一种石英管闭管支架的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种闭管扩散石英管封管夹具技术领域，尤其涉及石英管闭管支架。
【背景技术】
[0002]现有电子技术在硅片生产过程中，闭管扩散石英管封管时，由于石英管的宽窄、长度不同和石英管的使用次数的不同总是会给闭管灯工带来闭管操作上问题。本支架开发使用之前，一直是采用人工调节固定的方法，费工费力，工效很低，有一定安全隐患，石英管端部尖嘴经常定位不准确，导致残余气体泄漏，并且带来废弃硅片的产生。
[0003]现有技术对闭管扩散装置的改进主要是在装置的密封方面，例如CN200972331Y一种扩散炉的炉门密封装置，该实用新型涉及一种用在扩散炉闭管扩散工艺中的炉门密封装置，包括有石英炉门和SiC桨，所述密封装置包括有0型密封圈、固定管和波纹管，所述0型密封圈设置在石英炉门与工艺管之间；所述固定管紧密接触在SiC桨外，且在石英炉门上SiC桨穿孔处设有一内方外圆的突起法兰；所述波纹管设置在突起法兰和固定管之间。该实用新型在石英炉门与工艺管之间增设0型密封圈，将炉门与工艺管之间进行密封，同时在石英炉门与SiC桨接触处设有一内方外圆的突起法兰，不影响SiC桨的操作。
[0004]上述实用新型只解决了扩散炉在使用时的密封问题，但结构仍比较复杂，且需人工手动进行每一次操作，无法实现灵活调节和关键部位定位问题，工作效率和安全性仍然有待提尚。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的是提供一种石英管闭管支架，改变现有石英管闭管过程中人工夹持的现象，解决经常有石英管对嘴不准确情况的发生，实现灵活调节和关键部位定位问题，防止残余气体泄漏，提高工作效率和安全性，减少废气硅片的产生。
[0006]本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:
[0007]—种石英管闭管支架，其特征在于，包括夹具板、滑块、轨道板和支腿，所述夹具板上间隔设有两个或两个以上夹具，所述轨道板设于所述夹具板下方，所述滑块设于夹具板与轨道板之间，所述夹具板和轨道板通过滑块固定连接，所述支腿设于所述轨道板下方。
[0008]本实用新型结构简单，可灵活调节，因为闭管装置和闭管夹具位置是固定不变的，两者之间的距离也是一定的，如果待闭管石英管过短或过长的话，不进行位置的调整的话将给闭管带来困难，该实用新型多个夹具和滑块的设置，使支架可适应多种长短不一的石英管进行操作。
[0009]在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进:
[0010]进一步，所述夹具包括两个夹持板，所述两个夹持板之间设有弹簧和螺栓，所述弹簧套设在所述螺栓上，
[0011]采用本步的有益效果是，操作时因为待扩硅片的大小不同，所以需要更换不同半径的石英管，通过紧固螺栓调节两个夹持板之间的弹簧松紧程度，可灵活放置不同半径的石英管。
[0012]进一步，所述两个夹持板呈V字型，
[0013]采用本步的有益效果是方便石英管的拿取。
[0014]进一步，所述夹具板与所述轨道板之间设有定位装置。
[0015]进一步，所述定位装置为定位杆，所述定位杆穿过所述夹具板并与夹具板螺纹连接，
[0016]采用本步的有益效果是当夹具板通过滑块在轨道板上方左右移动后，确定了距离位置，可旋紧定位杆，使之定位，使整个支架在工作时更加稳定，避免摇晃带来石英管细嘴端的歪斜导致残余气体泄漏。
[0017]进一步，该石英管闭管支架包括滑行杆和底板，所述滑行杆设于所述支腿外侧，所述底板设于支腿下方，所述支腿一个底角通过螺丝与所述底板固定，所述底板上设有与滑行杆对应的调节槽，所述滑行杆上设有固定螺母。
[0018]进一步，所述调节槽为弧形，
[0019]采用本步的有益效果是在支腿所在的底板上开了一个弧形的槽，并设滑行杆，支腿另一个角上设有固定螺丝，这样使得管帽这一端可以有90°的旋转范围，在石英管在使用时第二次或者第三次位置不正确时可以调节使用。
[0020]进一步，所述轨道板与所述底板之间设有支撑杆，
[0021]采用本步的有益效果是当支腿外侧的滑行杆在弧形槽中旋转一定角度时，支撑杆也随之转动，定位后，支撑杆与支腿平行等高，达到两端平衡，避免操作工作时支架发生晃动。
[0022]本实用新型的有益效果是:
[0023]1.本实用新型对设计了两个或两个以上夹具组合，间隔均匀的设置在夹具板上，以及滑块在轨道板上的左右自由移动，使得本支架对石英管的长短不作局限，解决了闭管装置和闭管夹具位置以往固定不变的难题。
[0024]2.本实用新型结构简单，支撑杆和定位杆的设计使支架在灵活调节的同时，增加了稳定性。
[0025]3.本实用新型的两个夹持板为V字型，中间设有弹簧套设在螺栓上，操作时遇到大小半径不同的石英管只需调节弹簧的松紧程度，较为便捷，夹具设计成V字型开口，有利于石英管的换取。
[0026]4.本实用新型在支腿下方的底板上设有弧形调节槽，使支架在石英管一端可以有90°的旋转范围，这样石英管在使用时第二次或者第三次位置不正确时可以调节使用。
【附图说明】
[0027]图1为实用新型具体实施例所述的一种石英管闭管支架的结构示意图；
[0028]附图中，各标号所代表的部件列表如下:
[0029]1.夹具板，
[0030]2.夹具，
[0031]3.夹持板，
[0032]4.弹簧，
[0033]5.螺栓，
[0034]6.轨道板，
[0035]7.滑块，
[0036]8.定位杆，
[0037]9.支腿，
[0038]10.底板，
[0039]11.螺丝，
[0040]12.滑行杆，
[0041]13.调节槽，
[0042]14.支撑杆。
【具体实施方式】
[0043]以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
[0044]一种石英管闭管支架，其特征在于，包括夹具板、滑块、轨道板和支腿，所述夹具板上间隔设有两个或两个以上夹具，所述轨道板设于所述夹具板下方，所述滑块