晶圆机器人储位安装结构及晶圆搬运机器人的制作方法

本技术涉及晶圆搬运领域，尤其涉及一种晶圆机器人储位安装结构及晶圆搬运机器人。

背景技术：

1、在电子半导体领域，晶圆是集成电路制造的基本材料，所有集成电路的设计和制造，都是以晶圆为载体，因其外形为圆形，故称之为晶圆。晶圆厚度一般不足1毫米，重量轻，脆性大，表面洁净度要求高，所以晶圆通常储存在晶圆盒内，然后通过晶圆机器人将晶圆盒搬运到承载平台上，进行移动运输。然而在搬运不同尺寸的晶圆盒时，需要对晶圆搬运机器人上的承载平台进行频繁更换，然而现有的承载平台的安装和拆卸较为不便，给搬运不同的晶圆盒带来严重的阻碍。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请提供一种晶圆机器人储位安装结构及晶圆搬运机器人。

2、本申请提供的晶圆机器人储位安装结构包括：

3、底座；

4、中控台，与所述底座连接，并自所述底座的上表面连接处向上延伸；

5、接口组件，包括承载板和线路接口，所述承载板与所述中控台连接，所述线路接口安装于所述承载板；

6、承载平台，包括支撑机构、用电机构和连接机构，所述支撑机构与所述中控台可拆卸连接，并用于放置晶圆盒，所述用电机构安装于所述支撑机构，所述连接机构的一端与所述线路接口可拆卸插接，并在与所述线路接口插接时将电能从所述线路接口传输到所述用电机构。

7、本申请还提供一种晶圆搬运机器人，包括：自动导引车、托持装置、机械臂以及晶圆机器人储位安装结构；

8、所述晶圆机器人储位安装结构安装于所述自动导引车上，所述机械臂安装于所述中控台上，所述托持装置与所述机械臂连接，所述机械臂用于驱动所述托持装置托持所述晶圆盒并将所述晶圆盒转移至所述承载平台上或者将所述晶圆盒从所述承载平台上取下。

9、从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供的晶圆机器人储位安装结构，将接口组件和承载平台分别安装于中控台上，在拆卸承载平台时，只需将承载平台的连接机构从线路接口拔出，然后再将支撑机构从中控台上拆卸下来，更换安装能承载不同尺寸晶圆盒的承载平台，以使晶圆搬运机器人能搬运不同尺寸的晶圆盒。本申请提供的晶圆机器人储位安装结构，在承载平台的安装和拆卸过程中，无需对线路接口和承载板重复拆卸、安装，减少了操作步骤，使得更换不同尺寸的承载平台更加方便。

技术特征：

1.一种晶圆机器人储位安装结构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的晶圆机器人储位安装结构，其特征在于：所述中控台包括间隔设置的第一支撑柱和第二支撑柱，所述承载板设于所述第一支撑柱和所述第二支撑柱之间并与所述第一支撑柱和所述第二支撑柱连接，所述支撑机构包括支撑板和装配板，所述装配板和所述支撑板固定连接，所述装配板与所述第一支撑柱和所述第二支撑柱固定连接并与所述承载板抵接，所述支撑板用于承载所述晶圆盒；或者，

3.如权利要求2所述的晶圆机器人储位安装结构，其特征在于：所述承载板包括第一固定部、第二固定部和连接部，所述第一固定部固定于所述第一支撑柱，所述第二固定部固定于所述第二支撑柱，所述连接部连接于所述第一固定部和所述第二固定部之间；或者，

4.如权利要求3所述的晶圆机器人储位安装结构，其特征在于：所述连接部的至少部分紧贴于所述装配板，并且所述连接部的尺寸小于所述装配板的尺寸。

5.如权利要求3所述的晶圆机器人储位安装结构，其特征在于：所述连接部具有第一开口，所述线路接口装配于所述第一开口，所述装配板相应位置处具有第二开口，所述连接机构通过所述第二开口插接于所述线路接口；

6.如权利要求2所述的晶圆机器人储位安装结构，其特征在于：所述支撑机构还包括第一加强板，设于所述支撑板的底部，所述第一加强板与所述支撑板和所述装配板连接。

7.如权利要求6所述的晶圆机器人储位安装结构，其特征在于：所述支撑机构还包括第二加强板，所述第二加强板包括第一固定端和与所述第一固定端相连的第二固定端，所述第一固定端与所述第一加强板朝向所述用电机构的一侧连接，所述第二固定端与所述支撑板或所述装配板连接。

8.如权利要求7所述的晶圆机器人储位安装结构，其特征在于：所述装配板的两端还包括用于安装所述第一加强板和/或所述第二加强板的第一安装部和第二安装部，当所述装配板安装于所述中控台时，所述第一安装部位于从所述第一支撑柱远离所述第二支撑柱的一端，所述第二安装部位于所述第二支撑柱远离所述第一支撑柱的一端。

9.如权利要求8所述的晶圆机器人储位安装结构，其特征在于：所述装配板分别与所述第一支撑柱和所述第二支撑柱的连接处设有第一固定孔，所述装配板通过固定螺栓穿设于所述第一固定孔，以使所述装配板固定于所述第一支撑柱和所述第二支撑柱；和/或，

10.如权利要求9所述的晶圆机器人储位安装结构，其特征在于：所述第一固定孔的数量至少两个，所述第一固定孔沿竖直方向间隔设置，所述第二加强板设置在两个相邻的所述第一固定孔之间。

11.如权利要求10所述的晶圆机器人储位安装结构，其特征在于：所述支撑板靠近所述第一固定孔处设有避让缺口。

12.如权利要求1所述的晶圆机器人储位安装结构，其特征在于：所述中控台包括第一侧面和与第一侧面相对的第二侧面，所述中控台的第一侧面和第二侧面中的一者朝向另一者凹陷形成避让部，所述承载平台与所述中控台连接的一端至少部分嵌于所述避让部。

13.一种晶圆搬运机器人，其特征在于，包括：自动导引车、托持装置、机械臂以及如权利要求1至12任一项所述的晶圆机器人储位安装结构；

技术总结
本申请提供一种晶圆机器人储位安装结构及晶圆搬运机器人，晶圆机器人储位安装结构包括底座、中控台和承载平台。中控台与底座连接，接口组件包括承载板和线路接口，承载板与中控台连接，线路接口安装于承载板。承载平台包括支撑机构、用电机构和连接机构，支撑机构与中控台可拆卸连接，并用于放置晶圆盒，用电机构安装于支撑机构，连接机构的一端与线路接口可拆卸插接，并在与线路接口插接时将电能从线路接口传输到用电机构。本技术提供的晶圆机器人储位安装结构，将接口组件和承载平台分别安装于中控台上，在承载平台的安装和拆卸过程中，无需对线路接口和承载板重复拆卸、安装，减少了操作步骤，从而方便更换不同尺寸的承载平台。

技术研发人员：黎江华,赵万秋,杨敉琳,吴浩田,边旭
受保护的技术使用者：深圳优艾智合机器人科技有限公司
技术研发日：20230928
技术公布日：2024/5/19