基板检查装置的制作方法

专利名称：基板检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及基板检查装置。例如涉及水平搬运液晶玻璃基板等那样 的薄板状基板并检査表面缺陷的基板检查装置。本申请要求2006年9月11日申请的日本专利申请第2006-245739 号的优先权，并在此引用其内容。
背景技术：
近些年伴随液晶显示器的大型化，液晶玻璃基板也变得大型。因而， 检查这种薄板状基板的表面缺陷的基板检查装置大多将处于制造工序中 的基板移载到气体浮起台等搬运台上，对基板的端部进行例如吸附保持 等，将其搬运到检查部，通过在检查部水平移动基板，来进行基板表面 的检查。由此减少了用于基板移动的时间、能量损失和搬运对基板造成 的破坏。例如在日本特开2004-279335号公报中，记载了一种基板搬运装置， 该基板搬运装置具有向上吹出空气使基板浮起的浮起块，和吸附保持在 浮起块上浮起的基板的两端并向一个方向搬运基板的基板搬运部(参照 日本特开2004-279335号公报图1)。另夕卜，在日本特开2000-9661号公报中，记载了一种平板检查装置， 该平板检查装置在辊子搬运部的单侧沿着搬运方向设置有Y载物台，通 过把持机构在厚度方向上把持基板的单侧进行搬运(参照日本特开 2000-9661号公报图1 3)。但上述那样的现有的基板检查装置存在如下问题。在日本特开2004-279335号公报所述的技术中，通过沿基板搬运路 径的两侧平行配置基板搬运部来吸附保持基板的两端进行搬运。因此， 由于基板的两侧被一对基板搬运部约束，因此，因基板搬运部的平行度
的失调等，薄板上的玻璃基板被从两侧按压而容易变形，由于基板歪斜， 会影响检查精度。并且在日本特开2004-279335号公报所述的基板检查装置中，虽然 相对于浮起块设置了共同的基板搬运部。但是，在平板的制造线上，根 据搬运路径的布局和检查部的数量等，排列多个浮起块来形成长大的搬 运路径。在该搬运路径中配置有多个制造装置或检查装置。在这样的情 况下，要在多个浮起块和各装置设置共同的两端保持的基板搬运部，需 要使彼此的配置精度为高精度，因此会增加基板检查装置的设置工作和 组装成本。特别是为了切断来自外部的振动，基板检查装置放置在除振 台上。在为这样放置在除振台上的装置的情况下，伴随着基板的移动， 放置在除振台上的浮起块的上表面会倾斜，或是由于来自外部的振动而 进行复杂的运动，因而无法设置共同的基板搬运部。为了避免后一个问题，可以考虑按照浮起块来分割设置基板搬运部， 但这需要用于从上游侧的基板搬运部换载到下游侧的基板搬运部的搬运 机械手等，这使装置结构变得复杂。另外在日本特开2000-9661号公报所述的技术中，在将基板交接给 下游侧的搬运部的情况下，需要放开基板一次。此时，由于基板在水平 方向上不被约束，因而会有损定位在基准位置上的基板的定位状态。所 以存在在交接之后必须再次进行定位调整的问题。发明内容本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种即使搬运路 径长，也不会使基板发生变形，而且能以良好的精度搬运基板的基板检 査装置。为了解决上述课题，本发明基板检查装置具有用于搬运作为被检 体的薄板状的基板的搬运台；以及多个单侧搬运部，它们配置在搬运台 的、与搬运方向正交的方向中的任意侧，它们保持基板的端部，并对基 板施加搬运力，该基板检査装置通过在多个单侧搬运部之间依次交接基 板，来进行基板的搬运。
根据本发明的基板检查装置，由于在多个单侧搬运部之间交接基板 进行搬运，所以即使搬运路径长，也不会使基板发生变形，而且能以良 好的精度搬运基板。


图1是表示本发明的第一实施方式的基板检查装置的概要结构的俯 视图。图2A是图1中的A部的局部放大图。图2B是向图2A中的箭头B方向观察的正视图。图3是说明本发明的第一实施方式的基板检查装置的动作的俯视图。图4是说明本发明的第一实施方式的基板检查装置的动作的俯视图。图5是表示本发明的第一实施方式的变形例的基板检査装置的概要 结构的俯视图。图6是表示本发明的第二实施方式的基板检査装置的概要结构的俯 视图。 ，图7是表示本发明的第三实施方式的基板检査装置的概要结构的俯 视图。图8是表示本发明的第四实施方式的基板检查装置的概要结构的俯 视图。
具体实施方式
下面参照

本发明的实施方式。在所有附图中，即使在实施 方式不同的情况下，对于相同或者相当的部件也标以相同的标号，并省 略共同的说明。[第一实施方式]说明本发明第一实施方式的基板检查装置。图1是表示本发明的第一实施方式的基板检查装置的概要结构的俯
视图。图2A是图1中的A部的局部放大图。图2B是向图2A中的箭头 B方向观察的正视图。本实施方式是应用于基板检查装置100的实施方式，该基板检查装 置100将例如由液晶玻璃基板等构成的薄板状的基板4作为被检体，在 使基板4浮起的同时沿水平方向对其进行搬运，并检查基板4的表面。如图1所示，基板检査装置100的概要结构是构成为沿着基板4的 搬运方向依次配置有基板搬入部1、检查部2和基板搬出部3。基板4的俯视形状以搬运方向的长度为L、与搬运方向正交的方向 (以下简称为搬运宽度方向)的宽度为W的矩形形状进行说明。基板搬入部1通过具有多个顶升销的升降器从装置外部接收例如使 用搬运机械手等搬运来的基板4，并将其载置在浮起台1A上，基板搬入 部l具有基板定位机构，该基板定位机构由基准销8a、 8a、 8b和按压销 8c、 8c构成，该基板定位机构对在浮起台1A上浮起的基板4在水平面内 在搬运方向和搬运宽度方向上进行定位，而且，基板搬入部1还具有浮 起台1A和吸附搬运部5 (单侧搬运部)。浮起台1A是用于在水平方向载置基板4并使其在水平方向上可以自 由移动的、以低负荷向恒定方向搬运基板4的搬运台。本实施方式中， 浮起台1A由气体浮起台构成，该气体浮起台在台表面上设置有多个空气 喷射孔N，通过从这些空气喷射孔N喷出空气，来对基板4进行浮起支 撑。浮起台1A的大小设定成搬运方向的长度大于基板4的搬运方向长度 L，搬运宽度方向的宽度略小于基板4的宽度W。基准销8a、 8a是用于通过与基板4的搬运宽度方向侧的端部顶接， 来进行搬运宽度方向的定位的卡定部件，其朝向浮起台1A的搬运方向而 固定配置在右侧(图l中的下侧、以下简称为搬运方向右侧)，并且设置 成可相对于基板4的载置面在上下方向出没。基准销8b是用于通过与基板4的搬运方向侧的端部顶接，来进行搬 运方向的定位的卡定部件，在浮起台1A的搬运方向下游侧，该基准销 8b被设置为可相对于基板4的载置面在上下方向出没。 另外，由于图1为示意图，因而对大小等进行了夸张处理，其结果 为描绘成基准销8b与滑块引导件9处于相互干涉的位置关系。但是，基准销8b设置在与滑块引导件9略微分开的位置上，而且构成为能够在基 板4的定位后下降而退避到不与后述的吸附搬运部5干涉的位置上，以 便不与滑块10干涉。按压销8c是用于按压基板4对其向设置于基准位置的基准销8a、8a、 8b侧施力的按压部件，其朝向浮起台1A的搬运方向设置在左侧(图1 中的上侧、以下简称为搬运方向左侧)和浮起台1A的搬运方向上游侧， 并且设置成可以朝向基板4移动。另外，基准销8a、 8b、按压销8c只要是能够不损伤基板4的端部进 行抵接的卡定部件，则并不限于销状部件，例如也可以是块状部件。而 且按压部件也可以用缓冲材料等来覆盖表面。吸附搬运部5沿着浮起台1A的搬运方向右侧配置，其吸附保持浮起 支撑在浮起台1A上的基板4的搬运方向右侧的背面侧，并向搬运方向施 加搬运力。如图2A、图2B所示，吸附搬运部5的概要结构由滑块引导件9、 滑块IO、升降机构ll、升降基座12、吸附基座13和吸附块14构成。滑块引导件9和滑块10是以滑块引导件9作为引导部件，并能够使 滑块IO在恒定的直线上往复移动的由线性电动机构成的移动机构。在本 实施方式中，虽然釆用了线性电动机作为移动机构，但是也可以采用应 用了滚珠丝杠等的一轴驱动机构。如图l所示，吸附搬运部5的滑块引导件9沿着浮起台1A的搬运方 向右侧配置，其从浮起台1A上的基准定位区域P!的中间部延伸到浮起 台2A的上游侧的基板交接区域P2的中间部。升降机构11固定在滑块10上，在搬运基板4时，升降机构11使吸 附基座13上升，然后交接基板4，在返回原位置时，使吸附基座13下降 以使其不与基板4干涉。升降基座12是对设置在升降机构11的上端面上的吸附基座13进行 保持的保持部件。
吸附基座13是为了将多个吸附块14固定在上表面侧而设置的、长 度略小于基板4的搬运方向长度L的矩形形状的支撑部件。该吸附基座13以长度方向与浮起台1A的端面平行的状态固定在升降基座12上。吸附块14是用于在其上端面上从背面侧吸附基板4的搬运方向右侧 的端部的吸附盘，吸附块14以各上端面整齐排列在平面上的状态隔开适 当的间隔在吸附基座13上设置有多个。本实施方式中，在相等地分割基 板4的搬运方向宽度方向上的端部的全长L的位置上设置有6个吸附块 14，通过吸附块14整体地吸附了基板4的单侧的端部。作为吸附块14的结构，例如可以采用在俯视为矩形形状的吸附面上 设置有凹部14a，并且在该凹部14a的中央设置有通过抽吸源进行真空抽 吸的抽吸孔14b的结构。检查部2是检查从基板搬入部1搬运来的基板4，并交接给基板搬 出部3的部件。检查部2由以下部件构成固定在未图示的基座上的门型的台架2a; 可移动地设置在该台架2a的水平臂上的显微镜等检查头2b;以及浮起台 2A和吸附搬运部6。检查部2优选设置在除振台上，以使其在检查时不 受外部振动的影响。浮起台2A是用于在水平方向上载置基板4并向恒定方向进行搬运的 搬运台，在本实施方式中，釆用与浮起台1A相同的气体浮起台。其中， 关于检查部2的浮起台2A的大小，虽然搬运宽度方向的宽度与浮起台 1A为相同宽度，但搬运方向的长度设定为大于等于2'L。因此，当在浮 起台2A的基板交接区域P2的下游侧设置检査区域P3时，只要确保这样 的长度即可在浮起台2A上的基板交接区域P2从吸附搬运部5将基板4 交接给吸附搬运部6的状态下，能够将基板4相对于检查头2b的检査线 从搬运方向的前端移动到后端，以便能够通过检査头2b检查基板4的整 个面。检查部2优选为，在从基板搬入部1搬入基板4时，将除振台锁定， 使浮起台2A与浮起台1A为相同高度。吸附搬运部6具有与图2B所示的吸附搬运部5的结构相同的结构。
如图1所示，吸附搬运部6沿着吸附搬运部5的相反侧的浮起台2A的搬运方向左侧配置，该吸附搬运部6从吸附搬运部5接收在基板搬入部1 进行了定位的基板4并对其进行浮起搬运。吸附搬运部6通过多个吸附块14来吸附基板4的搬运方向左侧的背 面，并能够对基板4施加搬运力。如图1所示，检查部2的滑块引导件9沿着浮起台2A的搬运方向左 侧配置，并从浮起台2A的基板交接区域P2的中间部延伸到基板交接区 域(检查区域)P3的中间部。该滑块引导件9的长度只要是在相邻的两 个基板交接区域P2、 P3内能够使滑块10在浮起台2A的搬运方向长度的 范围内进行往复移动的长度即可，也可以是与浮起台2A的搬运方向长度 大致相同的长度。因此，在俯视时，吸附搬运部5的滑块引导件9与吸附搬运部6的 滑块引导件9隔着浮起台2A彼此平行地对置。对置配置的吸附搬运部5、 6只要能在基板交接区域P2交接基板4，则滑块10可以不必一定位于基 板交接区域P2的中间(L/2)处，但为了正确而且稳定地搬运进行了定位 的基板，只要使各个滑块10移动到基板交接区域P2的中间(L/2)即可。在本实施方式中，设定为可以在浮起台2A上的基板交接区域Ps把 由吸附搬运部5所吸附搬运的基板4交接给吸附搬运部6。如图2A和图 2B所示，由于可以通过吸附搬运部5的各吸附块14和吸附搬运部6的 各吸附块14来吸附保持基板4的搬运宽度方向上的端部整体。由于吸附 基板搬运部5、 6的移动中心为基板4的长度L的大致中央，因此吸附搬 运部5的滑块10的移动范围被设定在与基板4的长度相同的基准定位区 域Pj和基板交接区域P2各自的中间位置。同样地，吸附搬运部6的滑块10的移动范围设定在基板交接区域P2、 P3各自的中间位置。基板搬出部3是用于例如通过搬运机械手将结束了检査部2中的检 查的基板4搬出到装置外部的部件，其具有浮起台3A和吸附搬运部7。浮起台3A和吸附搬运部7分别具有与浮起部1A和吸附搬运部5相 同的结构。吸附搬运部7沿着吸附搬运部6的相反侧的浮起台3A的搬运 方向右侧配置。该吸附搬运部7的滑块引导件9从浮起台2A的下游侧的基板交接区域P3中间部延伸到浮起台3A的基板搬出区域P4的中间部。 吸附搬运部6的滑块引导件9与吸附搬运部7的滑块引导件9各自 的一部分隔着浮起台2A的基板交接区域P3彼此平行地对置。因此，由 吸附搬运部6吸附搬运来的基板4，可以在浮起台2A的上游侧的与浮起 台3A相邻的基板交接区域P3内交接给对置的吸附搬运部7。这样，在本实施方式的基板检查装置100中，浮起台1A、 2A、 3A 在搬运方向上依次相邻地延伸，在该搬运方向的两侧呈锯齿状交替配置 有吸附搬运部5、 6、 7。因此构成为能够在基板交接区域P2、 P3内，将 进行了定位的基板4分别依次从吸附搬运部5交接搬运到吸附搬运部6、 并从吸附搬运部6交接搬运到吸附搬运部7。下面以基板4的搬运动作为中心说明本实施方式的基板检查装置 100的动作。图3、图4是说明本发明的第一实施方式的基板检查装置的动作的 俯视图。首先如图1的图示左端侧所示，使吸附搬运部5的滑块IO移动到成 为搬运开始侧的基准定位区域P〗的中间位置。此时，调整升降机构11的 高度，使吸附块14的上端面成为低于基板4的背面的浮起高度的状态。然后将通过未图示的搬运机械手等搬入的基板4移载到从浮起台1A 上突出的升降器的各顶升销上。升降器从搬运机械手接收到基板4之后 下降，以使基板4载置在浮起台1A上。移载到了浮起台1A上的基板4 通过从浮起台1A向上喷射的空气而浮起到预定高度。基板4由于在浮起 台1A上浮起，因此，可以在平面方向自由移动，即使基板4的尺寸大， 也能够以很小的负荷进行移动。然后移动按压销8c、 8c，将浮起状态下的基板4压靠在基准销8a、 8a、 8b上，以将基板4定位在基准位置上。通过这些动作，浮起于浮起台1A上的基板4的两边压靠在基准销 8a、 8a、 8b上，由此俯视时的位置分别相对于搬运宽度方向、搬运方向 的基准位置被定位。在该状态下，驱动升降机构ll，使吸附块14上升到
基板4的背面的高度，从而真空吸附定位于基准位置的基板4。真空吸附完成之后，使基准销8b下降，并且使按压销8c向离开基 板4的方向退避。接着，沿搬运方向移动吸附搬运部5的滑块10移动到基板交接区域 P2的中间位置，将基板4搬运到检查部2的基板交接区域P2。此时，吸附搬运部6的滑块10使升降机构11下降，使吸附块14的 上端面低于基板4的背面高度，并且滑块10移动到浮起台1A的基板交接区域P2待机。如图3所示，其结果为，在移动到了浮起台2A上的基板交接区域 P2的基板4的下表面，吸附搬运部5、 6的各滑块10配置在彼此对置的 位置上。在该状态下，使升降机构11上升到吸附搬运部6的吸附块14 的上端面与基板4的背面抵接。然后在用吸附搬运部5的吸附块14吸附 保持了基板4的状态下，通过吸附搬运部6进行真空吸附。此时，基板4 的与搬运宽度方向对置的两端部分别通过吸附搬运部5、 6的各吸附块14 在大致全长的范围内被吸附保持。结束吸附之后，解除吸附搬运部5的吸附，使吸附搬运部5的升降 机构11下降。吸附搬运部5移动到基板搬入部1的基板定位区域P!上， 恢复到上述搬运开始时的状态，准备搬运下一块基板4。由此，通过基板定位机构进行了定位的基板4在被定位的状态下从 搬运方向右侧的吸附搬运部5被交接给搬运方向左侧的吸附搬运部6。这样，通过在用吸附搬运部6吸附保持由吸附搬运部5搬运的基板 4的相反侧的状态下，解除吸附搬运部5的吸附，基板4的平面方向的基 准位置不变，基板4可以在通过基板定位机构维持了基准位置的状态下 被交接给对面的吸附搬运部6。接下来，将吸附搬运部6的滑块10移动到检查区域P3，在浮起台 2A上向浮起台3A侧搬运基板4 (参照图4)。此时，以根据检查部2的 检査需要而预先设定的恒定速度来进行搬运，或者带有预定的速度变化 来进行搬运，或者进行预定的位置移动来搬运。本实施方式中，根据基 板4上的各缺陷的坐标数据，搬运基板4并使其停止以使特定的缺陷与
检査头2b的检查线一致，并且沿着台架2a移动检查头2b以使检查头2b 的光轴与缺陷一致。这样通过使基板4和检查头2b相对地进行XY移动， 能够检查基板4的任意位置。此时，吸附搬运部7的滑块10使升降机构11下降，使吸附块14的 上端面低于基板4的背面高度，并且该滑块10移动到浮起台2A的基板交接区域P3待机。然后，当基板4移动到浮起台2A的搬运方向的端部上时，吸附搬运 部6、 7的滑块10在基板4的下表面对置配置。在该状态下，驱动吸附 搬运部7的升降机构11，使升降机构11上升到吸附搬运部7的吸附块 14的上端面与基板4的背面抵接。然后在通过吸附搬运部6的吸附块14 吸附保持了基板4的状态下，使用吸附搬运部7进行真空吸附。此时基 板4的与搬运宽度方向对置的两端部分别通过吸附搬运部6、 7的各吸附 块14在大致全长的范围内被吸附保持。结束吸附搬运部7的吸附之后，解除吸附搬运部6的吸附，使吸附 搬运部6的升降机构11下降。吸附搬运部6移动到基板交接区域P2，恢 复到上述基板接收时的状态，准备接收下一块基板4。接着，移动吸附搬运部7的滑块10，将基板4搬运到浮起台3A上。 然后将基板4交接给未图示的搬运机械手等，并且解除吸附搬运部7的 吸附，为了接收下一块基板4，使吸附搬运部7的滑块10恢复到基板交接区域P3。这样就结束了基板4的收入、检査和搬出。这样，根据本实施方式的基板检査装置100，通过吸附搬运部5、 6、 7来交替保持基板4的搬运宽度方向的端部，可以在浮起台1A、 2A、 3A 上依次搬运基板4。通过这样保持基板4的单侧进行一轴搬运，由吸附搬 运部5、 6、 7吸附支撑的基板4的另一个端部成为自由状态，所以不会 像以往那样保持两侧进行搬运的情况下那样对基板4施加压力。通过这 样仅吸附保持基板4的单侧，能够水平地搬运基板4，能够防止对基板4的检査精度降低。而且还可以放宽各单侧搬运部的配置精度，或根据需要按照每个搬 运台来切换搬运方向。而且，通过在基板交接区域P2、 P3利用吸附搬运部5、 6和吸附搬运 部6、 7来吸附保持搬运宽度方向的两端部，能够在维持定位后的状态的 情况下在交接基板4的同时进行搬运。由此能省去每次交接时进行位置调整等的麻烦，可以简化基板检查装置100的调整机构，并可以提高检察效率。而且由于在维持基板4的定位状态的情况下将其搬运到基板搬出区域P4，所以能把基板4正确交接给搬运机械手。所以搬运机械手在将基板4插入到盒体内时，能够以基板4不会碰到盒体的侧壁的方式、并且 在无需重新调整的情况下，将基板4搬运到盒体内。 下面说明本实施方式的变形例。图5是表示本发明的第一实施方式的变形例的基板检查装置的概要 结构的俯视图。如图5所示，本变形例的基板检查装置110具有吸附搬运部15 (单 侧搬运部)，以代替上述第一实施方式的基板检查装置100的吸附搬运部 5、 7。下面以与上述第一实施方式的不同之处为中心进行说明。吸附搬运部15将吸附搬运部5的滑块引导件9换成延长到吸附搬运 部7的滑块引导件9的位置的滑块引导件16，并且取代吸附搬运部5的 滑块10，在滑块引导件16上可以移动地设置了由同样结构构成的两个滑 块10A、 IOB。而且如图2B所示，在滑块IOA、 10B的上部具有升降机构11、升 降基座12、吸附基座13和吸附块14。艮口，相当于将上述第一实施方式所示的吸附搬运部5、 7的各滑块引 导件9连接起来形成为一根的结构。根据本变形例的基板检查装置110，通过分别用吸附搬运部15的滑 块10A、 10B来代替上述第一实施方式的吸附搬运部5、 7的滑块10，可 以进行完全相同的动作。因此具备与上述第一实施方式相同的作用效果。而且根据本变形例，由于将吸附搬运部5、 7—体形成为吸附搬运部 15，所以能减少部件数量。而且由于滑块IOA、 10B可以移动到浮起台
2A侧的任意位置上，所以具有这样的优点即使在基板4的长度L发生 变化的情况下也能够容易地应对，并且能够容易地改变浮起台2A的基板 交接区域P2、 P3的位置。 [第二实施方式]说明本发明第二实施方式的基板检查装置。图6是表示本发明的第二实施方式的基板检查装置的概要结构的俯 视图。如图6所示，本实施方式的基板检查装置120具有吸附搬运部17、 19 (单侧搬运部)，以代替上述第一实施方式的基板检查装置100的吸附 搬运部5、 6，并且删除了吸附搬运部7。下面以与上述第一实施方式的 不同之处为中心进行说明。吸附搬运部17将基板检査装置100的吸附搬运部5的滑块引导件9 换成滑块引导件18，该滑块引导件18延长到浮起台2A的基板交接区域 P3，并且可以在浮起台2A的搬运方向的大致全长的范围内来移动滑块 10。吸附搬运部19将吸附搬运部6的滑块引导件9延长到浮起台3A的 基板搬出区域P4，并且使基板4能够在浮起台2A和浮起台3A之间移动。通过这样的结构，可以通过吸附搬运部17在基板搬入部1和检査部 2的范围内搬运基板4、并通过吸附搬运部19在检查部2和基板搬出部3 的范围内搬运基板4。而且，能够在吸附搬运部17、 19的搬运范围为共 有的浮起台2A上的任意位置上，从吸附搬运部17将基板4交接给吸附 搬运部19。即，可以根据需要在浮起台2A的浮起台1A侧、浮起台3A 侧或者它们的中间位置等任意位置上选择浮起台2A上的交接位置。这样，本实施方式为这样的例子通过相对于三个搬运台设置两个 单侧搬运部，实现了在各单侧搬运部之间交接基板进行搬运的结构。这 是在本发明中相对于三个搬运台使用最小限度的单侧搬运部的结构例。根据本实施方式，与第一实施方式相比能够减少单侧搬运部的数量。而且，在本实施方式中，由于吸附搬运部17、 19共有浮起台2A在 搬运方向上的大致全长的搬运范围，所以可以在检查部2内左右轮换所
吸附保持的端部。因此，例如即使在吸附块14妨碍检查的检査中、例如 如图l所示使检查头2b沿着基板4的搬运宽度方向扫描的情况下，当检查头2b与吸附保持了基板4的一侧的吸附块14产生干涉时，通过相反 侧的吸附块14来接替保持基板4，也能够进行在各端部的检査。 [第三实施方式]说明本发明第三实施方式的基板检查装置。图7是表示本发明的第三实施方式的基板检查装置的概要结构的俯 视图。如图7所示，本实施方式的基板检查装置130具有多个检查部2a、 2b，以代替上述第一实施方式的基板检查装置100的检查部2，并对应地 具有多个吸附搬运部6a、 6b (单侧搬运部)以代替吸附搬运部6，而且 在各检查部2a、 2b之间增加了吸附搬运部70 (单侧搬运部)。下面以与 上述第一实施方式的不同之处为中心进行说明。检查部2a、 2b用于进行图案检査、复查、宏观检查等检查，虽然没 有特别示出，但对应于各种检查而具有不同的检查部分。检查部2a具有 浮起台2A和吸附搬运部6a，检查部2b具有浮起台2A和吸附搬运部6b。而且在基板搬入部1和检查部2a之间，以与第一实施方式相同的位 置关系配置有吸附搬运部5。并且吸附搬运部70的滑块引导件90延伸到检查部2a、 2b相邻的检 查区域P3和基板交接区域P2的各自的中间部。吸附搬运部70的结构中， 只有滑块引导件90的长度不同，其余结构与吸附搬运部7相同。而且在检查部2b与基板搬运部3之间，以与第一实施方式相同的位 置关系配置有吸附搬运部7。通过这种结构，与第一实施方式一样，能够将在基板搬入部1进行 了定位的基板4交接给吸附搬运部6a。而且，在检查部2a进行了检查之 后，能够在吸附搬运部6a与吸附搬运部70之间，在搬运范围共有的浮 起台2A的检查区域P3中，将基板4交接给吸附搬运部70。被吸附搬运部70所吸附保持的基板4同样地被搬运到相邻的检查部 2b的基板交接区域P2，并且能够将基板交接给吸附搬运部6b。而且通过吸附搬运部6a将由检查部2b结束了检查的基板4搬运到 下游侧的基板交接区域P3，在该基板交接区域P3能够将基板4交接给吸 附搬运部7，并通过基板搬出部3的吸附搬运部7将其搬运到基板搬出区 域P4，然后通过未图示的搬运机械手将基板搬运到装置外部。本实施方式是设置了多个检查部的情况下的例子。这样，在本发明 中，可以在基板搬入部1和基板搬出部3之间增设多个检査部2。因此，即使各搬运台、单侧搬运部的搬运距离短，也能够通过将它 们相邻地排列起来，来延长整体的搬运距离。[第四实施方式]说明本发明第四实施方式的基板检查装置。图8是表示本发明的第四实施方式的基板检查装置的概要结构的俯 视图。如图8所示，本实施方式的基板检查装置140具有辊子台1B、 2B、 3B (搬运台)，以代替上述第一实施方式的基板检查装置100的浮起台 1A、 2A、 3A。下面以与上述第一实施方式的不同之处为中心进行说明。辊子台1B、 2B、 3B是在俯视时分别与浮起台1A、 2A、 3A相同大 小的矩形形状的台面上，以适当间隔排列多个在恒定高度沿水平方向搬 运基板4的搬运辊子30而构成的。作为搬运辊子30，例如可以采用被支撑为在辊子台1B、 2B、 3B的 水平面内可向360度方向自由旋转的圆筒辊子或球状辊子等。根据这种结构，除了基板4在搬运辊子30上被辊子搬运这点之外， 能够进行与上述第一实施方式相同的动作，因而具有与上述第一实施方 式相同的作用效果。而且，虽然在上述说明中通过相邻地配置了多个搬运台的情况的例 子进行了说明，但也可以构成为，在搬运方向上延伸设置一个搬运台， 在与搬运方向正交的方向上的任意侧配置多个单侧搬运部，并在这些多 个单侧搬运部之间交接基板进行搬运。例如在上述各实施方式、变形例 中，也可以构成为使浮起台1A、 2A、 3A或辊子台1B、 2B、 3B等分别 变形为一体的搬运台。 此时，由于可以在搬运方向上将确定基板搬运精度的单侧搬运部分 为多个，所以例如通过按每个要求搬运精度的检查部分来分割单侧搬运 部，由此与设置一个在搬运路径全长范围内进行高精度搬运的单侧搬运 部的情况相比，可以构成为简单且便宜的结构。并且在上述说明中，在搬运台分割为多个的情况下，通过基板的交 接位置位于相邻的搬运台的一个端部侧的情况的例子进行了说明。但在 搬运台的高度差足够小的情况下，也可以如图5、 6所示，构成为在基板 跨越相邻的搬运台两方的位置上交接基板。而且在上述说明中，以多个单侧搬运部设置于可以在基板的交接位 置上隔着搬运台对置的位置上的例子进行了说明。但只要可以交接基板， 也可以将多个单侧搬运部在搬运台的相同方向侧的侧方设置在可以与正 交于搬运方向的方向对置的位置上。另外在上述说明中，虽然优选将检查部2保持在除振台上，但也可 以根据需要将某个搬运台、单侧搬运部配置在除振台上。根据本发明， 由于这种除振台可以分别按每个搬运台、每个单侧搬运部进行设置，所 以其具有装置设置容易的优点。并且对于上述各实施方式、变形例的各结构要素，只要在技术上可 以实现，就可以在本发明的技术思想范围内适当组合来实施。以上说明了本发明的优选实施方式，但本发明不限于这些实施例。 可以在不脱离本发明主旨的范围内进行结构的增加、省略、置换和其他 变更。本发明不限于上述说明，而仅由所附权利要求的范围限定。
权利要求
1. 一种基板检査装置，该基板检查装置具有 用于搬运作为被检体的薄板状的基板的搬运台；以及多个单侧搬运部，它们配置在搬运台的、与搬运方向正交的方向中 的任意侧，它们保持基板的端部，并对基板施加搬运力，该基板检查装置通过在多个单侧搬运部之间依次交接基板，来进行 基板的搬运。
2. 根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于， 在搬运方向上相邻地配置有多个搬运台，多个单侧搬运部配置成，在各搬运台的相邻位置上，在基板位于相 邻的搬运台中的任一方的端部上的状态下，多个单侧搬运部中的一个单 侧搬运部能够将基板交接给多个单侧搬运部中的另一个单侧搬运部。
3. 根据权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于， 多个单侧搬运部中的一个单侧搬运部与多个单侧搬运部中的另一个单侧搬运部设于在基板的交接位置上隔着搬运台对置的位置上。
4. 根据权利要求1至3中的任一项所述的基板检查装置，其特征在于，搬运台由通过气体喷射来使基板浮起的气体浮起台构成。
全文摘要
本发明提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有用于搬运作为被检体的薄板状的基板(4)的浮起台(1A、2A、3A)；以及吸附搬运部(5、6、7)，它们配置在这些浮起台的与搬运方向正交的方向中的任意侧，保持基板(4)的端部并对基板(4)施加搬运力，该基板检查装置通过在这些吸附搬运部之间依次交接基板(4)，来进行基板(4)的搬运。根据本发明的基板检查装置，即使搬运路径长，也不会使基板变形，而且能够以良好的精度搬运基板。
文档编号G02F1/13GK101144920SQ20071014925
公开日2008年3月19日 申请日期2007年9月7日 优先权日2006年9月11日
发明者藤森洋志 申请人:奥林巴斯株式会社