歧管组件安装治具及安装方法与流程

本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种歧管组件安装治具及安装方法。

背景技术：

1、在半导体芯片制造的薄膜沉积等复杂工艺中，对于反应气源的供气和气态副产物的排气等工艺过程都有较高的工艺要求。歧管组件因其所具备的独特优势而被广泛地应用于薄膜沉积等半导体制造设备中。

2、目前，在该类半导体设备的组装及维护过程中，对于其中歧管组件的准确且高效的安装是确保设备工艺结果稳定正常及提升设备生产效率和产能的重要因素之一。

3、然而，由于复杂的半导体工艺往往会在半导体制造设备中引入结构复杂、形状各异的歧管组件，这使得歧管组件的安装变得更加困难，无法实现模块化安装且需要较多人员协助安装，不但费时费力，而且容易因安装不合格而出现返工。其主要原因有以下几点：

4、1、因为歧管都是配合设备的其余半导体组件的，其安装定位基准很多，主要包括中心距、平面接触对齐中的一种或多种的组合，这导致安装工序复杂而困难；

5、2、因距离不准而造成无法将歧管组件安装到其相应配合位置上；

6、3、因平面接触不合理而造成漏水或漏气；

7、4、因平面接触不合理而导致接触面间密封圈的压缩量以及填充率差异大，进而造成密封圈失效，导致工艺不稳定，影响产品的良率。

8、对于接触面较少的简单歧管单元，可以通过设置定位销钉来解决上述问题，但由于先进的半导体设备往往涉及复杂的歧管组件结构，无法对每个接触面均使用定位销钉。对于接触面较多的空间型歧管组件，若每个接触面均使用销钉定位，则导致整个尺寸链极为严格，增加不必要的加工难度。如不采用销钉定位，则需要工程师按顺序依次拼装，安装质量取决于工程师的经验，歧管组件质量很难控制。例如，在依次安装组件后发现无法形成闭环，即最后一个零件无法匹配相邻零件（紧固件孔位由于安装过程的累计误差导致不同心），导致需要重新调整之前已经安装好的零件，造成安装效率降低；或者，依次安装好后发现歧管组件相邻零部件间存在间隙，导致需要重新调整之前已经安装好的零件，造成安装效率降低。在设备安装和维护的过程中，上述复杂歧管的安装问题对于设备的正常维护和运行至关重要。

9、因此，有必要提出一种新的歧管组件安装治具及安装方法，解决上述问题。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种歧管组件安装治具及安装方法，用于解决现有技术中因歧管组件结构复杂而导致安装困难的问题。

2、为实现上述目的及其它相关目的，本发明提供了一种歧管组件安装治具，所述歧管组件包括多个沿水平方向延伸的水平组件以及多个沿垂直方向延伸的垂直组件，在歧管组件完成安装后，多个所述水平组件和多个所述垂直组件依次连接并形成闭环结构；所述歧管组件安装治具包括治具基板及定位基准板，所述治具基板在歧管组件的安装过程中放置于水平安装台上，用于通过治具基板上表面的水平定位面固定并定位多个水平组件和垂直组件在垂直方向上的位置关系；所述定位基准板固定于所述治具基板上，用于通过定位基准板所包含的侧向定位面定位多个水平组件和垂直组件在水平方向上的位置关系；所述侧向定位面与所述水平定位面具有非零度的夹角，并在安装过程中贴合并定位所述歧管组件的一侧表面。

3、在一可选方案中，所述歧管组件安装治具还包括用于搬运所述治具基板的治具把手，所述治具把手安装于所述治具基板的上表面。

4、在一可选方案中，所述歧管组件安装治具还包括设置于治具基板上，用于在安装过程中临时固定所述水平组件的肘夹和用于固定所述肘夹的肘夹支架。

5、在一可选方案中，所述歧管组件安装治具还包括用于定位所述水平组件在垂直方向上的位置关系的末端高度支撑板；所述末端高度支撑板设置于所述治具基板上，其具有高于所述水平定位面的高度定位面，所述高度定位面对垂直位置高于所述水平定位面的所述水平组件进行定位。

6、在一可选方案中，所述歧管组件安装治具还包括用于在安装过程中临时固定所述垂直组件的高度调节板和用于固定所述高度调节板的高度调节支架，所述高度调节板和高度调节支架设置于所述治具基板上。

7、在一可选方案中，通过调节螺钉调节所述高度调节板与所述高度调节支架的相对位置关系。

8、在一可选方案中，所述歧管组件安装治具还包括用于定位所述歧管组件在垂直方向上的位置关系的调整垫片。

9、本发明还提供一种歧管组件的安装方法，包括如下步骤：

10、提供上述方案中所述的歧管组件安装治具；

11、将歧管组件的多个所述水平组件和多个所述垂直组件依次安装于所述治具基板上，使用治具基板和末端高度支撑板固定并定位多个所述水平组件和多个所述垂直组件在垂直方向上的位置关系，并通过所述定位基准板定位多个所述水平组件和多个所述垂直组件在水平方向上的位置关系；在安装所述水平组件时，使用肘夹固定所述水平组件；在安装所述垂直组件时，使用高度调节板固定所述垂直组件；

12、在多个所述水平组件和多个所述垂直组件安装完成且两者的相对位置关系固定后，松开肘夹和高度调节板，使所述歧管组件与所述歧管安装治具分离。

13、在一可选方案中，所述歧管组件安装治具还包括用于定位所述歧管组件在垂直方向上的位置关系的调整垫片；在安装所述歧管组件时，部分歧管组件在垂直方向上通过所述调整垫片垫高以定位其与相邻的需要组装的其他歧管组件的位置关系。

14、在一可选方案中，在进行所述歧管组件的安装前，还包括先进行所述歧管组件安装治具的安装，包括如下步骤：

15、将装有末端高度支撑板和高度调节支架的所述治具基板放置于水平安装台上；

16、将所述定位基准板固定于所述治具基板上；

17、将肘夹支架固定于所述治具基板上，将肘夹安装于所述肘夹支架上。

18、如上所述，本发明提供的歧管组件安装治具及安装方法，通过引入固定并定位歧管组件的治具基板和定位基准板，使复杂的歧管组件在依次安装后形成闭环，可有效减少安装返工，提高安装质量和安装效率。

技术特征：

1.一种歧管组件安装治具，其特征在于，所述歧管组件包括多个沿水平方向延伸的水平组件以及多个沿垂直方向延伸的垂直组件，在歧管组件完成安装后，多个所述水平组件和多个所述垂直组件依次连接并形成闭环结构；所述歧管组件安装治具包括治具基板及定位基准板，所述治具基板在歧管组件的安装过程中放置于水平安装台上，用于通过治具基板上表面的水平定位面固定并定位多个水平组件和垂直组件在垂直方向上的位置关系；所述定位基准板固定于所述治具基板上，用于通过定位基准板所包含的侧向定位面定位多个水平组件和垂直组件在水平方向上的位置关系；所述侧向定位面与所述水平定位面具有非零度的夹角，并在安装过程中贴合并定位所述歧管组件的一侧表面。

2.根据权利要求1所述的歧管组件安装治具，其特征在于，所述歧管组件安装治具还包括用于搬运所述治具基板的治具把手，所述治具把手安装于所述治具基板的上表面。

3.根据权利要求1所述的歧管组件安装治具，其特征在于，所述歧管组件安装治具还包括设置于治具基板上，用于在安装过程中临时固定所述水平组件的肘夹和用于固定所述肘夹的肘夹支架。

4.根据权利要求1所述的歧管组件安装治具，其特征在于，所述歧管组件安装治具还包括用于定位所述水平组件在垂直方向上的位置关系的末端高度支撑板；所述末端高度支撑板设置于所述治具基板上，其具有高于所述水平定位面的高度定位面，所述高度定位面对垂直位置高于所述水平定位面的所述水平组件进行定位。

5.根据权利要求1所述的歧管组件安装治具，其特征在于，所述歧管组件安装治具还包括用于在安装过程中临时固定所述垂直组件的高度调节板和用于固定所述高度调节板的高度调节支架，所述高度调节板和高度调节支架设置于所述治具基板上。

6.根据权利要求5所述的歧管组件安装治具，其特征在于，通过调节螺钉调节所述高度调节板与所述高度调节支架的相对位置关系。

7.根据权利要求1所述的歧管组件安装治具，其特征在于，所述歧管组件安装治具还包括用于定位所述歧管组件在垂直方向上的位置关系的调整垫片。

8.一种歧管组件的安装方法，其特征在于，包括如下步骤：

9.根据权利要求8所述的歧管组件的安装方法，其特征在于，所述歧管组件安装治具还包括用于定位所述歧管组件在垂直方向上的位置关系的调整垫片；在安装所述歧管组件时，部分歧管组件在垂直方向上通过所述调整垫片垫高以定位其与相邻的需要组装的其他歧管组件的位置关系。

10.根据权利要求8所述的歧管组件的安装方法，其特征在于，在进行所述歧管组件的安装前，还包括先进行所述歧管组件安装治具的安装，包括如下步骤：

技术总结
本发明提供一种歧管组件安装治具及安装方法。歧管组件包括多个沿水平方向延伸的水平组件以及多个沿垂直方向延伸的垂直组件，在歧管组件完成安装后，多个水平组件和多个垂直组件依次连接并形成闭环结构；歧管组件安装治具包括治具基板及定位基准板，治具基板在歧管组件的安装过程中放置于水平安装台上，用于通过治具基板上表面的水平定位面固定并定位多个组件在垂直方向上的位置关系；定位基准板固定于治具基板上，用于通过定位基准板所包含的侧向定位面定位多个组件在水平方向上的位置关系；侧向定位面与水平定位面具有非零度的夹角，并在安装过程中贴合并定位歧管组件的一侧表面。本发明可有效减少安装返工，提高安装质量和安装效率。

技术研发人员：李洋,蔡军,陈金良
受保护的技术使用者：上海陛通半导体能源科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/29