液体喷射头芯片、液体喷射头、液体喷射装置的制作方法

文档序号:15131313发布日期:2018-08-10 07:47阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
提供在镀敷电极中,能够抑制产生镀敷被膜的不析出部位,或者产生镀敷球的情况的液体喷射头芯片、液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头芯片的制造方法。实施方式的液体喷射头芯片(40A、40B)具备:促动器板(51),其中多个通道(54、55)沿X方向隔开间隔并列设置,所述多个通道(54、55)具有沿Z方向延伸的延伸部(54a、55a)、以及从延伸部(54a、55a)向Z方向的一侧相连,并且槽深随着去往Z方向的一侧而逐渐浅的切起部(54b、55b);以及在通道(54、55)的内表面通过镀敷被膜形成的通道内电极(61、63)。

技术研发人员:中山仁
受保护的技术使用者:精工电子打印科技有限公司
技术研发日:2018.02.02
技术公布日:2018.08.10
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