滤色器的缺陷修正方法

专利名称：滤色器的缺陷修正方法
技术领域：
本发明涉及修正滤色器的缺陷的缺陷修正方法。
背景技术：
已知在液晶显示装置用滤色器的制造工序中，为了改善成品率而修正 滤色器上的缺陷。在缺陷修正方法中，有例如，通过使抗蚀剂附着在针的 顶端，在缺陷部分中滴加该抗蚀剂来进行修正的方法。
另外，作为其他的缺陷修正方法，有膜转印方法。在该方法中，使具 有单色着色层的单色膜粘附于滤色器基板的没有着色层的白色缺陷部分， 从膜上以每1种颜色对着色层进行转印，从而进行缺陷部分的修正(例如， 参照专利文献1)。
专利文献1:日本特开2005-95971号公报

发明内容
但是，在缺陷部分中滴加抗蚀剂的方法中，由于通过抗蚀剂的粘度来 变化滴加量，因此难以控制滴加量或修正精密度，稳定并修正困难。另外， 需要干燥工序，在修正中需要长时间，生产率低。特别是在缺陷部分的尺 寸大的情况下，例如，在缺陷部分的长径超过100pm的情况下，难以在 短时间内修正缺陷部分，不得不放弃修正。
另外，在上述的膜转印方法中，可以在短时间内修正缺陷部分，但由 于使用单色膜，因此，特别是在涉及多种颜色而产生缺陷部分这样的情况 等中、或者在缺陷部分的尺寸大的情况等中，缺陷修正困难，而且只能进 行修正部位在目测下可以容易识别的程度的修正，结果成为在液晶显示装 置的情况下显示品质降低的重要原因。
本发明是鉴于上述而进行的，其目的在于提供一种滤色器的缺陷修正 方法，其可以在短时间内对涉及多种颜色的滤色器的缺陷部分容易地进行
修正，且难以识别修正部分。
本发明提供滤色器的缺陷修正方法。本发明的第一方式是具有图案转 印工序的滤色器的缺陷修正方法，所述图案转印工序为在基板上的着色 图像脱落区域上使用具有黑色图案、或2种颜色以上的彩色图案的转印膜， 对上述黑色图案、或上述彩色图案的至少一部分进行转印。
用于解决上述课题的具体方法如下。
<1>一种滤色器的缺陷修正方法，其具有图案转印工序，所述图案转 印工序中，使用具有黑色图案或者2种颜色以上的彩色图案的转印膜，将 所述黑色图案或者所述彩色图案的至少一部分转印到基板上的着色图像 脱落区域。
<2>上述<1>所述的滤色器的缺陷修正方法，其还具有通过激光照射将 基板上的着色图像的缺陷部分除去的除去工序，所述着色图像脱落区域是 通过激光照射将基板上的着色图像的缺陷部分除去而形成的区域。
<3>上述<1>或<2>所述的滤色器的缺陷修正方法，其还包括着色层形 成工序，所述着色层形成工序中，在被转印后的所述黑色图案划分的所述 着色图像脱落区域的至少一部分上，形成规定的着色层。
<4>上述<3>所述的滤色器的缺陷修正方法，其中，所述着色层形成工
序是使用喷墨法来形成所述着色层的工序。
<5>上述<1>或<2>所述的滤色器的缺陷修正方法，其中，所述转印膜 在临时支承体上具有黑色图案和被所述黑色图案隔离的至少1种颜色的图 像图案。
<6>上述<5>所述的滤色器的缺陷修正方法，其中，所述图像图案由选 自红色、绿色、蓝色以及透明无色彩中的2种颜色以上的图案构成。
<7>上述<1> <6>中任一项所述的滤色器的缺陷修正方法，其中，转 印膜的所述彩色图案具有与所述基板上的着色图像的图案的至少一部分 相同的图案。
<8>上述<1〉 <7>中任一项所述的滤色器的缺陷修正方法，其中，所 述着色图像脱落区域的最大长度为100um以上。
本申请主张日本专利申请第2007-227835号、以及日本专利申请第 2007-308840号的利益。


图1是表示滤色器的缺陷修正装置的结构的概略图。
图2是表示滤色器的缺陷修正装置的膜的结构的平面图。
图3a是用于i兑朋着色图像脱落区域的形成工序的扩大截面图，是表
示在滤色器上附着有异物的状态的扩大截面图。
图3b是用于说明着色图像脱落区域的形成工序的扩大截面图，是表
示除去异物并形成着色图像脱落区域的状态的扩大截面图。 图4是表示滤色器的缺陷修正装置的膜的结构的概略图。 图5a是用于说明将黑色图案(以下有时也称为黑矩阵图案)转印到
着色图像脱落区域上的图案转印工序的扩大截面图，是表示转印膜上的黑 矩阵与加热块的位置关系的扩大截面图。
图5b是用于说明将黑色图案转印到着色图像脱落区域上的图案转印 工序的扩大截面图，是表示在着色图像脱落区域上转印有黑矩阵图案的状 态的扩大截面图。
图6a是用于说明将RGB3色的像素图案和黑矩阵图案转印到着色图 像脱落区域上的图案转印工序的扩大截面图，是表示转印膜上的RGB3色 的像素图案及黑矩阵图案与加热块的位置关系的扩大截面图。
图6b是用于说明将RGB3色的像素图案和黑矩阵图案转印到着色图 像脱落区域上的图案转印工序的扩大截面图，是表示在着色图像脱落区域 上转印有RGB3色的像素图案和黑矩阵图案的状态的扩大截面图。
具体实施例方式
本发明的滤色器的缺陷修正方法是设计图案转印工序而构成的方法，
其中，所述图案转印工序为在基板上的着色图像脱落区域上使用具有黑 色图案、或2种颜色以上的彩色图案的转印膜，对上述彩色图案的至少一 部分进行转印。该缺陷修正方法，可以根据需要在图案转印工序之前预先 设计通过激光照射来除去基板上的着色图像的缺陷部分的除去工序等其 他工序。
在本发明中，通过向基板上的着色图像脱落区域转印形成为预先规定
的图案状的黑色图案、或者2种颜色以上的彩色图案，可以在短时间内对 在着色图像脱落区域中预定着色层和/或黑矩阵等黑色层(以下简单称为黑 矩阵)的形成的部分稳定地进行修正。另外，通过将选自l种颜色以上的 着色层和黑矩阵中的期望的色相的2种颜色以上的彩色图案汇集至少2种 颜色进行转印来形成，得到预定的色相，由此，与以往的通过滴加抗蚀剂 的方法或膜转印方法相比更简易，而且可以再现修正部分难以识别的滤色 器。
上述2种颜色以上的彩色图案的转印，可以是选自RGB和含有透明 无色彩的色相中的2种颜色以上的图像图案、或者1种颜色或2种颜色以 上的图像图案以及黑矩阵图案。另外，通过转印的黑矩阵图案，对基板上 形成的凹部进行着色，形成着色层，得到预定的色相，由此，可以再现修 正部分难以识别的滤色器。
上述着色图像脱落区域是基板上没有形成构成滤色器的着色层和/或 黑矩阵的区域，可以是在滤色器的制造时形成的着色图像脱落区域，也可 以是除去滤色器的缺陷部分等而形成的着色图像脱落区域。
在本发明中，优选的方式为进一步设计通过激光照射将基板上构成 滤色器的着色图像的缺陷部分除去的除去工序，通过对滤色器中的缺陷部 分照射激光来将其除去，形成着色图像脱落区域，其后进行缺陷修正。
在本发明中，滤色器中的缺陷部分是指基板上着色层和/或黑矩阵没有 形成期望的形态的区域。可以列举着色层的脱落、着色层的膜厚不足、
着色层的混色、黑矩阵的脱落、着色异物的附着、无色异物的附着等。这 样的基板上缺陷部分的存在在构成显示装置时，引起显示装置的显示特性 的下降。
本发明的缺陷修正方法，在上述滤色器上的着色图像脱落区域的尺寸 大时，或者在用黑色图案(例如所谓的黑矩阵)隔离彩色图案(例如，红
(R)、绿(G)、蓝(B)等的着色区域)而成的图像图案中，着色图像脱 落区域涉及黑色图案和跨越该黑色图案而设置的图像图案时，与以往通过 滴加抗蚀剂的方法或膜转印方法相比，更加适宜进行涉及多种颜色出现缺 陷部分情况下的缺陷修正，可以进行更难以识别的修正。
另外，作为滤色器中的着色图像脱落区域的尺寸，优选最大长度为ioo
"m以上的情况，更优选lOOum以上且lOOOum以下的情况。在此，缺 陷部分的最大长度是指在滤色器中的缺陷部分的形状中最长的距离。
本发明的滤色器的缺陷修正方法，特别是在对缺陷部分的最大长度为 100um以上的大缺陷、例如对涉及多种颜色而形成的缺陷部分进行修正 的情况下，在缺陷修正效率和修正部分难以识别的方面，具有显著效果。
作为本发明中的除去工序中使用的激光的光源，只要是可以除去基板 上的缺陷部分的光源即可以使用，没有特别的限制。其中，从缺陷除去效 率的观点出发，优选为脉冲激光光源。在本发明中，从缺陷除去效率的观 点出发，优选为YAG激光，更优选为Q开关YAG激光。
另外，本发明中的激光可以根据光束成形机构成形为适合于缺陷除去 的光斑形状。作为光束成形机构，可以使用具有光圈(aperture)、狭缝、 透镜等的公知的光束成形机构。
作为通过激光照射来除去滤色器上的缺陷部分的方法，只要可以除去 构成缺陷部分的着色层和黑矩阵即可，没有特别的限制。在本发明中，从 缺陷部分的除去效率、微细区域的除去的观点出发，优选为通过激光的烧 蚀。
另外，在缺陷部分的除去中，从修复效率的观点出发，除了缺陷部分 之外，也可以同时除去缺陷部分的周边区域。
在本发明中的图案转印工序中使用的转印膜是在临时支承体上设置 黑色图案或者2种颜色以上的彩色图案而构成的转邻膜。该2种颜色以上 的彩色图案可以由选自黑色层、黑色以外的有彩色的着色层、以及实质上 未着色的无彩色的透明无色彩层中的着色树脂层构成。另外，在上述临时 支承体与上述着色树脂层之间可以具有热增塑性树脂层。另外，转印膜在 上述着色树脂层上还具有保护膜。
上述临时支承体化学和热稳定，另外可以由可挠性的物质构成。进一 步优选由不吸收上述激光的物质构成。具体而言，可以使用Teflon (特氟 隆)(注册商标)、聚对苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯等薄 片或它们的层叠物。支承体的厚度，可以为5 300um，特别可以为20 150u m。
上述着色树脂层，在构成为透明无色彩时可以至少含有固化性组合
物，在构成为黑色或有彩色时可以至少含有着色剂和固化性组合物。
作为着色剂，可以从可形成着色层或黑矩阵的着色剂中没有特别限制 地选择公知的颜料和染料来使用。例如可以列举日本特开2005-17716
号公报

中记载的颜料和染料、日本特开2004-361447号公报

中记载的颜料、日本特开2005-17521号公报
,7
中记载的着色剂。具体可以列举脂肪黑HB (C丄26150)、 Monolighf Fast 黑B (C丄色素黑l)以及炭黑等。作为着色树脂层中的着色剂的含量， 从形成的黑矩阵图案的光学浓度与强度的观点出发，优选为30 70质量 %，更优选为40 60质量％，进一步优选为50 55质量％。
上述固化性组合物可以为光固化性组合物，也可以为热固化性组合 物，根据目的可以适宜选择。
在本发明中，用光刻法形成黑色图案或者2种颜色以上的彩色图案(包 括图像图案和黑矩阵图案，以下同样)时，上述固化性组合物优选为光固 化性组合物。另外，用喷墨法形成2种颜色以上的彩色图案时，上述固化 性组合物优选为热固化性组合物。
上述光固化性组合物可以至少含有粘合剂聚合物、含有乙烯性不饱和 键的单体、和光聚合引发剂而成。
对于粘合剂聚合物、含有乙烯性不饱和键的单体和光聚合引发剂，没 有特别限制，可以使用公知的材料。例如，可以列举日本特开2005-3861 号公报中记载的材料。
另外，上述热固化性组合物只要是通过加热进行固化的组合物，可以 没有特别限制来使用，例如可以含有公知的具有热固化性官能团的热固化 性化合物而成。
作为上述热固化性组合物，优选为具有选自例如环氧基、羟甲基、烷 氧甲基以及酰氧甲基中的至少一个基团的化合物。
作为进一步优选的热固化性化合物，可以列举a)环氧化合物；b) 由选自羟甲基、烷氧甲基以及酰氧甲基中的至少一个取代基取代的三聚氰 胺化合物、胍胺化合物、甘脲化合物或脲化合物；c)由选自羟甲基、垸 氧甲基以及酰氧甲基中的至少一个取代基取代的苯酚化合物、萘酚化合物 或羟基蒽化合物。其中，作为热固化性组合物，特别优选为多官能环氧化
合物。
上述着色树脂层的层厚，可以设定为与成为修正对象的滤色器具有的 黑矩阵的膜厚大致相同的膜厚度，例如，可以为l 5Pm。
作为上述保护膜，例如可以适宜使用日本特开2005-3861号公报中记 载的保护膜。
另外，作为上述热增塑性树脂层，例如可以适宜使用日本特开 2005-3861号公报、日本特开平11-338134号公报等中记载的热增塑性树 脂层。
本发明中的转印膜，从着色树脂层的转印效率的观点考虑，优选为具 有日本特开平11-338134号公报中记载的构成的转印膜。由此可以得到良 好的转印性，另外，可以从着色树脂层上同时剥离支承体和热增塑性树脂 层，提高生产率。
本发明中具有黑色图案或者2种颜色以上的彩色图案的转印膜，可以 通过使用喷墨法、或光刻法、转印法等在例如聚对苯二甲酸乙二酯(PET) 等的临时支承体上预先形成黑色图案或者至少2种颜色的彩色图案来进行
制作。从制作工序上的观点考虑，优选通过光刻法来形成黑矩阵，通过喷 墨法来形成黑矩阵以外的图像图案。
作为彩色图案，可以设置用于形成黑矩阵等遮光性图像的黑色图案、 黑色图案以外的在(R)、绿(G)、蓝(B)等中着色的图像图案、透明无 色彩的无彩色图案。作为彩色图案可以设置左右并列有R与G、 G与B、 B与R、或者R或G或B与透明无色彩这样的2种颜色的图案。图案可 以根据作为修正对象的着色图像的图案，适宜选择条纹状、矩阵状等。此 时，根据修正的缺陷部分的色相，可以选择使用的转印的转印膜中的彩色 图案的颜色组合。
如果形成彩色图案为RGB三种颜色、或者RGB和透明无色彩四种颜 色，则可以进行更大的缺陷(优选最大长度为100pm以上的着色图像脱 落区域)的修正，因此优选。另外，该彩色图案为了能与基板上的着色图 像的图案对应，优选具有与作为基板上的修正对象的着色图像的图案的一 部分或全部相同的图案来形成，更优选形成为与作为缺陷修正对象的着色 图像的图案相同或大致相同的图案。
另外，2种颜色以上的彩色图案在颜色与颜色之间具有黑矩阵等，优 选设置黑色图案和由该黑色图案隔离的1种颜色或2种颜色以上的图像图 案。
使用这样制作的转印膜，将根据期望选择的彩色图案在除去缺陷的着 色图像脱落区域上进行适宜定位，将该转印膜的黑色图案或者2种颜色以 上的彩色图案进行转印，可以进行着色图像区域的修正。
具体而言，具有黑色图案或者2种颜色以上的彩色图案的转印膜，例 如可以如下进行制作。
在临时支承体上通过公知的涂布方法来涂布热增塑性树脂层用涂布 液，使其干燥，形成热增塑性树脂层，在该热增塑性树脂层上再通过公知 的涂布方法来涂布调色成黑色的感光性树脂组合物(黑色感光性树脂层形 成用涂布液)，使其干燥，形成黑色感光性树脂层，由此，制作在临时支 承体上层叠有热增塑性树脂层和黑色感光性树脂层的层叠体。接着，隔着 具有所期望的黑矩阵用图案的掩模进行图案曝光，显影处理，由此，在临 时支承体上的热增塑性树脂层上形成黑色感光性树脂层固化而成的黑矩 阵图案。接着，在由形成的黑矩阵图案划分的多个凹状区域中，通过喷墨 法将第l色目的色相(例如红色(R))的着色热固化性组合物喷出，填充
凹状区域的一部分成为图案状，使其干燥，形成R图像图案。接着，与R 图像图案的形成同样将第2色、第3色的色相(例如绿色(G)、蓝色(B)) 的着色热固化性组合物依次喷出，反复干燥，由此，形成第2色、第3色 的图像图案(例如G图像图案、B图像图案)。这样，制作具有由RGB三 种颜色与黑矩阵构成的4种颜色的图案的转印膜。
在上述中，对通过喷墨法进行RGB的各图像图案的形成的情况进行 了说明，但可以不通过喷墨法，与黑矩阵图案的形成同样，重复进行涂布、 曝光、显影来形成RGB的各图像图案，制作具有由RGB三种颜色与黑矩 阵构成的4种颜色的图案的转印膜。
对于上述喷墨法，在本发明中可以适宜采用滤色器的制作中使用的一 般方法。作为喷墨法，可以采用连续地喷射带电的墨液且通过电场进行 控制的方法、使用压电元件间歇地喷射墨液的方法、加热墨液利用其发泡 间歇地进行喷射的方法等各种方法。
墨液可以使用油性、水性中的任一种。另外，该墨液中含有的着色剂 可以用于染料、颜料，从耐久性方面考虑更优选使用颜料。另外，也可以 使用用于公知的滤色器的制作时涂布的着色墨液(例如日本特开
2005-3861号公报的段落号

中记载的着色树脂组合物)、日 本特开2004-325736号公报中记载的着色墨液、日本特开2002-372613号 公报中记载的墨液等公知的墨液。对于在喷墨法中使用的墨液，考虑到赋 予后的工序，可以通过加热进行固化，或者添加通过紫外线等能量线进行 固化的成分。作为通过加热进行固化的成分，广泛使用各种热固化性树脂， 作为通过能量线进行固化的成分，例如可以例示在丙烯酸酯衍生物或甲基 丙烯酸酯衍生物中添加有光反应引发剂的成分。特别是考虑耐热性，更优 选为在分子内具有多个丙烯酰基、甲基丙烯酰基的成分。它们的丙烯酸酯 衍生物、甲基丙烯酸酯衍生物可以优选使用水溶性的成分，水中难溶性的 成分可以进行乳化等来使用。
这样，可以制作具有2种颜色以上的彩色图案、具体而言选自含有 RGB和透明无色彩的色相中的2种颜色以上的图像图案、或者1种颜色或 2种颜色以上的图像图案和黑矩阵图案、或者黑矩阵图案的转印膜。
在本发明中，从缺陷修正需要的时间的观点、以及大尺寸(优选最大 长度为100um以上)的着色图像脱落区域可以缺陷修正的观点出发，转 印膜上形成的图像图案以及黑矩阵图案，优选为与作为缺陷修正对象的滤 色器具有的图像图案和黑矩阵图案大致相同的图案。
在本发明中，将转印膜的黑色图案或者2种颜色以上的彩色图案(包 括图像图案和黑矩阵图案)转印到基板上的着色图像脱落区域上的图案转 印工序，可以包括将转印膜固定到作为转印黑色图案或者2种颜色以上 的彩色图案的被转印材料的基板上的位置的工序、从转印膜向基板上转印 黑色图案或者2种颜色以上的彩色图案中的至少一部分的工序。
上述"将转印膜固定到作为转印黑色图案或者2种颜色以上的彩色图 案的被转印材料的基板上的位置的工序"，优选为将转印膜固定到可以形 成为以下结构的位置的工序，所述结构是，转印膜的黑色图案、或者2种 颜色以上的彩色图案与构成缺陷修正对象的滤色器的黑色图案、或者2种 颜色以上的着色图像转印后形成连续的结构。
在上述"从转印膜向基板上转印黑色图案或者2种颜色以上的彩色图 案中的至少一部分的工序"中，例如可以通过加热和/或压接将转印膜上的 黑色图案或者2种颜色以上的彩色图案转印到基板上的着色图像脱落区 域。在本发明中，从转印效率的观点出发，优选通过热压接来进行转印。
对于热压接方法，没有特别的限制。从缺陷修正的 :i率的观点出发，优选
通过由加热块(block)引起的热压接来进行。
另外，在通过加热块进行的热压接之前，可以进行通过红外线等的预 加热处理。
参照附图，对本发明的滤色器的缺陷修正方法的实施方式的一个例子 进行更加详细地说明。图1是表示可以用于本发明的实施的缺陷修正装置 的结构的一个例子的概略图。
该缺陷修正装置，如图1所示，在放置于载物台7上的作为缺陷修正 对象的基板6的上方，从基板6侧依次配置转印膜5、物镜4，在物镜4 上照射激光的激光光路上，从物镜4侧依次配置半透半反镜3、半透半反 镜ll、 CCD相机12。从短脉冲激光光源1进行照射，使通过光束成形机 构2成形为光束形状的激光光束入射到半透半反镜3，使从灯光源9照射 并通过过滤器10的光入射到半透半反镜11。另外，成为隔着激光光路上 的半透半反镜3、 11可以由CCD相机12观察的结构。转印膜5由2个膜 巻筒8支承，通过膜巻筒旋转工具14可以旋转。在物镜4的下方设置空 气的喷出口，连接有用于向该喷出口供给空气的喷出空气喷出工具13。
在本实施方式中，修正缺陷的对象的基板6是在液晶显示装置的液晶 面板上使用的滤色器基板。该滤色器用的基板6通常在透明玻璃基板上设 置构成像素的着色层和黑矩阵。载物台7是具有XY驱动结构(未图示)、 且在XY方向可以移动的XY载物台，可以使基板6在任意位置上移动。 本发明中的缺陷修正装置具备用于检测基板6的缺陷的缺陷检测机构、 和用于修正检测到的缺陷的缺陷修正机构，在载物台7上水平载置基板6， 判断在滤色器基板的各像素上是否有缺陷，可以进行修正。具体而言，通 过缺陷检测机构把握缺陷的位置后，通过缺陷修正机构在基板6的缺陷部 分照射激光，除去缺陷部分，进行修正。另外，图示的缺陷检测机构和缺 陷修正机构的光学系等的结构是一个例子，也可以具有其他的过滤器、透
镜、反射镜等光学部件。
首先，对于缺陷检测机构进行说明。缺陷检测机构使用灯光源9、过
滤器IO、半透半反镜11和CCD相机12来检测缺陷。设置灯光源9作为 观察用光源，灯光源9射出用于照明基板6的表面的白色光。从灯光源9 射出的观察用的光通过过滤器10，入射到半透半反镜11上。过滤器—10是 波长可变过滤器，可以仅对所规定的波长进行遮光。在此，过滤器10配 合转印膜5的透过率来校正波长，检测到的光可以成为白色光。入射到半 透半反镜11上的光向基板6的方向反射。反射的光通过半透半反镜3，入 射到物镜4。在物镜4和基板6之间，将厚度为约10um的由聚酰亚胺构 成的转印膜5与基板6对向设置。于是，由物镜4聚集的光透过转印膜5 入射到基板6的表面，对基板的一部分进行照明。由基板6反射的光透过 转印膜5、物镜4、半透半反镜3和半透半反镜11，入射到CCD相机12 上。CCD相机12根据由基板6的表面反射的反射光来检测图像。CCD相 机12与个人电脑(PC)等信息理装置连接，根据检测到的图像来判断基 板6的缺陷的有无。作为判断基板的缺陷的有无的方法，例如，可以使用 将检测到的图像与参考模比较的模到模方式(Die-to-Die)。当检测到的图 像与参考模不同时，判断为缺陷部分。在该缺陷检测机构中，区别不透明 的黑缺陷和透明的白缺陷来进行检测。
另外，PC与载物台7的XY驱动结构连接，由缺陷检测时的载物台7 的位置来特定检测部位，检测基板上的缺陷像素的坐标。另外，通过使载 物台7移动，使基板6与来自灯光源9的光的相对位置变化，进行基板6 的全面缺陷检测。
当然缺陷检测机构并不限于图示的结构，也可以使用具有其他的结构 的缺陷检测机构。对于该缺陷检测机构，可以使用与以往的缺陷检测装置 同样的结构。
通过上述缺陷检测机构检测到的缺陷，通过缺陷修正机构来进行修 正。以下对于缺陷修正结构进行说明。缺陷修正机构使用短脉冲激光光源 1、光束成形机构2和半透半反镜3来修正缺陷。短脉冲激光光源1例如 为Q开关YAG激光，可以射出10nsec以下的短脉冲光。从短脉冲激光光 源1射出的短脉冲激光入射到光束成形机构2中。光束成形机构2具有光
圈、狭缝、透镜等，可以将短脉冲光的光斑成形为适当的形状的光束光斑。 例如，将基板上的短脉冲光的光束光斑成形为与滤色器的像素大致相同的 矩形，或者成形为与缺陷的形状大致相同的形状。半透半反镜3将短脉冲 光反射到基板6的方向上。在此，以使来自短脉冲激光光源1与灯光源9 的光同轴的方式配置各自的光学部件。由半透半反镜3反射的短脉冲光照
射到转印膜5。
转印膜5巻绕成与膜巻筒旋转工具14连接的2个膜巻筒8。膜巻筒旋 转工具14具有发动机等，可以使膜巻筒8分别旋转。通过使2个膜巻筒8 旋转，连续地向Y方向送出转印膜5。在缺陷修正之前驱动膜巻筒旋转工 具14使膜巻筒8之一旋转以使转印膜5具有弯度。在此，转印膜5以不 与基板6接触的程度来具有弯度。空气喷出工具13具有空气罐、配管、 电离器(一才于一f一)和过滤器等，可以从转印膜5上使电离后的空气 喷出。例如，在物镜4的下面设置基板侧的底面打开的圆筒。该圆筒成锥 状，基板侧的开口径变小。在侧面连接配管以使空气可以流入到该圆筒内， 通过流动经配管供给的空气，圆筒内的内压升高，在转印膜5侧喷出空气。 在缺陷修正时喷出空气使转印膜5接近基板侧，使转印膜5与基板6接近。 通过使转印膜5与基板6接近，在缺陷部分在基板6与转印膜5上设置微 小的间隙。此时，可以使基板6的缺陷部分以外的突出部分与转印膜5接 触。该转印膜5与基板6的距离的调节通过空气喷出工具13的喷出量等 进行调节。或者，通过膜巻筒旋转工具14来调节转印膜5的弯度和张力。 另外，在载物台7上也可具有在Z方向上移动的结构，调节间隔。通过空 气喷出工具13使转印膜5与基板6接近，由此不需要使转印膜5密接于 基板上。由此，可以进行稳定的修正，另外可以降低对基板6的图案带来 的影响。
该转印膜5，如图2所示，根据修正的缺陷的种类变更为不同的膜。 缺陷修正装置的膜至少由缺陷除去用的转印膜5a和膜巻筒8a、以及形成 有黑色图案或者2种颜色以上的彩色图案(例如，RGB3种颜色的图像图 案和黑矩阵)的缺陷修正用的转印膜5b和膜巻筒8b构成，可以还具有形
成有其他的彩色图案的缺陷修正用膜和膜巻筒。另外，作为其他的方式， 例如，可以由缺陷除去用的转印膜5a和膜巻筒8a、以及形成有RG2种颜
色的图像图案和黑矩阵的缺陷修正用的转印膜和膜巻筒、形成有GB 2种
颜色的图像图案和黑矩阵的缺陷修正用的转印膜和膜巻筒、形成有BR 2
种颜色的图像图案和黑矩阵的缺陷修正用的转印膜和膜巻筒构成。
膜巻筒8安装到直线导轨等巻筒移动工具(未图示)上，设置为在X 方向上可以滑动。使膜巻筒8a和膜巻筒8b在X方向上移动，将短脉冲光 照射到与修正的对象相对应的缺陷的转印膜5上。g卩，除去缺陷部分时， 在来自短脉冲激光光源1的短脉冲光的激光光斑15的位置上使转印膜5a 移动。另一方面，修正白缺陷时，在来自短脉冲激光光源l的短脉冲光的 激光光斑15的位置上使转印膜5b移动。由于来自该短脉冲激光光源1与 灯光源9的光调节成为在相同光轴上，因此，转印膜5上的激光光斑15 与观察用的光在大致相同的位置上。在膜巻筒8的移动时和转印膜5的送 出时使膜巻筒8旋转，赋予转印膜5适当的张力，在基板6和转印膜5上 设置间隙。于是，没有使空气喷出而进行膜的移动和送出。另一方面，除 去缺陷并进行修正时，使转印膜5弯曲，通过空气喷出工具14可以使空 气喷出，使转印膜5接近基板表面。
对于该转印膜5a和基板6的结构，参照图3a和图3b进行说明。图 3a和图3b是表示修正部位的结构的扩大截面图。图3a表示照射短脉冲光 中的膜和基板配置。图3b表示除去缺陷的基板的结构。基板6上设置红 色(R)的着色层6K绿色(G)的着色层62、蓝色(B)的着色层63、 黑矩阵(BM) 64，形成滤色器。如图3a所示，在滤色器上附着异物65 的情况下，附着异物65的缺陷部分，通过缺陷检测机构作为不透过光的 黑缺陷被检测到。此时转印膜5a与基板6上的滤色器略微接触。
在附着有该异物65的缺陷部分上，如果照射来自短脉冲激光光源1 的10nsec以下的短脉冲光，则通过物镜4聚集的短脉冲光通过空气喷出工 具入射到与基板6接近的转印膜5a上。调节该短脉冲光的功率，使通过 激光烧蚀转印膜5a可以部分地开口。在此作为一个例子，使用聚酰亚胺 膜作为转印膜5a。如果使用YAG短脉冲激光光源I的3倍高频355nm或 者4倍高频的266nm，则由于聚酰亚胺膜吸收短脉冲光，因此，可以容易 地在转印膜5a上设置开口部。另外，由于聚酰亚胺膜在可见光区域没有 吸收大致透明，因此容易观察，可以使用灯光源9来检测缺陷。另外，转
印膜5a并不限于聚酰亚胺，可以使用通过光的照射、通过化学分解、热 分解、升华或者烧蚀等开口的材质。由于激光通过光束成形机构2来成形
为缺陷的形状或者像素的形状，因此，转印膜5a的开口部的形状可以成 为与例如缺陷部分的形状大致相同的形状。通过激光烧蚀可以基本同时除 去异物65和膜的一部分。 ，，
除去的异物65a如图3b所示，通过转印膜5a的开口部，从基板脱离。 另外，由于修正部周边用膜覆盖，因此异物65附着在修正部周边的膜上， 不会在修正部周边产生新的缺陷。这样，通过激光烧蚀可以基本同时除去 膜和缺陷。另外，除去的异物65a成l片，但也有时也成多个碎片落到膜 上。
另外，可以调节短脉冲激光光源1的功率，以使在转印膜5a上缓慢 地开孔，也可以调节使膜的开孔与异物的除去同时进行。在转印膜5a上 缓慢地开孔时，形成转印膜5a变薄的状态，另外在转印膜5a变薄的部位 照射短脉冲激光来除去异物。
另外，开口部的尺寸小的情况下，可以在送出膜的同时设置开口部。 如果使用远紫外线则由于转印膜5a进行化学分解，因此在异物除去后在 基板表面上残留膜的残渣时，可以照射远紫外线来除去膜的残渣。
另外，在异物为透明的情况下，向异物照射短脉冲光，由于没有光的 吸收，因此不产生激光烧蚀。与此相对，作为转印膜5使用聚酰亚胺等吸 收光的膜。在使吸收膜略微接触异物的上部的状态下照射短脉冲激光时， 在膜通过激光烧蚀进行开口的同时，由于在前方飞落的气体或碎片，异物 在基板上瞬间施压，由于其后的反跳可以从基板上脱离。
由于通过上述处理与基板上的异物65 —起除去黑矩阵64、着色层61 、 62，因此，黑缺陷成为透过光的着色图像脱落区域66。为了修正该着色图 像脱落区域66，如图4所示，使膜巻筒8a和膜巻筒8b在X方向上移动， 使转印膜5b移动到激光光斑15的位置上。接着，使转印膜5b热压接在 着色图像脱落区域66上，对着色图像脱落区域66进行修正。
对于该着色图像脱落区域的修正方法，参照图5a、图5b、图6a和图 6b进行说明。图5a和图5b是表示膜5b和基板6之间的配置结构的截面 扩大图。在膜5b的基板6侧的面上形成黑矩阵54。在膜5b上将厚度为约
100 Wm的聚对苯二甲酸乙二酯膜设为基底膜，可以使用在基底膜上形成
有厚度为约1 u m的黑矩阵54的干膜抗蚀剂。另外，优选在基底膜与黑矩 阵图案之间进一步形成厚度为约lOum的热增塑性树脂层。
图6a和图6b是表示膜5b和基板6之间的配置结构的截面扩大图。 在转印膜5b的基板6侧的面上形成图像图案51、 52、黑矩阵图案54。在 转印膜5b上将厚度为约100u m的聚对苯二甲酸乙二酯膜设为基底膜，可 以使用在基底膜上形成有厚度为约1lim的图像图案51、52以及黑矩阵图 案54的干膜抗蚀剂。另外，优选在基底膜与图像图案51、 52和黑矩阵图 案54之间进一步形成厚度为约10 u m的热增塑性树脂层。
转印膜5b并不限于聚乙烯，可以使用聚丙烯或PET膜等，厚度也不 限于上述厚度。另外，在图像图案51、 52、黑矩阵图案54中，也可以使 用与基板6侧的着色层61、 62、黑矩阵64大致相同的材质。由此，可以 更加有效地防止液晶显示装置品质的劣化。当然转印膜5b或黑矩阵图案 54、图像图案51、 52的材质和厚度并不限于上述。
另外，在缺陷修正装置中设置加热块20,其用于将在转印膜5b上形 成的图像图案51、 52、黑矩阵图案54热转印到基板上。加热块20设置成 为可以上下移动，在使转印膜5b的图像图案51、 52和黑矩阵图案54附 着时，向下移动将转印膜5b挤压在基板上，进行加热。由此，可以在着 色像素脱落区域上转印形成图像图案51a、 52a以及黑矩阵图案54a。
在本发明中，优选为在转印膜5b与基板6之间夹持通过激光开口的 转印膜5a的状态。通过隔着转印膜5a的开口部对图像图案51、 52以及 黑矩阵图案54进行转印，可以防止在缺陷部位以外的区域上附着图像图 案51、 52或黑矩阵图案54。由此，通过简易的结构可以仅在缺陷部位对 图像图案51a、 52a以及黑矩阵图案54a进行转印，可以正确地修正缺陷。 另外，由于在其余区域上没有附着着色层，因此，可以使生产率提高。
对于1个部位的缺陷修正，由于可以不伴随光学系或载物台的移动而 仅提供膜巻筒8的移动来进行修正，因此以上动作可以在1个物镜下观察 的同时来进行。另外，可以仅通过l个短脉冲激光光源l来进行异物的除 去和颜色附着，可以进行白缺陷和黑缺陷的修正。另外，在修正动作结束 后，可以通过CCD相机12来检测是否正确地进行修正。
以下的方案也是优选实施方式之一，该方案为如上转印黑矩阵图案 之后，在被黑矩阵图案划分的着色图像脱落区域，将预定的规定色相合并， 使用喷墨法形成着色层。这样，即使修正面积大的缺陷部分，也可以有效 进行修正。
在上述说明中用液晶显示装置用的滤色器基板进行说明，也可以制用 于CCD相机等的固体摄像元件用的滤色器基板中。当然对于滤色器基板
以外的图案基板可以利用。例如，也可以在PDP和布劳恩管等荧光体的修 正中利用。另外，在上述说明中异物65为形成黑缺陷的不透明材质，但 也可以为由透明的材质构成的异物。另外，可以除去没有精密度良好地设 置的着色层等。将这些必须除去的异物等称为缺陷。通过除去这些缺陷， 可以修正缺陷。 实施例
以下通过实施例对本发明进行具体地说明，但本发明并不限于这些实 施例。另外，只要没有特别的说明，"份"和"％"是质量基准。 (实施例1) -滤色器的制作-
通过日本特开2006-276818号公报的段落号

中记载的 方法来制作滤色器。 -转印膜的制作-
使用厚度为100ym的聚对苯二甲酸乙二酯作为基底膜(临时支承 体)，在该膜上涂布干燥下述组成的热增塑性树脂层形成用涂布液，使其 成为10um的干燥膜厚，得到在聚对苯二甲酸乙二酯膜上形成有乙烯-丙 烯酸乙酯共聚物树脂膜作为热增塑性树脂层的临时支承体。
*热增塑性树脂层形成用涂布液* 乙烯-丙烯酸乙酯共聚树脂… 10g
(三井 杜邦聚化合物(三井 于"二水 > 水U少S力；")公司制，商 品名EVAFLEX-EEA-709，丙烯酸乙酯含量35%) 甲苯… 100g
以下，在上述临时支承体的热增塑性树脂层上涂布下述黑色感光性树 脂层用涂布液，使其为1.8ym的膜厚，使其干燥，形成黑色感光性树脂
层。
*黑色感光性树脂层用涂布液 '聚合物A…70份
(苯乙烯/甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸乙酯/丙烯酸/甲基丙烯酸縮水甘油
酯的共聚树脂、重均分子量=约35000，酸价=110) *单体季戊四醇四丙烯酸酯… 30份 '光引发剂IRUGACURE369… 2.2份
(汽巴精化公司制)
N,N-四乙基-4,4，-二氨基二苯甲酮… 2.2份 *溶剂丙二醇单甲基醚… 492份 *聚合抑制剂对甲氧基苯酚… 0.1份
，表面活性剂全氟烷基垸氧化物…0.01份 *着色剂炭黑…22份
-对于涂布形成的黑色感光性树脂层，使用平行光曝光机MAP1200L
(大日本斯库林(7夕y—y)公司制)，通过形成有黑矩阵用图案的负
像掩模，在100mJ/ci^下进行曝光。接着，使用喷雾式显影装置DVW911 (大日本斯库林公司制)，通过KOH类显影液(商品名CDK-1、富士胶 片电子材料(FUJIFILM Electronic Materials)公司制)在25。C下喷雾显影 60秒，除去未曝光部，使其干燥，形成黑矩阵图案。 -滤色器用喷墨墨液的配制-<蓝色喷墨墨液的配制> (1)颜料分散液的配制
将下述组成中的各颜料、颜料分散液、以及有机溶剂以下述比例进 行混合，加入直径为0.3mm的氧化锆微珠500份，使用涂料搅拌器(浅田 铁钢公司制)分散4小时，分别配制PB15:6 (C.I.色素蓝15:6)颜料分散 液和PV23 (C丄色素紫23)颜料分散液。
颜料(PB15:6或PV23)… 10份
颜料分散剂(Disperbyk1161、 BYK日本公司制)… 10份
(二乙二醇单丁基醚乙酸酯(BCA;溶剂)中固体成分30质量％)
，颜料分散辅助剂(N-苯基马来酰胺/甲基丙烯酸苄酯共聚物)…10
份
(溶剂BCA中固体成分30质量％)
BCA (二乙二醇单丁基醚乙酸酯)…70份
(2) 粘合剂组合物的配制
在样品瓶中装入Teflon (特氟隆，注册商标)被覆的转子，设置在磁 力搅拌器上。在该样品瓶中，根据下述比例加入下述粘合剂性环氧化合物、 多官能环氧树脂等，在室温下充分搅拌溶解，接着，为了粘度调节加入稀 释溶剂，进行搅拌溶解后，将其过滤，得到粘合剂组合物。
的记载进行配制。
(3) 喷墨墨液的配制
将上述配制的PB15:6颜料分散液46.8份、PV23颜料分散液3.2份、 粘合剂组合物30份和BCA15份充分地进行混合后，添加正十二烷，使相 对于墨液总量成为5质量％，配制滤色器用蓝色喷墨墨液(B墨液l)。
<红色喷墨墨液的配制> (1)颜料分散液的配制
将下述组成中的各颜料、颜料分散液、以及有机溶剂以下述比例进 行混合，加入直径为0.3mm的氧化锆微珠500份，使用涂料搅拌器(浅田 铁钢公司制)分散4小时，分别配制PR254 (C.I.色素红254)颜料分散液 和PR177 (C.I.色素红177)颜料分散液。
*颜料(PR254或PR177)… 10份
颜料分散剂(Disperbyk1161、 BYK日本公司制)… 10份
(溶剂BCA中固体成分30质量％) 颜料分散辅助剂(N-苯基马来酰胺/甲基丙烯酸节酯共聚物)…10
份
(溶剂BCA中固体成分30质量％) BCA (二乙二醇单丁基醚乙酸酯)…70份 (2)喷墨墨液的配制 将上述配制的PR254颜料分散液68.85份、PR177颜料分散液6.15份、 上述粘合剂组合物20份和BCA5份充分地进行混合。之后，添加正十二 烷5份，配制滤色器用红色喷墨墨液(R墨液l)。 <绿色喷墨墨液的配制>
(1) 颜料分散液的配制
将下述组成中的颜料、颜料分散液、以及有机溶剂以下述比例进行 混合，加入直径为0.3mm的氧化锆微珠500份，使用涂料搅拌器(浅田铁 钢公司制)分散4小时，分别配制PG36 (C丄色素绿36)颜料分散液、PG7 (C丄色素绿7)颜料分散液、PY138(C丄色素黄138)颜料分散液和PY150 (C.I.色素黄150)颜料分散液。 [颜料分散液的组成]
颜料(PG36或PG7或PY138或PY150) 10份 '颜料分散剂(Disperbyk1161、 BYK日本公司制)… 10份
(溶剂BCA中固体成分30质量％) 颜料分散辅助剂(N-苯基马来酰胺/甲基丙烯酸节酯共聚物)…10
份
(溶剂BCA中固体成分30质量％)
BCA (二乙二醇单丁基醚乙酸酯)…70份
(2) 喷墨墨液的配制
将上述配制的PG36颜料分散液19.25份、PG7颜料分散液13.65份、 PY138颜料分散液24.64份、PY150颜料分散液12.46份、上述粘合剂组 合物22份和BCA3份充分地进行混合。之后，添加正十二烷5份，配制
22
滤色器用绿色喷墨墨液(G墨液l)。
-通过喷墨墨液的RGB像素的形成-
下面，依次使用由上述得到的R墨液1、 G墨液l、 B墨液l，如下所 述形成RGB3色的图像图案。
首先，使用B墨液1，在形成有黑矩阵图案的临时支承体的、由黑矩 阵图案划分且形成为凹形状的凹状区域中，在应该形成蓝色像素的区域上 将得到期望浓度的量的B墨液1通过Dimatix公司制造的墨液喷头 (SE-128、喷头温度28°C)喷出达到期望的浓度，使其均匀附着形成B 着色区域。与此同样，在应该形成绿色像素和红色像素的凹状区域上，分 别使上述的R墨液1、 G墨液l均匀地附着，形成G着色区域、R着色区 域。其后，对于各颜色的着色区域，在1333Pa (IOTorr)下进行120秒减 压干燥。
在本实施例中，控制搬运速度、驱动频率，分别使R颜料、G颜料、 B颜料的涂设量为Llg/m2、 1.8g/m2、 0.75g/m2。
吐出后，各颜色的着色区域吐出形成的临时支承体被搬运到曝光部， 在经过墨液滴着落后的约0.5秒后，通过紫外发光二极管NCCU033 (日亚 化学工业株式会社制，UV-LED)进行曝光，使其固化，形成RGB3色的 像素图案(R像素、G像素、B像素)。
接着，将在热增塑性树脂层上形成的RGB 3色的图像图案和黑矩阵用 作为覆盖膜的40"m的聚丙烯膜覆盖，作为转印膜巻绕成为辊状，制作在 基底膜上依次层叠有热增塑性树脂层、RGB 3色的图像图案层和黑矩阵图 案层、覆盖膜的转印膜。
对于由上述得到的滤色器，使用上述的转印膜、图l所示的滤色器缺 陷修正装置来检査滤色器，另外，按以下顺序对在滤色器上检测到的最大 长度为500um的缺陷进行修正。
-缺陷部分的除去-
作为激光光源使用Q开关YAG激光(波长266nm、脉冲时间10nsec)， 隔着10ym的聚酰亚胺膜，将短脉冲激光照射到缺陷部分，通过激光烧蚀 除去缺陷部分上的聚酰亚胺膜和缺陷部分，形成着色图像脱落区域。
此时，激光通过光束成形机构，形成为与缺陷部分几乎相同的形状。
-图案的转印-
由上述得到的转印膜，在除去覆盖膜后，以在该黑矩阵等形成面侧进 行对置的方式，使其接近上述着色图像脱落区域，将加热块(温度12(TC)
在9.8X 104Pa下从黑矩阵等非形成面侧按压到转印膜上0.5秒钟，将RGB 3色的像素图案(R像素、G像素、B像素)和黑矩阵图案一起进行热转 印。
此时，调节转印膜的位置，使连接被转印后的RGB 3色的像素图案(R 像素、G像素、B像素)和黑矩阵图案、与基板上形成的R像素、G像素、 B像素和黑矩阵图案的图案形成。
之后，在20(TC的洁净烘箱内加热30分钟，再在23(TC下加热30分 钟，进行后烧成，在基板上与黑矩阵一起形成干燥固化后的平均膜厚为1.8 P m的RGB 3色的图像图案，对滤色器中的缺陷进行修正。
接着，将形成有RGB像素图案的基板清洗干燥后，在基板设定温度 200°C、 0.8Pa (6X10-3Torr)的真空下，得到ITO (氧化铟锡)电极成膜 为120nm的厚度的滤色器。
在上述实施例中，以使用形成有RGB3色的像素图案和黑矩阵图案的 转印膜的情况为中心进行说明，但根据作为修正对象的滤色器的缺陷部分 的形状和位置、尺寸等，来适宜选择例如形成有RG 2色的像素图案的转 印膜、形成有GB 2色的像素图案和黑矩阵图案的转印膜、或者形成有R 色图像图案和透明无色彩的像素图案的转印膜等的情况下，也可以得到同 样的效果。
另外，在上述实施例中，以在临时支承体上用光刻法形成黑矩阵后用 喷墨法形成像素图案而进行的方式为中心，对转印膜的制作进行说明，但 转印膜可以通过喷墨法形成黑矩阵和像素图案全部来制作，另外，不仅是 黑矩阵，通过进行涂布、曝光、显影的光刻法也可以形成图像图案来进行 制作，在这些情况下均可以得到与上述实施例同样的效果。 (实施例2)
在上述实施例1的黑矩阵图案上进一步用40 y m的聚丙烯膜作为覆盖 膜来进行被覆，作为黑矩阵转印膜巻绕成辊状，制作在基底膜上依次层叠 有热增塑性树脂层、黑矩阵图案层、覆盖膜的黑矩阵转印膜。
对于由上述实施例1得到的滤色器，使用上述的黑矩阵转印膜、图1 所示的滤色器缺陷修正装置来检査滤色器，另外，按以下顺序对在滤色器
上检测到的最大长度为500"m的缺陷进行修正。
-缺陷部分的除去-
与上述实施例1同样，通过激光烧蚀除去上述滤色器上的缺陷部分上 的聚酰亚胺膜和缺陷部分，形成着色图像脱落区域。 -黑矩阵图案的转印-
使由上述得到的具有黑矩阵图案的转印膜，在除去覆盖膜后，接近上
述着色图像脱落区域，将加热块(温度12(TC)在压力9.8X10^a下按压 到转印膜上0.5秒钟，将黑矩阵图案进行热转印。
此时，调节转印膜的位置，形成被转印后的黑矩阵图案与基板上形成 的黑矩阵图案连接的图案。
<着色层的形成>
在通过热转印修正黑矩阵图案的着色图像脱落区域的应该形成蓝色 像素的凹部上，将由上述实施例1得到的滤色器用蓝色喷墨墨液通过 Dimatix公司制造的墨液喷头(SE-128、喷头温度28'C)喷出达到期望的 浓度，使其正确且均匀地附着。
与此同样，在应该形成绿色像素和红色像素的凹部上，分别使由上述 实施例1得到的滤色器用绿色喷墨墨液以及由上述实施例1得到的滤色器 用红^^贲墨墨液正确且均匀地附着。
其后，在1333Pa (10Torr)下进行120秒减压干燥，另外，在80。C的 热板上进行预焙10分钟。其后，在洁净烘箱内200'C下加热30分钟进行 预焙烧，再在23(TC下加热30分钟进行主焙烧，在基板上形成干燥固化后 的平均膜厚为1.8um的RGB3色的像素图案，对滤色器中的缺陷进行修 正。
接着，将形成有RGB像素图案的基板进行清洗干燥后，在基板设定 温度200。C、 0.8Pa (6Xl(T3Torr)的真空下，得到ITO (氧化铟锡)电极 成膜为120nm的厚度的滤色器。
如上，根据本发明的滤色器的修正方法，可以修正最大长度为100 u m以上(在实施例中500 um)的缺陷，并且缺陷修正需要的时间，与以
往通过滴加抗蚀剂的方法或以往的单色膜转印方法相比时间短。另外，将 缺陷修正后的滤色器进行目测观察，结果通过以往通过滴加抗蚀剂的方法 或以往的单色膜转印方法在经缺陷修正的滤色器中修正部分可以容易地 观察，但通过本发明的缺陷修正方法在经缺陷修正的滤色器中，不能观察 到修正部分。
根据本发明，可以在短时间内简易地修正涉及多个颜色的滤色器的缺 陷部分，可以提供难以识别修正部分的滤色器的缺陷修正方法。 艮P，根据本发明，提供下述<1> <8>。
<1>提供一种滤色器的缺陷修正方法，其具有图案转印工序，所述图 案转印工序中，使用具有黑色图案或者2种颜色以上的彩色图案的转印膜，
将所述黑色图案或者所述彩色图案的至少一部分转印到基板上的着色图 像脱落区域。
<2>提供上述<1〉所述的滤色器的缺陷修正方法，其还具有通过激光照 射将基板上的着色图像的缺陷部分除去的除去工序，所述着色图像脱落区 域是通过激光照射将基板上的着色图像的缺陷部分除去而形成的区域。
<3>提供上述<1>或<2>所述的滤色器的缺陷修正方法，其还包括着色
层形成工序，所述着色层形成工序中，在被转印后的所述黑色图案划分的 所述着色图像脱落区域的至少一部分上，形成规定的着色层。
<4>提供上述<3>所述的滤色器的缺陷修正方法，其中，所述着色层形 成工序是使用喷墨法来形成所述着色层的工序。
<5>提供上述<1>或<2>所述的滤色器的缺陷修正方法，其中，所述转
印膜在临时支承体上具有黑色图案和被所述黑色图案隔离的至少1种颜色 的图像图案。
<6>提供上述<5>所述的滤色器的缺陷修正方法，其中，所述图像图案 由选自红色、绿色、蓝色以及透明无色彩中的2种颜色以上的图案构成。
<7>提供上述<1> <6>中任一项所述的滤色器的缺陷修正方法，其 中，转印膜的所述彩色图案具有与所述基板上的着色图像的图案的至少一 部分相同的图案。
<8>提供上述<1> <7>中任一项所述的滤色器的缺陷修正方法，其 中，所述着色图像脱落区域的最大长度为100ym以上。
上述本发明的优选实施方式的详细，毫无疑问是本领域技术人员根据 试图应用的方式，可以自由变更为各种的应用方式。因此，本发明的范围 应该根据权利要求的范围来确定。
权利要求
1. 一种滤色器的缺陷修正方法，其特征在于，具有图案转印工序，所述图案转印工序中，使用具有黑色图案或者2种颜色以上的彩色图案的转印膜，将所述黑色图案或者所述彩色图案的至少一部分转印到基板上的着色图像脱落区域。
2. 根据权利要求1所述的滤色器的缺陷修正方法，其特征在于，还具 有通过激光照射将基板上的着色图像的缺陷部分除去的除去工序，所述着色图像脱落区域是通过激光照射将基板上的着色图像的缺陷 部分除去而形成的区域。
3. 根据权利要求1或2所述的滤色器的缺陷修正方法，其特征在于， 还包括着色层形成工序，所述着色层形成工序中，在被转印后的所述黑色 图案划分的所述着色图像脱落区域的至少一部分上，形成规定的着色层。
4. 根据权利要求3所述的滤色器的缺陷修正方法，其特征在于，所述着色层形成工序是使用喷墨法形成所述着色层的工序。
5. 根据权利要求1或2所述的滤色器的缺陷修正方法，其特征在于，所述转印膜在临时支承体上具有黑色图案和被所述黑色图案隔离的至少1 种颜色的图像图案。
6 . 根据权利要求5所述的滤色器的缺陷修正方法，其特征在于，所述 图像图案由选自红色、绿色、蓝色以及透明无色彩中的2种颜色以上的图 案构成。
7. 根据权利要求1或2所述的滤色器的缺陷修正方法，其特征在于， 转印膜的所述彩色图案具有与所述基板上的着色图像的图案的至少一部 分相同的图案。
8. 根据权利要求3所述的滤色器的缺陷修正方法，其特征在于，转印 膜的所述彩色图案具有与所述基板上的着色图像的图案的至少一部分相 同的图案。
9. 根据权利要求4所述的滤色器的缺陷修正方法，其特征在于，转印 膜的所述彩色图案具有与所述基板上的着色图像的图案的至少一部分相 同的图案。
10. 根据权利要求1或2所述的滤色器的缺陷修正方法，其特征在于，所述着色图像脱落区域的最大长度为100um以上。
11. 根据权利要求3所述的滤色器的缺陷修正方法，其特征在于，所 述着色图像脱落区域的最大长度为100um以上。
12. 根据权利要求4所述的滤色器的缺陷修正方法，其特征在于，所 述着色图像脱落区域的最大长度为100"m以上。
全文摘要
可以在短时间内简易地进行涉及多个颜色的滤色器的缺陷部分的修正，可以进行难以识别修正部分的修正。在滤色器的缺陷修正方法中具有图案转印工序，即在基板上的着色图像脱落区域上，使用具有黑色图案或者2种颜色以上的彩色图案的转印膜，对所述彩色图案的至少一部分进行转印。
文档编号G02B5/20GK101382673SQ20081014633
公开日2009年3月11日 申请日期2008年8月25日 优先权日2007年9月3日
发明者酒井荣一 申请人:富士胶片株式会社