专利名称：喷墨头及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一种将墨水喷射到记录介质上以进行记录的喷墨头，并且还涉及一种用于制造该喷墨头的方法。
背景技术：
在用在喷墨记录设备例如喷墨打印机中的一些喷墨头中，在具有形成在其中的墨水通道的通道组件的表面上布置有三个线性压力腔室，从而这三个线性压力腔室相对于与其线性方向垂直的方向彼此相邻，并且另外在其上形成有压力腔室的通道组件的表面上布置有跨过这三个压力腔室的压电促动器(参见美国专利No.5402159)。该压电促动器具有多个构成压电元件的压电片。由所有压力腔室共享的共同电极和与每个压力腔室一一对应的三个单独电极设置在多个压电片之间的不同高度处。该共同电极总是保持在接地电位，同时这些单独电极处于单独的电位控制之下。压电片在它们的厚度方向上被极化。夹在各个电极和共同电极之间的压电片部分用作活性部分。当将单独电极设置在与共同电极不同的电位处时，压电片的活性部分沿着其厚度方向膨胀或收缩。由此，位于活性部分下面的压力腔室体积出现变化，并且将压力施加在容纳在压力腔室中的墨水上，从而在通道组件中与压力腔室连通的喷嘴将墨水朝着记录介质喷射。
共同电极和单独电极都是通过以预定的图案将导电糊布置在压电片上或布置在要成为压电片的生片上然后进行烘焙以烧结这些导电糊来形成的。
这种结构可能出现这样一个问题，在与相应由多个相邻布置的压力腔室构成的压力腔室组中的相应压力腔室连通的喷嘴中，与相对于多个压力腔室的布置方向位于最外面的压力腔室连通的喷嘴和与位于内部的其它压力腔室连通的喷嘴彼此具有不同的喷墨特性。由于在喷墨特性上的变化导致了所打印的图像质量降低，所以在喷墨头中抑制喷墨特性方面的变化很重要。
发明内容
本发明的一个目的在于提供一种能够抑制喷墨特性变化的喷墨头，并且还提供一种用于制造该喷墨头的方法。
形成有与在促动器中的压力腔室相对应的单独电极的压电片的活性部分的可变形性在很大程度上影响了喷墨特性。因此，为了实现上述目的，需要使压电片的所有活性部分的可变形性均衡。本发明人已经认识到，在电极成形期间在烘焙过程之后在它返回至室温时，由金属制成的电极和压电片由于其热膨胀系数不同而显示出不同的收缩率，从而残余应力在布置有导电糊的压电片的部分处、即在形成与活性部分相对应的电极的位置处出现。残余应力在活性部分的可变形性上具有较大影响。本发明人还认识到，这些残余应力影响了活性部分的可变形性。本发明人也已经认识到，残余应力影响了它们的周围部件，并且已经涉及到在用于电极形成的燃烧过程中导电糊的布置图案的问题。
此处，为了具体的解释，将以上述具有平行布置的三个线性压力腔的结构作为示例。在三个单独电极构成的组中，相对于单独电极的布置方向位于最外侧的单独电极在其相对于布置方向的一侧上布置有另一个单独电极，而在其关于布置方向的另一侧上没有布置电极。也就是，由多个相邻设置的单独电极构成的组包括相对于该多个单独电极布置方向位于最外侧的一个电极，其它位于内侧。这两种单独电极彼此就其周围的其它单独电极的布置图案而言是不同的。这也适用于其中在压电片的表面上仅将与各压力腔对应的单独电极彼此相邻设置的所有结构。
当在各部分处设置导电糊并然后通过烘焙进行烧结以在压电片的表面上形成具有这种图案的单独电极时，根据要形成的电极是否位于该组中的最外侧或内侧，在要形成的每个电极周围的导电糊的布置图案是不同的。在每个电极周围产生的残余应力的影响也是不同的。这导致在压电片中用于形成电极的各位置处出现的残余应力是不同的。结果，压电片的活性部分具有不均匀的可变形性，由此导致从喷嘴中喷射墨水的特性的变化。
根据本发明的第一方面，提供一种喷墨头，它包括一通道单元，其中每个都与相应喷嘴连接的多个压力腔室沿着一平面彼此相邻地布置；以及一促动器单元，它固定在所述通道单元上，用来改变这些压力腔室的体积。该促动器单元包括一压电元件，它跨过多个压力腔室；多个单独电极，它们在与相应压力腔室对应的位置处烧结在压电元件的表面上；以及一个或多个烧结部件，它们在设有多个单独电极的压电元件表面上沿着从多个单独电极向外的方向与这些单独电极中相对于多个单独电极的布置方向位于最外面的一个单独电极间隔开。
在上述结构中，不仅仅是单独电极、而且连烧结部件也形成在压电元件的表面上。该烧结部件在沿着从该多个单独电极的向外方向与相对于多个单独电极的布置方向位于最外侧的一个单独电极相隔开的位置处形成。该烧结部件与单独电极不同，不与压力腔对应设置。为了在压电元件的表面上形成上述单独电极以及烧结的部件，在预定位置处设置导电糊，然后通过烘焙来烧结。当导电糊在烘焙过程之后返回到环境温度时，在压电元件的设置有导电糊的部分处，残余应力出现。但是在上述结构中，由于烧结部件的存在，导致在用于形成位于最外侧以与烧结部件相邻的单独电极的位置处与用于形成其它位于内侧的单独电极的其它位置处之间在压电元件中出现的残余应力方面差异变小。这是因为前述两种用于形成单独电极的位置周围的导电糊是基本按照同样的图案来设置的，由此使这两种位置周围的残余应力的影响均衡。因此在上述喷墨头中，压电元件的与用于形成单独电极的位置相对应的活性部分可以显示出一致的可变形性，由此抑制墨水喷射特性的变化。
根据本发明的第二方面，提供一种制造喷墨头的方法，包括如下步骤形成一通道单元，在该通道单元中每个都与相应喷嘴连接的多个压力腔室沿着一个平面彼此相邻设置；以及形成一促动器单元，该促动器单元用来改变压力室的体积，所述促动器单元形成步骤包括在压电元件的表面上的相应位置处设置导电糊，这些位置包括用于形成与相应压力腔室对应地设置的单独电极的多个位置，以及沿着从所述多个位置向外的方向、与用于形成单独电极的位置相对于所述多个用于形成单独电极的布置方向的最外面一个间隔开的一个或多个位置；并且烧结所述导电糊。用于制造喷墨头的方法还包括将所述促动器单元固定在通道单元上的步骤，从而压电元件跨过所述多个压力腔室，并且所述单独电极与相应压力腔室对应地设置，从而通过烧结步骤形成所述单独电极。
根据上述方法，在促动器单元形成步骤过程中设置导电糊的过程中，在压电元件的表面上，不仅是在用于形成单独电极的位置处，而且还在用于形成关于形成单独电极的多个位置的布置方向而言位于最外侧的单独电极的位置的外侧处，设置导电糊。当如此设置导电糊并烧结时，因为与上述相同的原因，与仅在用于形成单独电极的位置处设置导电糊的情况相比，用于形成位于最外侧的单独电极的位置以及用于形成位于内侧的其它单独电极的位置在压电元件中出现残余应力方面的差异变小。按照这种方式形成的促动器单元固定在通道单元上，从而制造出这样一种喷墨头，其中压电元件的与用于形成单独电极的位置相对应的活性部分可以显示出一致的可变形性，由此抑制喷墨特性的变化。也就是，根据上述方法，可以有效制造出第一方面的喷墨头。
根据本发明的第三方面，提供一种制造喷墨头的方法，包括如下步骤形成一通道单元，在该通道单元中每个都与相应喷嘴连接的多个压力腔沿着一个平面彼此相邻设置；以及形成一促动器单元，该单元用来改变压力腔的体积。所述促动器单元形成步骤包括将导电糊布置在比促动器单元区域更大的区域中、即布置在具有形成在其上的促动器单元区域的压电元件材料表面上，从而包围着该促动器单元区域，该促动器单元区域包括与所述多个压力腔室相对应并且具有与促动器单元的轮廓相同的边界线的区域，所述导电糊以与所述压力腔室的布置图案基本上相同的重复性图案布置在所述通道单元的平面上；烧结所述导电糊；并且沿着所述促动器单元区域的边界线切割所述压电元件材料。用于制造喷墨头的该方法还包括将所述促动器单元固定在通道单元上的步骤，从而压电元件跨过所述多个压力腔室，并且多个单独电极与相应压力腔室对应地设置，从而通过该切割步骤获得所述压电片，所述单独电极为位于通过所述烧结过程获得的多个电极内侧的电极。
根据上述方法，使用比促动器单元大的压电元件材料，其上设置有导电糊，通过烧结导电糊然后沿着促动器单元区域的边界线切割该压电元件材料，由此制造促动器单元。因此，可以有效的获得一种促动器单元，其中对应于各压力腔的多个单独电极由烧结部件所包围，在压电元件中形成有各单独电极之处出现的残余应力是均匀的。
从以下结合附图所作的详细描述中可以更清楚本发明的其它和另外的目的、特征以及优点。
图1为本发明实施方案的喷墨头的透视图；图2为沿着图1的II-II线剖开的剖视图；图3为在图1所示的喷墨头中所包括的头主体的平面图；图4是图3所示的交替长短虚线所包围的区域的放大视图；
图5是图4所示的交替长短虚线所包围的区域的放大视图；图6是图3所示的头主体沿着图5的VI-VI线剖开的局部截面图；图7为在图6中所示的头主体加上连接在该头主体上的柔性印刷电路的局部分解透视图；图8A为形成在图6中所示的墨水通道的空间的平面图；图8B为形成在图6中所示的墨水通道的空间的透视图；图9为由在图6中所示的交替长短虚线所包围的区域的放大视图；图10为一平面图，显示出形成在促动器单元表面上的单独电极和焊盘的形状；图11为一透视图，显示出将促动器单元固定在通道单元上的步骤；图12为主要部分的放大平面图，显示出单独电极和作为烧结部件的伪电极在促动器单元的表面上的布置图案；图13为平面示意图，逐步显示出用于制造该促动器单元的方法；并且图14A和14B为平面示意图，显示出压力腔室、单独电极和伪电极的布置图案的变型。
具体实施例方式
下面将首先参照图1、2和3对根据本发明一实施方案的喷墨头的总体结构进行说明。
喷墨头1用于行打印类型的喷墨打印机中。如图1和2所示，喷墨头1具有头主体1a和支撑该头主体1a的基底71。在平面图中，头主体1a具有沿着主扫描方向的一个方向延伸的矩形。基底71包括部分粘接在头主体1a上的基底模块75，以及粘接在基底模块75的上表面上用于支撑该基底模块75的支架72。
由金属材料例如不锈钢制成的基底模块75基本是一长方体部件，其长度与头主体1a的纵向长度大致相同。基底模块75作为用于加强支架72的轻型结构。该支架72由设置在头主体1a附近的支架主体73以及分别从支架主体73沿着与头主体1a侧面相对的方向延伸的一对支架支撑件74。每个支架支撑件74构成为平板部件。这些支架支撑件74沿着支架主体73的纵向延伸，并彼此之间保持预定距离地平行设置。
在每个支架支撑件74的外侧表面上粘贴有弹性部件83例如海绵。柔性印刷电路(FPC)50沿着每个支架支撑件74的外侧表面设置，并且弹性部件83夹在它们中间。驱动器IC80固定在FPC50上，从而面对弹性部件83。FPC50在其中包含有用来将从驱动器IC80输出的驱动信号发送给后面所述的促动器单元21的导电图案。FPC50与驱动器IC80和下述的促动器单元21电连接。散热器82设置成与驱动器IC80的外侧表面紧密接触。近似长方体形状的散热器82有效地耗散在驱动器IC80中产生的热量。
基板81在散热器82上方设置在FPC50的外侧。在基板81上方，设有控制器(未显示)，该控制器对喷墨头1进行总体控制。如下所述一样，与基板81连接的驱动器IC80能够对形成在通道单元4中的多个压力腔室10(见图5)中的每一个进行单独的电位控制。
如图2所示，在散热器82和基板81之间以及在散热器82和FPC50之间设置密封件84。通过将密封件84插在中间来使它们彼此固定。
如图2所示，在支架主体73的两端处沿着副扫描方向也就是沿着与主扫描方向垂直的方向(见图1)形成向下伸出的一对裙部73a。每个裙部73a形成在支架主体73的整个长度上，由此在支架主体73的下表面上限定基本为长方体的沟槽73b。
基底模块75容纳在支架主体73的沟槽73b中，其上表面用粘合剂等粘接在沟槽73b的底面上。在基底模块75中，形成两个墨水储存器3，作为给头主体1a提供墨水的通道。墨水储存器3是两个沿着基底模块75的纵向延伸的基本为长方体的空间(中空区域)。两个墨水储存器3以预定间距沿着基底模块75的纵向彼此平行地设置，并且中间插入了沿着基底模块75的纵向形成的隔板75a。在图3中用虚线示意性地显示出在基底模块75中形成的墨水储存器3。
参考图2，与墨水储存器3相通的开口3b在基底模块75的下表面75b上与墨水存储器3相对应地形成在左侧位置处(参见图3)。如图3所示，开口对3b按照之字形图案沿着墨水存储器3的延伸方向在没有设置后述促动器单元21的区域中设置。每个开口3b设有过滤器(未示出)，用于捕获在墨水中可能含有的灰尘和脏物。在基底模块75的下表面75b中，开口3b的附近从其周围向下凸起，如图2所示。
如图3所示，每个墨水储存器3在其一端与开口3a相通。从墨水箱(未显示)中通过开口3a适当地向每个墨水储存器3提供墨水，从而使得墨水储存器3中始终填充有墨水。
如图2所示，支撑在基底模块75下面的头主体1a包括一通道单元4和粘接在通道单元4的上表面上的多个促动器单元21(图2中只显示了其中一个)。基底模块75仅在下表面75b的每个开口3b的附近75c处粘接在头主体1a上(更详细的说，粘接在头主体1a的通道单元4上)。基底模块75的下表面75b除了每个开口3b附近75c之外的区域与头主体1a间隔开。促动器单元21设置在该空间内。因此，促动器单元21和基底模块75彼此不接触。
如图3所示，在平面图中，每个促动器单元21为沿着头主体1a的纵向延伸的具有平行相对侧(也就是上侧和下侧)的梯形。促动器单元21按照之字形图案设置在开口对3b之间。促动器单元21的相邻倾斜侧面沿着头主体1a的宽度方向彼此重叠。将与粘接在促动器单元21上的区域相对应的通道单元4的下表面区域做成为喷墨区域。如后所述，在喷墨区域的表面上设有许多喷嘴8(见图4)。尽管图4中只显示了一部分喷嘴8，但是在与粘接在促动器单元2上的区域对应的整个区域上都设有喷嘴8。
下面将对促动器单元21的详细结构进行说明。
如图2所示，FPC50连接在促动器单元21的表面上。在支架主体73的裙部73a的顶端周围设置密封件85。该密封件85将FPC50固定在通道单元4和支架主体73上。因此，即使头主体1a变得更长，该FPC50也很难弯曲。而且，可以防止促动器单元21和FPC50之间的互连部分受到应力，并且可以牢牢地使FPC50保持不动。
参考图1，在喷墨头1的沿着主扫描方向的每个下边角附近，沿着喷墨头1的侧壁以规则的间距设置6个凸出部分30a。如图2所示，这些凸出部分30a沿着副扫描方向设置在作为头主体1a的最下面层的喷嘴板30(见图6)的两端处。也就是说，喷嘴板30沿着每个凸出部分30a和其它部分之间的边界以大致90度的角度弯曲。凸出部分30a形成在与用于打印的各种尺寸的纸张的两端附近相对应的位置处。由于喷嘴板30的弯曲部分不是直角而是圆的，因此很难导致卡纸，卡纸可能是因为已经传送至头1的纸张的前端被头1的侧面所停止而造成的。
下面将参考图4-8对通道单元4的结构进行说明。
在通道单元4中，形成与开口3b相通的支管管道5(如图4虚线所示)，从而在基底模块75的墨水储存器3中储存的墨水可以引入到支管管道5中。每个支管管道5的前端部分分支为两个子支管管道5a。在与一个促动器单元21对应的区域中，两个子支管管道5a从位于该促动器单元21的两侧上的两个开口3b中的每一个沿着喷墨头1的纵向延伸。也就是，在通道单元4的与一个促动器单元21对应的区域中，总共四条子支管管道5a沿着喷墨头1的纵向延伸。在图6中以剖视图显示出每个子支管管道5a在通道单元4中的位置。
参考图6，用作压力腔室10的许多开口形成在通道单元4中的最上面板中(也就是后面将详细说明的空腔板22，在其表面上将粘接促动器单元21)。在与粘附在促动器单元21上的区域相对应的喷墨区域内，如图4和5所示一样，压力腔室10a在通道单元4的表面上彼此相邻地布置。
如图6所示，压力腔室10通过孔道12与子支管通道5a连通。孔道12用来限制墨水流动，因此施加适当的通道阻力，由此使喷墨稳定。孔道12与压力腔室10平行即与通道单元4的表面平行地延伸。如图5所示，孔道12的一个端部位于子支管通道5a的区域中，并且其另一个端部位于具有基本上为菱形形状的压力腔室10的锐角部分处。
另外，参照图6，用作喷嘴8的许多开口形成在作为通道单元4的最下面层的喷嘴板30中。如在图4和5中所示一样，喷嘴8布置在与粘附在促动器单元21上的区域相对应的喷墨区域内。喷嘴8设置在子支管管道5a的范围外面，并且基本上与菱形形状的相应压力腔室10的一个锐角部分相对应。
图4和5显示出通道单元4的下表面，因此应该用虚线显示出压力腔室10和孔道12，但是为了便于理解用实线显示出它们。在平面视图中，一个压力腔室10如图5所示一样覆盖着两个孔道12。如图6所示，通过将压力腔室10和孔道12设置在彼此不同的高度处来实现这种布置。这使得能够高度密集地布置压力腔室10，并且还能够采用占据着相对较小区域的喷墨头1来形成高分辨率图像。
这里将对压力腔室10和喷嘴8在与通道单元4的表面平行的平面中的布置进行说明。
在这些喷墨区域内，压力腔室10和喷嘴8沿着两个方向、即作为由D1表示的第一布置方向的沿着喷墨头1的长度的方向和作为由D2表示的第二布置方向的相对于喷墨头1的宽度稍微倾斜的方向，彼此相邻地布置成矩阵形式。第一布置方向D1和第二布置方向D2形成比直角稍小的角度θ。喷嘴8沿着第一布置方向D1以50dpi的密度布置。另一方面这些压力腔室10如此布置，从而与粘附在一个促动器单元21上的区域相对应的一个喷墨区域沿着第二布置方向D2可以最大包含有12个压力腔室10。由沿着第二布置方向D2布置12个压力腔室10所引起的在第一布置方向D1上的偏移量等于一个压力腔室10。因此，在整个喷墨头1的宽度上，12个喷嘴8处于与沿着第一布置方向D1在两个相邻喷嘴8之间的间隔相对应的范围内。在沿着第一布置方向的每个喷墨区域的两个端部处(即在与每个促动器单元21的倾斜侧面相对应的部分处)，一个喷墨区域与对应于沿着喷墨头1的宽度方向相对设置的促动器单元21相对应的另一个喷墨区域互补，由此满足了上述条件。
因此，与纸张沿着喷墨头1的副扫描方向的相对运动结合，该喷墨头1可以通过利用沿着第一和第二布置方向D1和D2布置的许多喷嘴8顺序喷射出墨滴来沿着主扫描方向以600dpi进行打印。
参照图6和7，通道单元4具有包括总共九块板的层状结构，即从顶部开始依次为，空腔板22、基板23、孔板24、供应板25、支管板26、27和28、盖板29和喷嘴板30。这些板22至30由金属例如不锈钢等制成。
在空腔板22中形成有许多将用作压力腔室10的基本上为菱形的开口。在其中没有形成任何开口的空腔板22的部分构成限定了相应压力腔室10的壁部分22a。在基板23中，为形成在空腔板22中的每个压力腔室10设置位于压力腔室10和相应孔道12之间的一个连通孔和位于压力腔室10和相应喷嘴8之间的一个连通孔。在孔板24中，为形成在空腔板22中的每个压力腔室10设置用作孔道12的一个开口和位于压力腔室10和相应喷嘴8之间的连通孔。在供应板25中，为形成在空腔板22中的每个压力腔室10设置位于孔道12和子支管管道5a之间的一个连通孔与位于压力腔室10和相应的喷嘴8之间的一个连通孔。在支管板26、27和28的每一个中，除了用作子支管管道5a的开口之外，为形成在空腔板22中的每一压力腔室10设置在压力腔室10和相应喷嘴8之间的一个连通孔。在盖板29中，为形成在空腔板22中的每个压力腔室10设置在压力腔室10和相应喷嘴8之间的一个连通孔。在喷嘴板30中，为形成在空腔板22中的每个压力腔室10设置用作喷嘴8的一个锥形孔。
在通道单元4中形成有多条墨水通道32(参见图6)，每条墨水通道从墨水容器(未示出)延伸穿过墨水储存器3、支管管道5、子支管管道5a、孔道12和压力腔室10通向喷嘴8。墨水通道32首先从子支管管道5a向上延伸，然后在孔道12中水平延伸，然后进一步向上延伸，然后再次在压力腔室10中水平延伸，然后在一定程度上远离孔道12向下倾斜地延伸，然后朝着喷嘴8垂直向下延伸。
图8A和8B分别显示出在图6中所示的通道单元4中形成墨水通道32的空间结构的平面图和透视图。在图8A和8B中显示出设在位于孔道12和子支管管道5a之间的边界处的过滤器13。该过滤器13用于除去包含在墨水中的灰尘。
下面将参照图9和10对促动器单元21的结构进行详细说明。
包括四个层叠放置的压电片41、42、43和44的促动器单元21作为通道单元4的最上层通过插入在它们之间的粘合剂层70(参见图9)粘附到空腔板22上。这些压电片41至44构成一压电元件。每块压电片41至44的厚度大约为15μm，并且由锆钛酸铅(PZT)基陶瓷材料制成，该材料具有良好的可加工性和铁电性。
压电片41至44形成为跨过在喷墨头1中形成在一个喷墨区域内的多个压力腔室10的层状平板件。因此，可以使压电片41至44的机械刚度保持较高，另外喷墨头1提高了对喷墨的响应性。
厚度大约为1μm的单独电极35形成在最上面的压电片41上。这些单独电极35对应于相应的压力腔室10。如图10所示一样，这些单独电极35具有一主电极部分35x和一连接部分35y。主电极部分35x对着压力腔室10，并且具有与压力腔室10的形状类似的基本上为菱形的平面形状(其长度为850μm并且宽度为250μm)。主电极部分35x的一个锐角部分延伸出以形成对着空腔板22的壁部22a的连接部分35y。
如图9和10所示，焊盘36设置在远离主电极部分35x的连接部分35y的端部处。焊盘36形成为直径大约为160μm并且厚度大约为10μm的柱体。也就是说，焊盘36形成为对着壁部22a并且与单独电极35连接。焊盘36由例如包含有玻璃粉的金制成。
如图5所示，单独电极35在与相应的压力腔室10对应的位置处布置在压电片41上。因此，与压力腔室10类似，这些单独电极35以相对于第一和第二布置方向D1和D2两个方向的矩阵形式彼此相邻地布置在压电片41上。另外，作为烧结部件的许多伪电极35d彼此相邻地布置在压电片41上没有与之对应的压力腔室10的位置处。这些伪电极35d和单独电极35具有基本上相同的形状和尺寸，并且也由相同的材料制成。下面将对这些单独电极35和伪电极35d在压电片41上的布置图案进行详细说明。
厚度大约为2μm的共同电极34插入在压电片41和设置在压电片41下面的压电片42之间(参见图9)。共同电极34为在一个促动器单元21的基本上整个表面上延伸的单块导电片。
单独电极35、伪电极35d和共同电极34都由例如Ag-Pd基金属材料制成。除了伪电极35d之外，这些单独电极35和共同电极34通过向压电片41施加电场使其变形来改变压力腔室10的体积，下面将详细描述。
在压电片44下面并且在压电片42和设置在压电片42下面的压电片43之间没有设置任何电极。
共同电极34通过未示出的接地电极与FPC50的接地导电图案(其形成和与单独电极35连接的导电图案无关)电连接。因此，在其与任意压力腔室10对应的区域中均等地将共同电极34保持在接地电位处。
下面将对促动器单元21的驱动方法进行说明。
包含在促动器单元21中的压电片41至44沿着其厚度方向已经被极化。夹在单独电极35和共同电极34之间的压电片41的部分用作活性部分。在该情况中，当将单独电极35设定在与共同电极34不同的电位处以沿着极化方向向压电片41的相应活性部分施加电场时，该活性部分沿着其厚度方向膨胀或收缩，并且通过横向压电效应沿着其与厚度方向垂直的平面方向收缩或膨胀。另一方面，其它三块压电片42至44为没有任何夹在电极之间的区域的非活性层，并且因此自身不能变形。也就是说，促动器单元21具有所谓的单形态结构，其中远离压力腔室10的上压电片41为包括活性部分的层，并且靠近压力腔室10的下面三个压电片42至44为非活性层。
在这种结构中，当沿着极化方向向压电片41的活性部分施加电场时，该活性部分沿着厚度方向膨胀并且沿着平面方向收缩，同时其它三个压电片42至44没有任何变形。这时，由于压电片41至44的最下面表面如图9中所示一样固定在空腔板22的壁部22a的上表面上，所以与压电片41的活性部分的变形相关联，整个压电片41至44变形以朝着压力腔室10一侧凸起(即，单形态变形)。这减小了压力腔室10的体积，并且提高了在压力腔室10中的墨水压力，由此通过喷嘴8将墨水喷射出。然后，当再次将单独电极35设定在与共同电极34相同的电位处时，压电片41至44恢复其原始的平板形状。这时，压力腔室10的体积增加，并且因此在子支管管道5a中的墨水被引入到压力腔室10中。
在另一个可能的驱动方法中，提前使所有单独电极35保持在与共同电极34不同的电位处，从而整个压电片41至44变形以朝着压力腔室10侧凸起。然后，在每次喷射请求时，立即将相应的单独电极35设定在与共同电极34相同的电位处。之后，在预定的定时处再次将单独电极35设定在与共同电极34不同的电位处。在该情况中，在当单独电极35和共同电极34具有相同的电位时，压电片41至44恢复其原始的平板形状，并且由此相应的压力腔室10与其初始状态(其中压电片41至44全部变形以朝着压力腔室10侧凸起)相比体积增加。在压力腔室10体积增加时，在子支管管道5a中的墨水被引入到压力腔室10中。之后，在单独电极35和共同电极34的电位彼此不同时，压电片41至44整个变形以朝着压力腔室10侧凸起。这就减小了压力腔室10的体积，并且提高了在压力腔室10中的墨水压力，由此通过喷嘴8喷射出墨水。
另一方面当将与极化方向垂直的电场施加在压电片41的活性部分上时，活性部分沿着其平面方向膨胀并且沿着其厚度方向收缩。这时，压电片41至44整个变形以在压力腔室10侧上凹入。这就增加了压力腔室10的体积，由此将在子支管管道5a中的墨水引入到压力腔室10中。然后，当单独电极35的电位返回至其初始数值时，压电片41至44恢复其原始的平板形状。这就降低了压力腔室10的体积并且提高了在压力腔室10中的墨水压力，由此通过喷嘴8喷射出墨水。
下面将对单独电极35和伪电极35d在促动器单元21的压电片41上的布置图案进行说明。
首先，从上面的说明和图11中可以看出，促动器单元21覆盖着由在通道单元4上在喷墨区域内彼此相邻布置的许多压力腔室10构成的一组10G。换句话说，促动器单元21包括梯形压电片41至44，其尺寸大于在图11中用虚线所示的压力腔室组10G的梯形区域的框架，并且促动器单元21固定在在图11中用交替的长虚线和两条短虚线显示的通道单元4的一部分表面上，从而促动器单元21可以覆盖比压力腔室组10G的区域更大的区域，从而包括了该压力腔室组10G的区域。
单独电极35在其边线在图11中用虚线显示出的区域10X内布置在与相应压力腔室10对应的位置处。区域10X在压电片41的表面上对应于压力腔室组10G的区域。伪电极35d彼此相邻地布置在区域10X的内侧和外侧，从而包围着由许多单独电极35构成的组35G。该组35G对应于压力腔室组10G。
单独电极35和伪电极35d整个以与压力腔室10的布置图案基本上相同的重复图案布置在压电片41的表面上。因此，在单独电极组35G中，相对于第一和第二布置方向D1和D2没有位于最外面、即位于组35G内侧的每个单独电极35由以预定图案布置的其它单独电极35包围，并且相对于第一和第二布置方向D1和D2位于最外面的每个单独电极35由以与上述预定图案基本上相同的图案布置的其它单独电极35和伪电极35d包围。因此，包围着包括在单独电极组35G中不论哪个单独电极35的单独电极35或伪电极35d以基本上相同的图案布置。下面将参照图12进行特别说明。例如，包围着任意黑色单独电极35的画阴影线的单独电极35和伪电极35d以基本上相同的布置图案布置。
接下来将对制造喷墨头1的方法的示例进行说明。在这里，将具体对用于制造头主体1a的方法进行详细说明。为了制造头主体1a，分别制备出通道单元4和促动器单元21，并且随后将它们彼此粘接在一起。
为了制造通道单元4，首先用成图案的光致抗蚀剂掩膜来对九块板22至30的每一块进行蚀刻，由此在每块板22至30中形成如图6和7所示的开口和沟槽。随后，将板22-30叠置并用粘合剂彼此粘接，从而它们可以形成如图6所示的墨水通道32。
为了制造该促动器单元21，首先，按照一定图案把要形成为共同电极34的导电糊印刷在陶瓷材料生片上，以形成压电片42。然后利用夹具使要形成为四个压电片41-44的陶瓷材料生片定位并彼此重叠，通过在预定温度烘焙而形成一个片。在所得到的压电元件材料21M(参见图13)上设置一促动器单元区域21X。该区域21X的边界线为与促动器单元21轮廓相同的梯形。
然后，将导电糊35P布置在压电元件材料21M的表面上的区域中。该区域大于区域21X从而覆盖着区域21X，并且在该实施方案中，压电元件材料21M的整个表面用作该区域。导电糊35P以与压力腔室10的布置图案基本上相同的重复性图案布置(参见图13)。
这时，布置导电糊35P的位置包括在压电元件材料21M的表面上、即在与压电片41的表面相对应的表面上的两种位置。一种位置为用来将以矩阵形式彼此相邻布置的单独电极35形成为与相应压力腔室10对应的多个位置。另一种位置为多个彼此相邻位置，它们包围着由用来形成以矩阵形式相邻布置的单独电极35的多个位置构成的组。换句话说，一种位置为用来形成单独电极35的位置，而另一种位置为在由用于形成单独电极35的多个位置构成的组中、沿着从该组向外的方向、与用来形成相对于第一和第二布置方向D1和D2(参见图12)位于最外面的单独电极35的位置间隔开的位置。
在这里，导电糊35P如此布置，从而所有它们在用于形成电极的相应位置处可以成基本上菱形的形状。布置在用于形成电极的相应位置处的导电糊35P由相同材料制成。
作为导电糊35P，可以采用例如通过将银细微粉末与粘合剂例如树脂混合，然后进一步将所得到的混合物与包含有机树脂和溶剂的粘性介质混合而获得的糊剂。
接着，通过烘焙过程，将导电糊35P烧结在压电元件材料21M的表面上，然后沿着梯形促动器单元区域21X的边界线进行切割(参见图13)。在促动器单元21的整个表面、更具体地说在压电片41的整个表面上形成具有基本上均匀的重复性图案的金属薄膜。通过上述切割过程来获得促动器单元21。在这些金属薄膜中，位于与压力腔室10相对应的位置处的金属薄膜为单独电极35，而其它为伪电极35d。
然后，按照上述方式将通道单元4和促动器单元21彼此粘接。这时，将促动器单元21和通道单元4如此相互定位，从而压电片41至44可以跨过在压力腔室组10G中的所有压力腔室10(参见图11)，并且单独电极35可以与压力腔室10一一对应地设置。在该状态中，促动器单元21固定在其上形成有压力腔室10的通道单元4的表面上。
通过这样将通道单元4和促动器单元21彼此粘接在一起来制造出头主体1a。通过随后的预定步骤来完成喷墨头1的制造。
在该实施方案的喷墨头1中，如上所述，不仅单独电极35而且还有伪电极35d都形成在压电片41的表面上，如图11和12所示一样。伪电极35d形成在与相对于在由多个单独电极35构成的组35G中的单独电极35的布置方向D1和D2位于最外面的单独电极35沿着从该组35G向外的方向间隔开的位置处。伪电极35d与单独电极35不同，其与压力腔室10不相对应地设置。为了将这种单独电极35和这种伪电极35d形成在压电片41的表面上，将导电糊35P布置在预定位置处然后通过烘焙进行烧结。
由金属制成的电极其热膨胀系数通常大于压电片41，由此在由于温度降低而导致的收缩上也较大。但是，固定在压电片41上的电极当在烘焙之后温度降低时不会完全收缩。由此，在电极中出现拉伸应力，同时在该拉伸力的作用下在形成电极的压电片41的位置处出现压缩应力。因此，在形成有电极的压电片的相应位置处出现压缩残余应力。
通过使单独电极35的形状、尺寸和材料一致，从而可以与其相应位置无关地使由单独电极35产生出的拉伸应力均匀。但是，在单独电极35相对高密度布置的情况中，如在该实施方案中一样，出现在用于形成电极的相邻位置处的残余应力相互有影响。这导致在用于形成在单独电极组35G中位于最外面的单独电极的位置和用于形成位于里面的单独电极35的另一个位置之间在压电片中出现的残余应力出现差异。
另一方面，在该实施方案中，为了抑制残余应力的变化，不仅单独电极35而且还有伪电极35d都形成在压电片41的表面上。设置要形成伪电极35d以及单独电极35的导电糊35P，然后通过烘焙进行烧结。因此，用于形成在单独电极组35G中位于最外面从而与伪电极35d相邻的单独电极35的位置与用来形成位于内部的其它单独电极35的位置在出现在压电片41中的残余应力方面的差异变小。这是因为包围着用于形成相应单独电极35的上述位置的导电糊35P以基本上相同的图案布置，由此使在这些位置周围所产生出的残余应力的影响均衡。
因此，在该实施方案的头1中，压电片41的与用于形成单独电极35的位置相对应的活性部分可以展现出均匀的可变形性，由此抑制了在喷墨特性上的变化。
根据该实施方案的制造方法，在形成促动器单元21的步骤期间在布置导电糊35P中，在压电片41的表面上，将导电糊35P不仅布置在用于形成单独电极35的位置处，而且还布置在用于形成在由多个形成单独电极35的位置构成的组中位于最外面的单独电极35的位置的外侧处。当导电糊35P如此布置并且进行烧结时，由于如上所述相同的原因，与其中导电糊35P只布置在用于形成单独电极35的位置处的情况相比，用于形成在该组中位于最外面的单独电极的位置和用于形成位于里面的其它单独电极35的位置在出现在压电片41中的残余应力方面相互差异变小。将这样形成的促动器单元21固定在通道单元4上，从而制造出这样一种喷墨头1，其中与压电片41的用于形成单独电极35的位置相对应的活性部分可以展现出均匀的可变形性，由此抑制在喷墨特性上的变化。也就是说，根据上述方法，可以有效地制造出该实施方案的喷墨头1。
另外在该实施方案中，伪电极35d的形状和尺寸与单独电极35基本上相同。因此，布置在用于形成相应电极的位置处的导电糊35P也具有基本上相同的形状和尺寸。导电糊35P的形状和尺寸影响了其相对于压电片41的残余应力大小。通过将这些导电糊35P形成为具有基本上相同的形状和尺寸，可以使在用于形成单独电极的相应部分处的残余应力大小均匀，尽管这取决于其它条件。因此，压电片41的活性部分可以展现出均匀的可变形性，由此更加可靠地有利地抑制了喷墨特性上的变化。
而且在该实施方案中，伪电极35d由与单独电极35相同的材料制成。也就是说，由相同材料制成的导电糊35P布置在用于形成这两个电极的相应位置处。因此，在用于形成单独电极的相应位置处的残余应力大小彼此相等，由此更加可靠地有利地抑制了喷墨特性上的变化。
在该实施方案中，如图12所示一样，在单独电极组35G中，相对于第一和第二布置方向D1和D2没有位于最外面的、即位于组35G里面的每个单独电极由以预定图案布置的其它单独电极35包围，而且还相对于第一和第二布置方向D1和D2位于最外面的每个单独电极35由以与上述预定图案基本上相同的图案布置的其它单独电极35和伪电极35d包围。也就是说，用于形成单独电极35的位置的任一个由以基本上相同图案布置的导电糊35P包围。这使得与单独电极35相对应的压电片41的所有活性部分展现出均匀的可变形性，因此可以更加有利地抑制喷墨特性中的变化。
另外，压力腔室10以矩阵的形式彼此相邻地布置在通道单元4的表面上，这有助于使压力腔室10密度增大，即有助于高分辨率。在该情况中，与压力腔室10类似，单独电极35也以矩阵的形式彼此相邻地布置。这里在该实施方案中，多个伪电极35d彼此相邻地布置从而如图11和12所示一样包围着单独电极组35G，因此可以使喷墨特性一致化。也就是说，根据该实施方案，可以获得高分辨率和一致的喷墨特性。
该促动器单元的结构不限于在上述实施方案中所述的那种结构。可能的促动器单元的结构如下。
例如，在促动器单元中构成压电元件的部件不必总是如由上述实施方案的压电片41至44所例举的一样跨过在该压力腔室组10G中的所有压力腔室10，只要构成压电元件的部件跨过多个压力腔室10就可以。
而且，在促动器单元中构成压电元件的部件不限于如在上述实施方案中一样的多个层压压电片41至44，而是可以为单个压电片。
可以将其它单独电极布置在压电片42和43之间。在这种情况下，布置在压电片42和43之间的单独电极可以通过设在压电片41和42中的通孔与布置在压电片41的表面上的单独电极35电连接。即使可如此将单独电极形成在多个压电片上时，本发明也可仅应用于布置在最少只有一个压电片上的单独电极。因此，本发明不仅可以应用于形成在多个压电片的最上面的表面上的单独电极，而且还可以应用于夹在多个压电片之间的单独电极。
可以在压电片43和44之间布置另外的共同电极。
不必使多个伪电极彼此相邻地布置以便如在上述实施方案中一样包围着单独电极组35G。伪电极可以如此布置从而包围着一部分单独电极组35G。另外，不必总是将多个伪电极如此设置，从而在单独电极组中位于最外面的所有单独电极与这些伪电极相邻。这些伪电极可以布置成仅与在单独电极组中位于最外面的单独电极中最少为一个的单独电极相邻。在这种情况下，单独电极35和包围着包含在单独电极组35G中的相应单独电极35的伪电极35d不必都以基本上相同的图案布置。但是，由于伪电极与在该组中位于最外面的单独电极的至少一个相邻，所以可以发挥本发明的效果。
虽然在上述实施方案中对于伪电极35d和单独电极35而言其形状、尺寸和材料基本上相同，但是这些参数也可以不相同。这些参数可以改变，只要伪电极35d和单独电极35相对于压电片41具有基本上相同的残余应力特性，例如残余应力的强度和方向。还有，为了满足针对残余应力的上述要求，可以采取任意其它的方法，例如调节在烘焙过程中的工艺条件。在减少工艺步骤数量方面，尤其优选的是，伪电极35d和单独电极35由相同材料制成。
压力腔室和单独电极不必以矩阵的形式相邻布置，而是可以沿着一个方向相邻布置。图14A显示出可能结构的一个示例。在图14A中，具有拉长矩形的平面形状的压力腔室110沿着布置方向D以规则的间距彼此相邻地布置。单独电极135在与相应压力腔室110相对应的位置处拉长地形成在促动器单元121的压电片的表面上。伪电极135d设置在沿着布置方向D位于两个端部处的每个单独电极135的一侧上。这些伪电极135d形成在与压力腔室110不对应的位置处。
图14B显示出压力腔室和单独电极的布置的另一个可能变型。在图14B中，每个由多个压力腔室210构成的两组沿着与在图14A中的布置方向D类似的布置方向D垂直的方向彼此间隔开地布置。多个压力腔室210沿着布置方向D彼此相邻地布置。包含在一个压力腔室组中的压力腔室210和包含在另一个压力腔室组中的压力腔室210沿着布置方向D彼此稍微不成一直线，由此形成之字形图案。单独电极235与压力腔室210成一对一关系地形成在促动器单元221的压电片的表面上，从而单独电极235布置在两条直线中以形成一之字形图案。每个单独电极组设有一个伪电极235d。伪电极235d布置在与相应组中位于最外面的单独电极235间隔开的位置处，从而它们可以参与在该之字形布置中。
在图14A和14B中所示的两个变型中，包括单独电极和伪电极的金属薄膜以基本上一致的重复性图案布置。图14A的变型具有一布置图案，其中金属薄膜以规则的间隔布置在一条直线中。图14B的变型具有这样一种布置图案，其中金属薄膜以之字形方式布置在两条直线中。因此，与所有单独电极135或235相对应的活性部分可以展现均匀的可变形性，由此可以抑制喷墨特性方面的变化。
通道单元4还可以设有对喷墨无贡献的伪压力腔室。伪压力腔室与本发明的压力腔室的不同之处在于，没有与伪压力腔室相对应地形成单独电极。或者，可以与伪压力腔室相对应地形成伪电极。
压力腔室的平面形状不限于四边形例如菱形，而是可以例如变化成圆形、椭圆形等。
如图13所示一样，在上述实施方案的制造方法中，采用比促动器单元21更大的压电元件材料21M，将导电糊35P布置在其上，之后进行烘焙过程以烧结该导电糊35P，然后沿着促动器单元区域21X的边界线切割该压电元件材料21M，由此制造出该促动器单元21。但是，这不是唯一的。可以例如通过提前将压电元件材料构成为具有与促动器单元区域21X相同的尺寸，然后将导电糊35P布置在压电元件材料上，然后进行烘焙以烧结该导电糊35P，从而制造出促动器单元。但是，从而形成电极的方便程度看，优选的是如在上述实施方案中一样，使用尺寸相对较大的压电元件材料21M，并且在将导电糊35P布置在其上以及进行烧结导电糊35P的烘焙过程之后切割压电元件材料21M。另外，在布置好导电糊35P并且进行烘焙以烧结它们之前切割压电元件材料21M的情况下，压电元件材料21M的切割面会变形。如果将具有其切割面变形的压电元件的促动器单元粘接在通道单元4上，则会出现这样的问题，例如由沿着压电元件的轮廓、即沿着切割面的裂纹或碎屑引起的粘接失败。为了抑制这个问题，优选的是，如上述实施方案一样，在将导电糊35P布置在其上并且进行烘焙过程以烧结该导电糊35P之后切割压电元件21M。
根据本发明的喷墨头不仅可以用在如在上述实施方案中一样通过相对于固定头主体输送纸张来进行打印的行式喷墨打印机中，而且还可以用在通过例如在输送纸张的同时使头主体垂直于纸张输送方向进行往复运动来进行打印的串行喷墨打印机中。
另外，根据本发明的喷墨头的用途不限于喷墨打印机，它还可以应用于例如喷墨式传真机或复印机上。
虽然已经结合上面给出的具体实施方案对本发明进行了说明，但是显然本领域普通技术人员可以想到许多替换、变型和变化。因此，上面给出的本发明优选实施方案只是用来举例说明，而不是进行限定。在不脱离如在以下权利要求中所限定的本发明的精神和范围的情况下可以作出各种变化。
权利要求
1.一种喷墨头，它包括一个通道单元，其中每个都与相应喷嘴连接的多个压力腔室沿着一平面彼此相邻地布置；以及一个促动器单元，它固定在通道单元上，用来改变这些压力腔室的体积，其中所述促动器单元包括一个压电元件，它跨过多个压力腔室；多个单独电极，它们在与相应压力腔室对应的位置处烧结在压电元件的表面上；以及一个或多个烧结部件，在设有多个单独电极的压电元件表面上、沿着从多个单独电极向外的方向、与这些单独电极中相对于多个单独电极的布置方向位于最外面的一个单独电极间隔开。
2.如权利要求1所述的喷墨头，其中所述烧结部件和单独电极相对于压电元件具有基本上相同的残余应力特性。
3.如权利要求1所述的喷墨头，其中所述烧结部件和所述单独电极由相同材料制成。
4.如权利要求3所述的喷墨头，其中所述烧结部件和所述单独电极具有基本上相同的形状和尺寸。
5.如权利要求1所述的喷墨头，其中除了相对于多个单独电极的布置方向的最外面一个之外的每个单独电极由以预定图案布置的单独电极中的相应单独电极包围；并且其中这些单独电极中相对于多个单独电极的布置方向的最外面一个单独电极由相应一个单独电极和以与预定图案基本上相同的图案布置的相应一个烧结部件包围。
6.如权利要求1所述的喷墨头，其中所述多个压力腔室以矩阵的形式彼此相邻地布置在通道单元的平面上；所述多个单独电极在与相应压力腔室对应的位置处以矩阵的形式彼此相邻地布置在压电元件的表面上；和多个烧结部件彼此相邻地布置，从而包围以矩阵形式彼此相邻布置的多个单独电极。
7.如权利要求1所述的喷墨头，其中所述促动器单元还包括一个共同电极，它形成在与设有单独电极的表面相对的压电元件表面上以跨过多个压力腔室。
8.一种喷墨头，它包括一个通道单元，其中每个都与相应喷嘴连接的多个压力腔室沿着一平面以矩阵的形式彼此相邻地布置；以及一个促动器单元，它固定在所述通道单元上，用来改变这些压力腔室的体积，其中所述促动器单元包括多个压电元件，它们层叠设置并且覆盖着以矩阵形式彼此相邻布置的多个压力腔室；多个单独电极，它们烧结在所述多个压电元件中的一个的表面上，并且以矩阵的形式彼此相邻地布置在与相应压力腔室对应的位置处；多个烧结部件，它们位于所述多个压电元件中的所述一个的所述表面上，这些烧结部件彼此相邻地布置从而包围着以矩阵形式彼此相邻地布置的所述多个单独电极，所述烧结部件和单独电极相对于所述压电元件具有基本上相同的残余应力特性。
9.一种制造喷墨头的方法，包括如下步骤形成一个通道单元，在该通道单元中每个都与相应喷嘴连接的多个压力腔室沿着一个平面彼此相邻设置；以及形成一个促动器单元，该促动器单元用来改变压力腔室的体积，所述促动器单元形成步骤包括在压电元件的表面上的相应位置处设置导电糊，这些位置包括用于形成与相应压力腔室对应地设置的单独电极的多个位置，以及沿着从所述多个位置向外的方向、与用于形成单独电极的位置中相对于所述多个用于形成单独电极的位置的布置方向的最外面一个位置间隔开的一个或多个位置；并且烧结所述导电糊，该方法还包括将所述促动器单元固定在通道单元上的步骤，从而压电元件跨过所述多个压力腔室，并且所述单独电极与相应压力腔室对应地设置，从而通过该烧结步骤形成所述单独电极。
10.如权利要求9所述的用于制造喷墨头的方法，其中在所述相应位置处布置由相同材料制成的导电糊。
11.如权利要求10所述的用于制造喷墨头的方法，其中在所述相应位置处布置所有都具有基本上相同的形状和尺寸的导电糊。
12.如权利要求9所述的用于制造喷墨头的方法，其中用于形成所述单独电极的位置中的任一个由以基本上相同图案布置的相应导电糊包围。
13.如权利要求9所述的用于制造喷墨头的方法，其中在所述通道单元形成步骤中，多个压力腔室以矩阵形式彼此相邻地布置在所述通道单元的平面上；并且在布置导电糊的过程中，在促动器单元形成步骤中，将所述导电糊布置在用于形成单独电极的多个位置处，这些单独电极以矩阵形式彼此相邻地布置在与相应压力腔室对应的位置处，并且还将所述导电糊布置在彼此相邻的多个位置处，从而包围着用来形成所述单独电极的多个位置。
14.一种制造喷墨头的方法，包括如下步骤形成一个通道单元，在该通道单元中每个都与相应喷嘴连接的多个压力腔室沿着一个平面彼此相邻设置；以及形成一个促动器单元，该促动器单元用来改变压力腔室的体积，所述促动器单元形成步骤包括将导电糊布置在比促动器单元区域更大的区域中，即布置在具有形成在其上的促动器单元区域的压电元件材料表面上，从而包围着该促动器单元区域，该促动器单元区域包括与所述多个压力腔室相对应并且具有与促动器单元的轮廓相同的边界线的区域，所述导电糊以与所述压力腔室的布置图案基本上相同的重复性图案布置在所述通道单元的平面上；烧结所述导电糊；并且沿着所述促动器单元区域的边界线切割所述压电元件材料；该方法还包括将所述促动器单元固定在通道单元上的步骤，从而压电元件跨过所述多个压力腔室，并且多个单独电极与相应压力腔室对应地设置，从而通过该切割步骤获得所述压电元件，所述单独电极为位于通过所述烧结步骤获得的多个电极内侧的电极。
全文摘要
一种喷墨头主体，它包括一个通道单元，其中多个压力腔室沿着其平面彼此相邻地布置；以及一个促动器单元，它固定在所述通道单元上，用来改变这些压力腔室的体积。在所述促动器单元中构成压电元件的压电片跨过多个压力腔室。在所述压电片的表面上不仅形成有与相应压力腔室对应的单独电极，而且还形成有伪电极。任意单独电极由其它单独电极或以基本上相同的图案布置的伪电极包围。这些单独电极和伪电极是通过将导电糊布置在压电片上的预定位置处然后烧结这些糊来形成的。
文档编号B41J2/14GK1541838SQ20041003150
公开日2004年11月3日 申请日期2004年3月22日 优先权日2003年3月20日
发明者广田淳 申请人:兄弟工业株式会社