本技术涉及芯片检测工装,特别涉及一种半导体晶片生产用夹紧定位工装。
背景技术:
1、半导体晶片又称半导体芯片,其是在半导体片材上进行浸蚀,布线,制成的能实现某种功能的半导体器件,为了满足量产上的需求,半导体的电性、尺寸规格必须是可预测并且稳定的,因此其品质必须严格要求,在对半导体晶片生产加工过程中,其质检是生产流程中必不可少的一道工序,质检时通常采用相对应的定位工装,对半导体晶片进行夹紧、定位质检工作,例如现有专利技术所示:经检索,中国专利网公开了一种芯片检测定位工装(公开公告号cn219016510u),通过设置的定位框、连接框、调节卡槽、芯片夹块、调节卡柱、贴合胶块,利用四个芯片夹块的移动,使四个贴合胶块贴合芯片四边进行夹紧固定,实现芯片的精准定位。
2、但是,针对上述公开专利以及现有市场所采取的定位工装,还存在一些不足之处:此类采用拉动四组支撑立杆带动四个芯片夹块移动,对半导体芯片进行对夹固定的方式,其启闭对夹操作较为繁琐,单人往往难以独立操作,对芯片对夹定位不便的同时,又极易增加人力成本。为此,本领域技术人员提供了一种半导体晶片生产用夹紧定位工装,以解决上述背景技术中提出的问题。
技术实现思路
1、本实用新型的主要目的在于提供一种半导体晶片生产用夹紧定位工装,可以有效解决背景技术中现有用于半导体晶片检测定位工装,其操作不便、人力成本较高的问题。
2、为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:一种半导体晶片生产用夹紧定位工装,包括旋转校位组件、对夹组件、夹具机构;
3、所述对夹组件安装于旋转校位组件的环架上方;
4、所述夹具机构的数量为两组,且两组夹具机构呈对称形式安装于对夹组件的导轨上方;
5、所述旋转校位组件包括旋转架,所述旋转架的上部板面开设有旋转轨道,且旋转架的环架内部转动连接传动蜗轮,所述传动蜗轮的一侧啮合连接有传动蜗杆;
6、所述对夹组件包括对夹架,所述对夹架的上部板面开设有对夹轨道,且对夹架的支架内部转动连接有传动丝杆,所述传动丝杆的轴杆端呈对称形式套设有贯穿对夹轨道且与两组夹具机构固定连接的两组传动滑台。
7、作为本实用新型再进一步的方案:所述传动丝杆的轴杆一端设置有第二调节手柄,且传动丝杆以中线为界,中线的两侧设置有正、反丝牙,所述传动丝杆通过正、反丝牙与两组传动滑台对称套接。
8、作为本实用新型再进一步的方案:所述夹具机构包括支撑台,所述支撑台的台架上方安装有对夹座,且支撑台的台架两端贯通卡合有与对夹座固定连接的压缩导杆,所述压缩导杆的臂杆外侧套设有正对于支撑台和对夹座之间的压缩弹簧,所述对夹座的中部开设有对夹腔。
9、作为本实用新型再进一步的方案:两组所述对夹座均采用天然橡胶材质构件,两组所述对夹腔构成方形腔室。
10、作为本实用新型再进一步的方案:所述对夹架的支架中部呈对称形式设置有两组安装座,所述传动蜗轮的齿盘内侧呈对称形式设置有两组固定座,所述安装座与固定座相互对齐,且安装座与固定座之间通过贯通旋转轨道的紧固螺栓拧接固定。
11、作为本实用新型再进一步的方案:所述传动蜗杆的轴杆一端设置有第一调节手柄。
12、与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:
13、1.本实用新型通过利用对夹组件推动两组夹具机构的对夹传动,利用两组夹具机构中方形结构对夹腔的对夹闭合,其一方面能够对不同大小的半导体晶片进行对夹固定工作,提高半导体晶片检测定位的适配性,继而提高夹紧定位工装的灵活使用性,另一方面具有简单便捷的操控使用性能,单人即可操控完成,操控简单、高效便捷。
14、2.本实用新型在利用两组夹具机构对待检测的半导体晶片进行对夹固定后,通过利用旋转校位组件的旋转驱动,能够对夹具机构内的半导体晶片进行灵活转向调节,以便于工作人员对半导体晶片进行各个方位的检测工作,无需频繁移动身位。
1.一种半导体晶片生产用夹紧定位工装,其特征在于,包括旋转校位组件、对夹组件、夹具机构(9);
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶片生产用夹紧定位工装,其特征在于,所述传动丝杆(13)的轴杆一端设置有第二调节手柄(7),且传动丝杆(13)以中线为界,中线的两侧设置有正、反丝牙,所述传动丝杆(13)通过正、反丝牙与两组传动滑台(14)对称套接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶片生产用夹紧定位工装,其特征在于,所述夹具机构(9)包括支撑台(91),所述支撑台(91)的台架上方安装有对夹座(92),且支撑台(91)的台架两端贯通卡合有与对夹座(92)固定连接的压缩导杆(94),所述压缩导杆(94)的臂杆外侧套设有正对于支撑台(91)和对夹座(92)之间的压缩弹簧(95),所述对夹座(92)的中部开设有对夹腔(93)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体晶片生产用夹紧定位工装,其特征在于,两组所述对夹座(92)均采用天然橡胶材质构件,两组所述对夹腔(93)构成方形腔室。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶片生产用夹紧定位工装,其特征在于,所述对夹架(6)的支架中部呈对称形式设置有两组安装座(4),所述传动蜗轮(11)的齿盘内侧呈对称形式设置有两组固定座(12),所述安装座(4)与固定座(12)相互对齐,且安装座(4)与固定座(12)之间通过贯通旋转轨道(2)的紧固螺栓(5)拧接固定。
6.根据权利要求1所述的一种半导体晶片生产用夹紧定位工装,其特征在于,所述传动蜗杆(10)的轴杆一端设置有第一调节手柄(3)。