图案修补方法

文档序号:2741109阅读:291来源:国知局
专利名称:图案修补方法
技术领域
本发明是与图案的修补技术有关,特别是指通过激光及热转印的方式 来修补图案的一种图案修补方法。
背景技术
按,已知的图案修补技术,例如中国台湾公告第1286271号"修补图 案的缺陷与修补图案的缺陷的方法"发明专利,其揭露出利用压膜工艺来 将一薄膜转印于一图案以及该图案所具有的缺陷上,再将位于缺陷上的薄 膜去除,并对该缺陷以一修补涂料涂布之,进行固化后,再将薄膜移除, 即完成修补的技术。
然而,上述的技术中,在修补时,会有一些缺点有待改进。例如在去 除缺陷上的薄膜时,不大容易刚好把薄膜去除得与缺陷的形状完全相同。 因此在涂布修补涂料时,很有可能造成涂料无法完全覆盖缺陷。或是例如 在移除薄膜时,是使用撕的方式来将薄膜撕下,此亦可能会损坏该图案上
的其它正常部位。

发明内容
本发明的主要目的在于提供一种图案修补方法,其可完整修复待修补 图案上的瑕疵点。
本发明的次一目的在于提供一种图案修补方法,其修补的过程中不会 有损坏其它正常部位的可能性。
缘是,为了达成前述目的,依据本发明所提供的一种图案修补方法,
包含有备置一基材,该基材上具有待修补图案,该待修补图案具有待修
补的瑕疵点;以激光光将该瑕疵点打掉,而使该待修补图案的被打掉的部位形成一待修补区;以热压方式将一修补层转印于该待修补区上,且该修
补层覆盖于该待修补图案以及该待修补区;以紫外线对该修补层于该待修 补区内进行曝光;以及移除未被曝光的该修补层。由此,可具有完整修复 以及不会对图案造成额外损伤的功效。


为了详细说明本发明的构造及特点所在,以下列举一较佳实施例并配 合

如后,其中
图1是本发明一较佳实施例的动作示意图。
图2是本发明一较佳实施例的动作示意图,显示激光光打掉瑕疵点的状态。
图3是本发明一较佳实施例的动作示意图,显示修补层转印于待修补
区的状态。
图4是本发明一较佳实施例的动作示意图,显示以紫外线曝光后的状态。
图5是本发明一较佳实施例的动作示意图,显示未曝光的修补层移除 后的状态。
具体实施例方式
本发明一较佳实施例所提供的一种图案修补方法,主要具有下列步

首先,如图1所示,备置一基材11,该基材11上具有待修补图案12, 该待修补图案12具有待修补的瑕疵点14。本实施例中,该基材11可为一 光罩,或为一液晶面板,或为一彩色滤光片基板。
其次,如图2所示,以激光光将该瑕疵点14打掉,而使该待修补图 案12的被打掉的部位形成一待修补区16。
再来,如图3所示,以热压方式将一修补层18转印于该待修补区16 上,且该修补层18覆盖于该待修补图案12以及该待修补区16。
接着,如图4所示,以紫外线对该修补层18于该待修补区16域内进 行曝光。最后,如图5所示,移除未被曝光的该修补层18。在移除时是通过显 影液来洗去该修补层18。并且再将该显影液以纯水将之清洗移除,最后再 以烘烤方式将残留的水烘干。
上述方法,简单来说,就是先将瑕疵点14打掉而形成一待修补区16, 之后涂上一层修补层18以紫外线曝光固定的,再把多余的修补层18去除, 即完成对该瑕疵点14的修补。
由于使用紫外线来曝光,其照射区域容易控制,因此可以有效的对待 修补区16上的修补层18进行曝光,以固定曝光区域内的该修补层18,而 此种方式可确保位于该待修补区16内的该修补层18可以完整的被曝光而 固定,可达到完整的修补。而在移除该修补层18时,是以洗剂(显影液、 纯水)来进行移除或清洗,因此不会伤害到图案本身。
由上可知,本发明所可达成的功效在于
一、 完整的修复由本发明所提供的技术,可以完整的修复该待修补
图案上的瑕疵点,不会有修补不全的问题。
二、 不会对正常部位造成损坏由于本发明在移除多余的修补层时, 是以洗剂(显影液、纯水)来进行移除或清洗,因此不会对图案上其它正常 部位造成损坏。
权利要求
1.一种图案修补方法,其特征在于,包含有备置一基材,该基材上具有待修补图案,该待修补图案具有待修补的瑕疵点;以激光光将该瑕疵点打掉,而使该待修补图案的被打掉的部位形成一待修补区;以热压方式将一修补层转印于该待修补区上,且该修补层覆盖于该待修补图案以及该待修补区;以紫外线对该修补层于该待修补区内进行曝光;以及移除未被曝光的该修补层。
2. 依据权利要求1所述的图案修补方法,其特征在于,其中移除未 被曝光的修补层时,是通过显影液来洗去该修补层。
3. 依据权利要求2所述的图案修补方法,其特征在于,其中再将该显影液自该基板上移除。
4. 依据权利要求3所述的图案修补方法,其特征在于,其中移除该基板上的显影液时,是以纯水将该显影液清洗移除。
5. 依据权利要求4所述的图案修补方法,其特征在于,其中再将存留于该基板上的纯水以烘烤的方式移除。
全文摘要
一种图案修补方法,包含有备置一基材,该基材上具有待修补图案,该待修补图案具有待修补的瑕疵点;以激光将该瑕疵点打掉,而使该待修补图案的被打掉的部位形成一待修补区;以热压方式将一修补层转印于该待修补区上,且该修补层覆盖于该待修补图案以及该待修补区;以紫外线对该修补层于该待修补区内进行曝光;以及移除未被曝光的该修补层。由此,可具有完整修复以及不会对图案造成额外损伤的功效。
文档编号G03F1/00GK101609252SQ20081009964
公开日2009年12月23日 申请日期2008年6月17日 优先权日2008年6月17日
发明者王聪谕, 苏荣瑞, 蔡孟道 申请人:东捷科技股份有限公司
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