专利名称：一种制作等离子显示面板时层叠干膜抗蚀剂的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于等离子体显示屏制造技术领域，具体涉及一种在制作等离子显示面板时，在玻璃基板上层叠干膜抗蚀剂来制作障壁图形的装置。
背景技术：
彩色交流等离子体显示面板(以下简称AC-PDP)的制作过程中，层叠(laminate)是一种很重要的工艺方法。例如，制作后面板的障壁图形的喷砂法中，就借助了层叠工艺，其工艺流程为在后玻璃基板上涂敷障壁的浆料——在障壁层上层叠干膜抗蚀剂膜(Dry Film Resist，简称为DFR)——采用掩模板photo mask对干膜抗蚀剂膜进行曝光——显像——喷砂——把干膜抗蚀剂膜剥掉，烧成，即完成了障壁层的加工。
在障壁层上层叠干膜抗蚀剂膜的工艺步骤中，干膜抗蚀剂膜与基板之间经常会残存空气泡，导致局部DFR膜与基板贴合出现缺陷。在后续的喷砂过程中，缺陷处的障壁层失去DFR膜的保护，很容易被研磨材刻蚀掉，造成这部分障壁图形的缺陷。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种制作等离子显示面板时层叠干膜抗蚀剂的装置，解决了现有层叠干膜抗蚀剂膜工艺中，由于干膜抗蚀剂膜与基板之间残存空气泡而导致障壁图形缺陷的问题。
本实用新型所采用的技术方案是，一种制作等离子显示面板时层叠干膜抗蚀剂的装置，包括卷有干膜抗蚀剂膜的供给辊、传送辊、层叠辊以及设置于后玻璃基板下面的搬送辊，还包括一设置于层叠辊前方的水雾喷嘴，该水雾喷嘴与一超声雾化器相连接。
本实用新型的特点还在于；上述超声雾化器包括雾室，雾室底部嵌有谐振片，谐振片与一超声控制单元相连接，雾室靠近上部的两端处分别设置有分机和出雾口，出雾口与水雾喷嘴相连接，雾室的底部设置有排水管。
雾室内还伸入有由双蠕动泵控制的进水管和水平管，且进水管与水平管在雾室内的水平端口平齐。
水平管为毛细管。
谐振片为压电晶体或压电陶瓷，其两侧面覆盖有金属膜层。
谐振片的金属膜层外还覆盖有耐腐蚀保护片。
本实用新型的层叠装置通过在现有层叠装置加装压电陶瓷超声雾化器，并通过喷嘴在基板上喷覆一层稀薄的水，再层叠干膜抗蚀剂膜，干膜抗蚀剂DFR膜吸收了基板表面的水分后，就紧密的贴合在基板表面，不会出现空气残留在DFR膜和基板之间，从而解决了由于干膜抗蚀剂膜与基板之间残存的空气泡而导致障壁图形缺陷的问题。
图1是制作后面板障壁图形采用的喷砂法工作流程图；图2是形成障壁图形缺陷的喷砂流程示意图；图3是现有层叠干膜抗蚀剂膜装置的结构示意图；图4是本实用新型层叠装置的结构示意图；图5是本实用新型的超声雾化器结构示意图。
图中，11后玻璃基板，12浆料，13干膜抗蚀剂膜，14掩模板，15研磨材，16气泡，21供给辊，22传送辊，23层叠辊，24搬送辊，25水雾喷嘴，31雾室，32风机，33谐振片，34超声控制单元，35出雾口，36水，37排水管，38双蠕动泵，381进水管，382水平管。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型进行详细说明。
从图1喷砂法工作流程图可以看出，制作后面板障壁图形的步骤为第一步，把障壁的浆料12涂敷在后玻璃基板11上，干燥；第二步，在障壁层上层叠感光性干膜抗蚀剂膜(Dry Film Resist，以下简称为DFR)13，这层DFR膜具有经光硬化后可以抵抗喷砂加工时研磨材刻蚀的特性；第三步，通过掩模板photo mask14对干膜抗蚀剂DFR膜13进行曝光；第四步，显像，干膜抗蚀剂DFR膜13只有光硬化的部分覆盖在障壁层上；第五步，喷砂，有干膜抗蚀剂DFR膜13覆盖的障壁层保存下来，其余部分被研磨材15刻蚀掉，得到图形化的障壁；最后，把干膜抗蚀剂DFR膜13剥掉，经烧成，即完成障壁层的加工。
在障壁层上层叠干膜抗蚀剂膜的工艺步骤中，干膜抗蚀剂膜13与后玻璃基板11之间经常会残存空气泡，图2描述了形成障壁图形缺陷的喷砂过程，由于该气泡16导致局部干膜抗蚀剂DFR膜13与后玻璃基板11贴合出现缺陷，在后续的喷砂过程中，缺陷处的障壁层失去干膜抗蚀剂DFR膜13的保护，很容易被研磨材15刻蚀掉，造成这部分障壁图形的缺陷。
目前层叠干膜抗蚀剂膜装置的结构如图3所示。干膜抗蚀剂DFR膜13卷在供给辊21上，通过传送辊22，由层叠辊23压在后玻璃基板11上，后玻璃基板11在搬送辊24的传动作用下向右行进。
本实用新型的层叠干膜抗蚀剂的装置如图4所示，包括卷有干膜抗蚀剂膜13的供给辊21、传送辊22、层叠辊23以及设置于后玻璃基板11下面的搬送辊24，还包括一设置于层叠辊23前方的水雾喷嘴25，该水雾喷嘴25与一超声雾化器相连接。
图5给出了一种超声雾化器的实例，包括雾室31，雾室31底部嵌有谐振片33，谐振片33为压电晶体或压电陶瓷，其两侧面覆盖有金属膜层，由于谐振片33长期在水中浸泡，容易被腐蚀，金属膜层外还覆盖有耐腐蚀保护片。谐振片33与一超声控制单元34相连接，雾室31靠近上部的两端处分别设置有分机32和出雾口35，出雾口35与水雾喷嘴25相连接，雾室31的底部设置有排水管37，用以把雾室31内的水排空。超声控制单元34电路包括超声发生电路，超声发生电路与超声稳频电路和超声反馈电路相连接，超声稳频电路的加装起到了使超声波频率稳定的目的。为了使雾室31内的水36容量稳定，雾室31内还伸入有由双蠕动泵38控制的进水管381和水平管382，且进水管381与水平管382在雾室31内的水平端口平齐，进水管381和水平管382分别与双蠕动泵38的泵入和吸出两个通道相连通，水平管382选用毛细管。
雾室31内先存储一定量的水36，为了不产生杂质，最好采用纯净水。超声雾化器工作时，首先由超声控制单元34把超声信号传输到谐振片33上，谐振片的机械振动传给雾室31里的水36，使水面产生隆起，并在隆起的周围发生空化作用，由这种空化作用产生的冲击波将以谐振片33的振动频率不断反复振动，就在水面上产生有限振幅的表面张力波，这种波的波头飞散，使水雾化，雾化的水粒子在风机32的吹送下从出雾口35送出，出雾口35与设置于层叠辊23前方的水雾喷嘴25连接，水雾从水雾喷嘴25喷洒到待加工的后玻璃基板11的表面，后玻璃基板11被水润湿后，再经过层叠辊23贴合干膜抗蚀剂膜13。随着雾室31内的水36被雾化排出而减少，进水管381会向雾室31内补充水36，当水36的水面超过了水平管382，水平管382由于毛细作用，并在双蠕动泵38的协助下，会把多余的水36吸出雾室31。这样雾室31内的水面始终保持恒定，从而雾化器的雾化效率基本不变。
采用该超声雾化器，无需对液体加热，就能直接把液体雾化成1--3μm的微粒。由于本实用新型的层叠装置通过在现有层叠装置加装压电陶瓷超声雾化器，并通过喷嘴在基板上喷覆一层稀薄的水，再层叠干膜抗蚀剂膜，干膜抗蚀剂DFR膜吸收了基板表面的水分后，就紧密的贴合在基板表面，并且不会再有空气残留在DFR膜和基板之间，从而解决了障壁图形缺陷的问题。
权利要求1.一种制作等离子显示面板时层叠干膜抗蚀剂的装置，包括卷有干膜抗蚀剂膜(13)的供给辊(21)、传送辊(22)、层叠辊(23)以及设置于后玻璃基板(11)下面的搬送辊(24)，其特征在于，还包括一设置于层叠辊(23)前方的水雾喷嘴(25)，该水雾喷嘴(25)与一超声雾化器相连接。
2.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，所述超声雾化器包括雾室(31)，雾室(31)底部嵌有谐振片(33)，谐振片(33)与一超声控制单元(34)相连接，雾室(31)靠近上部的两端处分别设置有分机(32)和出雾口(35)，出雾口(35)与所述水雾喷嘴(25)相连接，雾室(31)的底部设置有排水管(37)。
3.按照权利要求2所述的装置，其特征在于，所述雾室(31)内还伸入有由双蠕动泵(38)控制的进水管(381)和水平管(382)，且进水管(381)与水平管(382)在雾室(31)内的水平端口平齐。
4.按照权利要求3所述的装置，其特征在于，所述水平管(382)为毛细管。
5.按照权利要求2所述的装置，其特征在于，所述谐振片(33)为压电晶体或压电陶瓷，其两侧面覆盖有金属膜层。
6.按照权利要求5所述的装置，其特征在于，所述谐振片(33)的金属膜层外还覆盖有耐腐蚀保护片。
专利摘要本实用新型公开的一种制作等离子显示面板时层叠干膜抗蚀剂的装置，包括卷有干膜抗蚀剂膜的供给辊、传送辊、层叠辊以及设置于后玻璃基板下面的搬送辊，还包括一设置于层叠辊前方的水雾喷嘴，该水雾喷嘴与一超声雾化器相连接。本实用新型通过在现有层叠装置加装压电陶瓷超声雾化器，并通过喷嘴在基板上喷覆一层稀薄的水，再层叠干膜抗蚀剂膜，就不会出现空气残留在DFR膜和基板之间，从而解决了由于干膜抗蚀剂膜与基板之间残存的空气泡而导致障壁图形缺陷的问题。
文档编号G03F7/20GK2919302SQ200620079298
公开日2007年7月4日 申请日期2006年6月29日 优先权日2006年6月29日
发明者许彦旗, 陆康宁 申请人:彩虹集团电子股份有限公司