气体封闭组件和系统的制作方法

气体封闭组件和系统的制作方法
【专利摘要】本教导涉及气密密封气体封闭组件和系统的各个实施例，所述气体封闭组件和系统可容易地输送和组装，且设置成保持最小惰性气体体积且最大程度地接近其中封装的各种装置和设备。本教导的气密密封气体封闭组件和系统的各个实施例可具有以这样的方式构建的气体封闭组件，即，最小化气体封闭组件的内部容积，且同时优化工作空间以适应各种OLED打印系统的各种占用面积。如此构建的气体封闭组件的各个实施例还在处理期间易于从外部接近气体封闭组件的内部且易于接近内部以便维护，同时最小化停机时间。
【专利说明】气体封闭组件和系统
[0001]相关申请的交叉引用
本申请是2012年12月19日提交的美国专利申请No. 13/720，830的部分继续申请。本申请还要求2013年2月14日提交的美国临时申请No. 61/764，973的权益。所有交叉引用的申请均以引用方式全文并入本文中。

【技术领域】
[0002]本教导涉及气密密封气体封闭组件和系统的各个实施例，所述气体封闭组件和系统能够容易地输送和组装，且设置成保持最小惰性气体体积且最大程度地接近其中封装的各种装置和设备。

【背景技术】
[0003]对OLED显示技术的潜能的兴趣由OLED显示技术属性驱动，这些属性包括具有高度饱和的颜色的显示面板的展现，并且是高对比度的、超薄的、快速响应的和节能的。此外，各种基板材料，包括柔性聚合材料，可用于OLED显示技术的制造。虽然用于小屏幕应用（主要是蜂窝电话）的显示器的展现已经用来强调该技术的潜能，但是在将该制造放大至较大幅面时仍然是有挑战的。例如，在比Gen 5. 5基板（具有大约130cmX 150cm的尺寸）更大的基板上制造OLED显示器仍然有待证明。
[0004]有机发光二极管（OLED)装置可通过使用OLED打印系统在基板上打印各种有机薄膜以及其它材料来制造。这样的有机材料可易于受到氧化和其它化学过程的损害。以能够缩放用于各种基板尺寸且能够在惰性、大致没有颗粒的打印环境中进行的方式容纳OLED打印系统可存在多个挑战。由于用于打印大幅面面板基板打印的装备需要大量的空间，将大的设施保持在连续地需要气体净化以去除诸如水蒸气和氧气的反应性环境物质以及有机溶剂蒸气的惰性气氛下具有显著的工程挑战。例如，提供被气密密封的大型设施可具有工程挑战。此外，馈送进出OLED打印系统以便操作打印系统的各种缆线、线和管线可具有挑战，以便使得气体封闭装置有效地达到关于诸如氧气和水蒸气的大气成分的水平的规格，因为它们可产生可截留这样的反应性物质的显著死容积。此外，期望保持在用于处理的惰性环境中的这种设施设为易于接近，以便用最少的停机时间维护。除了大致不含反应性物质之外，用于OLED装置的打印环境需要显著低颗粒的环境。在这方面，在完全封闭系统中提供和保持大致没有颗粒的环境提供可在大气条件中（例如在露天、高流量层流过滤罩下）进行的颗粒减少过程所没有的附加挑战。
[0005]因此，需要气体封闭装置的各个实施例，所述气体封闭装置可在惰性、大致没有颗粒的环境中容纳OLED打印系统，且可容易缩放以提供用于在各种基板尺寸和基板材料上制造OLED面板，同时在处理期间还易于从外部接近OLED打印系统且易于接近内部，以便用最少的停机时间维护。

【专利附图】

【附图说明】
[0006]通过参考附图，将获得本公开的特征和优点的更好理解，附图旨在说明而不是限制本教导。
[0007]图I是根据本教导的各个实施例的气体封闭组件和系统的示意图。
[0008]图2是根据本教导的各个实施例的气体封闭组件和系统的左前透视图。
[0009]图3是根据本教导的各个实施例的气体封闭组件的右前透视图。
[0010]图4示出了根据本教导的各个实施例的气体封闭组件的分解图。
[0011]图5是根据本教导的各个实施例的框架构件组件的分解前透视图，示出了各个面板框架部段和部段面板。
[0012]图6A是手套端口罩盖的后部透视图，而图6B是根据本教导的气体封闭组件的各个实施例的手套端口罩盖的肩部螺钉的放大图。
[0013]图7A是手套端口罩盖组件的卡扣円锁（bayonet latch)的放大透视图，而图7B是手套端口罩盖组件的截面图，示出了肩部螺钉的头部与卡扣闩锁中的凹部的接合。
[0014]图8A-8C是用于形成接头的垫片密封的各个实施例的俯视示意图。
[0015]图9A和图9B是示出根据本教导的气体封闭组件的各个实施例的框架构件的密封的各种透视图。
[0016]图10A-10B是与根据本教导的气体封闭组件的各个实施例的用于接收可容易拆卸维修窗口的部段面板的密封有关的各种视图。
[0017]图IIA-IIB是与根据本教导的各个实施例的用于接收插入面板或窗口面板的部段面板的密封有关的放大透视截面图。
[0018]图12A是根据本教导的各个实施例的基部，所述基部包括盘和坐置在其上的多个垫块（spacer block)。图12B是图12A所示的垫块的放大透视图。
[0019]图13是根据本教导的各个实施例的与盘有关的壁框架构件和顶板构件的分解图。
[0020]图14A是根据本教导的各个实施例的气体封闭组件的构建阶段的透视图，其中，提升器组件处于升高位置。图14B是图14A所示的提升器组件的分解图。
[0021]图15是根据本教导的各个实施例的气体封闭组件的假想前透视图，示出了安装在气体封闭组件内部中的管道系统。
[0022]图16是根据本教导的各个实施例的气体封闭组件的假想顶部透视图，示出了安装在气体封闭组件内部中的管道系统。
[0023]图17是根据本教导的各个实施例的气体封闭组件的假想底部透视图，示出了安装在气体封闭组件内部中的管道系统。
[0024]图18A是示出了多束缆线、线和管线等的示意图。图18B示出了气体扫过被馈送通过根据本教导的管道系统的各个实施例的这种束。
[0025]图19是示意图，示出了截留在多束缆线、线路和管线等的死区中的反应性物质(A)如何从扫过管道的惰性气体（B)主动吹扫，所述束布线（route)通过所述管道。
[0026]图20A是根据本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例的布线通过管道的缆线和管线的假想透视图。图20B是根据本教导的气体封闭组件的各个实施例的图20A中所示的开口的放大图，示出了用于封闭在开口上的罩盖的细节。
[0027]图21是包括根据本教导的各个实施例的气体封闭组件和系统的照明系统的顶板的视图。
[0028]图22是曲线图，其示出了根据本教导的各个实施例的气体封闭组件和系统部件的照明系统的LED光谱。
[0029]图23是根据本教导的各个实施例的气体封闭组件的视图的前透视图。
[0030]图24示出了根据本教导的各个实施例的图23中所示的气体封闭组件的各个实施例的分解图。
[0031]图25示出了根据本教导的各个实施例的气体封闭组件的各个实施例的部分分解的前透视图。
[0032]图26示出了根据本教导的各个实施例的图25中所示的气体封闭组件的各个实施例的部分分解侧透视图。
[0033]图27A和图27B示出了根据本教导的各个实施例的图26中所示的气体封闭组件的放大图。
[0034]图28是穿过根据本教导的各个实施例的包括基部和纵承材（riser)的框架构件组件的截面图。
[0035]图29是根据本教导的各个实施例的气体封闭组件的视图的前透视图。
[0036]图30示出了根据本教导的各个实施例的图29中所示的气体封闭组件的各个实施例的分解图。
[0037]图31A是根据图29所示的气体封闭装置的各个实施例的气体封闭组件的截面视图。
[0038]图31B和图31C是根据本教导的各个实施例的图29所示的气体封闭组件的截面视图，示出了移入维护位置的打印头组件的连续移动。
[0039]图31D-图31F是根据图29所示的气体封闭装置的各个实施例的气体封闭组件的截面视图。
[0040]图32示出了安装在根据本教导的各个实施例的图29中所示的气体封闭组件的框架组件部段中的维护站的透视图。
[0041]图33是根据本教导的各个实施例的图29中所示的气体封闭组件的框架组件部段的透视图。
[0042]图34A和图34B是本教导的气体封闭组件和有关系统部件的各个实施例的示意图。
[0043]图35是根据本教导的各个实施例的气体封闭组件和系统的示意图，示出了通过气体封闭组件的气体循环的实施例。
[0044]图36是根据本教导的各个实施例的气体封闭组件和系统的示意图，示出了通过气体封闭组件的气体循环的实施例。
[0045]图37是根据本教导的各个实施例的气体封闭组件的示意性截面视图。
[0046]图38是根据本教导的各个实施例的气体封闭组件和系统的示意图。
[0047]图39是根据本教导的各个实施例的气体封闭组件和系统的示意图。
[0048]图40是根据本教导的各个实施例的表格，示出了可使用外部气体回路的气体封闭组件和系统的各个操作模式的阀位置。
[0049]图41是示出根据本教导的各个实施例的悬浮台的前透视图。
[0050]图42是根据本教导的各个实施例的悬浮台的图40中指示的区域的放大图。
[0051]图43A和图43B是示出在图40所示的悬浮台上行进期间基板中产生的偏转(flection)的示意性截面图。
[0052]图44是示出了根据本教导的悬浮台的各个实施例的悬浮台的前透视图。
[0053]图45A和图45B是示出在如图43中所示的悬浮台上行进期间基板的大致平坦布置的示意性截面图。

【具体实施方式】
[0054]本教导公开了气体封闭组件的各个实施例，所述气体封闭组件能够可密封地构建和整体形成有气体循环、过滤和净化部件以形成可保持惰性、大致没有颗粒的环境的气体封闭组件和系统，以用于需要这种环境的过程。气体封闭组件和系统的这种实施例可将各种反应性物质（包括各种反应性环境气体，例如水蒸气和氧气，以及有机溶剂蒸气）的每种物质水平保持在例如IOOppm或更低、IOppm或更低、I. Oppm或更低、或O. Ippm或更低。此夕卜，气体封闭组件的各个实施例可提供满足ISO 14644的3级和4级洁净室标准的低颗粒环境。
[0055]各个领域的普通技术人员可想到气体封闭组件的实施例在各个【技术领域】中的实用性。虽然极度不同的领域（例如，化学、生物技术、高新技术和制药领域）可受益于本教导，但是OLED打印用于例示根据本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例的实用性。可容纳OLED打印系统的气体封闭组件系统的各个实施例可提供例如但不限于如下特征：密封经过多个构建和解构循环提供气密密封的封闭装置，最小化封闭容积，且在处理期间以及在维护期间易于从外部接近内部。如随后将讨论的，气体封闭组件的各个实施例的这种特征可具有对功能的影响，例如但不限于，结构整体性使得在处理期间易于保持反应性物质的低水平，以及快速封装容积周转（turnover)最小化维护循环期间的停机时间。因而，提供OLED面板打印的实用性的各个特征和规格还可为各种【技术领域】提供益处。
[0056]如前文所述，在比Gen 5. 5基板（具有大约130cmX 150cm的尺寸）更大的基板上制造OLED显示器仍然有待证明。对于由OLED打印之外制造的平板显示器，各代母玻璃基板尺寸自大约1990年代早期以来历经演变。第一代母玻璃基板（表示为Gen I)是大约30cmX40cm，且因此可生产15〃面板。大约1990年代中期，生产平板显示器的现有技术已经发展为Gen 3. 5的母玻璃基板尺寸，其具有大约60cmX 72cm的尺寸。
[0057]随着各代的推进，用于Gen 7. 5和Gen 8. 5的母玻璃尺寸生产用于OLED之外的打印制造过程。Gen 7. 5母玻璃具有大约195cmX 225cm的尺寸,且每个基板可切割成八个42〃或六个47〃平板。Gen 8. 5中使用的母玻璃是大约220 X 250cm，且每个基板可切割成六个55〃或八个46〃平板。OLED平板显示器对质量（例如，更纯的颜色、更高的对比度、薄、柔性、透明度和能量效率）的承诺已经实现，同时，OLED制造在实践中限于Gen 3.5及更小。当前，OLED打印被认为是突破该限制的最佳制造技术，且允许OLED面板制造不仅用于Gen
3.5及更小的母玻璃尺寸，而且用于最大母玻璃尺寸，例如，Gen 5. 5、Gen 7. 5和Gen 8.5。本领域普通技术人员将理解，OLED面板打印的一个特征包括可使用各种基板材料，例如但不限于，各种玻璃基板材料以及各种聚合物基板材料。在这方面，源于使用基于玻璃的基板的术语记载的尺寸可应用于适用于OLED打印的任何材料的基板。
[0058]关于OLED打印，根据本教导，已经发现保持显著低水平的反应性物质（例如但不限于，诸如氧气和水蒸气的大气成分，以及在OLED墨中使用的各种有机溶剂蒸气）与提供满足必要寿命规格的OLED平板显示器有关。寿命规格对于OLED面板技术特别重要，因为这与显示器产品寿命直接相关；用于所有面板技术的产品规格当前对于OLED面板技术难以满足。借助于本教导的气体封闭组件系统的各个实施例，为了提供满足必要寿命规格的面板，每种反应性物质（例如，水蒸气、氧气、以及有机溶剂蒸气）的水平可保持在例如IOOppm或更低、IOppm或更低、I. Oppm或更低、或O. Ippm或更低。此外,OLED打印需要大致没有颗粒的环境。对于OLED打印来说，保持大致没有颗粒的环境特别重要，因为即使非常小的颗粒也可导致在OLED面板上的可视缺陷。当前，满足商业化所需低缺陷水平对于OLED显示器来说是有挑战的。在完全封闭系统中保持大致没有颗粒的环境提供可在大气条件中（例如在露天、高流量层流过滤罩下）中进行的颗粒减少过程所没有的附加挑战。因而，在大的设施中保持惰性、无颗粒环境的必要规格可具有各种挑战。
[0059]在其中每种反应性物质（例如，水蒸气、氧气、以及有机溶剂蒸气）的水平可保持在例如IOOppm或更低、IOppm或更低、I. Oppm或更低、或O. Ippm或更低的设施中打印OLED面板的需要可在查看表I中概述的信息时说明。表I上概述的数据源于对于红色、绿色和蓝色中的每种在包括以大像素、旋转涂层装置幅面制造的有机薄膜成分的每个测试试样进行测试。这种测试试样显著地更易于制造和测试，以用于各种制剂和过程的快速评估目的。虽然测试试样测试不应与打印面板的寿命测试混淆，但是其可表示各种制剂和过程对寿命的影响。下表中所示的结果表示测试试样制造的过程步骤的变化，其中，与类似地（但是在空气中而不是在氮气环境中）制造的测试试样相比，仅仅旋转涂层环境对于在氮气环境(其中，反应性物质小于Ippm)中制造的测试试样变化。
[0060]通过查看表I中的用于在不同过程环境下制造的测试试样的数据可清楚，尤其是在红色和蓝色的情况下，在有效地减少有机薄膜成分暴露于反应性物质的环境中打印可对各种EL的稳定性和因而对寿命具有显著影响。
颜色过程坏境'ICtfA CIE(x,y) ?95 T80 T 50
@10a

2@ 1000 Cd/m

mA/cm
氮气5?JJ.61,0.38) 200 1750 10400
紅色------
空气53J).60,039) 30700 5600
氮气56J3.32,0.63) 250 3700 32000
绿色______
空气一5110.32,0,62) 250 2 450 19700
氮气4510.14,0.10) 150 750 3200
?Ti
Jpa- Cl?..............................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................
空气4513.14,0.10) 15250 1800
[0061 ] 表I :惰性气体处理对OLED面板寿命的影响因而，在将OLED打印从Gen 3. 5缩放到Gen 8. 5及以上的代，且同时提供可在惰性、大致没有颗粒的气体封闭环境中容纳OLED打印系统的健壮（robust)封闭系统方面存在挑战。可设想的是，根据本教导，这种气体封闭装置将具有包括例如但不限于如下的属性：气体封闭装置可易于缩放以提供用于OLED打印系统的优化工作空间，同时提供最小的惰性气体体积，且在处理期间还设为易于从外部接近OLED打印系统，同时提供对内部的接近以便用最少的停机时间进行维护。
[0062]根据本教导的各个实施例，提供一种用于需要惰性环境的各种空气敏感过程的气体封闭组件，其可包括可密封在一起的多个壁框架和顶板框架构件。在一些实施例中，多个壁框架和顶板框架构件可使用可再次使用的紧固件紧固在一起，例如螺栓和螺纹孔。对于根据本教导的气体封闭组件的各个实施例，多个框架构件可构建成限定气体封闭框架组件，每个框架构件包括多个面板框架部段。
[0063]本教导的气体封闭组件可设计成以能够最小化系统周围的封闭容积的方式容纳系统，例如OLED打印系统。气体封闭组件的各个实施例可以以最小化气体封闭组件的内部容积且同时优化工作空间以容纳各种OLED打印系统的各种占有面积的方式构建。如此构建的气体封闭组件的各个实施例还在处理期间设为易于从外部接近气体封闭组件的内部且易于接近内部以便维护，同时最小化停机时间。在这方面，根据本教导的气体封闭组件的各个实施例可以关于各种OLED打印系统的各种占有面积定轮廓。根据各个实施例，一旦定轮廓框架构件被构建以形成气体封闭框架组件，各种类型的面板就可以可密封地安装在构成框架构件的多个面板部段中，以完成气体封闭组件的安装。在气体封闭组件的各个实施例中，可在一个位置或多个位置制造多个框架构件（包括例如但不限于，多个壁框架构件和至少一个顶板框架构件）以及用于安装在面板框架部段中的多个面板，且然后在另一个位置构建。此外，给定用于构建本教导的气体封闭组件的部件的可输送性质，气体封闭组件的各个实施例可经过构建和解构循环重复地安装和拆卸。
[0064]为了确保气体封闭装置被气密密封，本教导的气体封闭组件的各个实施例提供用于结合每个框架构件以提供框架密封。通过在各个框架构件之间的紧密装配交叉部（包括垫片或其它密封件），内部可被充分地密封，例如气密密封。一旦完全构建，密封的气体封闭组件可包括内部和多个内部角边缘，至少一个内部角边缘设置在每个框架构件与相邻框架构件的交叉部处。框架构件中的一个或多个，例如框架构件中的至少一半，可包括沿其一个或多个相应边缘固定的一个或多个可压缩垫片。所述一个或多个可压缩垫片可配置成一旦多个框架构件结合在一起且安装不透气体的面板就产生气密密封气体封闭组件。密封的气体封闭组件可形成为使得框架构件的角边缘由多个可压缩垫片密封。对于每个框架构件，例如但不限于内部壁框架表面、顶壁框架表面、竖直侧壁框架表面、底壁框架表面及其组合，可设置有一个或多个可压缩垫片。
[0065]对于气体封闭组件的各个实施例，每个框架构件可包括多个部段，所述多个部段设计和制造成接收能够可密封地安装在每个部段中的各种面板类型中的任一种，以提供用于每个面板的不透气体的面板密封。在本教导的气体封闭组件的各个实施例中，每个部段框架可具有部段框架垫片，所述部段框架垫片借助于选定紧固件确保安装在每个部段框架中的每个面板可提供用于每个面板和从而用于完全构建气体封闭装置的不透气体的密封。在各个实施例中，气体封闭组件可在每个壁面板中具有窗口面板或维修面板中的一种或多种；其中，每个窗口面板或维修面板可具有至少一个手套端口。在气体封闭组件组装期间，每个手套端口可具有附连的手套，从而手套可以延伸到内部中。根据各个实施例，每个手套端口可具有用于安装手套的硬件，其中，这种硬件在每个手套端口周围使用垫片密封，其提供不透气体的密封以最小化通过手套端口的泄漏或分子扩散。对于本教导的气体封闭组件的各个实施例，所述硬件还设计成易于罩盖和揭开终端用户的手套端口。
[0066]根据本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例可包括由多个框架构件和面板部段形成的气体封闭组件以及气体循环、过滤和净化部件。对于气体封闭组件和系统的各个实施例，管道系统可在组装处理期间安装。根据本教导的各个实施例，管道系统可安装在由多个框架构件构建的气体封闭框架组件内。在各个实施例中，管道系统可在多个框架构件结合以形成气体封闭框架组件之前安装在多个框架构件上。用于气体封闭组件和系统的各个实施例的管道系统可配置成使得从一个或多个管道系统入口抽吸到管道系统中的大致所有气体移动通过气体循环和过滤回路的各个实施例，用于去除气体封闭组件和系统内部的颗粒物质。此外，气体封闭组件和系统的各个实施例的管道系统可配置成将气体封闭组件外部的气体净化回路的入口和出口与气体封闭组件内部的气体循环和过滤回路隔开。
[0067]例如，气体封闭组件和系统可具有在气体封闭组件内部的气体循环和过滤系统。这种内部过滤系统可具有在内部中的多个风扇过滤器单元，且可配置成在内部中提供气体层流。层流可以是沿从内部的顶部到内部的底部的方向或者是沿任何其它方向。虽然通过循环系统产生的气体流不一定是层流，但是气体层流可用于确保内部中气体的彻底和完全周转。气体层流还可用于最小化紊流，这种紊流是不希望的，因为其可使得环境中的颗粒收集在这种紊流区域中，从而阻止过滤系统从环境去除那些颗粒。此外，为了在内部中保持期望温度，可提供使用多个热交换器的热调节系统，例如借助于风扇或另一个气体循环装置操作，靠近风扇或另一个气体循环装置，或者与风扇或另一个气体循环装置结合使用。气体净化回路可配置成通过在封闭装置外部的至少一个气体净化部件从气体封闭组件内部循环气体。在这方面，气体封闭组件内部的循环和过滤系统与气体封闭组件外部的气体净化回路结合可提供贯穿气体封闭组件内的具有显著低水平的反应性物质的显著低颗粒惰性气体的连续循环。气体净化系统可配置成保持非常低水平的不希望组分，例如有机溶剂及其蒸气以及水、水蒸气、氧气等。
[0068]除了设置用于气体循环、过滤和净化部件之外，管道系统可定尺寸和定形为在其中容纳电线、线束以及各种流体容纳管中的至少一个，其在束捆时可具有大量死容积，其中，大气成分（例如，水、水蒸气、氧气等）可能被截留且难以由净化系统去除。在一些实施例中，缆线、电线和线束中的任一种以及流体容纳管的组合可大致设置在管道系统中，且可分别与设置在内部中的电气系统、机械系统、流体系统和冷却系统中的至少一个可操作地相关联。由于气体循环、过滤和净化部件可配置成使得大致所有循环惰性气体都抽吸通过管道系统，因此截留在各种束捆材料的死容积中的大气成分可以通过使得这种束捆材料容纳在管道系统内而从这种束捆材料的大量死容积有效地吹扫。
[0069]根据本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例可包括由多个框架构件和面板部段形成的气体封闭组件以及气体循环、过滤和净化部件，且附加地包括加压惰性气体再循环系统的各个实施例。这种加压惰性气体再循环系统可在OLED打印系统的操作中使用，用于各种气动驱动装置和设备，如随后更详细所述。
[0070]根据本教导，解决了多个工程挑战，以便在气体封闭组件和系统中提供加压惰性气体再循环系统的各个实施例。首先，在没有加压惰性气体再循环系统的气体封闭组件和系统的典型操作中，气体封闭组件可相对于外部压力保持在轻微正内部压力，以便在气体封闭组件和系统中产生任何泄漏时防止外部气体或空气进入内部。例如，对于本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例，在典型操作下，气体封闭组件的内部可相对于封闭系统外部的周围环境保持在例如至少2mbarg的压力，例如至少4mbarg的压力，至少6mbarg的压力，至少Smbarg的压力，或更高压力。在气体封闭组件系统内保持加压惰性气体再循环系统可能是有挑战的，因为其具有与保持气体封闭组件和系统的轻微正内部压力有关的动态和持续进行的平衡动作，而同时连续地引入加压气体到气体封闭组件和系统中。此外，各个装置和设备的可变需求可形成用于本教导的各种气体封闭组件和系统的不规则压力分布。在这种条件下，将相对于外部环境保持在轻微正压的气体封闭组件保持动态压力平衡可提供用于持续进行的OLED打印过程的整体性。
[0071]对于气体封闭组件和系统的各个实施例，根据本教导的加压惰性气体再循环系统可包括加压惰性气体回路的各个实施例，该回路可使用压缩机、贮存器和鼓风机中的至少一种及其组合。包括加压惰性气体回路的各个实施例的加压惰性气体再循环系统的各个实施例可具有专门设计的压力控制旁通回路，其可在本教导的气体封闭组件和系统中提供处于稳定限定值的惰性气体内部压力。在气体封闭组件和系统的各个实施例中，加压惰性气体再循环系统可配置成在加压惰性气体回路的贮存器内的惰性气体压力超过预设阈值压力时经由压力控制旁通回路再循环加压惰性气体。阈值压力可例如在从大约25psig至大约200psig之间的范围内，或者更具体地在大约75psig至大约125psig之间的范围内，或者更具体地在大约90psig至大约95psig之间的范围内。在这方面,具有带有专门设计的压力控制旁通回路的各个实施例的加压惰性气体再循环系统的本教导的气体封闭组件和系统可保持在气密密封气体封闭装置中具有加压惰性气体再循环系统的平衡。
[0072]根据本教导，各种装置和设备可设置在内部中，且与具有各种加压惰性气体回路的加压惰性气体再循环系统的各个实施例流体连通，所述加压惰性气体回路可使用各种加压气体源，例如压缩机、鼓风机及其组合中的至少一种。对于本教导的气体封闭装置和系统的各个实施例，使用各种气动操作的装置和设备可提供低颗粒生成性能以及低维护。可设置在气体封闭组件和系统内部中且与各种加压惰性气体回路流体连通的示例性装置和设备可包括，例如但不限于，气动机器人、基板悬浮台、空气轴承、空气衬套（bushing)、压缩气体工具、气动促动器中的一种或多种、及其组合。基板悬浮台以及空气轴承可用于操作根据本教导的气体封闭组件的各个实施例的OLED打印系统的各个方面。例如，使用空气轴承技术的基板悬浮台可用于将基板输送到打印头腔室中的合适位置以及在OLED打印处理期间支撑基板。
[0073]如前文所述，基板悬浮台以及空气轴承的各个实施例对容纳在根据本教导的气体封闭组件中的OLED打印系统的各个实施例的操作可能是有用的。如图I针对气体封闭组件和系统2000示意性地所示，使用空气轴承技术的基板悬浮台可用于将基板输送到打印头腔室中的合适位置以及在OLED打印处理期间支撑基板。在图I中，气体封闭组件1500可以是载荷锁定系统，其可具有用于通过第一入口闸门1512和闸门1514接收基板的入口腔室1510，用于将基板从入口腔室1510移动到气体封闭组件1500，以便打印。根据本教导的各个闸门可用于将腔室彼此隔离以及与外部环境隔离。根据本教导，各个闸门可从物理闸门和气帘选择。
[0074]在基板接收处理期间，闸门1512可打开，而闸门1514可处于关闭位置，以便防止环境气体进入气体封闭组件1500。一旦基板接收在入口腔室1510中，闸门1512和1514两者都可关闭且入口腔室1510可用诸如氮气、任何稀有气体及其任何组合的惰性气体吹扫，直到反应性环境气体的水平处于例如IOOppm或更低、IOppm或更低、L Oppm或更低、或O. Ippm或更低。在环境气体已达到足够低的水平之后，闸门1514可打开，而1512仍然关闭，以允许基板1550从入口腔室1510输送到气体封闭组件腔室1500，如在图I中所示。基板从入口腔室1510输送到气体封闭组件腔室1500可经由例如但不限于设置在腔室1500和1510中的悬浮台。基板从入口腔室1510输送到气体封闭组件腔室1500还可经由例如但不限于基板输送机器人，其可将基板1550放置在设置于腔室1500中的悬浮台上。基板1550在打印处理期间可保持支撑在基板悬浮台上。
[0075]气体封闭组件和系统2000的各个实施例可具有通过闸门1524与气体封闭组件1500流体连通的出口腔室1520。根据气体封闭组件和系统2000的各个实施例，在打印过程完成之后，基板1550可从气体封闭组件1500通过闸门1524输送到出口腔室1520。基板从气体封闭组件腔室1500输送到出口腔室1520可经由例如但不限于设置在腔室1500和1520中的悬浮台。基板从气体封闭组件腔室1500输送到出口腔室1520还可经由例如但不限于基板输送机器人，其可将基板1550从设置于腔室1500中的悬浮台上拾起且将其输送到腔室1520。对于气体封闭组件和系统2000的各个实施例，当闸门1524处于关闭位置以防止反应性环境气体进入气体封闭组件1500时，基板1550可从出口腔室1520经由闸门1522取回。
[0076]除了包括分别经由闸门1514和1524与气体封闭组件1500流体连通的入口腔室1510和出口腔室1520的载荷锁定系统之外，气体封闭组件和系统2000可包括系统控制器1600。系统控制器1600可包括与一个或多个存储器电路（未不出)连通的一个或多个处理器电路（未示出)。系统控制器1600还可与包括入口腔室1510和出口腔室1520的载荷锁定系统连通，且最终与OLED打印系统的打印喷嘴连通。这样，系统控制器1600可协调闸门1512、1514、1522和1524的打开和关闭。系统控制器1600还可控制至OLED打印系统的打印喷嘴的墨分配。基板1550可通过本教导的载荷锁定系统的各个实施例输送,经由例如但不限于使用空气轴承技术的基板悬浮台或使用空气轴承技术的基板悬浮台和基板输送机器人的组合，载荷锁定系统包括分别经由闸门1514和1524与气体封闭组件1500流体连通的入口腔室1510和出口腔室1520。
[0077]图I的载荷锁定系统的各个实施例还可包括气动控制系统1700，其可包括真空源和可包括氮气、任何稀有气体及其任何组合的惰性气体源。容纳在气体封闭组件和系统2000内的基板悬浮系统可包括通常布置在平坦表面上的多个真空端口和气体轴承端口。基板1550可通过诸如氮气、任何稀有气体及其任何组合的惰性气体的压力提升和保持离开硬表面。流出轴承容积的流动借助于多个真空端口完成。基板1550在基板悬浮台上的悬浮高度通常随气体压力和气体流量而变。气动控制系统1700的真空和压力可用于在图I的载荷锁定系统中气体封闭组件1500内操控期间支撑基板1550，例如在打印期间。控制系统1700还可用于在通过图I的载荷锁定系统输送期间支撑基板1550，载荷锁定系统包括分别经由闸门1514和1524与气体封闭组件1500流体连通的入口腔室1510和出口腔室1520。为了控制基板1550输送通过气体封闭组件和系统2000，系统控制器1600分别通过阀1712和1722与惰性气体源1710和真空1720连通。未示出的附加真空和惰性气体供应线路和阀可提供给气体封闭组件和系统2000，由图I中的载荷锁定系统图示，以进一步提供用于控制封闭环境所需的各种气体和真空设施。
[0078]为了给根据本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例提供更多维的透视图，图2是气体封闭组件和系统2000的各个实施例的左前透视图。图2示出了包括气体封闭组件1500、入口腔室1510和第一闸门1512的载荷锁定系统。图2的气体封闭组件和系统2000可包括气体净化系统2130，用于给气体封闭系统1500提供具有显著低水平的反应性环境物质（例如水蒸气和氧气）以及从OLED打印过程得到的有机溶剂蒸气的惰性气体恒定供应。图2的气体封闭组件和系统2000还具有用于系统控制功能的控制器系统1600，如前文所述。
[0079]图3是根据本教导的各个实施例的完全构建气体封闭组件100的右前透视图。气体封闭组件100可容纳一种或多种气体，用于保持气体封闭组件内部中的惰性环境。本教导的气体封闭组件和系统可以在保持内部中的惰性气体环境方面是有用的。惰性气体可以是在成组限定条件下不经受化学反应的任何气体。惰性气体的一些通常使用示例可包括氮气、任何稀有气体及其任何组合。气体封闭组件100配置成包围和保护空气敏感过程，例如使用工业打印系统打印有机发光二极管（OLED)墨。对OLED墨是反应性的环境气体的示例包括水蒸气和氧气。如前文所述，气体封闭组件100可配置成保持密封的大气环境且允许部件或打印系统有效地操作，同时避免污染、氧化和损害本来反应性的材料和基板。
[0080]如在图3中所示，气体封闭组件的各个实施例可包括以下部件部分，包括前部或第一壁面板210’、左侧或第二壁面板（未示出)、右侧或第三壁面板230’、后部或第四壁面板（未示出）、以及顶板面板250’，该气体封闭组件可附连到盘204，盘204坐置在基部（未示出）上。如随后更详细所述，图I的气体封闭组件100的各个实施例可由前部或第一壁框架210、左侧或第二壁框架（未示出）、右侧或第三壁框架230、后部或第四壁面板（未示出）、以及顶板框架250构建。顶板框架250的各个实施例可包括风扇过滤器单元罩盖103以及第一顶板框架管道105、和第一顶板框架管道107。根据本教导的实施例，各种类型的部段面板可安装在构成框架构件的多个面板部段中的任一个中。在图I的气体封闭组件100的各个实施例中，金属片面板部段109可在框架构建期间焊接到框架构件中。对于气体封闭组件100的各个实施例，可经过气体封闭组件的构建和解构循环重复地安装和拆卸的部段面板类型可包括针对壁面板210’示出的插入（inset)面板110以及针对壁面板230’示出的窗口面板120和可容易拆卸的维修窗口 130。
[0081]虽然可容易拆卸的维修窗口 130可设为易于接近封闭装置100的内部，但是可使用可拆卸的任何面板以提供对气体封闭组件和系统的内部的接近，以用于修理和常规维修目的。用于维修或修理的这种接近不同于通过诸如窗口面板120和可容易拆卸的维修窗口130的面板提供的接近，其可使得终端用户手套在使用期间从气体封闭组件外部接近气体封闭组件内部。例如，附连到手套端口 140的任何手套，例如手套142，如图3中针对面板230所示，可在气体封闭组件系统使用期间使得终端用户接近内部。
[0082]图4示出了图3中所示的气体封闭组件的各个实施例的分解图。气体封闭组件的各个实施例可具有多个壁面板，包括前部壁面板210’的外部透视图，左侧壁面板220’的外部透视图，右侧壁面板230’的内部透视图，后部壁面板240’的内部透视图，以及顶板面板250’的顶部透视图，如图3所示，气体封闭组件可附连到盘204，盘204坐置在基部202上。OLED打印系统可安装在盘204的顶部上，该打印过程已知对大气环境条件是敏感的。根据本教导，气体封闭组件可由框架构件构建，例如壁面板210’的壁框架210、壁面板220’的壁框架220、壁面板230’的壁框架230、壁面板240’的壁框架240、以及顶板面板250’的顶板框架250，其中然后可安装多个部段面板。在这方面，可期望流线化可以经过本教导的气体封闭组件的各个实施例的构建和解构循环重复地安装和拆卸的部段面板的设计。此外，可进行气体封闭组件100的定轮廓以容纳OLED打印系统的各个实施例的占有面积，以便最小化气体封闭组件内所需的惰性气体体积，以及使得终端用户易于接近，在气体封闭组件使用期间以及在维护期间都是如此。
[0083]使用前部壁面板210’和左侧壁面板220’作为示例，框架构件的各个实施例可具有在框架构件构建期间焊接到框架构件中的金属片面板部段109。插入面板110、窗口面板120和可容易拆卸的维修窗口 130可安装在每个壁框架构件中，且可经过图4的气体封闭组件100的构建和解构循环重复地安装和拆卸。可以看出：在壁面板210’和壁面板220’的示例中，壁面板可具有靠近可容易拆卸的维修窗口 130的窗口面板120。类似地，如在示例性后部壁面板240’中所示，壁面板可具有诸如窗口面板125的窗口面板，其具有两个相邻的手套端口 140。对于根据本教导的壁框架构件的各个实施例，且对于图3的气体封闭组件100可以看出，手套的这种布置可易于从气体封闭装置的外部接近封闭系统内的部件部分。因此，气体封闭装置的各个实施例可提供两个或更多手套端口，从而终端用户可将左手套和右手套伸入内部中且操控内部中的一个或多个物件，而不干扰内部中的气体环境的成分。例如，窗口面板120和维修窗口 130中的任一个可以定位成利于从气体封闭组件的外部容易接近气体封闭组件内部中的可调节部件。根据诸如窗口面板120和维修窗口 130的窗口面板的各个实施例，当未指出终端用户通过手套端口的手套接近时，这种窗口可不包括手套端口和手套端口组件。
[0084]如图4所示，壁和顶板面板的各个实施例可具有多个插入面板110。在图4中可以看出，插入面板可具有各种形状和纵横比。除了插入面板之外，顶板面板250’可具有安装、螺栓连接、螺纹连接、固定或以其他方式紧固到顶板框架250的风扇过滤器单元罩盖103以及第一顶板框架管道105和第二顶板框架管道107。如随后更详细所述地，与顶板面板250’的管道107流体连通的管道系统可安装在气体封闭组件的内部中。根据本教导，这种管道系统可以是气体封闭组件内部的气体循环系统的一部分，以及提供用于分隔离开气体封闭组件的流动流，用于循环通过气体封闭组件外部的至少一个气体净化部件。
[0085]图5是框架构件组件200的分解前透视图，其中，壁框架220可构建成包括面板的完全补充。虽然不限于所示设计，但是使用壁框架220的框架构件组件200可用于例示根据本教导的框架构件组件的各个实施例。根据本教导，框架构件组件的各个实施例可由各个框架构件和安装在各个框架构件的各个框架面板部段中的部段面板构成。
[0086]根据本教导的各个框架构件组件的各个实施例，框架构件组件200可由诸如壁框架220的框架构件构成。对于气体封闭组件的各个实施例，例如图3的气体封闭组件100，可使用容纳在这种气体封闭组件中的装备的过程可不仅需要提供惰性环境的气密密封封闭装置，而且需要大致没有颗粒物质的环境。在这方面，根据本教导的框架构件可使用用于构建框架的各个实施例的各种尺寸的金属管材料。这种金属管材料解决了期望材料属性，包括但不限于，将不会降解以产生颗粒物质的高整体性材料，以及产生具有高强度而具有最佳重量的框架构件，从而设为便于从一个地点到另一个地点进行输送、构建和解构包括各个框架构件和面板部段的气体封闭组件。本领域普通技术人员可容易理解，满足这些要求的任何材料可用于形成根据本教导的各个框架构件。
[0087]例如，根据本教导的框架构件的各个实施例，例如框架构件组件200，可由挤出的金属管构建。根据框架构件的各个实施例，可使用铝、钢和各种金属复合材料来构建框架构件。在各个实施例中，可使用具有例如但不限于如下尺寸且具有1/8"至1/4"壁厚的金属管：2"宽X2"高、4"宽X2"高和4"宽X4"高，以构建根据本教导的框架构件的各个实施例。此外，具有各种管或其它形式的各种纤维增强聚合物复合材料是可用的，其具有包括但不限于如下的材料属性：将不会降解以产生颗粒物质的高整体性材料，以及产生具有高强度而具有最佳重量的框架构件，设为便于从一个地点到另一个地点进行输送、构建和解构。
[0088]关于由各种尺寸的金属管材料构建各个框架构件，可设想的是，可进行焊接以形成框架焊接部的各个实施例。此外，由各种尺寸的构建材料构建各个框架构件可使用合适的工业粘合剂进行。可设想的是，构建各个框架构件应当以将不会固有地形成通过框架构件的泄漏路径的方式进行。在这方面，对于气体封闭组件的各个实施例，构建各个框架构件可使用将不会固有地形成通过框架构件的泄漏路径的任何方法进行。此外，根据本教导的框架构件的各个实施例，例如图4的壁框架220，可被涂刷或涂布。对于由例如易于氧化(其中，在表面处形成的材料可形成颗粒物质）的金属管材料制成的框架构件的各个实施例，可进行涂刷或涂布或其它表面处理，例如阳极电镀，以防止形成颗粒物质。
[0089]诸如图5的框架构件组件200的框架构件组件可具有诸如壁框架220的框架构件。壁框架220可具有顶部226 (顶部壁框架垫板227可紧固在其上）以及底部228 (底部壁框架垫板229可紧固在其上）。如随后将更详细所述地，安装在框架构件表面上的垫板是垫片密封系统的一部分，其与安装在框架构件部段中的面板的垫片密封结合，提供用于根据本教导的气体封闭组件的各个实施例的气密密封。框架构件，例如图5的框架构件组件200的壁框架220，可具有若干面板框架部段，其中，每个部段可制造成接收各种类型的面板，例如但不限于插入面板110、窗口面板120和可容易拆卸的维修窗口 130。各种类型的面板部段可在构建框架构件时形成。面板部段的类型可包括例如但不限于用于接收插入面板110的插入面板部段10、用于接收窗口面板120的窗口面板部段20和用于接收可容易拆卸的维修窗口 130的维修窗口面板部段30。
[0090]每种类型的面板部段可具有接收面板的面板部段框架，且可设置成每个面板可以可密封地紧固到根据本教导的每个面板部段中，用于构建气密密封的气体封闭组件。例如，在示出了根据本教导的框架组件的图5中，插入面板部段10显示为具有框架12，窗口面板部段20显示为具有框架22，并且维修窗口面板部段30显示为具有框架32。对于本教导的壁框架组件的各个实施例，各个面板部段框架可以是用连续焊珠焊接到面板部段中的金属片材料，以提供气密密封。对于壁框架组件的各个实施例，各个面板部段框架可由各种片材料制成，包括选自纤维增强聚合物复合材料的构建材料，其可以使用合适的工业粘合剂安装在面板部段中。如涉及密封的后续教导将更详细所述地，每个面板部段框架可具有设置在其上的可压缩垫片，以确保对于安装和紧固在每个面板部段中的每个面板可形成不透气体的密封。除了面板部段框架之外，每个框架构件部段可具有与定位面板以及在面板部段中牢固地紧固面板有关的硬件。
[0091]插入面板110以及用于窗口面板120的面板框架122的各个实施例可以由金属片材料构建，例如但不限于铝、铝的各种合金和不锈钢。面板材料的属性可以与用于构成框架构件的各个实施例的结构材料的属性相同。在这方面，具有用于各种面板构件的属性的材料包括但不限于：将不会降解以产生颗粒物质的高整体性材料，以及产生具有高强度而具有最佳重量的面板，以便于设为易于从一个地点到另一个地点进行输送、构建和解构。例如,蜂窝芯板材料的各个实施例可具有用作构建插入面板110以及用于窗口面板120的面板框架122的面板材料的所需属性。蜂窝芯板材料可以由各种材料制成；金属以及金属复合物和聚合物，以及聚合物复合蜂窝芯板材料。在由金属材料制成时可拆卸面板的各个实施例可具有包括在面板中的接地连接，以确保在气体封闭组件被构建时整个结构接地。
[0092]给定用于构建本教导的气体封闭组件的气体封闭组件部件的可输送性质,本教导的部段面板的各个实施例中的任一个可在气体封闭组件和系统使用期间重复安装和拆卸，以设为接近气体封闭组件的内部。
[0093]例如，用于接收可容易拆卸的维修窗口面板130的面板部段30可具有成组四个垫，其中一个显示为窗口引导垫34。此外，构建用于接收可容易拆卸的维修窗口面板130的面板部段30可具有成组四个夹板（clamping cheat) 36，其可用于使用安装在每个可容易拆卸的维修窗口 130的维修窗口框架132上的成组四个反向作用铰接（toggle)夹136将维修窗口 130夹持在维修窗口面板部段30中。此外，两个窗口把手138中的每个可安装在可容易拆卸的维修窗口框架132上，以使得终端用户易于拆卸和安装维修窗口 130。可拆卸的维修窗口把手的数量、类型和设置可变化。此外，用于接收可容易拆卸的维修窗口面板130的维修窗口面板部段30可使得窗口夹35中的至少两个选择性地安装在每个维修窗口面板部段30中。虽然示出为在每个维修窗口面板部段30的顶部和底部，但是至少两个窗口夹可以以用以在面板部段框架32中紧固维修窗口 130的任何方式安装。工具可用于拆卸和安装窗口夹35，以便允许维修窗口 130拆卸和再次安装。
[0094]维修窗口 130的反向作用铰接夹136以及安装在面板部段30上的硬件（包括夹板36、窗口引导垫34和窗口夹35)可以由任何合适材料以及材料组合构建。例如，一个或多个这种元件可包括至少一种金属、至少一种陶瓷、至少一种塑料及其组合。可拆卸的维修窗口把手138可以由任何合适材料以及材料组合构建。例如，一个或多个这种元件可包括至少一种金属、至少一种陶瓷、至少一种塑料、至少一种橡胶及其组合。封闭窗口，例如窗口面板120的窗口 124或维修窗口 130的窗口 134，可包括任何合适材料以及材料组合。根据本教导的气体封闭组件的各个实施例，封闭窗口可包括透明和半透明材料。在气体封闭组件的各个实施例中，封闭窗口可包括基于硅石的材料（例如但不限于，诸如玻璃和石英）以及各种类型的基于聚合物的材料（例如但不限于，诸如各种级别的聚碳酸酯、丙烯酸、和乙烯基材料）。本领域普通技术人员可以理解，示例性窗口材料的各种复合物及其组合还可用作根据本教导的透明和半透明材料。
[0095]在图5中针对框架构件组件200可看出，可容易拆卸的维修窗口面板130可具有带罩盖150的手套端口。虽然图3中显示所有手套端口具有向外延伸的手套，但是如图5所示，根据终端用户是否需要远程接近气体封闭组件的内部，手套端口还可被罩盖。如在图6A-7B中所示的罩盖组件的各个实施例设为在终端用户不使用手套时将罩盖牢固地闩锁在手套上，且同时设为在终端用户希望使用手套时便于接近。
[0096]在图6A中，不出了罩盖150,其可具有内表面151、外表面153和可定轮廓用于抓握的侧面152。三个肩部螺钉156从罩盖150的边缘154延伸。如图6B所示，每个肩部螺钉设置在边缘154中，使得柄部155从边缘154延伸设定距离，从而头部157不邻接边缘154。在图7A-7B中，手套端口硬件组件160可被修改以提供罩盖组件，其包括用于在封闭装置被加压以相对于封闭装置外部具有正压力时罩盖手套端口的锁定机构。
[0097]对于图6A的手套端口硬件组件160的各个实施例，卡扣夹持可以使得罩盖150封闭在手套端口硬件组件160上，且同时提供终端用户易于接近手套的快速联接设计。在图7A中所示的手套端口硬件组件160的俯视放大图中，手套端口组件160可包括后板161和前板163，前板163具有用于安装手套的带螺纹螺钉头部162和凸缘164。在凸缘164上示出了卡扣闩锁166，其具有槽165，用于接收肩部螺钉156的肩部螺钉头部157(图6B)。每个肩部螺钉156可以与手套端口硬件组件160的卡扣闩锁166中的每个对齐且接合。卡扣円锁166的槽168具有位于一端处的开口 165和位于槽168的另一端处的锁定凹部167。一旦每个肩部螺钉头部157插入每个开口 165中，罩盖150就可旋转，直到肩部螺钉头部邻接槽168的靠近锁定凹部167的端部处。图7B中所示的截面图示出了用于在气体封闭组件系统使用时罩盖手套的锁定特征。在使用期间，封闭装置中的惰性气体的内部气体压力比气体封闭组件外部的压力大设定量。正压力可填充手套（图3)，从而在手套在本教导的气体封闭组件的使用期间在罩盖150下压缩时，肩部螺钉头部157移动到锁定凹部167中，从而确保手套端口窗口将被可靠地罩盖。然而，终端用户可通过定轮廓用于抓握的侧面152来抓握罩盖150，且在不使用时容易地脱离紧固在卡扣闩锁中的罩盖。图7B还示出了在窗口 134的内表面131上的后板161以及在窗口 134的外表面上的前板163，两个板都具有O形环密封件169。
[0098]如在图8A-9B的以下教导中将讨论地，壁和顶板框架构件密封件与不透气体的部段面板框架密封件结合在一起提供用于需要惰性环境的空气敏感过程的气密密封气体封闭组件的各个实施例。有助于提供显著低浓度的反应性物质以及显著低颗粒环境的气体封闭组件和系统的部件可包括但不限于，气密密封气体封闭组件以及高效气体循环和颗粒过滤系统，包括管道系统。提供用于气体封闭组件的有效气密密封可能是有挑战的；尤其是在三个框架构件一起形成三面接头时。因而，三面接头密封在提供用于可经过构建和解构循环组装和拆卸的气体封闭组件的容易安装的气密密封方面具有特别困难的挑战。
[0099]在这方面，根据本教导的气体封闭组件的各个实施例通过接头的有效垫片密封以及在负载支承构建部件周围提供有效垫片密封而提供完全构建的气体封闭组件和系统的气密密封。与常规接头密封不同，根据本教导的接头密封：1)包括在顶部和底部终端框架接头结合部（在该处，三个框架构件被结合）处邻接的垫片区段与垂直取向的垫片长度的一致平行对齐，从而避免角向缝对齐和密封，2)提供用于沿接头的整个宽度形成邻接的长度，从而增加三面接头结合部处的密封接触面积，3)设计有垫板，所述垫板沿所有竖直和水平以及顶部和底部三面接头垫片密封提供一致的压缩力。此外，垫片材料的选择可影响提供气密密封的有效性，这将在随后讨论。
[0100]图8A-8C是示出常规三面接头密封与根据本教导的三面接头密封的对比的俯视示意图。根据本教导的气体封闭组件的各个实施例，可以有例如但不限于，至少四个壁框架构件、顶板框架构件和盘，其可被结合以形成气体封闭组件，从而产生需要气密密封的多个竖直、水平和三面接头。在图8A中，常规三面垫片密封的俯视示意图由第一垫片I形成，第一垫片I在X-Y平面中与垫片II垂直取向。如图8A中所示，在X-Y平面中由垂直取向形成的缝在两个区段之间具有由垫片宽度尺寸限定的接触长度I。此外，垫片111(在竖直方向与垫片I和垫片II两者垂直取向的垫片）的终端部分可邻接垫片I和垫片II，如由阴影所示。在图8B中，常规三面接头垫片密封的俯视示意图由第一垫片长度I形成，第一垫片长度I与第二垫片长度II垂直，且具有两个长度的45°缝结合面，其中，缝在两个区段之间具有大于垫片材料宽度的接触长度W2。类似于图8A的配置，在竖直方向与垫片I和垫片II两者垂直的垫片III的端部分可邻接垫片I和垫片II，如由阴影所示。假定垫片宽度在图8A和图8B中相同，图8B的接触长度W2大于图8A的接触长度W1。
[0101]图SC是根据本教导的三面接头垫片密封的俯视示意图。第一垫片长度I可具有垂直于垫片长度I的方向形成的垫片区段I’，其中，垫片区段I’具有的长度可大约为被结合的结构部件的宽度的尺寸，例如用于形成本教导的气体封闭组件的各个壁框架构件的4"宽X2"高或4〃宽X4"高的金属管。垫片II在X-Y平面中与垫片I垂直，且具有垫片区段II’，垫片区段II’与垫片区段I’的叠置长度大约为被结合的结构部件的宽度。垫片区段I’和II’的宽度是所选可压缩垫片材料的宽度。垫片III沿竖直方向与垫片I和垫片II两者垂直取向。垫片区段III’是垫片III的端部分。垫片区段III’由垫片区段III’与垫片III的竖直长度垂直取向而形成。垫片区段III’可形成为使得其具有与垫片区段I’和II’大约相同的长度，且具有是所选可压缩垫片材料厚度的宽度。在这方面，图8C中所示的三个对齐区段的接触长度W3大于分别具有W1和W2的图8A或图8B中所示常规三角接头S封。
[0102]在这方面，根据本教导的三面接头垫片密封在终端接头结合部处形成垫片区段的一致平行对齐（否则将是从其垂直对齐的垫片，如图8A和图8B的情况所示）。三面接头垫片密封区段的这种一致平行对齐跨过所述区段施加一致横向密封力，以促进由壁框架构件形成的接头的顶部和底部角部处的气密三面接头密封。此外，每个三面接头密封的一致对齐垫片区段的每个区段被选择成大约为被结合的结构部件的宽度，从而提供一致对齐区段的最大接触长度。此外，根据本教导的接头密封设计有垫板，所述垫板沿构建接头的所有竖直、水平以及三面垫片密封提供一致的压缩力。可证明的是，选择用于对图8A和图SB的示例给出的常规三面密封的垫片材料宽度可至少为被结合的结构部件的宽度。
[0103]图9A的分解透视图示出了在所有框架构件被结合之前根据本教导的密封组件300，从而垫片显示处于未压缩状态。在图9A中，在从气体封闭组件的各个部件构建气体封闭装置的第一步骤中，多个壁框架构件，例如壁框架310、壁框架350以及顶板框架370，可被可密封地结合。根据本教导的框架构件密封是提供气体封闭组件一旦完全构建就被气密密封以及提供可以经过气体封闭组件的构建和解构循环实施的密封的重要部分。虽然在图9A-9B的以下教导中给出的示例是用于密封气体封闭组件的一部分，但是本领域普通技术人员将理解，这种教导适用于本教导的气体封闭组件中的任一个的全部。
[0104]图9A中所示的第一壁框架310可具有安装有垫板312的内侧面311、竖直侧面314、和安装垫板316的顶表面315。第一壁框架310可具有第一垫片320，第一垫片320设置在由垫板312形成的空间中且粘附到由垫板312形成的空间。在第一垫片320设置在由垫板312形成的空间中且粘附到由垫板312形成的空间之后留下的间隙302可延伸第一垫片320的竖直长度，如图9A所示。如图9A所示，柔顺垫片320可设置在由垫板312形成的空间中且粘附到由垫板312形成的空间，且可具有竖直垫片长度321、曲线垫片长度323、以及在内部框架构件311上与竖直垫片长度321在平面内形成90°且终止于壁框架310的竖直侧面314的垫片长度325。在图9A中，第一壁框架310可具有安装垫板316的顶表面315，从而在表面315上形成空间，第二垫片340设置在所述空间中且靠近壁框架310的内边缘317粘附到所述空间。在第二垫片340设置在由垫板316形成的空间中且粘附到由垫板316形成的空间之后留下的间隙304可延伸第二垫片340的水平长度，如图9A所示。此夕卜，如阴影线所示，垫片340的长度345与垫片320的长度325 —致地平行且邻接地对齐。
[0105]图9A所示的第二壁框架350可具有外部框架侧面353、竖直侧面354、和安装垫板356的顶表面355。第二壁框架350可具有第一垫片360，第一垫片360设置在由垫板356形成的空间中且粘附到由垫板356形成的空间。在第一垫片360设置在由垫板356形成的空间中且粘附到由垫板356形成的空间之后留下的间隙306可延伸第一垫片360的水平长度，如在图9A中所示。如图9A所示，柔顺垫片360可具有竖直长度361、曲线长度363、以及与顶表面355在平面内形成90°且终止于外部框架构件353的长度365。
[0106]如图9A的分解透视图所示，壁框架310的内部框架构件311可结合到壁框架350的竖直侧面354以形成气体封闭框架组件的一个构建接头。关于这样形成的构建接头的密封，在根据本教导的壁框架构件的终端接头结合部处的垫片密封的各个实施例中，如图9A所示，垫片320的长度325、垫片360的长度365以及垫片340的长度345均邻接地且一致地对齐。此外，如随后更详细所述，本教导的垫板的各个实施例可提供用于气密密封本教导的气体封闭组件的各个实施例的可压缩垫片材料的大约20%至大约40%偏转之间的一致压缩。
[0107]图9B示出了在所有框架构件结合之后根据本教导的密封组件300，从而垫片显示为处于压缩状态。图9B是示出了在第一壁框架310、第二壁框架350和顶板框架370 (以假想图示出）之间的顶部终端接头结合部处形成的三面接头的角部密封的细节的透视图。如图9B中所示，由垫板限定的垫片空间可确定为一定宽度，从而在结合壁框架310、壁框架350和顶板框架370后；如假想图所示，用于形成竖直、水平和三面垫片密封的可压缩垫片材料的大约20%至大约40%偏转之间的一致压缩确保在壁框架构件的接头处密封的所有表面处的垫片密封可提供气密密封。此外，垫片间隙302、304和306(未示出）定尺寸为使得在可压缩垫片材料的大约20%至大约40%偏转之间的最佳压缩后，每个垫片可填充垫片间隙，如在图9B中针对垫片340和垫片360所示。因而，除了通过限定每个垫片设置和粘附的空间来提供一致压缩之外，设计成提供间隙的垫板的各个实施例还确保每个压缩垫片可顺应在由垫板限定的空间中，而不会以将形成泄漏路径的方式在压缩状态起皱或隆起或以其它方式不规则地成形。
[0108]根据本教导的气体封闭组件的各个实施例，各种类型的部段面板都可使用设置在每个面板部段框架上的可压缩垫片材料密封。结合框架构件垫片密封，用于在各个部段面板和面板部段框架之间形成密封的可压缩垫片的位置和材料可提供具有很少或没有气体泄漏的气密密封气体封闭组件。此外，用于所有类型的面板（例如，图5的插入面板110、窗口面板120和可容易拆卸的维修窗口 130)的密封设计可在这种面板重复拆卸和安装（为了接近气体封闭组件内部可能需要，例如为了维护）之后提供耐用面板密封。
[0109]例如，图IOA是示出了维修窗口面板部段30和可容易拆卸的维修窗口 130的分解图。如前文所述，维修窗口面板部段30可以制造用于接收可容易拆卸的维修窗口 130。对于气体封闭组件的各个实施例，诸如可拆卸维修面板部段30的面板部段可具有面板部段框架32以及设置在面板部段框架32上的可压缩垫片38。在各个实施例中，与在可拆卸维修窗口面板部段30中紧固可容易拆卸的维修窗口 130有关的硬件可使得终端用户便于安装和再次安装，且同时确保在可容易拆卸的维修窗口 130根据需要通过需要直接接近气体封闭组件内部的终端用户安装和再次安装在面板部段30中时，确保不透气体的密封。可容易拆卸的维修窗口 130可包括刚性窗口框架132，其可以由例如但不限于针对构建本教导的任何框架构件所述的金属管材料构建。维修窗口 130可使用快速作用紧固硬件，例如但不限于反向作用铰接夹136，以便使得终端用户便于拆卸和再次安装维修窗口 130。图IOA中示出了前述图7A-7B的手套端口硬件组件160，示出了成组3个卡扣闩锁166。
[0110]如图IOA的可拆卸维修窗口面板部段30的前视图所示，可容易拆卸的维修窗口130可具有紧固在窗口框架132上的成组四个铰接夹136。维修窗口 130可定位在面板部段框架30中限定距离处，用于确保抵靠垫片38的合适压缩力。使用成组四个窗口引导垫34，如图IOB所示，其可安装在面板部段30的每个角部中，用于在面板部段30中定位维修窗口 130。成组夹板36中的每个可设置成接收可容易拆卸的维修窗口 136的反向作用铰接夹136。根据用于经过安装和拆卸循环的气密密封维修窗口 130的各个实施例，维修窗口框架132的机械强度与维修窗口 130相对于可压缩垫片38的限定位置（通过成组窗口引导垫34提供）结合可确保一旦维修窗口 130紧固到位，例如但不限于使用紧固在相应夹板36中的反向作用铰接夹136，维修窗口框架132就可在面板部段框架32上用限定压缩(由成组窗口引导垫34设定）提供均匀的力。该组窗口引导垫34定位成使得窗口 130在垫片38上的压缩力在大约20%至大约40%之间偏转可压缩垫片38。在这方面,维修窗口130的构建以及面板部段30的制造提供用于维修窗口 130在面板部段30中的不透气体的密封。如前文所述，窗口夹35可在维修窗口 130紧固在面板部段30中之后安装在面板部段30中，且在维修窗口 130需要拆卸时拆卸。
[0111]反向作用铰接夹136可使用任何合适手段以及手段组合紧固到可容易拆卸的维修窗口框架132。可使用的合适紧固手段的示例包括至少一种粘合剂（例如但不限于，环氧树脂或水泥)、至少一个螺栓、至少一个螺钉、至少一个其它紧固件、至少一个槽、至少一个轨道、至少一个焊接部及其组合。反向作用铰接夹136可直接连接到可拆卸的维修窗口框架132或者通过适配器板间接地连接。反向作用铰接夹136、夹板36、窗口引导垫34和窗口夹35可由任何合适材料以及材料组合构建。例如，一个或多个这种元件可包括至少一种金属、至少一种陶瓷、至少一种塑料及其组合。
[0112]除了密封可容易拆卸的维修窗口之外，不透气体的密封还可提供用于插入面板和窗口面板。可以在面板部段中重复地安装和拆卸的其它类型的部段面板包括例如但不限于图5所示的插入面板110和窗口面板120。在图5中可以看出，窗口面板120的面板框架122与插入面板110类似地构建。因而，根据气体封闭组件的各个实施例，用于接收插入面板和窗口面板的面板部段的制造可相同。在这方面，插入面板和窗口面板的密封可使用相同原理实施。
[0113]参照图IlA和图11B，且根据本教导的各个实施例，气体封闭装置（例如，图I的气体封闭组件100)的任何面板可包括一个或多个插入面板部段10，其可具有配置成接收相应的插入面板110的框架12。图IlA是指出图IlB中所示的放大部分的透视图。在图IlA中，插入面板110示出为相对于插入框架12定位。在图IlB中可看出，插入面板110固结到框架12，其中，框架12可例如由金属构建。在一些实施例中，金属可包括铝、钢、铜、不锈钢、铬、合金及其组合等。多个盲螺纹孔14可在插入面板部段框架12中形成。面板部段框架12构建成以便包括在插入面板110和框架12之间的垫片16，可压缩垫片18可设置在其中。盲孔14可以是M5类型。螺钉15可由盲孔14接收，从而在插入面板110和框架12之间压缩垫片16。一旦抵靠垫片16紧固到位，插入面板110就在插入面板部段10内形成不透气体的密封。如前文所述，这种面板密封可对各种部段面板实施，包括但不限于，图5中所示的插入面板110和窗口面板120。
[0114]根据依照本教导的可压缩垫片的各个实施例，用于框架构件密封和面板密封的可压缩垫片材料可选自各种可压缩聚合材料，例如但不限于封闭单元（cell)聚合材料类别中的任一种，本领域也称为膨胀橡胶材料或膨胀聚合材料。简而言之，封闭单元聚合物以气体封闭在分立单元中的方式制备；其中每个分立单元由聚合材料封闭。期望用于框架和面板部件的不透气体密封的可压缩封闭单元聚合垫片材料的属性包括但不限于，它们对宽范围的化学物质的化学攻击是健壮的，具有非常好的防潮屏障属性，在宽温度范围内是有弹性的，且抵抗永久性压缩形变（set)。总的来说，与开口单元结构聚合材料相比，封闭单元聚合材料具有较高尺寸稳定性、较低水分吸收系数和较高强度。可制成封闭单元聚合材料的各种类型的聚合材料包括例如但不限于：硅酮（silicone)、氯丁橡胶、乙烯-丙烯-二烯三元共聚物（EPT)(使用三元乙烯橡胶（EPDM)制成的聚合物和复合物）、乙烯腈、丁苯橡胶(SBR)及其各种共聚物和共混物。
[0115]封闭单元聚合物的期望材料属性仅仅在构成块体材料的单元在使用期间保持完好无损时保持。在这方面，以可超过为封闭单元聚合物设定的材料规格（例如，超过在指定温度或压缩范围内使用的规格）的方式使用这种材料可引起垫片密封的降解。在用于密封框架构件和框架面板部段中的部段面板的封闭单元聚合物垫片的各个实施例中，这种材料的压缩应当不超过在大约50%至大约70%偏转之间，并且为了最佳性能可在大约20%至大约40%偏转之间。
[0116]除了封闭单元可压缩垫片材料之外，具有用于构建根据本教导的气体封闭组件的实施例的期望属性的可压缩垫片材料类别的另一示例包括中空挤出型可压缩垫片材料类另IJ。中空挤出型垫片材料作为材料类别具有期望属性，包括但不限于，它们对宽范围化学物质的化学攻击是健壮的，具有非常好的防潮屏障属性，在宽温度范围内是有弹性的，且其抵抗永久性压缩形变。这种中空挤出型可压缩垫片材料可以以宽范围的各种形状因数出现，例如但不限于，U形单元、D形单元、方形单元、矩形单元以及各种常规形状因数中空挤出型垫片材料中的任一种。各种中空挤出型垫片材料可以由用于封闭单元可压缩垫片制造的聚合材料制成。例如但不限于，中空挤出型垫片的各个实施例可由硅酮、氯丁橡胶、乙烯-丙烯-二烯三元共聚物（EPT)(使用三元乙丙橡胶（EPDM)制成的聚合物和复合物）、乙烯腈、丁苯橡胶（SBR)及其各种共聚物和共混物制成。这种中空单元垫片材料的压缩应当不超过大约50%偏转，以便保持期望属性。
[0117]本领域的普通技术人员可容易地理解，虽然封闭单元可压缩垫片材料类别和中空挤出型可压缩垫片材料类别作为示例给出，但是具有期望属性的任何可压缩垫片材料都可用于密封本教导提供的结构部件（例如各种壁和顶板框架构件）以及密封面板部段框架中的各个面板。
[0118]可从多个框架构件构建气体封闭组件，例如图3和图4的气体封闭组件100或者如将随后讨论的图23和图24的气体封闭组件1000，以便最小化损坏系统部件（例如但不限于，垫片密封、框架构件、管道和部段面板）的风险。例如，垫片密封是在从多个框架构件构建气体封闭装置期间可易于损坏的部件。根据本教导的各个实施例，材料和方法设置成最小化或消除在构建根据本教导的气体封闭装置期间损坏气体封闭组件的各个部件的风险。
[0119]图12A是诸如图3的气体封闭组件100的气体封闭组件的构建初始阶段的透视图。虽然诸如气体封闭组件100的气体封闭组件用于例示本教导的气体封闭组件的构建，但是普通技术人员可认识到，这种教导适用于气体封闭组件的各个实施例。如在图12A中所示，在气体封闭组件的构建的初始阶段期间，多个垫块首先放置在由基部202支撑的盘204上。垫块可以比设置在安装于盘204上的各个壁框架构件上的可压缩垫片材料更厚。一系列垫块可放置在盘204的周边边缘上的位置，在所述位置，在组装期间气体封闭组件的各个壁框架构件可放置在一系列垫块上且靠近盘204的位置，而不与盘204接触。期望以可保护对设置在各个壁框架构件上的可压缩垫片材料（为了与盘204密封的目的）不受任何损害的方式在盘204上组装各个壁框架构件。因而，为了与盘204形成气密密封目的，使用垫块（各个壁面板部件可在垫块上放置在盘204上的初始位置）防止使设置在各个壁框架构件上的可压缩垫片材料受到任何损害。例如但不限于，如图12A所示，前部周边边缘201可具有垫93、95和97，前部壁框架构件可坐置在垫93、95和97上；右侧周边边缘205可具有垫89和91，右侧壁框架构件可坐置在垫89和91上；且后部周边边缘207可具有两个垫，后部壁框架垫可坐置在其上，其中示出了垫87。可使用垫块的任何数量、类型和组合。本领域普通技术人员将理解，根据本教导，垫块可定位在盘204上，尽管在图12A-图14B中的每个都未示出独特的垫块。
[0120]用于从部件框架构件组装气体封闭装置的根据本教导的各个实施例的示例性垫块在图12B中示出，其是在图9A的圈出部分所示的第三垫块91的透视图。示例性垫块91可包括附连到垫块的横向侧面92的垫块带90。垫块可由任何合适材料以及材料组合制成。例如，每个垫块可包括超高分子量的聚乙烯。垫块带90可由任何合适材料以及材料组合制成。在一些实施例中，垫块带90包括尼龙材料、聚亚烷材料等。垫块91具有顶表面94和底表面96。垫块87、89、93、95、97和所使用的任何其它垫块可以以相同或类似物理属性配置，且可包括相同或类似材料。垫块可以以允许稳定放置到盘204的周边上边缘而便于拆卸的方式坐置、夹持或以其它方式容易地设置。
[0121]在图13提供的分解透视图中，框架构件可包括可附连到坐置在基部202上的盘204上的前部壁框架210、左侧壁框架220、右侧壁框架230、后部壁框架240以及顶板或顶部框架250。OLED打印系统50可安装在盘204顶部上。
[0122]根据本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例的OLED打印系统50可包括例如:花岗石基部；可支撑OLED打印装置的可移动桥；从加压惰性气体再循环系统的各个实施例延伸的一个或多个装置和设备，例如，基板悬浮台、空气轴承、轨道、导轨；用于将OLED膜形成材料沉积在基板上的喷墨打印机系统，包括OLED墨供应子系统和喷墨打印头；一个或多个机器人等。给出可包括OLED打印系统50的各个部件，OLED打印系统50的各个实施例可具有各种占有面积和形状因数。
[0123]OLED喷墨打印系统可包括允许将墨滴可靠设置在基板上特定位置的若干装置和设备。这些装置和设备可包括但不限于，打印头组件、墨输送系统、运动系统、诸如悬浮台或卡盘(chuck)的基板支撑设备、基板装载和卸载系统、以及打印头维护系统。打印头组件包括至少一个喷墨头，带有能够将墨滴以受控速率、速度和尺寸喷射的至少一个孔口。喷墨头由墨供应系统供给，墨供应系统将墨提供给喷墨头。打印需要在打印头组件和基板之间的相对运动。这借助于运动系统完成，通常是龙门架或分离轴XYZ系统。打印头组件可在固定基板上移动(龙门架型)，或者在分离轴配置的情况下，打印头和基板两者都可以移动。在另一个实施例中，打印站可固定，且基板可沿X和Y轴相对于打印头移动，而Z轴运动在基板或者打印头处提供。当打印头相对于基板移动时，墨滴在正确时间喷射以沉积在基板上的期望位置。基板使用基板装载和卸载系统插入打印机和从打印机移开。根据打印机配置，这可以用机械输送器、基板悬浮台或具有末端执行器的机器人完成。打印头维护系统可包括若干子系统，其允许诸如墨滴容积标定、喷墨喷嘴表面的刮擦、灌注以将墨喷射到废池的维护任务。
[0124]根据用于组装气体封闭装置的本教导的各个实施例，如图13所示的前部或第一壁框架210、左侧或第二壁框架220、右侧或第三壁框架230、后部或第四壁框架250以及顶板框架250可以以系统的顺序构建在一起，且然后附连到安装在基部202上的盘204。框架构件的各个实施例可使用龙门起重机定位在垫块上以便防止损坏可压缩垫片材料，如前文所述。例如，使用龙门起重机，前部壁框架210可坐置在至少三个垫块上，例如图12A中所示的盘204的周边上边缘201上的垫93、95和97。在前部壁框架210放置在垫块上后，壁框架220和壁框架230可接连或者以任何顺序依次放置在分别已经设置在盘204的周边边缘203和周边边缘205上的垫块上。根据从部件框架构件组装气体封闭装置的本教导的各个实施例，前部壁框架210可放置在垫块上，随后将左侧壁框架220和右侧壁框架230放置在垫块上，使得它们到位以被螺栓连接或以其它方式紧固到前部壁框架210。在各个实施例中，后部壁框架240可放置在垫块上，使得其到位以被螺栓连接或紧固到左侧壁框架220和右侧壁框架230。对于各个实施例，一旦壁框架构件紧固在一起以形成邻接壁框架封闭组件，顶部顶板框架250就可固结到这种壁框架封闭组件以形成完整的气体封闭框架组件。在用于构建气体封闭组件的本教导的各个实施例中，在该组装阶段，完整的气体封闭框架组件坐置在多个垫块上，以便保护各个框架构件垫片的整体性。
[0125]如图14A中所示，对于用于构建气体封闭组件的本教导的各个实施例，气体封闭框架组件400然后可定位成使得垫可以移开以准备将气体封闭框架组件400附连到盘204。图14A示出了使用提升器组件402、提升器组件404和提升器组件406升高至从垫块提升且离开垫块的位置的气体封闭框架组件400。在本教导的各个实施例中，提升器组件402、404和406可在气体封闭框架组件400的周边周围附连。在提升器组件附连之后，完全构建的气体封闭框架组件可通过致动每个提升器组件以升高或伸出每个提升器组件而提离垫块，从而升高气体封闭框架组件400。如图14A所示，气体封闭框架组件400显示为被提升到先前坐置在其上的多个垫块上方。所述多个垫块然后可以从盘204上的其坐置位置移开，从而框架然后可降低到盘204上且然后附连到盘204。
[0126]图14B是根据本教导的提升器组件的各个实施例且如图1lA中所示的相同提升器组件402的分解图。如图所示，提升器组件402包括防磨衬垫408、安装板410、第一夹子支座412和第二夹子支座413。第一夹子414和第二夹子415显示为与相应的夹子支座412和413成直线。千斤顶曲柄416附连到千斤顶轴418的顶部。拖车(trailer jack)千斤顶520显示为垂直于千斤顶轴418且附连到千斤顶轴418。千斤顶基部422显示为千斤顶轴418的下端部的一部分。在千斤顶基部422下方是足部支座424，其配置成接收千斤顶轴418的下端部且可连接到其上。校平足部426也被示出且配置成由足部支座424接收。本领域普通技术人员可以容易认识到，适合于提升操作的任何手段都可用于从垫块升高气体封闭框架组件，从而垫块可被移开且完好无损的气体封闭组件可以降低到盘上。例如，取代诸如402、404和406的一个或多个提升器组件，可使用液压、气动或电动提升器。
[0127]根据用于构建气体封闭组件的本教导的各个实施例，多个紧固件可提供且配置成将所述多个框架构件紧固在一起，且然后将气体封闭框架组件紧固到盘。所述多个紧固件可包括沿每个框架构件的每个边缘设置在相应框架构件配置成与多个框架构件中的相邻框架构件交叉的位置处的一个或多个紧固件部分。所述多个紧固件和可压缩垫片可配置成使得，在框架构件结合在一起时，可压缩垫片设置靠近内部且硬件靠近外部，从而硬件不会提供本教导的不透气体封闭组件的多个泄漏路径。
[0128]所述多个紧固件可包括沿一个或多个框架构件的边缘的多个螺栓、以及沿多个框架构件中的一个或多个不同框架构件的边缘的多个螺纹孔。所述多个紧固件可包括多个螺帽固定螺栓。所述螺栓可包括延伸离开相应面板的外表面的螺栓头部。螺栓可沉入框架构件中的凹部中。夹子、螺钉、铆钉、粘合剂和其它紧固件可用于将框架构件紧固在一起。螺栓或其它紧固件可延伸通过一个或多个框架构件的外壁且进入一个或多个相邻框架构件的侧壁或顶壁中的螺纹孔或其它互补紧固件特征中。
[0129]如图15-17中所示，对于构建气体封闭装置的方法的各个实施例，管道系统可安装在由壁框架和顶板框架构件结合而形成的内部部分中。对于气体封闭组件的各个实施例，管道系统可在构建处理期间安装。根据本教导的各个实施例，管道系统可安装在由多个框架构件构建的气体封闭框架组件内。在各个实施例中，管道系统可在多个框架构件结合以形成气体封闭框架组件之前安装在多个框架构件上。用于气体封闭组件和系统的各个实施例的管道系统可配置成使得从一个或多个管道系统入口抽吸到管道系统中的大致所有气体移动通过气体循环和过滤回路的各个实施例，用于去除气体封闭组件内部的颗粒物质。此外，气体封闭组件和系统的各个实施例的管道系统可配置成将气体封闭组件外部的气体净化回路的入口和出口从气体循环和过滤回路分开,气体循环和过滤回路用于去除气体封闭组件内的颗粒物质。根据本教导的管道系统的各个实施例可由金属片制成，例如但不限于具有大约SOmil厚度的铝片。
[0130]图15示出了气体封闭组件100的管道系统组件500的右前假想透视图。封闭管道系统组件500可具有前部壁面板管道系统组件510。如图所示，前部壁面板管道系统组件510可具有前部壁面板入口管道512、第一前部壁面板纵承材514和第二前部壁面板纵承材516，其两者都与前部壁面板入口管道512流体连通。第一前部壁面板纵承材514显示为具有出口 515，出口 515与风扇过滤器单元罩盖103的顶板管道505可密封地接合。以类似方式，第二前部壁面板纵承材516显示为具有出口 517，出口 517与风扇过滤器单元罩盖103的顶板管道507可密封地接合。在这方面，前部壁面板管道系统组件510提供用于使用前部壁面板入口管道512将气体封闭组件内的惰性气体从底部循环通过每个前部壁面板纵承材514和516，且分别将空气输送通过出口 505和507，从而空气可通过例如风扇过滤器单元752过滤。如随后将更详细所述地，风扇过滤器单元的数量、尺寸和形状可根据在处理期间打印系统中的基板的物理位置来选择。作为热调节系统的一部分的热交换器742靠近风扇过滤器单元752，可将循环通过气体封闭组件100的惰性气体保持在期望温度。
[0131]右侧壁面板管道系统组件530可具有右侧壁面板入口管道532，其通过右侧壁面板第一纵承材534和右侧壁面板第二纵承材536与右侧壁面板上部管道538流体连通。右侧壁面板上部管道538可具有第一管道入口端部535和第二管道出口端部537，第二管道出口端部537与后部壁管道系统组件540的后部壁面板上部管道536流体连通。左侧壁面板管道系统组件520可具有与针对右侧壁面板组件530所述相同的部件，其中，在图15中可明显看到通过第一左侧壁面板纵承材524和第一左侧壁面板纵承材524与左侧壁面板上部管道(未示出)流体连通的左侧壁面板入口管道522。后部壁面板管道系统组件540可具有后部壁面板入口管道542，后部壁面板入口管道542与左侧壁面板组件520和右侧壁面板组件530流体连通。此外，后部壁面板管道系统组件540可具有后部壁面板底部管道544，后部壁面板底部管道544可具有后部壁面板第一入口 541和后部壁面板第二入口 543。后部壁面板底部管道544可经由第一隔壁(bulkhead) 547和第二隔壁549与后部壁面板上部管道536流体连通，所述隔壁结构可以用于将例如但不限于缆线、线和管线等的各种束从气体封闭组件100的外部馈送给内部。管道开口 533设置用于将缆线、线和管线等的束移出后部壁面板上部管道536，其可经由隔壁549穿过上部管道536。隔壁547和隔壁549可以在外部上使用可拆卸插入面板气密密封，如前文所述。后部壁面板上部管道通过通风口545 (图15中示出了其一个角部)与例如但不限于风扇过滤器单元754流体连通。在这方面，左侧壁面板管道系统组件520、右侧壁面板管道系统组件530和后部壁面板管道系统组件540提供用于将气体封闭组件内的惰性气体从底部循环，分别使用壁面板入口管道522、532和542以及后部面板下部管道544，其通过前述的各个纵承材、管道、隔壁通道等与通风口 545流体连通，从而空气可通过例如风扇过滤器单元754过滤。作为热调节系统的一部分的热交换器744靠近风扇过滤器单元754，可将循环通过气体封闭组件100的惰性气体保持在期望温度。
[0132]在图15中，示出了通过开口 533的缆线馈送。如随后更详细所述地，本教导的气体封闭组件的各个实施例提供用于使得缆线、线和管线等的束通过管道系统。为了消除在这种束周围形成的泄漏路径，可使用用于使用顺应材料密封束中的不同尺寸缆线、线和管线的各个方法。图15中还示出了用于封闭管道系统组件500的管I和管II，其显示为风扇过滤器单元罩盖103的一部分。管I提供至外部气体净化系统的惰性气体出口，而管II提供至气体封闭组件100内部的气体循环和颗粒过滤回路的净化惰性气体返回。
[0133]在图16中，示出了封闭管道系统组件500的顶部假想透视图。可看出左侧壁面板管道系统组件520和右侧壁面板管道系统组件530的对称性质。对于右侧壁面板管道系统组件530，右侧壁面板入口管道532通过右侧壁面板第一纵承材534和右侧壁面板第二纵承材536与右侧壁面板上部管道538流体连通。右侧壁面板上部管道538可具有第一管道入口端部535和第二管道出口端部537，该第二管道出口端部537与后部壁管道系统组件540的后部壁面板上部管道536流体连通。类似地，左侧壁面板管道系统组件520可具有左侧壁面板入口管道522，左侧壁面板入口管道522通过左侧壁面板第一纵承材524和左侧壁面板第二纵承材526与左侧壁面板上部管道528流体连通。左侧壁面板上部管道528可具有第一管道入口端部525和第二管道出口端部527，该第二管道出口端部527与后部壁管道系统组件540的后部壁面板上部管道536流体连通。此外，后部壁面板管道系统组件可具有后部壁面板入口管道542，后部壁面板入口管道542与左侧壁面板组件520和右侧壁面板组件530流体连通。此外，后部壁面板管道系统组件540可具有后部壁面板底部管道544，后部壁面板底部管道544可具有后部壁面板第一入口 541和后部壁面板第二入口 543。后部壁面板底部管道544可经由第一隔壁547和第二隔壁549与后部壁面板上部管道536流体连通。图15和图16中所示的管道系统组件500可提供惰性气体从前部壁面板管道系统组件510 (其将惰性气体从前部壁面板入口管道512分别经由前部壁面板出口 515和517循环到顶板面板管道505和507)的有效循环以及从左侧壁面板组件520、右侧壁面板组件530和后部壁面板管道系统组件540 (其将空气分别从入口管道522、532和542循环到通风口 545)的有效循环。一旦惰性气体经由顶板面板管道505和507和通风口 545排出到封闭装置100的风扇过滤器单元罩盖103下的封闭区域，这样排出的惰性气体就可通过风扇过滤器单元752和754过滤。此外，循环的惰性气体可通过作为热调节系统的一部分的热交换器742和744保持在期望温度。
[0134]图17是封闭管道系统组件500的假想仰视图。入口管道系统组件502包括彼此流体连通的前部壁面板入口管道512、左侧壁面板入口管道522、右侧壁面板入口管道532以及后部壁面板入口管道542。对于入口管道系统组件502中包括的每个入口管道，存在沿每个管道底部均匀分布的明显开口，成组开口被特别强调，以用于本教导的目的，如前部壁面板入口管道512的开口 511、左侧壁面板入口管道522的开口 521、右侧壁面板入口管道532的开口 531以及右侧壁面板入口管道542的开口 541。跨每个入口管道的底部可看到，这种开口提供用于惰性气体在封闭装置100内的有效吸收，以用于连续循环和过滤。气体封闭组件的各个实施例的惰性气体的连续循环和过滤提供用于保持气体封闭组件系统的各个实施例内的大致没有颗粒的环境。气体封闭组件系统的各个实施例对于颗粒物质可以保持在ISO 14644的4级。气体封闭组件系统的各个实施例对于颗粒污染特别敏感的过程可保持在ISO 14644的3级规格。如前文所述，管I提供至外部气体净化系统的惰性气体出口，而管II提供至气体封闭组件100内部的过滤和循环回路的净化惰性气体返回。
[0135]在根据本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例中，缆线、线和管线等的束可与设置在气体封闭组件和系统内部中的电气系统、机械系统、流体系统和冷却系统可操作地相关联，例如以用于OLED打印系统的操作。这种束可馈送通过管道，以便吹扫截留在缆线、线和管线等的束的死区中的反应性环境气体，例如水蒸气和氧气。根据本教导，已经发现在缆线、线和管线的束内形成的死区形成所截留反应性物质的贮存器，其可显著地延长使得气体封闭组件符合执行空气敏感过程的规格所需的时间。对于用于打印OLED装置的本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例，各种反应性物质(包括各种反应性环境气体，例如水蒸气和氧气，以及有机溶剂蒸气)中的每种物质都可保持在例如10ppm或更低、1ppm或更低、1.0ppm或更低、或0.1ppm或更低。
[0136]为了理解通过管道的缆线馈送可如何导致减少从束捆缆线、线和管线等的死容积吹扫截留的反应性环境气体所需的时间，参考图18A-19。图18A示出了束I的放大图，束I可以是可包括管线的束，例如，用于将各种墨、溶剂等输送给诸如图13的打印系统50的打印系统的管线A。图18A的束I还可包括诸如电线B的电线或诸如同轴电缆C的缆线。这种管线、线和缆线可束捆在一起且从外部布线到内部以连接到包括OLED打印系统的各种装置和设备。在图18A的阴影区域可以看出，这种束可以形成大量的死区D。在图18B的示意性透视图中，当缆线、线和管线束I馈送通过管道II时，惰性气体III可连续地扫过束。图19的放大截面图示出了连续扫过束捆管线、线和缆线的惰性气体可如何有效地增加从这种束中形成的死容积去除所截留的反应性物质的速率。反应性物质A离开死容积(在图19中通过由物质A占据的总区域表示)的扩散速率与死容积外(在图19中通过由惰性气体物质B占据的总区域表示)的反应性物质浓度成反比。即，如果在刚好在死容积外的容积中反应性物质的浓度高，那么扩散速率减少。如果这种区域中的反应性物质浓度从刚好在死容积空间外的容积连续降低(通过惰性气体的流动流，然后通过质量作用)，那么反应性物质从死容积扩散的速率增加。此外，通过相同原理,惰性气体可扩散到死容积中，因为所截留的反应性物质有效地从这些空间去除。
[0137]图20A是气体封闭组件600的各个实施例的后角部的透视图，其中假想图穿过返回管道605进入气体封闭组件600的内部。对于气体封闭组件600的各个实施例，后部壁面板640可具有插入面板610，插入面板610配置成提供至例如电气隔壁的通路。缆线、线和管线等的束可馈送通过隔壁进入缆线布线管道，例如在右侧壁面板630中所示的管道632，为此，可拆卸插入面板已经拆卸以暴露布线到第一缆线、线和管线束管道进口 636中的束。从这里，所述束可馈送到气体封闭组件600的内部，且在假想图中通过气体封闭组件600的内部中的返回管道605示出。用于缆线、线和管线束布线的气体封闭组件的各个实施例可具有多于一个缆线、线和管线束进口，如在图20A中所示，其示出了第一束管道进口 634和用于另一束的第二束管道进口 636。图20B示出了用于缆线、线和管线束的束管道进口 634的放大图。束管道进口 634可具有设计成与滑动罩盖633形成密封的开口 631。在各个实施例中，开口 631可容纳例如由Roxtec Company提供的用于缆线进口密封的柔性密封模块，其可容纳束中的各种直径的缆线、线和管线等。备选地，滑动罩盖633的顶部635和开口 631的上部部分637可具有设置在每个表面上的顺应材料，从而顺应材料可在馈送通过诸如束管道进口 634的进口的束中的各种尺寸直径的缆线、线和管线等周围形成密封。
[0138]图21是本教导的顶板面板的各个实施例的仰视图，例如诸如图3的气体封闭组件和系统100的顶板面板250’。根据用于组装气体封闭装置的本教导的各个实施例，照明装置可安装在顶板面板(例如图3的气体封闭组件和系统100的顶板面板250’)的内部顶表面上。如图21所示，具有内部部分251的顶板框架250可将照明装置安装在各个框架构件的内部部分上。例如，顶板框架250可具有两个顶板框架部段40，顶板框架部段40共同具有两个顶板框架梁42和44。每个顶板框架部段40可具有朝向顶板框架250内部定位的第一侧41和朝向顶板框架250外部定位的第二侧43。对于为气体封闭装置提供照明的根据本教导的各个实施例，可安装照明元件46对。每对照明元件46可包括靠近第一侧41的第一照明元件45和靠近顶板框架部段40的第二侧43的第二照明元件47。图21中所示的照明元件的数量、定位和分组是示例性的。照明元件的数量和分组可以以任何期望或合适方式变化。在各个实施例中，照明元件可平坦地安装，而在其它实施例中，可安装成使得它们可移动到各个位置和角度。照明元件的设置并不限于顶部面板顶板433，而是除此之外或者在备选实施例中可位于图3所不的气体封闭组件和系统100的任何其它内表面、夕卜表面和表面组合上。
[0139]各种照明元件可包括任何数量、类型或组合的灯，例如卤光灯、白灯、白炽灯、弧光灯、或发光二极管或装置(LED)。例如，每个照明元件可包括I个LED至大约100个LED，大约10个LED至大约50个LED，或者大于100个LED。LED或其它照明装置可发出色谱中、色谱外或其组合的任何颜色或颜色组合。根据用于喷墨打印OLED材料的气体封闭组件的各个实施例，因为一些材料对一些波长的光敏感，因而安装在气体封闭组件中的照明装置的光波长可被特定地选择，以避免在处理期间材料降解。例如，可使用4X冷白色LED，也可使用4X黄色LED或其任何组合。4X冷白色LED的示例是可从IDEC Corporat1n(Sunnyvale, California)获得的LF1B-D4S-2THWW4。可使用的4X黄色LED的示例是也可从IDEC Corporat1n获得的LF1B-D4S-2SHY6。LED或其它照明元件可从顶板框架250的内部部分251上或者气体封闭组件的另一表面上的任何位置定位或悬置。照明元件不限于LED。可使用任何合适照明元件或照明元件的组合。图22是IDEC LED光谱的曲线图，且示出了在峰值强度为100%时与强度相对应的X轴和与波长(单位:纳米)相对应的y轴。不出了 LFlB黄色类型、黄色荧光灯、LFlB白色类型LED、LF1B冷白色类型LED和LFlB红色类型LED的频谱。根据本教导的各个实施例，可使用其它光谱和光谱组合。
[0140]回忆一下，气体封闭组件的各个实施例以最小化气体封闭组件的内部容积且同时优化工作空间以容纳各种OLED打印系统的各种占有面积的方式构建。如此构建的气体封闭组件的各个实施例还在处理期间易于从外部接近气体封闭组件的内部且易于接近内部以便维护，同时最小化停机时间。在这方面，根据本教导的气体封闭组件的各个实施例可关于各种OLED打印系统的各种占有面积定轮廓。
[0141]普通技术人员可理解，用于框架构件构建、面板构建、框架和面板密封以及气体封闭组件(例如，图3的气体封闭组件100)的构建的本教导可应用于具有各种尺寸和设计的气体封闭组件。例如但不限于，涵盖从基板尺寸Gen 3.5至Gen 10的本教导的定轮廓气体封闭组件的各个实施例可具有在大约6m3至大约95m3之间的内部容积，且可针对未定轮廓且具有相当毛尺寸的封闭装置节省容积在大约30%至大约70%之间。气体封闭组件的各个实施例可使得各个框架构件构建成提供用于气体封闭组件的轮廓，以便容纳OLED打印系统用于其功能且同时优化工作空间以最小化惰性气体体积，且还允许在处理期间便于从外部接近OLED打印系统。在这方面，本教导的各个气体封闭组件可在轮廓形貌和容积方面变化。
[0142]图23提供根据本教导的气体封闭组件的示例。气体封闭组件1000可包括前部框架组件1100、中间框架组件1200和后部框架组件1300。前部框架组件1100可包括前部基部框架1120、前部壁框架1140和前部顶板框架1160，前部壁框架1140可具有用于接收基板的开口 1142。中间框架组件1200可包括第一中间封闭框架组件1240、中间壁和顶板框架组件1260和第二中间封闭框架组件1280。后部框架组件1300可包括后部基部框架1320、后部壁框架1340和后部顶板框架1360。阴影中所示的区域示出了气体组件1000的可用工作容积，其是可用于容纳OLED打印系统的容积。气体封闭组件1000的各个实施例定轮廓为最小化操作空气敏感过程(例如，OLED打印过程)所需的再循环惰性气体的容积，且同时允许易于接近OLED打印系统(在操作期间远程地或者直接通过可容易拆卸面板容易地接近)。对于涵盖基板尺寸Gen 3.5至Gen 10的本教导的气体封闭组件的各个实施例，根据本教导的定轮廓气体封闭组件的各个实施例可具有在大约6m3至大约95m3之间的气体封闭容积，且例如但不限于在大约15m3至大约30m3之间,对于例如Gen 5.5至Gen 8.5基板尺寸的OLED打印来说这可能是有用的。
[0143]气体封闭组件1000可具有在本教导中针对示例性气体封闭组件100所记载的所有特征。例如但不限于，气体封闭组件1000可使用根据本教导的密封，以提供经过构建和解构循环的气密密封封闭装置。基于气体封闭组件1000的气体封闭系统的各个实施例可具有气体净化系统，其可将各种反应性物质(包括各种反应性环境气体，例如水蒸气和氧气，以及有机溶剂蒸气)的每种物质水平保持在例如10ppm或更低、1ppm或更低、1.0ppm或更低、或0.1ppm或更低。
[0144]此外，基于气体封闭组件1000的气体封闭组件和系统的各个实施例可具有循环和过滤系统,其可提供满足ISO 14644的3级和4级洁净室标准的无颗粒环境。此外，如随后更详细所述，基于本教导的气体封闭组件(例如，气体封闭组件100和气体封闭组件1000)的气体封闭组件系统可具有加压惰性气体再循环系统的各个实施例，其可用于操作例如但不限于以下中的一种或多种:气动机器人、基板悬浮台、空气轴承、空气衬套、压缩气体工具、气动促动器、及其组合。对于本教导的气体封闭装置和系统的各个实施例，使用各种气动操作的装置和设备可提供低颗粒生成性能以及低维护。
[0145]图24是根据本教导的气体封闭组件1000的分解图，示出了可构建以提供气密密封气体封闭装置的各个框架构件。如前文中针对图3和图13的气体封闭装置100的各个实施例所述，OLED喷墨打印系统1050可包括允许将墨滴可靠设置在显示由基板悬浮台1054支撑的基板(例如基板1058)上特定位置的若干装置和设备。基板悬浮台1054可用于支撑基板1058，以及提供用于基板1058的无摩擦输送。OLED打印系统的基板悬浮台1054可限定基板1058在基板的OLED打印期间可移动通过系统1000的行程。给出可构成OLED打印系统1050的各个部件，OLED打印系统1050的各个实施例可具有各种占有面积和形状因数。根据OLED喷墨打印系统的各个实施例，各种基板材料可用于基板1058，例如但不限于各种玻璃基板材料以及各种聚合物基板材料。
[0146]根据本教导的气体封闭组件的各个实施例，如前文针对气体封闭装置100所述，气体封闭组件的构建可在整个OLED打印系统周围进行，以最小化气体封闭组件的容积以及设为易于接近内部。在图24中，定轮廓的示例可考虑OLED打印系统1050给出。
[0147]如图24所示，在OLED打印系统1050上可存在六个隔离器:第一隔离器组1051 (在相对侧上的该组中的第二隔离器未示出)和第二隔离器1053组(在相对侧上的该组中的第二隔离器未示出)，其支撑OLED打印系统1050的基板悬浮台1054。悬浮台1054支撑在悬浮台基部1052上。除了图24中不可见且与第一隔离器1051和第二隔离器1053相对定位的两个隔离器之外，存在支撑OLED打印系统基部1070的成组两个隔离器。前部封闭基部1120可具有支撑第一前部封闭隔离器壁框架1123的第一前部封闭隔离器支座1121。第二前部封闭隔离器壁框架1127由第二前部封闭隔离器支座(未示出)支撑。类似地，中间封闭基部1220可具有支撑第一中间封闭隔离器壁框架1223的第一中间封闭隔离器支座1221。第二中间封闭隔离器壁框架1227由第二中间封闭隔离器支座(未示出)支撑。最后，后部封闭基部1320可具有支撑后部中间封闭隔离器壁框架1323的第一后部封闭隔离器支座1321。第二后部封闭隔离器壁框架1327由第二后部封闭隔离器支座(未示出)支撑。隔离器壁框架构件的各个实施例已在每个隔离器周围定轮廓，从而最小化每个隔离器支撑构件周围的容积。此外，针对基部1120、1220和1320的每个隔离器壁框架示出的阴影面板部段是可以拆卸的可拆卸面板，例如以便维修隔离器。前部封闭组件基部1120可具有盘1122，同时中间封闭组件基部1220可具有盘1222，且后部封闭组件基部1320可具有盘1322。当基部完全构建以形成邻接基部时，以类似于将OLED打印系统50安装在图13的盘204上的方式，可将OLED打印系统安装在由此形成的邻接盘上。如前文所述，然后可将诸如下列的壁和顶板框架构件在OLED打印系统1050周围结合在一起:前部框架组件1100的壁框架1140、顶板框架1160 ;中间框架组件1200的第一中间封闭框架组件1240、中间壁和顶板框架组件1260和第二中间封闭框架组件1280’ ；以及后部框架组件1300的壁框架1340和顶板框架1360。因而，本教导的气密密封定轮廓框架构件组件的各个实施例有效地减少了气体封闭组件1000中的惰性气体体积，而同时设为易于接近OLED打印系统的各个装置和设备。
[0148]此外，本教导的气体封闭组件的各个实施例可以以提供单独地起作用的框架构件组件部段的方式构建。回忆一下，参照图5，根据本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例的框架构件组件可包括具有可密封地安装在框架构件上的各个面板的框架构件。例如但不限于，壁框架构件组件或壁面板组件可以是包括可密封地安装在壁框架构件上的各个面板的壁框架构件。因此，各种完全构建的面板组件，例如但不限于壁面板组件、顶板面板组件、壁和顶板面板组件、基部支撑面板组件等，是各种类型的框架构件组件。本教导的气体封闭组件的各个实施例的模块化性质可提供用于具有各种框架构件组件部段的气体封闭组件的实施例，其中每个框架构件组件部段是气体封闭组件的总容积的一部分。构成气体封闭组件的各个实施例的各种框架构件组件部段可具有共同的至少一个框架构件。对于气体封闭组件的各个实施例，构成气体封闭组件的各种框架构件组件部段可具有共同的至少一个框架构件组件。构成气体封闭组件的各个实施例的各种框架构件组件部段可具有共同的至少一个框架构件和一个框架构件组件的组合。
[0149]根据本教导，各种框架构件组件部段可通过例如但不限于对于每一个框架构件组件部段共同的开口或通道或其组合的封闭分离成部段。例如，在各个实施例中，框架构件组件部段可通过覆盖对于每个框架构件组件部段共同的框架构件或框架构件面板中的开口或通道或其组合、从而有效地封闭开口或通道或其组合而分离。在各个实施例中，框架构件组件部段可通过密封对于每个框架构件组件部段共同的开口或通道或其组合、从而有效地封闭开口或通道或其组合而分离。可密封地封闭开口或通道或其组合可导致中断每个框架构件组件部段的每个容积之间的流体连通的分离，其中每个容积是包含在气体封闭组件内的总容积的一部分。可密封地封闭开口或通道可因此隔离包含在每个框架构件组件部段内的每个容积。
[0150]因此，参照图24，基部1070可具有限定宽度的第一端部1072和第二端部1074以及限定长度的第一侧1076和第二侧1078。第一纵承材1075和第二纵承材1077可垂直于基部1070且安装在基部1070上，桥1079安装在第一纵承材1075和第二纵承材1077上。对于OLED打印系统1050的各个实施例，桥1079可支撑第一打印头组件定位系统1090和第二打印头组件定位系统1091，其分别用于控制在基板悬浮台1054上方的第一打印头组件1080和第二打印头组件1081的X-Z轴移动。虽然图24示出了两个定位系统和两个打印头组件，但是对于OLED打印系统1050的各个实施例，可存在单个定位系统和单个打印头组件。此外，对于OLED打印系统1050的各个实施例，可存在单个打印头组件，例如，安装在定位系统上的第一打印头组件1080和第二打印头组件1081中的任一个，而用于检查基板1058的特征的摄像系统可安装在第二定位系统上。根据气体封闭组件1000的各个实施例，打印头维护系统可靠近打印头组件安装，例如但不限于，在基部1070的第一上表面1071和第二上表面1073上。
[0151]此外，参照图24，面板可安装在基部1220的第一框架构件1224和第二框架构件1226上，且在每个面板上可固结垫片。垫片可用于封闭在面板和基部1070之间的每一个通道。此外，桥框架1144可支撑中间框架组件1200，以及提供用于支撑插入框架的各个实施例的构架。插入桥框架1144中的插入框架的各个实施例可具有允许打印头组件行进的开口，并且也可支撑用于封闭允许打印头组件行进的开口的闸阀门组件。通过可密封地封闭基部周围的通道，以及可密封地封闭允许打印头组件行进的开口，由中间框架组件1200围绕安装在基部1070上的桥1079大致限定的容积可与气体封闭组件1000的剩余部分容积隔离。
[0152]分离气体封闭装置的分立部段的示例性用途可以是对打印头组件(例如，打印系统1050的第一打印头组件1080和第二打印头组件1081)执行各种维护程序。这种维护程序可包括例如但不限于更换打印头组件内的打印头，而不需要使气体封闭组件通向大气环境。此外，由于由中间框架组件1200围绕安装在基部1070上的桥1079大致限定的部分容积可与气体封闭组件1000的剩余容积完全隔离，该部分容积可通向环境物质，例如但不限于水蒸气和氧气，而不污染气体封闭组件的剩余更大容积。通过限制可暴露于环境物质的容积，系统恢复可在显著更短的时间内完成。本领域的普通技术人员将理解，虽然打印头组件维护的示例以举例方式提供，但是需要气体封闭组件的各种过程可容易地使用其中部段可被分立地分离以提供单独地起作用的框架构件组件部段的气体封闭组件，其中至少一个部段可具有总封闭装置容积的显著更小的部分容积。
[0153]图25示出了根据图23和图24的气体封闭组件1000的各个实施例的部分分解透视图。在图25中，示出了各个完好无损的面板组件，该面板组件可以以各种方式分离以限定第一框架构件组件部段和第二框架构件组件部段，第一框架构件组件部段限定第一容积，第二框架构件组件部段限定第二容积。
[0154]例如但不限于，在图25中，气体封闭组件1000可包括前部面板组件1100’、中间面板组件1200’和后部面板组件1300’。前部面板组件1100’可包括前部顶板面板组件1160’、前部壁面板组件1140’和前部基部面板组件1120’，而后部面板组件1300’可包括后部顶板面板组件1360’、后部壁面板组件1340’和后部基部面板组件1320’。在图24的分解图中可看出，对于前部框架组件1100和中间面板框架1200，图25的前部面板组件1100’和中间面板组件1200’具有共同的桥框架1144。中间面板组件1200’可具有第一中间封闭面板组件1240’、中间壁和顶板面板组件1260’和第二中间封闭面板组件1280’，其在可密封地安装在中间基部面板组件1220’上时可覆盖基部1070，包括在其上安装桥1079的第一纵承材1075和第二纵承材1077。如前文所述，桥1079可支撑第一打印头组件定位系统1090，其可控制打印头组件1080在基板悬浮台1054上方的移动(参见图24)。用于将打印头组件1080定位在基板悬浮台1054上方(参见图24)的第一打印头组件定位系统1090可包括第一 X轴滑架(carriage) 1092和第一 Z轴移动板1094，第一打印头组件1080可安装在第一 Z轴移动板1094上。第二打印头组件定位系统1091可类似地配置以控制第二打印头组件1081在基板悬浮台1054上方(参见图24)的X-Z轴移动。
[0155]图26示出了气体封闭组件1000的部分分解侧透视图，其包括前部面板组件1100’以及中间面板组件1200’和后部面板组件1300’的各个部段。前部面板组件1100’可在其中包括插入框架1146，可看到插入框架1146安装在桥框架1144中，桥框架1144是前部面板组件1100’和中间面板组件1200’共同的框架构件。插入框架1146可包括开口 1148，在开口 1148周围可固结垫片1147。在插入框架1146上方，示出闸阀门组件1150。闸阀门组件1150可安装在插入框架1146上方。在图27A和图27B中可以看出，闸阀门组件1150可具有门1158，其经由第一滑架1153和第二滑架1154安装到Y-Z定位系统，以用于在插入框架1146的开口 1148上方移动门1158，并且接合门1158以可密封地覆盖开口 1148。在图27A中，包括第一轨道1151和第二轨道1152的定位系统可分别具有可与导轨导向系统接合的第一滑架1153和第二滑架1154。本领域普通技术人员应理解，导轨导向系统可包括诸如，例如但不限于导轨、轴承和促动器的部件，以用于控制定位系统移动和因此门1158的移动。在图27A中，垫片1147示出为围绕开口 1148。垫片1147可以是前文针对密封框架构件组件所述的任何垫片材料。在图27A中，门1158回缩，从而打印头组件1080和1081可分别由悬浮台1054上方的第一打印头组件定位系统1090和第二打印头组件定位系统1091通过在开口 1148内行进而移动(参见图24和图25)。在图27B中，门1158示出为覆盖开口 1148。包括门1158所安装到的第一滑架1153和第二滑架1154的的定位系统可将门1158定位在开口 1148上方，以便可密封地接合垫片1147，从而可密封地封闭开口 1148。
[0156]图28示出了穿过与前部面板组件1100’和后部面板组件1300’有关的中间基部面板组件1220’的截面图。如图28所示，通道1225可位于基部1070周围；其中基部1070延伸通过第一框架构件1224。在框架构件1224内，诸如面板1228的提供框架构件的面板可以可密封地安装在框架构件1224中。可设想的是，提供机械密封的各种垫片可用于密封通道1225。在各个实施例中，可使用用于密封通道1225的可充气垫片。可充气垫片的各个实施例可由增强弹性体材料制成为中空模制结构，该结构在不充气时可处于凹形、褶皱状或平坦配置。在各个实施例中，垫片可安装在面板1228上以用于可密封地封闭基部1070周围的通道1225。因此，当使用例如但不限于惰性气体的多种合适的流体介质中任一种充气时，用于可密封地封闭基部1070周围的通道1225的可充气垫片的各个实施例可在诸如面板1228的内表面的安装表面和诸如基部1070的表面的撞击(striking)表面之间形成严密屏障。在各个实施例中，可充气垫片可安装在基部1070上，以用于可密封地封闭基部1070周围的通道1225，使得基部1070可以是安装表面，且面板1228的内表面可以是撞击表面。在这方面，顺应密封件可以可密封地封闭通道1225。
[0157]除了可充气垫片的各个实施例之外，也可使用诸如波纹管密封件或唇缘密封件的柔性密封件来密封通道1225，该密封件永久性地附连，例如，附连到面板1228以及基部1070。这种永久性附连的密封件可提供基部1070的各种平移和振动移动所需的柔韧性，而同时为通道1225提供气密密封。
[0158]本领域普通技术人员可理解，在明确限定的边缘周围形成顺应密封件可能是有问题的。在其中示出围绕诸如基部1070的结构的密封的气体封闭装置的各个实施例中，这种结构可制造成消除期望密封处的明确限定的边缘。在图24的打印系统1050的各个实施例中，基部1070可初始地制造成具有基部1070的倒圆的侧边缘以促进密封，如由第一侧1076的阴影线1070-1A和第二侧1078的阴影线1070-1B所示。在图24的打印系统1050的各个实施例中，基部1070可随后被修改以具有安装用于提供基部1070的倒圆的侧边缘以促进密封的结构，如由第一侧1076的阴影线结构1070-2A和第二侧1078的阴影线结构1070-2B所示。基部1070可由可提供用于支撑打印系统所需的稳定性的材料制成，例如但不限于，花岗石和钢。这种材料可容易地修改为如图28中所示。虽然给出在中间基部面板组件1220’中使用垫片封闭基部1070周围的通道1225的示例，但是本领域普通技术人员将理解，跨越基部组件1220’的框架组件1226的基部1070周围的(参见图24)封闭可使用相同原理进行。
[0159]如前文所述，打印头组件的维护可包括各种标定和维护程序。例如，对于OLED显示面板基板的打印，每个打印头组件，例如图24的第一打印头组件1080和第二打印头组件1081可具有安装在至少一个打印头装置中的多个打印头。在各个实施例中，打印头装置可包括例如但不限于与至少一个打印头的流体和电子连接；每个打印头具有能够以受控速率、速度和尺寸喷墨的多个喷嘴或孔口。对于图24的第一打印头组件1080和第二打印头组件1081的各个实施例，每个打印头组件可包括在大约I个至大约60个之间的打印头装置，其中每个打印头装置可具有在每个打印头装置中的大约I个至大约30个之间的打印头。打印头，例如工业喷墨头，可具有在大约16个至大约2048个之间的喷嘴，其可排出大约0.1pL至大约200pL之间的墨滴体积。标定打印头可包括例如但不限于:检查喷嘴启动(firing)；测量墨滴体积、速度和方向；以及调整打印头，从而每个喷嘴喷射均匀体积的墨滴。维护打印头可包括例如但不限于诸如打印头灌注、在灌注程序之后移除多余的墨、以及打印头更换的程序，打印头灌注需要收集和容纳从打印头排出的墨。在打印过程中，例如，对于OLED显示面板基板的打印，喷嘴的可靠启动对于确保打印过程可制造优质的OLED面板显示器至关重要。因此，与打印头维护相关联的各种程序有必要容易且可靠地实施；尤其是不需要将气体封闭组件的内部暴露于各种反应性成分，例如但不限于来自大气环境的氧气和水蒸气以及例如但不限于来自打印过程的有机溶剂蒸气。
[0160]在这方面，对于图24的气体封闭组件的各个实施例，维护系统可安装成例如但不限于靠近基部1070的顶表面1071上的第一打印头组件1080以及靠近基部1070的顶表面1073上的第二打印头组件1081。这种维护系统可包括例如但不限于用于执行各种打印头标定程序的墨滴标定站、用于收集和容纳在吹扫或灌注程序期间从打印头排出的墨的吹扫站、以及用于在吹扫或灌注程序已在吹扫站进行之后移除多余的墨的吸墨站。在日常维护期间，这种程序可以以完全自动模式进行。在维护程序期间可指示一定程度的人工干预的某些情况下，终端用户接近可通过例如使用手套端口而在外部进行。如前文所述，图23-28的气体封闭组件1000的各个实施例有效地减小在OLED打印处理期间所需的惰性气体的体积，而同时设为易于接近气体封闭装置的内部。
[0161]此外，如果打印头维护需要直接接近打印头组件或各种维护站中的任一个，可密封地封闭开口 1148上的门1158(如针对图27A和图27B所述)以及可密封地封闭基部1070周围的通道(如针对图28所述)可隔离由包括中间面板组件1200’的框架构件组件部段和中间基部面板组件1220’的隔离部分限定的容积与气体封闭组件1000的剩余容积。此外，本领域普通技术人员将理解，可密封地封闭开口 1148上的门1158(如针对图27A、图27B和图28所述)以及可密封地封闭基部1070周围的通道(如针对图28所述)可远程地且自动地进行。对于气体封闭组件1000的各个实施例，用于这种维护框架构件组件部段的这种隔离容积的部分容积可小于或等于定轮廓的气体封闭组件的各个实施例的总容积的大约20%。对于气体封闭组件1000的各个实施例，用于这种维护框架构件组件部段的这种隔离容积的部分容积可小于或等于定轮廓气体封闭组件的各个实施例的总容积的大约50%。通过显著减小需要终端用户直接接近以进行打印头维护的气体封闭组件的部分，可显著减少系统恢复时间。
[0162]图29示出了根据本教导的气体封闭组件的各个实施例的气体封闭组件1010的透视图。气体封闭组件1010可包括前部面板组件1100’、中间面板组件1200’和后部面板组件1300’。前部面板组件1100’可包括前部顶板面板组件1160’、前部壁面板组件1140’和前部基部面板组件1120’，前部壁面板组件1140’可具有用于接收基板的开口 1142。后部面板组件1300’可包括后部顶板面板组件1360’、后部壁面板组件1340’和后部基部面板组件1320’。中间面板组件1200’可包括第一中间封闭面板组件1240’、中间壁和顶板面板组件1260’和第二中间封闭面板组件1280’、以及中间基部面板组件1220’。此外，中间面板组件1200’可包括第一中间维护系统面板组件1230’、以及第二中间维护系统面板组件(未示出)。
[0163]图30示出了根据本教导的气体封闭组件的各个实施例的气体封闭装置1010的分解透视图。气体封闭组件1010可容纳OLED打印系统1050，其可包括由基板悬浮台基部1052支撑的基板悬浮台1054。基板悬浮台基部1052可安装在基部1070上。OLED打印系统的基板悬浮台1054可支撑基板1058，且限定基板1058在基板的OLED打印期间可移动通过系统1010的行程。基板悬浮台1054可提供基板1058的无摩擦输送。对于图30的气体封闭组件1010，在OLED打印系统1050上可存在四个隔离器:第一隔离器组1051 (在相对侧上的第二个未示出)和第二隔离器组1053(在相对侧上的第二个未示出)，其支撑OLED打印系统1050的基板悬浮台1054。基部1070可包括第一纵承材1075和第二纵承材1077，桥1079安装在第一纵承材1075和第二纵承材1077上。对于OLED打印系统1050的各个实施例，桥1079可支撑第一打印头组件定位系统1090和第二定位系统1091，其可分别控制第一打印头组件1080和第二打印头组件1081的移动。对于OLED打印系统1050的各个实施例，可存在单个定位系统和单个打印头组件。对于OLED打印系统1050的各个实施例，可存在单个打印头组件，例如，第一打印头组件1080和第二打印头组件1081中的任一个，而用于检查基板1058的特征的摄像系统可安装在第二定位系统上。
[0164]用于将第一打印头组件1080定位在基板悬浮台1054上方的第一打印头组件定位系统1090可包括第一 X轴滑架1092和第一 Z轴移动板1094，第一打印头组件封闭装置1084可安装在第一 Z轴移动板1094上。第二打印头组件定位系统1091可类似地配置以控制可包括第二打印头组件封闭装置1085的第二打印头组件1081的X-Z轴移动。如图30中针对第一打印头组件1080所示，其中第一打印头组件封闭装置1084以部分视图示出，打印头组件的各个实施例可具有安装在其中的多个打印头装置1082。对于打印系统1050的各个实施例，打印头组件可包括在大约I个至大约60个之间的打印头装置，其中每个打印头装置可具有在每个打印头装置中的大约I个至大约30个之间的打印头。如随后将更详细所述地，给定需要连续维护的打印头装置和打印头的准确数量，可看到第一维护系统组件1250定位成容易接近第一打印头组件1080。
[0165]如在图30中所示，气体封闭组件1010可包括前部基部面板组件1120’、中间基部面板组件1220’和后部基部面板组件1320’，其在完全构建时形成邻接基部，以类似于OLED打印系统50安装在图13的盘204上的方式，在该邻接基部上，OLED打印系统1050可安装在由此形成的邻接盘上。第一隔离器组1051和第二隔离器组可安装在每一个相应的隔离器壁(well)面板中，例如，中间基部面板组件1220’的第一隔离器壁面板1225’和第二隔离器壁面板1227’。以与针对图3的气体封闭组件100的构建描述的类似的方式，构成前部面板组件1100’、中间面板组件1200’和后部面板组件1300’的各个框架构件和面板然后可围绕OLED打印系统1050结合以形成气体封闭组件1050的各个实施例。
[0166]对于图30的气体封闭组件1010，中间基部组件1220’可包括第一中间维护系统面板组件1230’以及第二中间维护系统面板组件1270’。第一中间维护系统面板组件1230’和第二中间维护系统面板组件1270’可分别包括第一底板面板组件1241’的第一打印头组件开口 1242和第二底板面板组件1281’的第二打印头组件开口 1282。第一底板面板组件1241’在图30中示出为中间面板组件1200’的第一中间封闭面板组件1240’的部分。第一底板面板组件1241’是第一中间封闭面板组件1240’和第一中间维护系统面板组件1230’两者共同的面板组件。第二底板面板组件1281’在图30中示出为中间面板组件1200’的第二中间封闭面板组件1280’的部分。第二底板面板组件1281’是第二中间封闭面板组件1280’和第二中间维护系统面板组件1270’两者共同的面板组件。
[0167]如前文所述，第一打印头组件1080可容纳在第一打印头组件封闭装置1084中，且第二打印头组件1081可容纳在第二打印头组件封闭装置1085中。如随后将更详细所述地，第一打印头组件封闭装置1084和第二打印头组件封闭装置1085可具有在底部的开口，该开口可具有边缘(未示出)，从而各种打印头组件可定位用于在打印处理期间进行打印。此外，第一打印头组件封闭装置1084和第二打印头组件封闭装置1085形成壳体的部分可如前文针对各种面板组件所述来构建，从而框架组件构件和面板能够提供气密封闭装置。可压缩垫片可固结在第一打印头组件开口 1242和第二打印头组件开口 1282中的每一个周围，或者在第一打印头组件封闭装置1084和第二打印头组件封闭装置1085的边缘周围。如在图30中所示，第一打印头组件对接垫片1245和第二打印头组件对接垫片1285可分别围绕第一打印头组件开口 1242和第二打印头组件开口 1282固结。第一打印头组件定位系统1090和第二打印头组件定位系统1091可将第一打印头组件封闭装置1084和第二打印头组件封闭装置1085分别与第一中间维护系统面板组件1230’和第二中间维护系统面板组件1270’对接。对于各种打印头维护程序，对接可包括在打印头组件封闭装置和维护系统面板组件中的每一个之间形成垫片密封。当第一打印头组件封闭装置1084和第二打印头组件封闭装置1085与第一中间维护系统面板组件1230’和第二中间维护系统面板组件1270’对接以可密封地封闭第一打印头组件开口 1242和第二打印头组件开口 1282时，如此形成的组合结构为气密密封的。
[0168]在各种打印头维护程序期间，第一打印头组件1080和第二打印头组件1081可分别由第一打印头组件定位系统1090和第二打印头组件定位系统1091分别定位在第一底板面板组件1241’的第一打印头组件开口 1242和第二底板面板组件1281’的第二打印头组件开口 1282上方。在这方面，对于各种打印头维护程序，第一打印头组件1080和第二打印头组件1081可分别定位在第一底板面板组件1241’的第一打印头组件开口 1242和第二底板面板组件1281’的第二打印头组件开口 1282上方，而不覆盖或密封第一打印头组件开口 1242和第二打印头组件开口 1282。此外，对于各种打印头维护程序，第一打印头组件开口 1242和第二打印头组件开口 1282的封闭可将作为部段的第一中间维护系统面板组件1230’和作为部段的第二中间维护系统面板组件1270’与气体封闭组件1010的剩余容积分离。对于各种打印头维护程序，第一打印头组件1080和第二打印头组件1081可沿Z轴方向分别对接在第一打印头组件开口 1242和第二打印头组件开口 1282上方的垫片上，从而封闭第一打印头组件开口 1242和第二打印头组件开口 1282。根据本教导，取决于在Z轴方向上施加到第一打印头组件封闭装置1084和第二打印头组件封闭装置1085的力，第一打印头组件开口 1242和第二打印头组件开口 1282可被覆盖或密封。在这方面，在Z轴方向上施加到第一打印头组件封闭装置1084的可密封第一打印头组件开口 1242的力可将作为部段的第一中间维护系统面板组件1230’与构成气体封闭组件1010的剩余框架构件组件部段隔离。类似地，在Z轴方向上施加到第二打印头组件封闭装置1085的可密封第二打印头组件开口 1282的力可将作为部段的第二中间维护系统面板组件1270’与构成气体封闭组件1010的剩余框架构件组件部段隔离。
[0169]可设想的是，在气体封闭组件1010的各个实施例中，诸如，例如但不限于前文针对图26以及图27A和27B所述的闸阀组件的覆盖物可安装在第一中间维护系统面板组件1230’和第二中间维护系统面板组件1270’中。这种覆盖物可分别用于覆盖第一中间维护系统面板组件1230’的第一打印头组件开口 1242和第二中间维护系统面板组件1270’的第二打印头组件开口 1282。如随后将更详细所述，使用诸如例如但不限于闸阀组件的覆盖物来封闭第一打印头组件开口 1242和第二打印头组件开口 1282可允许将第一框架构件组件部段与第二框架构件组件部段隔离，而不对接打印头组件。在这方面，可执行各种维护程序，而不中断打印过程。
[0170]气体封闭组件1010的图30示出了第一中间维护系统面板组件1230’，其可包括第一后部壁面板组件1238’。类似地，还示出了第二中间维护系统面板组件1270’，其可包括第二后部壁面板组件1278’。第一中间维护系统面板组件1230’的第一后部壁面板组件1238’可以如针对第二后部壁面板组件1278’所示的类似方式构建。第二中间维护系统面板组件1270’的第二后部壁面板组件1278’可由第二后部壁框架组件1278构建，第二后部壁框架组件1278具有可密封地安装到第二后部壁框架组件1278的第二密封件支撑面板1275。第二密封件支撑面板1275可具有第二通道1265，其靠近基部1070的第二端部(未示出)。第二密封件1267可围绕第二通道1265安装到第二密封件支撑面板1275。
[0171]图31A-31F是气体封闭组件1010的示意性截面视图，其还可示出第一中间维护系统面板组件1230’和第二中间维护系统面板组件1270’的各个方面。本领域的普通技术人员应理解，给定打印系统1050的对称性，其可具有分别用于定位第一打印头组件1080和第二打印头组件1081的第一打印头组件定位系统1090和第二打印头组件定位系统1091 (参见图30)，针对图31A-31D的第一中间维护系统面板组件1230’的下面的教导可应用于第二中间维护系统面板组件1270’。
[0172]图31A示出了气体封闭组件1010的示意性截面视图，其示出了第一中间维护系统面板组件1230’和第二中间维护系统面板组件1270’。图31A的第一中间维护系统面板组件1230’可容纳第一维护系统组件1250，其可由第一维护系统定位系统1251相对于第一打印头组件开口 1242定位。第一打印头组件开口 1242是在第一底板面板组件1241’中的开口，第一底板面板组件1241’是第一中间维护系统面板组件1230’和第一中间封闭面板组件1240’共同的面板。第一维护系统定位系统1251可安装在第一维护系统组件平台1253上，第一维护系统组件平台1253可在第一端部1072上稳定地安装在基部1070上。第一维护系统组件平台1253可从基部1070的第一端部1072延伸通过第一通道1261进入第一中间维护系统面板组件1230’。类似地，如在图31A中所示，图31A的第二中间维护系统面板组件1270’可容纳第二维护系统组件1290，其可由第二维护系统定位系统1291相对于第二打印头组件开口 1282定位。第二打印头组件开口 1282是在第一底板面板组件1281’中的开口，第一底板面板组件1281’是第二中间维护系统面板组件1270’和第二中间封闭面板组件1280’共同的面板。第二维护系统定位系统1291可安装在第二维护组件系统平台1293上，第二维护组件系统平台1293可从基部1070的第二端部1074延伸通过第二通道1265进入第二中间维护系统面板组件1270’。第一密封件1263可围绕第一通道1261安装在第一密封件支撑面板1235的第一外表面1237上。类似地，第二密封件1267可围绕第二通道1265安装在第二密封件支撑面板1275的第二外表面1277上。第一密封件1263和第二密封件1267可以是可充气垫片，如前文针对图28所述。第一密封件1263和第二密封件1267的各个实施例可以是柔性密封件，其分别永久性地附连例如到第一外表面1237和第二外表面1277以及附连到基部1070的基部第一端部1072和基部1070的第二端部1074。如前文所述，柔性密封件可以是诸如波纹管密封件或唇缘密封件的密封件。这种永久性附连的密封件可提供基部1070的各种平移和振动移动所需的柔韧性，而同时为第一通道1261和第二通道1265提供气密密封。
[0173]图31B和图31C示出本教导的气体封闭组件1010的各种开口和通道的覆盖和密封，其示出第一打印头组件1080相对于用于各种维护程序的第一中间维护系统面板组件1230’的定位。如前文所述，针对第一中间维护系统面板组件1230’的以下教导也可应用于第二中间维护系统面板组件1270’。
[0174]在图31B中，第一打印头组件1080可包括具有至少一个打印头的打印头装置1082，该打印头包括多个喷嘴或孔口。打印头装置1082可容纳在第一打印头组件封闭装置1084中，第一打印头组件封闭装置1084可具有第一打印头组件封闭装置开口 1086，打印头装置1082可从第一打印头组件封闭装置开口 1086定位，从而在打印期间喷嘴将墨以受控速率、速度和尺寸喷射到安装在由悬浮台支撑件1052支撑的悬浮台1054上的基板上。如前文所述，第一打印头组件定位系统1090在打印处理期间可被控制以将第一打印头组件1080定位在基板上方以便打印。此外，如图3IB所示，对于气体封闭组件1010的各个实施例，具有可控制的X-Z轴移动的第一打印头组件定位系统1090可将第一打印头组件1080定位在第一打印头组件开口 1242上方。如图31B所示，第一底板面板组件1241’的第一打印头组件开口 1242是第一中间封闭面板组件1240’和第一中间维护系统面板组件1230’所共同的。
[0175]图31B的第一打印头组件封闭装置1084可包括第一打印头组件封闭装置边缘1088，其可以是与第一打印头组件开口 1242周围的第一底板面板组件1241’的对接表面。第一打印头组件封闭装置边缘1088可接合第一打印头组件对接垫片1245，第一打印头组件对接垫片1245在图31B中示出为围绕第一打印头组件开口 1242固结。本领域普通技术人员将理解，虽然第一打印头组件封闭装置边缘1088显示为向内伸出结构，但可将各种边缘中的任一种构建在第一打印头组件封闭装置1084上。此外，虽然第一打印头组件对接垫片1245在图31B中示出为固结在第一打印头组件开口 1242周围，但普通技术人员将理解，垫片1245可固结到第一打印头组件封闭装置边缘1088。第一打印头组件对接垫片1245可以是如前文针对密封框架构件组件所述的任何垫片材料。在图31B的气体封闭组件1010的各个实施例中，第一打印头组件对接垫片1245可以是可充气垫片，例如垫片1263。在这方面，第一打印头组件对接垫片1245可以是可充气垫片，如前文针对图28所述。如前文所提出的，第一密封件1263可围绕第一通道1261安装在第一密封件支撑面板1235的第一外表面1237上。
[0176]如图31B和图31C所示，对于可以以完全自动模式进行的各种维护程序，第一打印头组件1080可保持定位在第一打印头组件开口 1242上方。在这方面，第一打印头组件1080可以在Z轴方向上由第一打印头组件定位系统1090调整，第一打印头组件定位系统1090用于将打印头装置1082相对于第一维护系统组件1250定位在第一打印头组件开口 1242上方。此外，第一维护系统组件1250可以在Y-X方向上在第一维护系统定位系统1251上调整，用于将第一维护系统组件1250相对于打印头装置1082定位。在各种维护程序期间，第一打印头组件1080可通过由第一打印头组件定位系统1090在Z轴方向上进一步调整而设置成与第一打印头组件对接垫片1245接触，以将第一打印头组件封闭装置1084设置到覆盖第一打印头组件开口 1242(未示出)的位置。如图31C所示，对于各种维护程序，例如但不限于，需要直接接近第一中间维护系统面板组件1230’内部的维护程序，第一打印头组件1080可通过由第一打印头组件定位系统1090在Z轴方向上进一步调整而与第一打印头组件对接垫片1245对接，以密封第一打印头组件开口 1242。如前文所述，第一打印头组件对接垫片1245可以是如前文针对各种框架构件的气密密封所述的可压缩垫片材料或者如前文针对图28所述的可充气垫片。此外，如图31C所示，可充气垫片1263可被充气，从而可密封地封闭第一通道1261。此外，第一打印头组件封闭装置1084形成壳体的部分可如前文针对各种面板组件所述来构建，从而框架组件构件和面板能够提供气密封闭装置。因此，对于图31C，当在第一打印头组件开口 1242和第一通道1261被可密封地封闭时，第一中间维护系统面板组件1230’可与气体封闭组件1010的剩余容积隔离。
[0177]在图31D和图31E中，示出了气体封闭装置1010的各个实施例，其中第一维护系统组件1250和第二维护系统组件1290可分别安装在第一维护系统组件平台1253和第二维护系统组件平台1293上。在图31D和图31E中，第一维护系统组件平台1253和第二维护系统组件平台1293分别封闭在第一中间维护系统面板组件1230’和第二中间维护系统面板组件1270’内。如前文所述，针对第一中间维护系统面板组件1230’的以下教导也可应用于第二中间维护系统面板组件1270’。在这方面，如图31D所示，第一打印头组件1080可借助于由第一打印头组件定位系统1090在Z轴方向上施加的足够力与第一打印头组件对接垫片1245对接，使得第一打印头组件开口 1242可被密封。因此，对于图31D，当第一打印头组件开口 1242被可密封地封闭时，第一中间维护系统面板组件1230’可与气体封闭组件1010的剩余容积隔离。
[0178]如前文针对图31A-31C的气体封闭组件1010的各个实施例所教导的，打印头可保持定位在第一打印头组件开口 1242上方，以便在各种维护程序期间不覆盖或密封第一打印头组件开口 1242，从而封闭第一打印头组件开口 1242。在气体封闭组件1010的各个实施例中，对于各种维护程序，打印头组件封闭装置可通过调整Z轴设置成与垫片接触以覆盖打印头组件开口。在这方面，图31E可以以两种方式解释。在第一种解释中，第一打印头组件对接垫片1245和第二打印头组件对接垫片1285可由可压缩垫片材料制成，例如前文针对各种框架构件的气密密封所述。在图31E中，第一打印头组件1080已在Z轴方向上定位在第一维护系统组件1250上方，使得垫片1245已被压缩，从而可密封地封闭第一打印头组件开口 1242。相比之下，第二打印头组件1081已在Z轴方向上定位在第二维护系统组件1290上方，以接触第二打印头组件对接垫片1285，从而覆盖第二打印头组件开口 1282。在第二种解释中，第一打印头组件对接垫片1245和第二打印头组件对接垫片1285可以是可充气垫片，如前文针对图28所述。在图31E中，第一打印头组件1080可在Z轴方向上定位在第一维护系统组件1250上方以在第一打印头组件对接垫片1245充气之前接触第一打印头组件对接垫片1245，从而覆盖第一打印头组件开口 1242。相比之下，第二打印头组件1081已在Z轴方向上定位在第二维护系统组件1290上方，使得当第二打印头组件对接垫片1285充气时，第二打印头组件开口 1282被可密封地封闭。
[0179]图31F示出了例如使用第一中间维护系统面板组件1230’和第二中间维护系统面板组件1270’示出的维护容积可使用诸如例如但不限于闸阀组件的覆盖物密封。针对第一中间维护系统面板组件1230’和第二中间维护系统面板组件1270’的以下教导可应用于维护系统面板组件和气体封闭组件的各个实施例。如图31F所示，分别使用例如但不限于第一打印头组件闸阀1247和第二打印头组件闸阀1287封闭第一打印头组件开口 1242和第二打印头组件开口 1282可分别提供第一打印头组件1080和第二打印头组件1081的连续操作。如图31F针对第一中间维护系统面板组件1230’所示，使用第一打印头组件闸阀1247可密封地封闭第一打印头组件开口 1242(如针对图27A和图27B所述)以及可密封地封闭围绕基部1070的第一通道1261(如针对图28所述)可远程且自动地进行。类似地，如针对图31F的第二中间维护系统面板组件1270’所示，使用第二打印头组件闸阀1287可密封地封闭第二打印头组件开口 1282(如针对图27A和图27B所述)可远程且自动地进行。可设想的是，各种打印头维护程序可通过隔离例如由第一中间维护系统面板组件1230’和第二中间维护系统面板组件1270’限定的维护容积而提供便利，同时仍提供使用第一打印头组件1080和第二打印头组件1081的打印过程的连续性。
[0180]如前文所述，第一打印头组件对接垫片1245和第二打印头组件对接垫片1285可分别围绕第一打印头组件开口 1242和第二打印头组件开口 1282固结。此外，如图31F所示，第一打印头组件对接垫片1245和第二打印头组件对接垫片1285可分别围绕第一打印头组件封闭装置边缘1088和第二打印头组件封闭装置边缘1089固结。在指示进行第一打印头组件1080和第二打印头组件1081的维护时，第一打印头组件闸阀1247和第二打印头组件闸阀1287可以打开，且第一打印头组件1080和第二打印头组件1081可与第一中间维护系统面板组件1230’和第二中间维护系统面板组件1270’对接，如前文所述。
[0181]例如但不限于，可对第一维护系统组件1250和第二维护系统组件1290提供维护的任何维护程序可通过分别隔离第一中间维护系统面板组件1230’和第二中间维护系统面板组件1270’来进行，而不中断打印过程。还可以设想，将新打印头或打印头组件装载到系统中或者从系统中拆卸打印头或打印头组件可通过分别隔离第一中间维护系统面板组件1230’和第二中间维护系统面板组件1270’来进行，而不中断打印过程。此类活动可例如但不限于使用机器人来自动地提供便利。例如但不限于，可进行借助机器人取回储存在诸如图31F的第一中间维护系统面板组件1230’和第二中间维护系统面板组件1270’的维护容积中的打印头，随后借助机器人将第一打印头组件1080的打印头装置1082上或第二打印头组件1081的打印头装置1083上的故障打印头更换成功能正常的打印头。在这之后，机器人将故障打印头存放在第一维护系统组件1250或第二维护系统组件1290中的模块内。这种维护程序可以以自动方式进行，而不中断正在进行的打印过程。
[0182]在机器人将故障打印头存放在第一维护系统组件1250或第二维护系统组件1290中之后,诸如第一中间维护系统面板组件1230’和第二中间维护系统面板组件1270’的维护容积可分别通过分别使用例如但不限于第一打印头组件闸阀1247和第二打印头组件闸阀1287封闭第一打印头组件开口 1242和第二打印头组件开口 1282而可密封地封闭和隔离。此外，维护容积然后可例如根据前述教导通向大气环境，从而可以取出和更换故障打印头。如随后更详细所述，由于气体净化系统的各个实施例相对于整个气体封闭组件的容积设计，气体净化资源可专用于吹扫显著减小的维护容积空间的容积，从而显著减少针对维护容积的系统恢复时间。在这方面，需要使维护容积通向大气环境的维护程序可在或者不中断或者很少中断正在进行的打印过程的情况下进行。
[0183]图32示出了根据本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例的第一维护系统组件1250的放大图。如前文所述，维护系统可包括例如但不限于用于执行各种打印头标定程序的墨滴标定站、用于收集和容纳在吹扫或灌注程序期间从打印头排出的墨的吹扫站、以及用于在吹扫或灌注程序已在吹扫站进行之后移除多余的墨的吸墨站。此外，维护系统可包括一个或多个站，用于接收已从第一打印头组件1080和第二打印头组件1081拆卸的一个或多个打印头或打印头装置，或者用于储存在维护程序期间可装载到第一打印头组件1080和第二打印头组件1081中的打印头或打印头装置。
[0184]根据本教导的维护系统组件的各个实施例，例如图32的第一维护系统组件1250，可包括墨滴标定模块1252、吹扫池模块1254和吸墨器模块1256。第一维护系统组件1250可安装在第一维护系统定位系统1251上。第一维护系统定位系统1251可提供Y轴移动，以选择性地使各种模块中的每一个和具有带有至少一个打印头的打印头装置(例如，图31B的打印头装置1082)的打印头组件与第一打印头组件开口 1242对齐。各种模块与具有带有至少一个打印头的打印头装置的打印头组件的定位可使用维护系统定位系统1251以及第一打印头组件定位系统1090的组合来进行。维护系统定位系统1251可提供第一维护系统组件1250的各种模块相对于第一打印头组件开口 1242的Y-X定位，而第一打印头组件定位系统1090可提供第一打印头组件1080在第一打印头组件开口 1242上方的X-Z定位。在这方面，带有至少一个打印头的打印头装置可定位在第一打印头组件开口 1242上方或内部以接收维护。
[0185]图33示出第一中间维护系统面板组件1230’的放大透视图，其中示出了被罩盖且具有手套的手套端口。如所指出的，可设想的是，诸如第一中间维护系统面板组件1230’的各种维护系统面板组件的容积可以是大约2m3。可设想的是，维护系统面板组件的各个实施例可具有大约Im3的容积，而在维护系统面板组件的各个实施例中，容积可以是大约10m3。对于气体封闭组件的各个实施例，例如图29的气体封闭组件1010，框架构件组件部段可小于或等于气体封闭组件的总容积的大约1%。在气体封闭组件的各个实施例中，框架构件组件部段可小于或等于气体封闭组件的总容积的大约2%。在气体封闭组件的各个实施例中，框架构件组件部段可小于或等于气体封闭组件的总容积的大约10%。对于气体封闭组件的各个实施例，框架构件组件部段可小于或等于气体封闭组件的总容积的大约50%。
[0186]根据本教导的气体封闭组件和系统可具有在气体封闭组件内部的气体循环和过滤系统。这种内部过滤系统可具有在内部中的多个风扇过滤器单元，且可以配置成在内部中提供气体层流。层流可以是从内部的顶部到内部的底部的方向或者是任何其它方向。虽然通过循环系统产生的气体流不一定是层流，但是气体层流可用于确保内部中气体的彻底和完全周转。气体层流还可用于最小化紊流，这种紊流是不希望的，因为其可使得环境中的颗粒收集在这种紊流区域中，从而阻止过滤系统从环境去除那些颗粒。此外，为了在内部中保持期望温度，可提供使用多个热交换器的热调节系统，例如借助于风扇或另一个气体循环装置操作，靠近风扇或另一个气体循环装置，或者与风扇或另一个气体循环装置结合使用。气体净化回路可配置成通过在封闭装置外部的至少一个气体净化部件从气体封闭组件内部循环气体。在这方面，气体封闭组件内部的循环和过滤系统与气体封闭组件外部的气体净化回路结合可提供贯穿气体封闭组件内的具有显著低水平的反应性物质的显著低颗粒惰性气体的连续循环。气体净化系统可配置成保持非常低水平的不希望组分，例如有机溶剂及其蒸气以及水、水蒸气、氧气等。
[0187]图34A是示出气体封闭组件和系统2100的示意图。气体封闭组件和系统2100的各个实施例可包括根据本教导的气体封闭组件1500、与气体封闭组件1500流体连通的气体净化回路2130、以及至少一个热调节系统2140。此外，气体封闭组件和系统的各个实施例可具有加压惰性气体再循环系统2169，其可供应惰性气体以用于操作各种装置，例如用于OLED打印系统的基板悬浮台。加压惰性气体再循环系统2169的各个实施例可使用压缩机、鼓风机和这两者的组合作为惰性气体再循环系统2169的各个实施例的来源，如随后将更详细所述。此外，气体封闭组件和系统2100可具有气体封闭组件和系统2100内部的过滤和循环系统(未示出)。
[0188]对于根据本教导的气体封闭组件的各个实施例，管道的设计可将循环通过图34A的气体净化回路2130的惰性气体与在气体封闭组件的各个实施的内部连续地过滤和循环的惰性气体分离。气体净化回路2130包括出口线路2131，其从气体封闭组件1500到溶剂去除部件2132且然后到气体净化系统2134。净化掉溶剂和诸如氧气和水蒸气的其它反应性气体物质的惰性气体然后通过入口线路2133返回到气体封闭组件1500。气体净化回路2130也可包括合适的管和连接，以及传感器，例如，氧传感器、水蒸气传感器和溶剂蒸气传感器。诸如风扇、鼓风机或马达等的气体循环单元可单独地设置或一体化在例如气体净化系统2134中，以将气体循环通过气体净化回路2130。根据气体封闭组件的各个实施例，虽然溶剂去除系统2132和气体净化系统2134在图33中所示示意图中显示为单独的单元，但是溶剂去除系统2132和气体净化系统2134可作为单个净化单元容纳在一起。热调节系统2140可包括至少一个冷却器2141，其可具有用于将冷却剂循环到气体封闭组件中的流体出口线路2143和用于使冷却剂返回到冷却器的流体入口线路2145。
[0189]图34A的气体净化回路2130可具有设置在气体净化系统2134上游的溶剂去除系统2132，以使得从气体封闭组件1500循环的惰性气体经由出口线路2131穿过溶剂去除系统2132。根据各个实施例，溶剂去除系统2132可以是基于从穿过图34A的溶剂去除系统2132的惰性气体吸附溶剂蒸气的溶剂捕获系统。例如但不限于诸如活性炭、分子筛等的吸附剂的一个或多个床可有效地去除宽范围的有机溶剂蒸气。对于气体封闭组件的各个实施例，可采用冷捕获技术来去除溶剂去除系统2132中的溶剂蒸气。如前文所述，对于根据本教导的气体封闭组件的各个实施例，诸如氧传感器、水蒸气传感器和溶剂蒸气传感器的传感器可用于监测这样的物质从连续地循环通过诸如图34的气体封闭组件系统2100的气体封闭组件系统的惰性气体中的有效去除。溶剂去除系统的各个实施例可指示诸如活性炭、分子筛等的吸附剂何时达到容量，从而可再生或更换吸附剂的一个或多个床。分子筛的再生可能涉及加热分子筛、使分子筛与组成气体接触、它们的组合等。配置成捕获包括氧气、水蒸气和溶剂的各种物质的分子筛可通过加热和暴露于包含氢气的组成气体而再生，例如，包含大约96%的氮气和4%的氢气的组成气体，其中所述百分比是体积百分比或重量百分比。活性炭的物理再生可使用在惰性环境下加热的类似程序进行。
[0190]任何合适的气体净化系统都可用于图34A的气体净化回路2130的气体净化系统 2134。可从例如 MBRAUN Inc.(Statham, New Hampshire)或 Innovative Technology(Amesbury, Massachusetts)获得的气体净化系统可用于一体化到根据本教导的气体封闭组件的各个实施例中。气体净化系统2134可用于净化气体封闭组件和系统2100内的一种或多种惰性气体，例如，以净化气体封闭组件内的全部气体环境。如前文所述，为了使气体循环通过气体净化回路2130，气体净化系统2134可具有气体循环单元，例如风扇、鼓风机或马达等。在这方面，气体净化系统可根据封闭装置的容积选择，其可限定用于使得惰性气体移动通过气体净化系统的体积流率。对于包括具有多达大约4m3的容积的气体封闭组件的气体封闭组件和系统的各个实施例，可使用能够移动大约84m3/h的气体净化系统。对于包括具有多达大约1m3的容积的气体封闭组件的气体封闭组件和系统的各个实施例，可使用能够移动大约155m3/h的气体净化系统。对于具有在大约52-114m3之间的容积的气体封闭组件的各个实施例，可使用多于一个气体净化系统。
[0191]任何合适的气体过滤器或净化装置可包括在本教导的气体净化系统2134中。在一些实施例中，气体净化系统可包括两个并联的净化装置，使得一个装置可以离开生产线以用于维护，而另一个装置可用于继续系统操作，而没有中断。在一些实施例中，例如，气体净化系统可包括一个或多个分子筛。在一些实施例中，气体净化系统可至少包括第一分子筛和第二分子筛，使得在一个分子筛变得杂质饱和或者说是认为不能足够有效地操作时，系统可切换到另一个分子筛，同时再生饱和或低效的分子筛。控制单元可提供用于确定每个分子筛的操作效率，用于在不同分子筛的操作之间切换，用于再生一个或多个分子筛，或用于其组合。如前文所述，分子筛可被再生和再次使用。
[0192]关于图34A的热调节系统2140，可设置至少一个流体冷却器2141，用于冷却气体封闭组件和系统2100内的气体环境。对于本教导的气体封闭组件的各个实施例，流体冷却器2141将冷却流体输送给封闭装置内的热交换器，其中，惰性气体经过封闭装置内部的过滤系统。至少一个流体冷却器还可设置在气体封闭组件和系统2100内，以冷却源于气体封闭装置2100内封装的设备的热量。例如但不限于，至少一个流体冷却器还可设置用于气体封闭组件和系统2100，以冷却源于OLED打印系统的热量。热调节系统2140可包括热交换或Peltier装置，且可具有各种冷却容量。例如，对于气体封闭组件和系统的各个实施例，冷却器可提供在大约2kW至大约20kW之间的冷却容量。流体冷却器1136和1138可冷却一种或多种流体。在一些实施例中，流体冷却器可以使用多种流体作为冷却剂，例如但不限于，水、防冻剂、制冷剂及其组合，作为热交换流体。合适的无泄漏锁定连接可用于连接有关管和系统部件。
[0193]如针对图23和图24的气体封闭组件1000或针对图29和图30的气体封闭组件1010所示的气体封闭组件的各个实施例可具有限定第一容积的第一框架构件组件部段和限定第二容积的第二框架构件组件部段，其中每个容积可与另一容积分离。对于图23和图24的气体封闭组件1000或对于图29和图30的气体封闭组件1010的各个实施例，针对图34A的气体封闭组件描述的所有系统特征可作为用于具有限定第一容积的第一框架构件组件部段和限定第二容积的第二框架构件组件部段的这样的实施例的系统特征而包括在内，其中每个容积可与另一容积分离。此外，如图34B所示，对于气体组件和系统2150，对于具有限定第一容积的第一框架构件组件部段和限定第二容积的第二框架构件组件部段的气体封闭组件的各个实施例，每个容积可设置成与气体净化回路2130单独流体连通。
[0194]如图34B所示，气体封闭组件和系统2150的气体封闭组件1500可具有限定第一容积的第一框架构件组件部段1500-S1和限定第二容积的第二框架构件组件部段1500-S2。如果所有阀\、\、V3和V4都打开，那么气体净化回路2130大致如前文针对图34A的气体封闭组件和系统1500所述那样操作。在V3和V4关闭的情况下，仅第一框架构件组件部段1500-S1与气体净化回路2130流体连通。例如但不限于，在需要第二框架构件组件部段1500-S2通向大气环境的维护程序期间，当第二框架构件组件部段1500-S2可密封地关闭且因此与框架构件组件部段1500-S1隔离时，可使用这种阀状态。在'和V2关闭的情况下，仅第二框架构件组件部段1500-S2与气体净化回路2130流体连通。例如但不限于，在第二框架构件组件部段1500-S2通向大气环境之后该部段恢复期间，可使用这种阀状态。如前文所述，对气体净化回路2130的要求相对于气体封闭组件1500的总容积而指定。因此，通过将气体净化系统的资源专用于框架构件组件部段(例如，第二框架构件组件部段1500-S2，其在图34B中示出为容积显著小于气体封闭装置1500的总容积)的恢复，恢复时间可显著减少。
[0195]如图35和图36所示，一个或多个风扇过滤器单元可配置成提供通过内部的气体的大致层流。根据按照本教导的气体封闭组件的各个实施例，一个或多个风扇单元设置靠近气体环境封闭装置的第一内表面，且一个或多个管道系统入口设置靠近气体环境封闭装置的相对第二内表面。例如，气体环境封闭装置可包括内部顶板和底部内周边，所述一个或多个风扇单元可设置靠近内部顶板，且一个或多个管道系统入口可包括设置靠近底部内周边的多个入口开口，其是管道系统的一部分，如图15 — 17所不。
[0196]图35是沿根据本教导的各个实施例的气体封闭组件和系统2200的长度截取的截面视图。图35的气体封闭组件和系统2200可包括可以容纳OLED打印系统50的气体封闭装置1500、以及气体净化系统2130 (也参见图34)、热调节系统2140、过滤和循环系统2150以及管道系统2170。热调节系统2140可包括与冷却器出口线路2143和冷却器入口线路2145流体连通的流体冷却器2141。冷却流体可离开流体冷却器2141，流动通过冷却器出口线路2143，且输送给热交换器，对于图35中所示的气体封闭组件和系统的各个实施例，其可位于多个风扇过滤器单元中的每个附近。流体可从风扇过滤器单元附近的热交换器通过冷却器入口线路2145返回冷却器2141，以保持在恒定的期望温度。如前文所述，冷却器出口线路2141和冷却器入口线路2143与多个热交换器流体连通，包括第一热交换器2142、第二热交换器2144和第三热交换器2146。根据图34中所示的气体封闭组件和系统的各个实施例，第一热交换器2142、第二热交换器2144和第三热交换器2146分别与过滤系统2150的第一风扇过滤器单元2152、第二风扇过滤器单元2154和第三风扇过滤器单元2156热连通。
[0197]在图35中，许多箭头示出了至或来自各个风扇过滤器单元的流动，且还示出了在包括第一管道系统管2173和第二管道系统管2174的管道系统2170内的流动，如图34的简化示意图所示。第一管道系统管2173可通过第一管道入口 2171接收气体且可通过第一管道出口 2175排出。类似地，第二管道系统管2174可通过第二管道入口 2172接收气体且通过第二管道出口 2176排出。此外，如图34所示，管道系统2170通过有效地限定空间2180而将在内部再循环通过过滤系统2150的惰性气体分开，空间2180经由气体净化出口线路2131与气体净化系统2130流体连通。这种包括针对图15-17所述的管道系统的各个实施例的循环系统提供大致层流，最小化紊流，促进在封闭装置内部中的气体环境的颗粒物质的循环、周转和过滤，且提供通过气体封闭组件外部的气体净化系统的循环。
[0198]图36是沿根据按照本教导的气体封闭组件的各个实施例的气体封闭组件和系统2300的长度截取的截面视图。与图35的气体封闭组件2200类似，图36的气体封闭组件系统2300可包括气体封闭装置1500，其可容纳OLED打印系统50、以及气体净化系统2130 (也参见图34)、热调节系统2140、过滤和循环系统2150以及管道系统2170。对于气体封闭组件2300的各个实施例，热调节系统2140可包括与冷却器出口线路2143和冷却器入口线路2145流体连通的流体冷却器2141，可与多个热交换器流体连通，例如第一热交换器2142和第二热交换器2144，如图36所示。根据图36中所示的气体封闭组件和系统的各个实施例，通过定位靠近诸如管道系统2170的第一管道出口 2175和第二管道出口 2176的管道出口，诸如第一热交换器2142和第二热交换器2144的各个热交换器可与循环的惰性气体热连通。在这方面，从管道入口(例如管道系统2170的第一管道入口 2171和第二管道入口2172)返回以便过滤的惰性气体可在分别循环通过例如图36的过滤系统2150的第一风扇过滤器单元2152、第二风扇过滤器单元2154和第三风扇过滤器单元2156之前被热调节。
[0199]如从示出了循环通过图35和36的封闭装置的惰性气体的方向的箭头可以看出地，风扇过滤器单元配置成提供从封闭装置顶部向下朝向底部的大致层流。例如，可从 Flanders Corporat1n (Washington, North Carolina)或 Envirco Corporat1n(Sanford, North Carolina)获得的风扇过滤器单元可用于一体化到根据本教导的气体封闭组件的各个实施例中。风扇过滤器单元的各个实施例可交换通过每个单元的惰性气体的大约350立方英尺/分(CFM)至大约700CFM之间。如在图35和图36中所示，由于风扇过滤器单元处于并联而不是串联布置，因而可在包括多个风扇过滤器单元的系统中交换的惰性气体的量与所使用的单元数量成比例。在封闭装置的底部附近，气体流朝向多个管道系统入口引导，在图35和36中示意性地表示为第一管道入口 2171和第二管道入口 2172。如前文针对图15-17所述，将管道入口定位在封闭装置的大致底部且使得气体从上部风扇过滤器单元向下流动利于封闭装置内的气体环境的良好周转，且促进通过与封闭装置结合使用的气体净化系统的全部气体环境的彻底周转和移动。通过使用过滤和循环系统2150使得气体环境循环通过管道系统且促进封闭装置内的气体环境的层流和彻底周转，该管道系统将循环通过气体净化回路2130的惰性气体流分开，反应性物质(例如水和氧气，以及每种溶剂)中的每一种的水平在气体封闭组件的各个实施例中可保持在例如10ppm或更低、例如1.0ppm或更低、0.1ppm或更低。
[0200]根据用于OLED打印系统的气体封闭组件系统的各个实施例，风扇过滤器单元的数量可根据在处理期间打印系统中的基板的物理位置来选择。因此，虽然在图35和36中示出了 3个风扇过滤器单元，但是风扇过滤器单元的数量可变化。例如，图37是沿气体封闭组件和系统2400的长度截取的截面视图，其与图23和图24以及图29和图30所示的气体封闭组件和系统类似。气体封闭组件和系统2400可包括气体封闭组件1500，其容纳支撑在基部1220上的OLED打印系统1050。OLED打印系统的基板悬浮台1054限定在基板的OLED打印期间基板可移动通过系统2400的行程。因此，气体封闭组件和系统2400的过滤系统2150具有合适数量的风扇过滤器单元，其以2151-2155示出，且与在处理期间基板通过OLED打印系统1050的物理行程相对应。此外，图37的示意性截面图示出了气体封闭装置的各个实施例的定轮廓可有效地减少在OLED打印处理期间所需的惰性气体体积，而同时设为易于接近气体封闭装置1500的内部(在处理期间远程地接近，例如使用安装在各个手套端口中的手套，或者在维护操作的情况下通过各种可拆卸面板直接接近)。
[0201]气体封闭装置和系统的各个实施例可使用加压惰性气体再循环系统，用于操作各种气动操作装置和设备。此外，如前文所述，本教导的气体封闭组件的实施例可相对于外部环境保持在轻微正压，例如但不限于在大约2mbarg至大约8mbarg之间。在气体封闭组件系统内保持加压惰性气体再循环系统可能是有挑战的，因为其具有与保持气体封闭组件和系统的轻微正内部压力有关的动态和持续进行的平衡动作，而同时连续地引入加压气体到气体封闭组件和系统中。此外，各个装置和设备的可变需求可形成本教导的各种气体封闭组件和系统的不规则压力分布。在这种条件下，将相对于外部环境保持在轻微正压的气体封闭组件保持动态压力平衡可提供用于持续进行的OLED打印过程的整体性。
[0202]如图38所示，气体封闭组件和系统3000的各个实施例可具有外部气体回路2500，用于整合和控制用于气体封闭组件和系统3000的操作的各个方面的惰性气体源2509和清洁干燥空气(CDA)源2512。本领域普通技术人员将理解，气体封闭组件和系统3000还可包括内部颗粒过滤和气体循环系统的各个实施例以及外部气体净化系统的各个实施例，如前文所述。除了用于整合和控制惰性气体源2509和CDA源2512的外部回路2500之外，气体封闭组件和系统3000可具有压缩机回路2160，其可供应惰性气体，用于操作可设置在气体封闭组件和系统3000内部中的各个装置和设备。
[0203]图38的压缩机回路2160可包括配置成流体连通的压缩机2162、第一贮存器2164和第二贮存器2168。压缩机2162可配置成将从气体封闭组件1500抽吸的惰性气体压缩至期望压力。压缩机回路2160的入口侧可经由气体封闭组件出口 2501通过具有阀2505和止回阀2507的线路2503与气体封闭组件1500流体连通。压缩机回路2160可在压缩机回路2160的出口侧上经由外部气体回路2500与气体封闭组件1500流体连通。贮存器2164可设置在压缩机2162和压缩机回路2160与外部气体回路2500的结合部之间，且可配置成产生5psig或更高的压力。第二贮存器2168可处于压缩机回路2160中，用于阻尼由于压缩机活塞以大约60Hz循环引起的波动。对于压缩机回路2160的各个实施例，第一贮存器2164可具有在大约80加仑至大约160加仑之间的容量，而第二贮存器可具有在大约30加仑至大约60加仑之间的容量。根据气体封闭组件和系统3000的各个实施例，压缩机2162可以是零进入压缩机(zero ingress compressor)。各种类型的零进入压缩机可在没有环境气体泄漏到本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例中的情况下操作。零进入压缩机的各个实施例可连续地运行，例如在利用需要压缩惰性气体的各个装置和设备的用途的OLED打印处理期间。
[0204]贮存器2164可配置成从压缩机2162接收和积聚压缩惰性气体。贮存器2164可在需要时将压缩惰性气体供应给气体封闭组件1500。例如，贮存器2164可提供气体以保持气体封闭组件1500的各个部件的压力，例如但不限于如下中的一种或多种:气动机器人、基板悬浮台、空气轴承、空气衬套、压缩气体工具、气动促动器、及其组合。如图38针对气体封闭组件和系统3000所示，气体封闭组件1500可具有封装在其中的OLED打印系统50。如在图24和图30中所示，OLED打印系统50可以由花岗岩级70支撑，且可包括基板悬浮台54，用于将基板输送到打印头腔室中合适位置以及在OLED打印处理期间支撑基板。此外，支撑在桥56上的空气轴承58可取代例如线性机械轴承使用。对于本教导的气体封闭装置和系统的各个实施例，使用各种气动操作的装置和设备可提供低颗粒生成性能以及低维护。压缩机回路2160可配置成将加压惰性气体连续地供应给气体封闭设备3000的各个装置和设备。除了供应加压惰性气体之外，OLED打印系统50的基板悬浮台54(其使用空气轴承技术)还使用真空系统2550，真空系统2550在阀2554处于打开位置时通过线路2552与气体封闭组件1500连通。
[0205]根据本教导的加压惰性气体再循环系统可具有如在图38中所示用于压缩机回路2160的压力控制旁通回路2165，其用以在使用期间补偿加压气体的可变需求，从而提供本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例的动态平衡。对于根据本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例，旁通回路可保持贮存器2164内的恒定压力，而不干扰或改变封闭装置1500内的压力。旁通回路2165可具有位于旁通回路2165的入口侧上的第一旁通入口阀2161，其关闭，除非使用旁通回路2165。旁通回路2165还可具有背压调节器，其可在第二阀2163关闭时使用。旁通回路2165可具有设置在旁通回路2165的出口侧处的第二贮存器2168。对于使用零进入压缩机的压缩机回路2160的实施例，旁通回路2165可补偿在气体封闭组件和系统使用期间随时间推移可发生的压力小偏移。当旁通入口阀2161处于打开位置时，旁通回路2165可在旁通回路2165的入口侧上与压缩机回路2160流体连通。当旁通入口阀2161打开时，如果气体封闭组件1500内部中不需要来自压缩机回路2160的惰性气体，那么通过旁通回路2165分流的惰性气体可再循环到压缩机。当贮存器2164中的惰性气体压力超过预设阈值压力时,压缩机回路2160配置成将惰性气体通过旁通回路2165分流。贮存器2164的预设阈值压力在至少大约I立方英尺/分(cfm)的流率时可以在大约25psig至大约200psig之间，或者在至少大约I立方英尺/分(cfm)的流率时可以在大约50psig至大约150psig之间，或者在至少大约I立方英尺/分(cfm)的流率时可以在大约75psig至大约125psig之间，或者在至少大约I立方英尺/分(cfm)的流率时可以在大约90psig至大约95psig之间。
[0206]压缩机回路2160的各个实施例可使用除了零进入压缩机之外的各种压缩机，例如可变速度压缩机或可被控制在打开或关闭状态的压缩机。如前文所述，零进入压缩机确保没有环境反应性物质可以引入气体封闭组件和系统。因此，防止环境反应性物质引入气体封闭组件和系统中的任何压缩机配置都可用于压缩机回路2160。根据各个实施例，气体封闭组件和系统3000的压缩机2162可容纳在例如但不限于气密密封壳体中。壳体内部可配置成与惰性气体源流体连通，例如形成气体封闭组件1500的惰性气体环境的相同惰性气体。对于压缩机回路2160的各个实施例，压缩机2162可控制在恒定速度以保持恒定压力。在不使用零进入压缩机的压缩机回路2160的其它实施例中，压缩机2162可在达到最大阈值压力时关闭且在达到最小阈值压力时打开。
[0207]在用于气体封闭组件和系统3100的图39中，鼓风机回路2190和鼓风机真空回路2550显示用于操作OLED打印系统1050的基板悬浮台1054，其容纳在气体封闭组件1500中。如前文针对压缩机回路2160所述，鼓风机回路2190可配置成将加压惰性气体连续地供应给基板悬浮台54。
[0208]可使用加压惰性气体再循环系统的气体封闭组件和系统的各个实施例可具有使用各种加压气体源的各种回路，例如压缩机、鼓风机及其组合中的至少一种。在用于气体封闭组件和系统3100的图39中，压缩机回路2160可以与外部气体回路2500流体连通，其可用于供应用于高消耗歧管2525以及低消耗歧管2513的惰性气体。对于根据本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例，如用于气体封闭组件和系统3000的图39所示，高消耗歧管2525可用于将惰性气体供应给各种装置和设备，例如但不限于如下中的一种或多种:基板悬浮台、气动机器人、空气轴承、空气衬套、和压缩气体工具、及其组合。对于根据本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例，低消耗歧管2513可用于将惰性气体供应给各种装置和设备，例如但不限于如下中的一种或多种:隔离器和气动促动器及其组合。
[0209]对于气体封闭组件和系统3100的各个实施例，鼓风机回路2190可用于将加压惰性气体供应给基板悬浮台1054的各个实施例，而与外部气体回路2500流体连通的压缩机回路2160可以用于将加压惰性气体供应给例如但不限于如下中的一种或多种:气动机器人、空气轴承、空气衬套、和压缩气体工具、及其组合。除了供应加压惰性气体之外，OLED打印系统1050的基板悬浮台54 (其使用空气轴承技术)还使用真空系统2550，真空系统2550在阀2554处于打开位置时通过线路2552与气体封闭组件1500连通。鼓风机回路2190的壳体2192可将用于把惰性气体加压源供应给基板悬浮台1054的第一鼓风机2194和用作基板悬浮台1054的真空源的第二鼓风机2550保持在惰性气体环境中。可使鼓风机适合用作基板悬浮台的各个实施例的加压惰性气体源或真空源的属性包括例如但不限于:它们具有高可靠性，使得它们具有低维护；具有可变速度控制；以及具有宽范围的体积流量(能够提供在大约10mVh至大约2500m3/h之间的体积流量的各个实施例)。鼓风机回路2190的各个实施例还可具有在鼓风机回路2190的入口端处的第一隔离阀2193以及在压缩机回路2190的出口端处的止回阀2195和第二隔离阀2197。鼓风机回路2190的各个实施例可具有可调节阀2196(可以是例如但不限于，闸阀、蝶阀、针形阀或球形阀)以及用于将从鼓风机组件2190到基板悬浮系统1054的惰性气体保持在限定温度的热交换器2198。
[0210]图39示出了也在图38中示出的外部气体回路2500，用于整合和控制用于图38的气体封闭组件和系统3000和图39的气体封闭组件和系统3100的操作的各个方面的惰性气体源2509和清洁干燥空气(CDA)源2512。图38和图39的外部气体回路2500可包括至少四个机械阀。这些阀包括第一机械阀2502、第二机械阀2504、第三机械阀2506和第四机械阀2508。这些各个阀位于各个流动线路中的位置处，允许控制惰性气体(例如，诸如氮气、任何稀有气体及其任何组合)和空气源(例如，清洁干燥空气(CDA))两者。壳体惰性气体线路2510从壳体惰性气体源2509延伸。壳体惰性气体线路2510继续作为低消耗歧管线路2152线性地延伸，低消耗歧管线路2152与低消耗歧管2513流体连通。交叉线路第一部段2514从第一流动结合部2516延伸，第一流动结合部2516位于壳体惰性气体线路2510、低消耗歧管线路2152和交叉线路第一部段2514的交叉部处。交叉线路第一部段2514延伸到第二流动结合部2518。压缩机惰性气体线路2520从压缩机回路2160的贮存器2164延伸且终止于第二流动结合部2518。CDA线路2522从CDA源2512延伸且作为高消耗歧管线路2524继续，高消耗歧管线路2524与高消耗歧管2525流体连通。第三流动结合部2526位于交叉线路第二部段2528、清洁干燥空气线路2522和高消耗歧管线路2524的交叉部处。交叉线路第二部段2528从第二流动结合部2518延伸到第三流动结合部2526。
[0211]结合外部气体回路2500的描述且参考图40，以下是一些各个操作模式的概述，图40是气体封闭组件和系统的各个操作模式的阀位置的表格。
[0212]图40的表格示出了过程模式，其中，阀状态产生仅惰性气体压缩机操作模式。在过程模式，如图38所示且如图40的阀状态所示，第一机械阀2502和第三机械阀2506处于关闭配置。第二机械阀2504和第四机械阀2508处于打开配置。由于这些具体阀配置，压缩惰性气体被允许流动到低消耗歧管2513和高消耗歧管2525两者。在正常操作下，来自壳体惰性气体源的惰性气体和来自CDA源的清洁干燥空气被阻止流动到低消耗歧管2513和高消耗歧管2525中的任一个。
[0213]如图40所示且参考图39，存在用于维护和恢复的一系列阀状态。本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例可需要不时地维护，此外需要从系统故障恢复。在该具体模式中，第二机械阀2504和第四机械阀2508处于关闭配置。第一机械阀2502和第三机械阀2506处于打开配置。壳体惰性气体源和CDA源提供惰性气体，以由低消耗歧管2513供应给处于低消耗且还具有在恢复期间难以有效吹扫的死容积的那些部件。这种部件的示例包括气动促动器。相比之下，消耗的那些部件可在维护期间借助于高消耗歧管2525供应CDA。使用阀2504、2508、2530隔离压缩机防止诸如氧气和水蒸气的反应性物质污染压缩机和贮存器内的惰性气体。
[0214]在维护或恢复已经完成之后，气体封闭组件必须通过若干循环吹扫，直到诸如氧气和水的各种反应性环境物质已经达到针对每种物质的足够低水平，例如10ppm或更低、例如1ppm或更低、1.0ppm或更低、或0.1ppm或更低。如图40所示且参考图39，在吹扫模式期间，第三机械阀2506关闭且第五机械阀2530也处于关闭配置。第一机械阀2502、第二机械阀2504和第四机械阀2508处于打开配置。由于该具体阀配置，仅仅壳体惰性气体被允许流动且被允许流动到低消耗歧管2513和高消耗歧管2525两者。
[0215]如在图40中所示且参考图38，“无流动〃模式和泄漏测试模式两者都是根据需要使用的模式。“无流动"模式是具有如下阀状态配置的模式:第一机械阀2502、第二机械阀2504、第三机械阀2506和第四机械阀2508均处于关闭配置。该关闭配置导致系统的“无流动"模式，其中，来自惰性气体源、CDA源或压缩机源中的任何气体都不能到达低消耗歧管2513或高消耗歧管2525。这种“无流动模式〃在系统不使用时可能是有用的，且可在延长时段内保持空闲。泄漏测试模式可用于检测系统中的泄漏。泄漏测试模式排他地使用压缩惰性气体，其将系统从图39的高消耗歧管2525隔离以便对低消耗歧管2513的低消耗部件(例如，隔离器和气动促动器)进行泄漏检查。在该泄漏测试模式中，第一机械阀2502、第三机械阀2506和第四机械阀2508均处于关闭配置。仅仅第二机械阀2504处于打开配置。结果，压缩氮气能从压缩机惰性气体源2519流动到低消耗歧管2513，且没有至高消耗歧管5525的气体流。
[0216]悬浮台的各个实施例可在本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例中的任一个中使用，以稳定输送诸如OLED平板显示器基板的负载。可设想的是，无摩擦悬浮台可提供在本教导的惰性气体封闭装置的各个实施例中的任一个中用于诸如OLED基板的负载的打印的稳定输送。
[0217]例如，在图1中，气体封闭组件和系统2000可包括气体封闭组件1500，其具有入口闸门1512和出口闸门1522，用于将诸如OLED平板显示器基板的基板移入和移出气体封闭系统2000。在图37中，气体封闭组件和系统2400可具有示出的支撑在基部1200上的气体封闭组件1500，气体封闭组件1500可容纳OLED打印系统50。OLED打印系统50的基板悬浮台54限定在OLED平板显示器基板的喷墨打印期间基板(未示出)可移动通过惰性气体封闭组件和系统2400的行程。如前文参照图38所述，气体封闭组件和系统的各个实施例可具有外部回路，包括例如但不限于压缩机回路和真空源，其可提供在悬浮台的操作中使用的加压惰性气体和真空。如前文参照图39所述，使用鼓风机技术的外部回路的各个实施例可提供用于操作悬浮台的加压惰性气体以及真空源。
[0218]如前文所述，本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例可处理从小于Gen 3.5基板(其具有大约61cmX72cm的尺寸)起以及更高的代的尺寸的发展的一系列尺寸的OLED平板显示器基板。可设想的是，气体封闭组件和系统的各个实施例可处理Gen 5.5 (具有大约130cmX 150cm的尺寸)以及Gen 7.5 (具有大约195cmX 225cm的尺寸)的母玻璃尺寸，且每个基板可切割成八个42〃或六个47〃的平板及更大。如前文所述，Gen 8.5为约220cmX 250cm,其每个基板可切割成六个55"或八个46"的平板。然而，基板代尺寸不断增大，使得具有大约285cmX 305cm的尺寸的目前可用的Gen 10看起来并不是最后一代基板尺寸。此外，源于使用基于玻璃的基板的术语记载的尺寸可应用于适用于OLED打印的任何材料的基板。因此，存在各种基板尺寸和材料需要在本教导的气体封闭组件和系统的各个实施例中打印期间稳定输送。
[0219]图41中示出了根据本教导的各个实施例的悬浮台。现有技术的悬浮台700可具有区710，其中可通过多个端口施加压力和真空两者。具有压力和真空控制两者的这种区可将具有双向刚度的流体(fluidic)弹簧有效地提供至区710和基板(未示出)之间，从而形成对基板和区710之间的间隙的显著控制。在负载和悬浮台表面之间存在的间隙被称为悬浮高度。诸如图41的悬浮台700的区710的区可以为诸如基板的负载提供可控的悬浮高度，在所述区中，使用多个压力和真空端口形成具有双向刚度的流体弹簧。
[0220]靠近区710的分别是第一过渡区720和第二过渡区722，且接着靠近第一过渡区720和第二过渡区722的分别是仅压力区740和742。在过渡区中，压力与真空喷嘴的比率朝仅压力区逐渐增加，以提供从区710向区740和7422的逐渐过渡。如图41所示，图42示出了这三个区的放大图。对于例如如图41所示的基板悬浮台的各个实施例，仅压力区740、742示出为由导轨结构构成。对于基板悬浮台的各个实施例，诸如图41的仅压力区740、742的仅压力区可由连续的板构成，例如图41针对压力-真空区710所示出的。
[0221]对于图41所示悬浮台的各个实施例，在压力-真空区、过渡区和仅压力区之间可存在大致均匀的高度，从而在公差内，这三个区大致位于一个平面中。本领域的普通技术人员将理解，各个区可在长度上变化。例如但不限于，为了提供刻度和比例的感觉，对于各个基板，过渡区可以是大约400mm，而仅压力区可以是大约2.5m,且压力-真空区可以是大约800mmo
[0222]在图41中，仅压力区740和742不提供具有双向刚度的流体弹簧，且因此不提供区710可提供的控制。因此，负载的悬浮高度在仅压力区上通常比在压力-真空区上基板的悬浮高度更大，以便允许足够的高度，从而负载将不会在仅压力区中与悬浮台碰撞。例如但不限于，可期望处理OLED面板基板以具有高出诸如区740和742的仅压力区大约150 μ至大约300 μ之间的悬浮高度，且于是高出诸如区710的压力-真空区在大约30 μ至大约50 μ之间的悬浮高度。
[0223]对于悬浮台700的各个实施例，具有提供可变的悬浮高度的不同区以及对于所有区来说横跨悬浮台均匀的高度的组合的结果是，当基板在悬浮台上方行进时，可发生基板弯曲。图43Α和图43Β示出了当基板760在悬浮台700上方行进时的基板弯曲。在图43Α中，当基板760在悬浮台700上方行进时，基板760停留在压力-真空区710上方的部分具有第一悬浮高度FH1，而基板760停留在仅压力区740上方的部分具有第二悬浮高度FH2,且基板760停留在过渡区720上方的部分具有可变的悬浮高度。在图43Β中，当基板760在相反方向上在悬浮台700上方行进时，基板760停留在压力-真空区710上方的部分具有第一悬浮高度FH1，而基板760停留在仅压力区742上方的部分具有第二悬浮高度FH2,且基板760停留在过渡区722上方的部分可具有可变的悬浮高度。结果，在基板760中的弯曲在悬浮台200上方的基板150的任一行进方向上都是明显的。
[0224]在根据本教导的可容纳用于打印例如但不限于OLED显示面板基板的打印系统的气体封闭组件和系统的各个实施例中，一定程度的基板弯曲可对于制品没有负面影响。然而，对于使用根据本教导的气体封闭组件和系统的打印过程的各个实施例，基板弯曲可对于制品具有负面影响。
[0225]因此，图44所示悬浮台的各个实施例可具有可变的过渡区高度，以便在基板在悬浮台上方移动时使诸如OLED平板显示器基板的负载保持大致平坦。图44示出了在压力-真空区810分别与第一仅压力区840和第二仅压力区842之间具有倾斜布置的第一过渡区820和第二过渡区822。第一过渡区820和第二过渡区822的倾斜布置在压力-真空区810与第一仅压力区820和第二仅压力区822之间提供了高度差。如图44所示，在公差内，第一仅压力区820和第二仅压力区822大致位于相同平面中，而压力-真空区810大致位于平行于仅压力区的平面中。由压力-真空区810相对于第一仅压力区820和第二仅压力区822限定的大致平行的平面偏移高度差，该高度差补偿了在各个区上方的悬浮高度中的差值。
[0226]如前文针对图41所示基板悬浮台的各个实施例所述，仅压力区840、642在图44中示出为由导轨结构构成。对于基板悬浮台的各个实施例，诸如图44的仅压力区840、842的仅压力区可由连续的板构成，例如图44针对压力-真空区810所示出的。
[0227]如图45A和图45B中所示，对于根据本教导的悬浮台700的各个实施例，具有提供可变悬浮高度的不同区以及对于所有区来说横跨悬浮台不同的高度的组合的结果是，基板在其在悬浮台上方行进时可保持大致平坦的布置。
[0228]在图45A中，当基板860在悬浮台800上方行进时，基板860停留在压力-真空区810上方的部分具有第一悬浮高度FH1，而基板860停留在仅压力区840上方的部分具有第二悬浮高度FH2。然而，过渡区820具有在压力-真空区810和仅压力区840之间提供高度差的倾斜布置，该高度差可补偿在压力-真空区810和仅压力区840之间的悬浮高度差，基板860在其在这三个不同的区上方行进时保持大致平坦的布置。在图45B中，当基板860在悬浮台800上方行进时，基板860停留在压力-真空区810上方的部分具有第一悬浮高度FH1，而基板860停留在仅压力区842上方的部分具有第二悬浮高度FH2。然而，过渡区842具有在压力-真空区810和仅压力区842之间提供高度差的倾斜布置，该高度差可补偿在压力-真空区810和仅压力区842之间的悬浮高度差，基板860在其在这三个不同的区上方行进时保持大致平坦的布置。结果，基板860可在悬浮台800上方的基板860的任一行进方向上保持大致平坦的布置。
[0229]悬浮台700和悬浮台800的各个实施例可容纳在气体封闭装置中，包括本教导的气体封闭组件，例如但不限于针对图3、图23和图29所示出和描述的那些，其可与起针对图34所述功能的各个系统一体化。气体封闭装置的各个实施例和气体封闭装置及系统的各个实施例(其可具有能提供加压惰性气体和真空的外部回路的各个实施例，例如但不限于针对图38和图39所述的那些)可使用根据本教导的用于在惰性气体环境中输送负载的悬浮台的各个实施例。
[0230]该说明书中提到的所有公开物、专利和专利申请都在好像每个独立公开物、专利和专利申请都专门和独立地指示为通过参考引入那样相同的程度上通过参考引入本文。
[0231]虽然在本文显示和描述了本公开的实施例，但是本领域技术人员将清楚，这种实施例仅通过示例的方式提供。在不脱离本公开的情况下，本领域技术人员现在将想到许多变型、变化和替代。应当理解，在实践本公开时可采用本文中所述的本公开实施例的各种备选方案。所附权利要求旨在限定本公开的范围，且由此涵盖在这些权利要求及其等价物范围内的方法和结构。
【权利要求】
1.一种气体封闭组件和系统，包括： 气体封闭组件，其具有包含惰性气体环境的内部，其中，所述气体封闭组件包括： 第一框架构件组件部段，其限定第一内部容积，其中，所述第一框架构件组件部段包括多个框架构件组件，每个框架构件组件具有多个面板部段； 第二框架构件组件部段，其限定第二内部容积，其中，所述第二框架构件组件部段包括多个框架构件组件，每个框架构件组件具有多个面板部段；以及 至少一个开口，其在所述第一框架构件组件部段和所述第二框架构件组件部段共同的面板部段中，其中，所述开口在所述第一框架构件组件部段和所述第二框架构件组件部段之间提供流体连通； 打印系统，其具有包括至少一个打印头的打印头组件；以及 维护系统，其用于维护所述打印头组件；所述维护系统容纳在所述第二框架构件组件部段内，其中，所述开口的关闭将所述维护系统与所述第一框架构件组件分离。
2.根据权利要求I所述的气体封闭组件和系统，其特征在于，还包括： 第一框架构件和相对的第二框架构件，其中，所述第一框架构件和所述相对的第二框架构件均为所述第一框架构件组件部段和所述第二框架构件组件部段共同的框架构件；基部，其支撑所述打印系统和所述维护系统；所述基部跨越通过所述第一框架构件和所述第二框架构件；以及 在所述第一框架构件和所述基部之间的第一基部密封件、以及在所述第二框架构件和所述基部之间的第二基部密封件。
3.根据权利要求2所述的气体封闭组件和系统，其特征在于，在所述第一内部容积和所述第二内部容积之间的所述开口的可密封封闭与所述第一基部密封件和所述第二基部密封件结合隔离所述第一内部容积和所述第二内部容积。
4.一种气体封闭组件和系统,包括： 气体封闭组件，其具有包含惰性气体环境的内部容积，其中，所述气体封闭组件包括： 第一框架构件组件部段，其限定第一内部容积；以及 第二框架构件组件部段，其限定第二内部容积； 打印系统，其包括： 打印头组件，其包括至少一个打印头； 运动系统，其用于将所述打印系统定位在所述气体封闭组件内；以及维护系统，其用于维护所述打印头组件；所述维护系统容纳在所述第二框架构件组件部段内，其中，所述运动系统能定位所述打印头以便由所述维护系统维护。
5.根据权利要求I或4所述的气体封闭组件和系统，其特征在于，所述第二内部容积小于或等于所述气体封闭组件的内部容积的大约1%。
6.根据权利要求I或4所述的气体封闭组件和系统，其特征在于，所述第二内部容积小于或等于所述气体封闭组件的内部容积的大约10%。
7.根据权利要求I或4所述的气体封闭组件和系统，其特征在于，所述第二内部容积小于或等于所述气体封闭组件的内部容积的大约20%。
8.根据权利要求I或4所述的气体封闭组件和系统，其特征在于，还包括气体净化系统，所述气体净化系统配置成与选自所述气体封闭组件、所述第一框架构件组件部段和第二框架构件组件部段的内部气体封闭组件流体连通。
9.根据权利要求8所述的气体封闭组件和系统，其特征在于，所述气体净化系统最大容量基于所述气体封闭组件的内部容积。
10.根据权利要求9所述的气体封闭组件和系统，其特征在于，在所述气体净化系统配置成与所述第二框架构件组件部段流体连通时，所述气体净化最大容量可用于净化所述第二框架构件组件部段内部容积。
11.根据权利要求I或4所述的气体封闭组件和系统，其特征在于，所述打印系统具有基板支撑设备。
12.根据权利要求11所述的气体封闭组件和系统，其特征在于，所述基板支撑设备限定所述基板可移动通过所述打印系统的行程。
13.根据权利要求11所述的气体封闭组件和系统，其特征在于，所述基板支撑设备能支撑具有在大约第5代至大约第10代之间的尺寸的基板。
14.根据权利要求11所述的气体封闭组件和系统，其特征在于，打印系统可打印OLED基板，其中，所述基板支撑设备可支撑具有在大约第3. 5代至大约第8. 5代之间的尺寸的基板。
15.根据权利要求I或4所述的气体封闭组件和系统，其特征在于，包含在所述内部中的惰性气体环境包括均在IOOppm或以下水平的水和氧气。
【文档编号】B41J2/14GK104129163SQ201310704315
【公开日】2014年11月5日 申请日期:2013年12月19日 优先权日:2012年12月19日
【发明者】J.莫克, A.S-K.柯, E.弗伦斯基, S.奥尔德森 申请人:科迪华公司