冷凝板及减压干燥装置的制作方法

本实用新型涉及显示技术领域，特别是涉及一种冷凝板及减压干燥装置。

背景技术：

有机电致发光二极管(OLED)、无机电致发光二极管(QLED)由于其具有自发光、反应快、视角广、亮度高、轻薄等优点，OLED显示屏、QLED显示屏和集成有OLED和QLED混合显示屏(例如采用红光QLED、绿光QLED与蓝光OLED的混合显示屏)成为未来显示的主流。由于印刷工艺低成本、高产能、易于实现大尺寸等优点，是未来显示技术发展的重要方向。目前，主要有采用印刷工艺制作OLED基板、QLED基板和QLED和OLED混合基板后，再通过减压干燥、烘烤、蒸镀电极和封装等步骤。OLED基板、QLED基板和QLED和OLED混合基板上的空穴注入层(HIL)、空穴传输层(HTL)、发光层(EML)材料等功能性材料均可以采用喷墨打印工艺制备。在印刷工艺中，通常打印完功能层后需要经过真空干燥(减压干燥)即VCD工艺，使墨水中的溶剂快速挥发干燥，初步形成较为平整的薄膜形貌，后续再通过一步高温退火来形成致密的薄膜。OLED和QLED效率的影响因素中，各功能层材料的成膜均匀性是非常重要的考察点。然而，采用目前的减压干燥装置进行减压干燥，往往出现基板非有效显示区与有效显示区(即AA区)形成的薄膜形貌差异较大的问题，从而影响了整个面板的成膜均匀性。

技术实现要素：

基于此，有必要提供一种用于减压干燥装置、能够在减压干燥过程中提高成膜均匀性的冷凝板。

一种冷凝板，包括冷凝板主体和凸起部，所述冷凝板主体的一面设有所述凸起部和由所述凸起部围合形成的凹槽，所述凸起部沿所述冷凝板主体的边缘延伸，所述凹槽用于与待干燥基板的有效显示区间隔相对设置，所述凸起部用于与所述待干燥基板的非有效显示区间隔相对设置。

一般在减压干燥过程中，由于待干燥基板的非有效显示区靠近载物台的边缘，因此受减压干燥装置腔体内的环境影响较大，从而使得待干燥基板非有效显示区的溶剂挥发速度比有效显示区的溶剂挥发速度大，进而导致非有效显示区与有效显示区的薄膜形貌差异较大，影响了整个面板的成膜均匀性。本实用新型提供的冷凝板通过对结构进行改进，使冷凝板的边缘形成凸起部，中部形成凹槽。在减压干燥时，凹槽用于与待干燥基板的有效显示区对应，凸起部用于与待干燥基板的非有效显示区对应。于是凸起部与待干燥基板的非有效显示区之间的间隔距离较小，相应地该区域挥发的溶剂浓度相对较大；凹槽与待干燥基板的有效显示区之间的间隔距离较大，相应地该区域挥发的溶剂浓度较小。而溶剂的挥发速度与其周边的溶剂浓度相关，溶剂浓度越大挥发速度越慢，溶剂浓度越小挥发速度越快。如此即可缩小甚至消除待干燥基板非有效显示区与有效显示区的溶剂挥发速度的差异，从而减小形成的薄膜形貌差异，提高印刷工艺中待干燥基板的整个面板的成膜均匀性，有助于窄边框像素面板的设计制造。

在其中一个实施例中，所述凹槽的深度为1mm～3mm。

在其中一个实施例中，所述凹槽的侧壁与所述凹槽的底壁垂直。

在其中一个实施例中，所述凹槽的侧壁与所述凹槽的底壁之间的夹角大于90°且小于180°。

在其中一个实施例中，所述待干燥基板为待干燥OLED基板、待干燥QLED基板或待干燥的QLED和OLED混合基板。

在其中一个实施例中，所述凹槽的侧壁呈弧面状。

在其中一个实施例中，所述凹槽的底壁呈弧面状。

在其中一个实施例中，所述凹槽的形状被配置为与所述待干燥基板的形状相同。

在其中一个实施例中，所述凹槽的形状为方形或圆形。

本实用新型还提供了一种减压干燥装置，包括上述冷凝板和载物台，所述冷凝板与所述载物台间隔相对设置，且所述冷凝板设有所述凸起部的一面朝向所述载物台。

在其中一个实施例中，还包括升降组件，所述升降组件与所述载物台连接，以用于调节所述载物台的高度。

附图说明

图1为一实施例的减压干燥装置的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将对本实用新型进行更全面的描述，并给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1所示，本实用新型一实施例的冷凝板100，包括冷凝板主体101和凸起部102，冷凝板100用于对减压干燥装置200中的待干燥基板300进行冷凝干燥。冷凝板主体101的一面设有凸起部102，凸起部102沿冷凝板主体101的边缘延伸从而围设形成凹槽103，凹槽103用于与待干燥基板300的有效显示区间隔相对设置，凸起部102用于与待干燥基板300的非有效显示区间隔相对设置。

一般在减压干燥过程中，所述待干燥基板300与所述载物台201存在一定的间隔，待干燥基板300上有效显示区与载物台201的间隔和待干燥基板300上非有效显示区与载物台201的间隔相同。由于待干燥基板300的非有效显示区靠近载物台201的边缘，因此受减压干燥装置200腔体内的环境影响较大，从而使得待干燥基板300非有效显示区的溶剂挥发速度比有效显示区的溶剂挥发速度大，进而导致非有效显示区与有效显示区的薄膜形貌差异较大，影响了整个面板的成膜均匀性。本实施例提供的冷凝板100通过对结构进行改进，使冷凝板100的边缘形成凸起部102，中部形成凹槽103。在减压干燥时，凸起部102用于与待干燥基板300的非有效显示区对应，凹槽103用于与待干燥基板300的有效显示区对应。于是凸起部102与待干燥基板300的非有效显示区之间的间隔距离较小，相应地该区域挥发的溶剂浓度相对较大；凹槽103与待干燥基板300的有效显示区之间的间隔距离较大，相应地该区域挥发的溶剂浓度较小。而溶剂的挥发速度与其周边的溶剂浓度相关，溶剂浓度越大挥发速度越慢，溶剂浓度越小挥发速度越快。如此即可缩小甚至消除待干燥基板300非有效显示区与有效显示区的溶剂挥发速度的差异，从而减小形成的薄膜形貌差异，提高印刷工艺中待干燥基板300的整个面板的成膜均匀性，有助于窄边框像素面板的设计制造。可以理解，有效显示区与非有效显示区的范围大小可根据实际需要进行确定。

在一个具体示例中，所述待干燥基板为采用印刷工艺制备的电致发光器件基板，采用所述待干燥基板选自待干燥OLED基板、待干燥QLED基板或待干燥的QLED和OLED混合基板。

在一个具体示例中，凹槽103的深度为1mm～3mm，能够较好地减小待干燥基板300的非有效显示区与有效显示区形成的薄膜形貌差异，提高成膜均匀性。可以理解，当凹槽103的底壁为平面时，深度即凹槽103的底壁与侧壁的上沿的高度差，当凹槽103的底壁为弧面等非平面情况时，深度指凹槽103的底壁与侧壁的上沿的高度差的最大值。

在一个具体示例中，凹槽103的侧壁与凹槽103的底壁垂直。

在一个具体示例中，凹槽103的侧壁与凹槽103的底壁之间的夹角大于90°且小于180°，即形成了一个斜面，从而形成一个待干燥基板300与冷凝板100之间的间隔距离逐渐变化的区域，有利于进一步减小待干燥基板300上薄膜的形貌差异。

在一个具体示例中，凹槽103的侧壁呈弧面状。可以理解，凹槽103的侧壁形态不限于此，可根据间隔距离变化的需要进行设置。

在一个具体示例中，凹槽103的底壁呈弧面状，如此，可进一步调整待干燥基板300中部有效显示区的溶剂蒸发速度，提高整个面板的成膜均匀性。

在一个具体示例中，凹槽103的形状与待干燥基板300的有效显示区的形状相同，尺寸则等于或略大于待干燥基板300的有效显示区，以更好地与待干燥基板300的有效显示区对应。具体地，凹槽103的形状可以是方形或圆形，但不限于此，还可以是其他多边形或不规则图形等等，可根据需要相应地调整。

如图1所示，本实用新型一实施例的减压干燥装置200，包括上述冷凝板100和载物台201。载物台201用于承载待干燥基板300，冷凝板100与载物台201间隔相对设置，且冷凝板100设有凸起部102的一面朝向载物台201。

在一个具体示例中，减压干燥装置200还包括升降组件(图未示)，升降组件与载物台201连接，以用于调节载物台201的高度，从而改变待干燥基板300与冷凝板100的距离。

可选地，冷凝板100与载物台201之间的温差为15～20℃，距离为10mm以内。

在使用本实施例的减压干燥装置200进行减压干燥时，将待干燥基板300放置于载物台201上，在减压干燥装置200内的压力达到预设值后，通过升降组件调整载物台201的高度。减压干燥过程中，冷凝板100的凸起部102与待干燥基板300的非有效显示区对应，凹槽103与待干燥基板300的有效显示区对应。于是凸起部102与待干燥基板300的非有效显示区之间的间隔距离较小，相应地该区域挥发的溶剂浓度相对较大；凹槽103与待干燥基板300的有效显示区之间的间隔距离较大，相应地该区域挥发的溶剂浓度较小。而溶剂的挥发速度与其周边的溶剂浓度相关，溶剂浓度越大挥发速度越慢，溶剂浓度越小挥发速度越快。如此即可缩小甚至消除待干燥基板300有效显示区与非有效显示区的溶剂挥发速度的差异，从而减小形成的薄膜形貌差异，提高印刷工艺中待干燥基板300的整个面板的成膜均匀性，有助于窄边框像素面板的设计制造。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。