题。

2、为达到上述目的，本实用新型提供一种磁控管铝环辅助安装工具，用于辅助铝环在磁控管上的安装，包括：

3、安装环，套设在所述磁控管外，所述安装环的安装台面与所述磁控管上的定位槽齐平，所述铝环套设在所述磁控管外且位于所述安装台面上；

4、至少两个旋转件，沿所述安装环的周向均匀的设置在所述安装台面上，所述旋转件位于所述铝环的外侧，且所述旋转件能够在所述安装台面上转动并将所述铝环向所述安装环的中心挤压。

5、可选的，所述旋转件为两个，两个所述旋转件的连线经过所述安装环的中心。

6、可选的，所述旋转件包括旋钮及挤压块，所述挤压块位于所述安装台面上且固定在所述旋钮上，所述安装台面上设置有一螺纹孔，所述旋钮的一端贯穿所述挤压块后旋入所述螺纹孔内。

7、可选的，所述挤压块用于接触所述铝环的一端呈圆弧形。

8、可选的，所述旋钮与所述挤压块的材质均为铁。

9、可选的，所述旋钮为六角螺丝。

10、可选的，所述安装环沿径向分为第一圆环和第二圆环，所述第一圆环与所述第二圆环同心设置，所述安装环的安装台面为所述第一圆环背离所述第二圆环的表面。

11、可选的，所述第一圆环的外径大于所述第二圆环的外径。

12、可选的，所述安装环的高度等于所述定位槽到所述磁控管的端部表面的高度。

13、可选的，所述安装环的材质为硬质塑料。

14、在本实用新型提供的磁控管铝环辅助安装工具中，需要在磁控管上安装铝环时，可将所述安装环套设在所述磁控管的一端，并使所述安装环的安装台面与所述磁控管上的定位槽齐平，然后将所述铝环从所述磁控管的另一端套设在所述磁控管外且置于所述安装台面上，此时所述安装台面可作为所述铝环的支撑面和安装基准面，然后驱使所述旋转件在所述安装台面上转动以将所述铝环向所述安装环的中心挤压，对所述铝环进行预定位，再利用螺丝刀等工具拧紧所述铝环上的固定螺丝，即可将所述铝环紧固在所述磁控管上。整个装置结构简单，操作方便，能够准确且快速的配合完成铝环的安装，且不容易对所述铝环造成损伤。

技术特征：

1.一种磁控管铝环辅助安装工具，用于辅助铝环在磁控管上的安装，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的磁控管铝环辅助安装工具，其特征在于，所述旋转件为两个，两个所述旋转件的连线经过所述安装环的中心。

3.根据权利要求1或2所述的磁控管铝环辅助安装工具，其特征在于，所述旋转件包括旋钮及挤压块，所述挤压块位于所述安装台面上且固定在所述旋钮上，所述安装台面上设置有一螺纹孔，所述旋钮的一端贯穿所述挤压块后旋入所述螺纹孔内。

4.根据权利要求3所述的磁控管铝环辅助安装工具，其特征在于，所述挤压块用于接触所述铝环的一端呈圆弧形。

5.根据权利要求3所述的磁控管铝环辅助安装工具，其特征在于，所述旋钮与所述挤压块的材质均为铁。

6.根据权利要求4所述的磁控管铝环辅助安装工具，其特征在于，所述旋钮为六角螺丝。

7.根据权利要求1所述的磁控管铝环辅助安装工具，其特征在于，所述安装环沿径向分为第一圆环和第二圆环，所述第一圆环与所述第二圆环同心设置，所述安装环的安装台面为所述第一圆环背离所述第二圆环的表面。

8.根据权利要求7所述的磁控管铝环辅助安装工具，其特征在于，所述第一圆环的外径大于所述第二圆环的外径。

9.根据权利要求1所述的磁控管铝环辅助安装工具，其特征在于，所述安装环的高度等于所述定位槽到所述磁控管的端部表面的高度。

10.根据权利要求1所述的磁控管铝环辅助安装工具，其特征在于，所述安装环的材质为硬质塑料。

技术总结
本技术提供了一种磁控管铝环辅助安装工具，用于辅助铝环在磁控管上的安装，包括：安装环，套设在所述磁控管外，所述安装环的安装台面与所述磁控管上的定位槽齐平，所述铝环套设在所述磁控管外且位于所述安装台面上；至少两个旋转件，沿所述安装环的周向均匀的设置在所述安装台面上，所述旋转件位于所述铝环的外侧，且所述旋转件能够在所述安装台面上转动并将所述铝环向所述安装环的中心挤压。所述安装台面可作为所述铝环的支撑面和安装基准面，通过驱使所述旋转件在所述安装台面上转动能够对所述铝环进行预定位，以配合螺丝刀等工具拧紧所述铝环上的固定螺丝。该辅助安装工具能够准确且快速的辅助完成铝环的安装，且不容易对铝环造成损伤。

技术研发人员：马小龙,张建龙
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：20221212
技术公布日：2024/1/12