专利名称：光罩盒的承载盒及其固定件的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种光罩盒的承载盒，特别是关于一种于光罩盒的承载盒 中配置多个固定件，用以固定承载盒中的光罩盒。
背景技术：
近代半导体科技发展迅速，其中光刻技术(Optical Lithogmphy)扮 演重要的角色，只要是关于图形(pattern)定义，皆需依赖光刻技术。光 刻技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光 的光罩(photo mask)。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅片(silicon wafer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、 粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须 保持绝对洁净，因此在一般的硅片工艺中，都提供无尘室(clean room)的 环境以避免空气中的颗粒污染。然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘 状态。现代的半导体工艺皆利用抗污染的光罩盒(reticle pod)进行光罩
的保存与运输，以使光罩保持洁净。
而目前最为普遍的运送光罩方式，通常是先将单一个光罩存放于单一 个光罩盒当中，再将多个光罩盒一同放置于一个光罩盒的运输盒，并于光 罩盒的运输的盒内充填软性物质(如泡棉、海棉等)，减少光罩盒的运输盒 的盒内间隙，并通过加强并固定各个光罩盒，避免光罩盒的运输盒于运送 光罩盒途中所产生的震动，影响存放于光罩盒中的光罩而导致光罩的摩擦 或损坏。然而，就光罩供货商而言，出货时除了需将光罩盒固定安置于光 罩盒的运输盒内以外，还必须以人工方式将软性物质充填于光罩盒的运输 盒，并确保盒内不会有过多个间隙；就光罩需求方而言，欲取出光罩盒时， 也必须先以人工方式将充填于光罩盒的运输盒盒内的软性物质取出，才得 以取出光罩盒，并且还需针对这些用来充填用的软性物质加以处里，因此。 供需双方除了都需耗费时间与人力成本进行软性物质的包装与拆卸以外，若将这些使用过的软性物质直接丢弃而不重复使用，这些无法自行分解的 软性物质又将对环境造成污染。
发明内容
为了解决上述问题，本发明的主要目的在于提供一种将多个固定件配 置于光罩盒的承载盒中，用以固定承载盒中的光罩盒，以使承载盒中的光 罩盒具有较佳的防震与保护效果。
本发明的另一主要目的在于提供一种光罩盒的承载盒，其固定件具有 较佳的防止光罩摩擦或损坏，并减少尘粒的产生。
本发明的又一主要目的在于提供一种固定件，其具有较佳的弹性结 构，可有效释放应力。
本发明还有一主要目的在于提供一种固定件，其具有较为简单的装设 方式，可易于单一固定件的拆换更替。
本发明的再一主要目的在于提供一种光罩盒的承载盒，另具有一气密 垫圈可提供较佳的气密效果。
本发明的再一目的在于提供一种光罩盒的承载盒，另具有一止滑垫可 避免光罩盒的滑动，而造成光罩的震动。
依据上述目的，本发明提供一种配置于光罩盒的承载盒中的固定件。 此光罩盒的承载盒包含一上盖体、 一下盖体、多片隔板以及多个固定件， 上盖体与下盖体大致对应以形成一容置空间，下盖体具有数对导轨设于下 盖体两相对的内表面侧面上，隔板是由导轨嵌入于下盖体内，将容置空间 分割成多个容置空间用以存放数个光罩盒，固定件则设置于上盖体内表面 的顶面，此固定件具有一顶部，此顶部两侧各配置有向外侧倾斜延伸的一 对翼部，此对翼部于一适当转折部弯曲向下以使此对翼部的自由端形成夹 持部，并于此对翼部的转折部再向此对翼部的自由端内侧倾斜延伸形成一 抵压部，其中抵压部与顶部间保持一第一间距。
因此，当承载盒的上盖体盖合于下盖体时，上盖体的每一个固定件皆 可对应存放于承载盒中的每一个光罩盒，固定件的夹持部可夹持光罩盒， 固定件的抵压部可顶持光罩盒，以避免承载盒于运送光罩盒途中所产生的 震动，影响存放于光罩盒中的光罩而导致光罩的摩擦或损坏，因此具有较佳的防震与保护效果，并可减少尘粒的产生。
图1是固定件的一较佳实施例示意图； 图2是固定件的另一较佳实施例示意图;
图3是固定件的又一较佳实施例示意图;
图4是光罩盒的承载盒的侧视图5是光罩盒的承载盒的上视图6是承载盒的侧视图7是光罩盒的承载盒的透视图。
主要元件符号说明
1固定件 10顶部
102 圆柱顶体
104锁固孔
12翼部
122转折部
124第一圆弧凹槽
14夹持部
16抵压部
18支撑部
182第二圆弧凹槽
2承载盒
20上盖体
22下盖体
220 导轨
24隔板
26a扣合元件 26b扣合边部28容置光罩盒的空间 3光罩盒
30铰链 32气密垫圈 34止滑垫 Al第一夹角 A2第二夹角 Cl第一间距 C2第二间距
C3夹持部与夹持部间的距离 C4盒体宽度
具体实施例方式
由于本发明揭露一种光罩盒的承载盒，特别是一种于光罩盒的承载盒 中配置多个固定件，并通过这些固定件来固定承载盒中的光罩盒。由于， 本发明所利用到的一些光罩或光罩盒的详细制造或处理过程，是利用现有 技术来达成，故在下述说明中，并不作完整描述。而且文中的图式，亦并 未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本发明特征有关的示 意图。
图1是根据本发明固定件的一较佳实施例示意图，此固定件1具有一 顶部10，并配置一锁固孔104于顶部10的顶面上，以供一锁固件(未示于 图中)固定此固定件1，顶部IO两侧各配置有向外侧倾斜延伸的一对翼部 12，这对翼部12于一适当转折部122弯曲向下以使这对翼部12的自由端 各形成一夹持部14，并且又于这对翼部12的转折部122再向这对翼部12 的自由端内侧分枝并倾斜延伸以形成一抵压部16，其中抵压部16与顶部 10间保持一第一间距Cl，可于顶部10受到施压时形成一缓冲空间。
承上所述，抵压部16的形状近似一 V形结构，且于整体结构中两端 的厚度较中央部位为薄，而顶部10与翼部12侧倾斜延伸所形成的一第一 夹角Al为一钝角，其角度为100度~170度，而其较佳的设计为120度~160 度；此外，翼部12于转折部122倾斜延伸所形成抵压部16的一第二夹角
7A2为一锐角，其角度为10度 75度，而其较佳的设计为20度~60度；另 外，并于每一转折部122与自由端之间形成一第一圆弧凹槽124，故此固 定件l具有较佳的弹性结构，可有效释放应力。很明显地，固定件l的顶 部10、翼部12、转折部122、夹持部14与抵压部16为一体成形的结构，
其是由弹性材质所制成，而所制成的材料可由以下材料中选出高分子材 料、塑料材料、聚乙烯(PE)材料或聚丙烯(PP)材料，其中聚乙烯(PE)是一 种耐磨的材质。
图2是根据本发明固定件的另一较佳实施例示意图，此固定件1具有 一顶部10，配置一锁固孔104于顶部10的顶面上，以供一锁固件(未示于 图中)固定此固定件1，另配置一圆柱顶体102于顶部10，.此圆柱顶体102 为一中空顶体，顶部IO两侧各配置有向外侧倾斜延伸的一对翼部12，这 对翼部12于一适当转折部122弯曲向下以使这对翼部12的自由端各形成 一夹持部14，并且又于这对翼部12的转折部122再向这对翼部12的自由 端内侧分枝并倾斜延伸以形成一抵压部16，其中抵压部16与圆柱顶体102 间保持一第二间距C2，可于顶部10受到施压时形成一缓冲空间，且圆柱 顶体102的长度可为顶部10与抵压部16最低处的距离的1/4~3/4，或亦 可为顶部10与抵压部16最低处的距离的一半。
承上所述，抵压部16的形状近似一 V形结构，且于整体结构中两端 的厚度较中央部位为薄，而顶部10与翼部12侧倾斜延伸所形成的一第一 夹角Al为一钝角，其角度为100度 170度，而其较佳的设计为120度~160 度；此外，翼部12于转折部122倾斜延伸所形成抵压部16的一第二夹角 A2为一锐角，其角度为10度 75度，而其较佳的设计为20度~60度；另 外，并于每一转折部122与自由端之间形成一第一圆弧凹槽124，故此固 定件1具有较佳的弹性结构，可有效释放应力。顶部10、翼部12、转折 部122、夹持部14与抵压部16为一体成形的结构，其是由弹性材质所制 成，而所制成的材料可由以下材料中选出高分子材料、塑料材料、聚乙 烯(PE)材料或聚丙烯(PP)材料，其中聚乙烯(PE)是一种耐磨的材质。很明 显地，上述的固定件l具有较为简单的结构，可使用一般的射出成形方式 一体成形，故其制造的成本非常低。
图3是根据本发明固定件的又一较佳实施例示意图，此固定件1具有
8一顶部10，配置一锁固孔104于顶部10的顶面上，以供一锁固件(未示于
图中)固定此固定件l，另配置一圆柱顶体102于顶部10，此圆柱顶体102 为一中空顶体，顶部IO两侧各配置有向外侧倾斜延伸的一对翼部12，这 对翼部12于一适当转折部122弯曲向下以使这对翼部12的自由端各形成 一夹持部14，并且又于这对翼部12的转折部122再向这对翼部12的自由 端内侧分枝并倾斜延伸以形成一抵压部16，而夹持部14与抵压部16之间 另设有至少一支撑部18，其中，支撑部18与抵压部16连接处的厚度较支 撑部18其它部分为薄，且支撑部18与抵压部16连接处具一第二圆弧凹 槽182，其中抵压部16与圆柱顶体102间保持一第二间距C2，可于顶部 10受到施压时形成一缓冲空间，且圆柱顶体102的长度可为顶部10与抵 压部16最低处的距离的1/4~3/4，或亦可为顶部10与抵压部16最低处的 距离的一半，故此固定件1具有较为坚固且有较佳的弹性构造。
承上所述，抵压部16的形状近似一 V形结构，且于整体结构中两端 的厚度较中央部位为薄，而顶部10与翼部12侧倾斜延伸所形成的一第一 夹角Al为一钝角，其角度为100度~170度，而其较佳的设计为120度~160 度；此外，翼部12于转折部122倾斜延伸所形成抵压部16的一第二夹角 A2为一锐角，其角度为10度 75度，而其较佳的设计为20度 60度；另 外，并于每一转折部122与自由端之间形成一第一圆弧凹槽124，故此固 定件1具有较佳的弹性结构，可有效释放应力。顶部10、翼部12、转折 部122、夹持部14、抵压部16与支撑部18为一体成形的结构，其是由弹 性材质所制成，而所制成的材料可由以下材料中选出高分子材料、塑料 材料、聚乙烯(PE)材料或聚丙烯(PP)材料，其中聚乙烯(PE)是一种耐磨的 材质。
图4与图5是根据本发明承载盒的一较佳实施例示意图，此承载盒2 包括一具有容置空间的上盖体20及一具有容置空间的下盖体22，故可将 上盖体20与下盖体22大致对应以形成一可容纳物件(例如光罩盒)的容置 空间；此外，于下盖体22的容置空间中，配置至少一隔板24，且至少一 对导轨220配置于下盖体22的容置空间中的两相对的内表面侧面上，以 提供隔板24嵌入，用以将承载盒2的容置空间分割成多个容置光罩盒的 空间28。此外，承载盒2另具有数个扣合元件26a与数个扣合边部26b，扣合 元件26a是设于下盖体22的外侧的侧边上，扣合边部26b则是设于上盖 体20的外侧的侧边上，扣合元件26a与扣合边部26b是设置于相互对应 的不同盖体上；此外，上盖体20与下盖体22的一侧边是以铰链30方式 相互接合，并具有一气密垫圈32设于下盖体的盖体开口处，可提供承载 盒2达到较佳的气密效果，而另具有一止滑垫34铺设于下盖体内的底面， 可避免放置于承载盒2中的光罩盒滑动，而造成光罩的震动。
图6是根据本发明承载盒的一较佳实施例示意图，此承载盒2包括一 具有容置空间的上盖体20及一具有容置空间的下盖体22，故可将上盖体 20与下盖体22大致对应以形成一可容纳光罩盒的容置空间；此外，于下 盖体22的容置空间中，配置至少一隔板24，并进一步于上盖体20的容置 空间的内侧顶面上配置至少一固定件1;此外，于下盖体22的容置空间中， 且至少一对导轨220配置于下盖体22的容置空间中的两相对的内表面侧 面上，以提供隔板24嵌入，用以将容置空间分割成多个容置空间28。
如上所述，本发明的固定件1是设置于上盖体20的容置空间的内侧 顶面上。固定件1具有一顶部10，顶部10两侧各配置有向外侧倾斜延伸 的一对翼部12，这对翼部12于一适当转折部122弯曲向下以使这对翼部 12的自由端各形成一夹持部14，并且又于这对翼部12的转折部122再向 这对翼部12的自由端内侧分枝并倾斜延伸以形成一抵压部16，其中抵压 部16与顶部10间保持一第一间距Cl，可于顶部10受到施压时形成一缓 冲空间。
此外，本发明另提供数种将固定件1固定于上盖体20内表面的顶面 上的方式，如固定件1可利用锁固件(未示于图中)固定于于承载盒2上， 因此固定件1配置一锁固孔104于顶部10的顶面上，而锁固件可为一螺 丝元件；或是固定件1可利用粘胶接合方式固定于承载盒2上；或是固定 件1与承载盒2 —体成型所制成，故此固定件1具有较为简单的装设方式， 可易于单一固定件的拆换更替。
图7是根据本发明的承载盒用于承载光罩盒的一较佳实施例示意图， 此光罩盒3的承载盒2包括一具有容置空间的上盖体20及一具有容置空 间的下盖体22，故可将上盖体20与下盖体22大致对应以形成一可容纳光
10罩盒的容置空间；此外，于下盖体22的容置空间中，配置至少一隔板24，
并进一步于上盖体20的容置空间的内侧顶面上配置至少一固定件1;此
外，于下盖体22的容置空间中，且至少一对导轨220配置于下盖体22的 容置空间中的两相对的内表面侧面上，以提供隔板24嵌入，用以将容置 空间分割成多个容置空间28。
当多个光罩盒3依序放置于承载盒2的容置空间28后，当上盖体20 盖合于下盖体22时，上盖体20的每一个固定件1皆可对应存放于承载盒 2中的每一个光罩盒3，因此，固定件1的夹持部14可夹持光罩盒3，并 且可再通过固定件1的抵压部16顶持住光罩盒3，以避免承载盒2于运送 光罩盒3途中所产生的震动，影响存放于光罩盒3中的光罩，而导致光罩 的摩擦或损坏，因此具有较佳的防震与保护效果，并可减少尘粒的产生。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非用以限定本发明的权利范 围；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及实施， 因此其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包 含在下述的申请专利范围中。
权利要求
1、一种固定件，其特征在于包括一顶部，该顶部两侧各配置有向外侧倾斜延伸的一对翼部，该对翼部于一适当转折部弯曲向下以使该对翼部的自由端形成夹持部，并于该对翼部的转折部再向该对翼部的自由端内侧分枝并倾斜延伸以形成一抵压部，其中该抵压部与该顶部间保持一第一间距。
2、 一种承载盒，包括一具有第一容置空间的上盖体及一具有第二容置空间的下盖体，该上盖体与该下盖体盖合后形成一第三容置空间，该下 盖体的容置空间的两相对的内表面上配置至少一对导轨，提供至少一隔板 嵌入，用以将容置空间分割成多个容置空间，并进一步于上盖体的容置空 间的内侧顶面上配置至少一固定件，其特征在于，该固定件具有一顶部， 该顶部两侧各配置有向外侧倾斜延伸的一对翼部，该对翼部于一适当转折 部弯曲向下以使该对翼部的自由端形成夹持部，并于该对翼部的转折部再 向该对翼部的自由端内侧倾斜延伸形成一抵压部，其中该抵压部与该顶部 间保持一第一间距。
3、 如权利要求2所述的固定件，其特征在于，还配置一圆柱顶体于 该顶部。
4、 如权利要求3所述的固定件，其特征在于，该圆柱顶体为一中空 顶体。
5、 如权利要求3所述的固定件，其特征在于，该抵压部与该圆柱顶 体间保持一第二间距。
6、 如权利要求3所述的固定件，其特征在于，该圆柱顶体长度为该 顶部与该抵压部最低处的距离的1/2~3/4。
7、 如权利要求2所述的固定件，其特征在于，该顶部与该翼部侧倾 斜延伸所形成的一第一夹角为一钝角。
8、 如权利要求2所述的固定件，其特征在于，该翼部于该转折部倾 斜延伸所形成该抵压部的一第二夹角为一锐角。
9、 如权利要求2所述的固定件，其特征在于，该抵压部形成一近似V形结构。
10、如权利要求2所述的固定件，其特征在于，该夹持部与该抵压部 之间设有至少一支撑部。
全文摘要
本发明一种光罩盒的承载盒及其固定件，该光罩盒的承载盒是由上盖体与下盖体大致对应以形成一容置空间，下盖体具有数对导轨设于下盖体两相对的内表面侧面上，隔板由导轨嵌入于下盖体内，将容置空间分割成多个容置空间用以存放光罩盒，固定件设置于上盖体内表面的顶面，其具有一夹持部与一抵压部。当上盖体盖合于下盖体时，上盖体的每一个固定件皆可对应存放于承载盒中的每一个光罩盒，固定件的夹持部可夹持光罩盒，固定件的抵压部可顶持光罩盒，以避免承载盒于运送光罩盒途中所产生的震动，影响存放于光罩盒中的光罩而导致光罩的摩擦或损坏，因此具有较佳的防震与保护效果。
文档编号G03F7/20GK101661226SQ200810146400
公开日2010年3月3日 申请日期2008年8月27日 优先权日2008年8月27日
发明者吕保仪 申请人:家登精密工业股份有限公司