成型体及晶片透镜的制造方法

专利名称：成型体及晶片透镜的制造方法
技术领域：
本发明涉及成型体及晶片透镜(wafer lens)的制造方法。
背景技术：
以往，在光学透镜的制造领域，研究了通过在玻璃平板上设置由热固性树脂等的 固化性树脂形成的透镜部(光学部件)来得到耐热性高的光学透镜的技术(例如，参照专 利文献1)。进而，作为适用该技术的光学透镜的制造方法，开发有以下方法通过形成对于玻 璃平板设置了多个由固化树脂形成的光学部件的所谓的“晶片透镜”，以使多个透镜一体化 的状态同时成型，成型后切割玻璃平板部。根据该制造方法，可降低光学透镜的制造成本。专利文献1 特许第3926380号公报但是，由于在专利文献1中没有记载具体的成型、制造方法，因此实际上不能制造 光学透镜。该方面，为了制作在玻璃平板的两面设置了透镜部的光学透镜而单纯地在玻璃平 板的一面、对于另一面按顺序设置透镜部时，由于一面(先设置透镜部的面)上的树脂固化 收缩而玻璃基板发生翘曲，设置于另一面的透镜部的形状精度降低、或性能劣化。进而，在 玻璃基板的翘曲大的情况下，由于玻璃基板有时也破损，不能进行成型。而且，这些问题特 别是在增大玻璃基板效率良好地一起成型多个透镜部的情况下变得显著。本发明的主要目的在于提供一种在基板的两面设置光学部件的情况下可使光学 部件的形状精度提高的晶片透镜的制造方法。用于解决课题的手段根据本发明的第1方式，提供一种成型体的制造方法，其特征在于，其是在玻璃基 板的表面形成了与由固化性树脂构成的凸或凹的多个成型部对应的形状的成型体的制造 方法，具有以下工序准备具有多个与所述多个成型部对应的形状的负形状的成型面的第1成型模的
工序；在所述第1成型模的形成了多个成型面的面上涂布固化性树脂的工序；进行被涂布了的所述固化性树脂的固化的固化工序，所述固化工序含有以下工序对于所述固化性树脂通过光照射而进行固化的光固 化工序；通过对于在所述光固化工序中进行了固化的所述固化性树脂进行加热处理而进 一步进行固化的加热固化工序。在该成型体的制造方法中，优选所述加热固化工序在第1温度下进行所述固化性树脂的固化后，在比所述第 1温度还高的第2温度下进一步进行所述固化性树脂的固化。另外，在该成型体的制造方法中，
优选所述第1温度为70 90°C的范围内、所述第2温度为100 250°C的范围内。根据本发明的其它方式，提供一种晶片透镜的制造方法，其特征在于，其是对于基 板的两面设置了第1固化性树脂制的光学部件的晶片透镜的制造方法，具有以下工序由具有多个与设置于基板的一面的所述光学部件的光学面形状对应的正形状的 成型面的第1成型模，形成具有多个与该光学面形状对应的负形状的成型面的由第2固化 性树脂形成的第1复制成型部，同时在该第1复制成型部内衬第1复制成型用基板，由此形 成第1复制成型模的工序；由具有多个与设置于基板的另一面的所述光学部件的光学面形状对应的正形状 的成型面的第2成型模，形成具有多个与该光学面形状对应的负形状的成型面的由第2固 化性树脂形成的第2复制成型部，同时在该第2复制成型部内衬第2复制成型用基板，由此 形成第2复制成型模的工序；在所述第1复制成型模和所述基板的一面之间填充所述第1固化性树脂的第1填 充工序；在所述第2复制成型模和所述玻璃基板的另一面之间填充所述第1固化性树脂的 第2填充工序；在所述第1及第2填充工序后，使所述基板的分别被填充了的所述第1固化性树 脂固化的固化工序，同时，在所述固化工序内，在所述基板的至少一面进行的固化工序含有以下工序对于 被填充了的所述第1固化性树脂通过光照射而进行固化的光固化工序；通过对于在所述光 固化工序中进行了固化的所述第1固化性树脂进行加热处理而进一步进行固化的加热固
化工序。在该晶片透镜的制造方法中，所述加热固化工序通过加热进行了所述光固化工序的填充于所述第1或第2复制 成型模和基板之间的状态的第1固化性树脂而进行，优选具有使通过所述加热固化工序而 进行了固化的所述第1固化性树脂从所述复制成型模脱模的脱模工序。在该情况下，在所述脱模工序后，具有通过对于脱模了的所述第1固化性树脂加 热而进行固化的第2加热固化工序，所述加热固化工序中的加热温度优选比所述第2加热 固化工序中的加热温度还低。另外，在该情况下，优选所述加热固化工序在70 90°C的范围内的加热温度下进 行、所述第2加热固化工序在100 250°C的范围内的加热温度下进行。在该晶片透镜的制造方法中，所述加热固化工序优选含有在第1加热温度下加热而进行固化的第1阶段、在比 所述第1加热温度还高的加热温度下加热而进行固化的第2阶段。在该晶片透镜的制造方法中，所述基板为玻璃，所述第1或第2复制成型用基板也为玻璃，所述基板用玻璃的线 膨胀系数与所述第1或第2复制成型用基板用玻璃的线膨胀系数的差优选为3Χ10_5[/Κ] 以下。在该晶片透镜的制造方法中，所述第1或第2复制成型模在所述多个成型面间分别具有平坦部，优选所述第1或第2填充工序时所述第1或第2复制成型模的平坦部与所述基板的间隔维持为100 μ m 以下。在该晶片透镜的制造方法中，所述第1填充工序优选形成如下状态将所述第1固化性树脂滴加或排出在所述 基板的上面后，使该基板与配设于该基板的上方的所述第1复制成型模抵接，在这些基板 及第1复制成型模之间填充了所述第1固化性树脂，所述第2填充工序优选形成如下状态将所述第1固化性树脂滴加或排出在所述 第2复制成型模的上面后，使该第2复制成型模和配设于该第2复制成型模的上方的所述 基板抵接，在这些基板及第2复制成型模之间填充了所述第1固化性树脂。在该晶片透镜的制造方法中， 所述第1填充工序优选将所述第1固化性树脂滴加或排出在所述第1复制成型模的上面后，使该第1复 制成型模和配设于该第1复制成型模的上方的所述基板抵接，在这些基板及第1复制成型 模之间填充所述第1固化性树脂，其后，使所述基板及所述第1复制成型模在相互抵接的状态下一体地上下反转，其后，作为所述第2填充工序，将所述第1固化性树脂滴加或排出在所述第2复制成型 模的上面后，使该第2复制成型模和配设于该第2复制成型模的上方的所述基板抵接，在这 些基板及第2复制成型模之间填充所述第1固化性树脂。在该晶片透镜的制造方法中，优选所述固化工序同时使分别填充于所述第1、第2复制成型模和所述基板之间 的所述第1固化性树脂固化。在该晶片透镜的制造方法中，优选将填充于所述第1复制成型模和所述基板之间的所述第1固化性树脂增粘到 规定的粘度后，在所述第2复制成型模和所述基板之间填充所述第1固化性树脂。在该晶片透镜的制造方法中，优选所述第1或第2复制成型模的成型面的一部分上为了应力缓和而具备所述第 2固化性树脂不存在的区域。根据本发明，通过以光固化工序和加热固化工序的2个阶段进行形成为晶片状的 由固化性树脂形成的成型体的固化工序，即使如晶片状这样的宽的成型体也可充分地进行 固化，通过其后的工序对于成型体的光学性能产生不良影响受到抑制。另外，在第1、第2副 母模(寸7 7 7々一)成型模和基板之间分别填充固化性树脂的工序后，使该固化性树脂 固化，因此不会仅在基板的单面树脂固化收缩，而是在基板的两面树脂同时固化收缩而分 别形成光学部件。因此，与在各面依次设置光学部件的情况不同，可以防止基板的翘曲，因 此，可以使光学部件的形状精度提高。


图1是表示晶片透镜的概略构成的立体图。图2是表示母模(^夕一)、副母模的概略构成的立体图。图3是用于说明晶片透镜的制造方法的图。
图4是表示母模、副母模、次副母模(寸7··寸7·· 7 ^夕一)的概略构成的图。图5是用于说明晶片透镜的制造方法的图。图6是用于说明图5的后续的制造方法的图。图7是表示大直径副母模的概略构成的平面图。
图8是表示通常的副母模的概略构成的平面图。图9是用于示意性说明使用大直径副母模和通常的副母模而在玻璃基板的表背 两面形成透镜部的样子的图。图10是用于说明使用大直径副母模时的不良情况的图。图11是表示大直径副母模的变形例的图。图12是在末端作为可水解的官能团的一个例子使用有烷氧基硅烷基的脱模剂、 和母模表面的OH基的反应图。图13是用于说明利用球头立铣刀进行的成型面的创制方法的图。符号的说明1晶片透镜3玻璃基板5透镜部5A 树脂lO(lOAUOB)母模12基底部14 凸部16 凹部20副母模22副母模成型部22A 树脂24 凹部25 凸部26副母模基板30副母模32副母模成型部32A 树脂34 凸部36副母模基板40次副母模42次副母模成型部42A 树脂44 凹部46次副母模基板50、52、54 光源60拉伸层(引張>9 * 口)
200大直径副母模210应力缓和部B球头立铣刀
具体实施方式
以下，一边参照附图一边对于本发明的优选实施方式进行说明。[第1实施方式]如图1所示，晶片透镜1具有圆形状的玻璃基板(基板)3和多个透镜部(光学部 件)5，具有在玻璃基板3上以阵列状配置有多个透镜部5的构成。透镜部5可以形成于玻 璃基板3的表面，也可以形成于表背两面。另外，在透镜部5中也可以在光学面的表面具有 衍射槽、高低不平等的微细结构。<透镜部>透镜部5由树脂5A形成。作为该树脂5A，可以使用固化性树脂。作为固化性树 月旨，可以大致分类为光固化性树脂和热固性树脂。作为光固化性树脂，如果为丙烯酸类树脂 及烯丙基树脂，可以通过自由基聚合使其反应固化。如果为环氧系的树脂，可以通过阳离子 聚合使其反应固化。另一方面，热固性树脂除上述自由基聚合、阳离子聚合之外，也可以如 有机硅等通过加成聚合使其固化。下面，对于上述各树脂进行详细记述。(丙烯酸类树脂)用于聚合反应的(甲基)丙烯酸酯没有特别限制，可以使用通过一般的制造方法 制造的下述(甲基)丙烯酸酯。可以举出酯(甲基)丙烯酸酯、氨基甲酸酯(甲基)丙烯 酸酯、环氧(甲基)丙烯酸酯、醚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯 酸亚烷基酯、具有芳香环的(甲基)丙烯酸酯、具有脂环式结构的(甲基)丙烯酸酯。可以 使用这些的一种或两种以上。特别优选具有脂环式结构的(甲基)丙烯酸酯，也可以为含有氧原子、氮原子的 脂环结构。例如可以举出(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸环戊酯、(甲基)丙烯 酸环庚酯、(甲基)丙烯酸双环庚酯、(甲基)丙烯酸三环癸酯、三环癸烷二甲醇(甲基) 丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、氢化双酚类的二(甲基)丙烯酸酯等。另外，特别优 选具有金刚烷骨架。例如可以举出2_烷基-2-金刚烷基(甲基)丙烯酸酯(参照特开 2002-193883号公报)、金刚烷基二(甲基)丙烯酸酯(参照特开昭57-500785号公报)、 金刚烷基二羧酸二烯丙酯(参照特开昭60-100537号公报)、全氟金刚烷基丙烯酸酯(参 照特开2004-123687号公报)、新中村化学制2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯、1，3-金 刚烷二醇二丙烯酸酯、1，3，5_金刚烷三醇三丙烯酸酯、不饱和羧酸金刚烷基酯(参照特开 2000-119220号公报)、3，3' - 二烷氧基羰基_1，1' -二金刚烷(参照特开2001-253835 号公报)、1，1' -二金刚烷化合物(参照美国专利第3342880号说明书)、四金刚烷(参照 特开2006-169177号公报)、2_烷基-2-羟基金刚烷、2-亚烷基金刚烷、1，3-金刚烷二羧酸 二叔丁酯等的不具有芳香环的具有金刚烷骨架的固化性树脂(参照特开2001-322950号公 报)、双(羟基苯基)金刚烷类及双(缩水甘油氧基苯基)金刚烷(参照特开平11-35522 号公报、特开平10-130371号公报)等。
另外，也可能含有其它反应性单体。如果为(甲基)丙烯酸酯，例如可以举出丙烯 酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸正丁酯、丙烯酸2-乙基己酯、甲基丙 烯酸2-乙基己酯、丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸异丁酯、丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、 丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸环 己酯等。作为多官能(甲基)丙烯酸酯，例如可以举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸 酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基) 丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇 三(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(力)(甲基) 丙烯酸酯、三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇 四(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等。(烯丙基酯树脂) 在具有烯丙基、利用自由基聚合进行固化的树脂中，例如可以举出如下树脂，但并 不特别限定于如下树脂。可以举出不含芳香环的含溴(甲基)烯丙酯(参照特开2003-66201号公报)、 (甲基)丙烯酸烯丙酯(参照特开平5-286896号公报)、烯丙酯树脂(参照特开平5-286896 号公报、特开2003-66201号公报)、丙烯酸酯和含有环氧基的不饱和化合物的共聚化合物 (参照特开2003-128725号公报)、丙烯酸酯化合物(参照特开2003-147072号公报)、丙烯 酸酯化合物(特开2005-2064号公报)等。(环氧树脂)作为环氧树脂，只要是具有环氧基、通过光或热而进行聚合固化的树脂，就没有特 别限定，作为固化引发剂，可以使用酸酐、阳离子发生剂等。由于环氧树脂的固化收缩率低， 因此在可以形成成型精度优异的透镜方面是优选的。作为环氧树脂的种类，可以举出苯酚酚醛清漆型环氧树脂、联苯型环氧树脂、二环 戊二烯型环氧树脂。作为其一个例子，可以举出双酚F 二缩水甘油醚、双酚A 二缩水甘油 醚、2，2'-双(4-缩水甘油氧基环己基)丙烷、3，4_环氧环己基甲基-3，4-环氧环己烷羧 酸酯、乙烯基环己烯二氧化物、2- (3，4-环氧环己基)-5，5-螺-(3，4-环氧环己烷)-1，3- 二
烧、双(3，4_环氧环己基)己二酸酯、1，2_环丙烷二羧酸双缩水甘油酯等。固化剂只要为在构成固化性树脂材料中可使用的材料，就没有特别限定。另外，在 本发明中，在将固化性树脂材料和添加添加剂后的光学材料的透射率进行比较的情况下， 使固化剂不包含在添加剂中。作为固化剂，可以优选使用酸酐固化剂及酚固化剂等。作为 酸酐固化剂的具体例，可以举出邻苯二甲酸酐、马来酸酐、偏苯三酸酐、均苯四酸酐、六氢 邻苯二甲酸酐、3-甲基-六氢邻苯二甲酸酐、4-甲基-六氢邻苯二甲酸酐、或3-甲基-六 氢邻苯二甲酸酐和4-甲基-六氢邻苯二甲酸酐的混合物、四氢邻苯二甲酸酐、纳迪克酸酐、 甲基纳迪克酸酐等。另外，可以根据需要含有固化促进剂。作为固化促进剂，只要固化性良 好、没有着色、不损害热固性树脂的透明性，就没有特别限定，例如可以使用2_乙基-4-甲 基咪唑(2E4MZ)等的咪唑类、叔胺、季铵盐、二氮杂双环十一碳烯等的双环式脒类及其衍生 物、膦、磷饿盐等，也可以将这些中的一种、或两种以上混合使用。(有机硅树脂)
可以使用具有以Si-O-Si为主链的硅氧烷键的有机硅树脂。作为该有机硅树脂， 可以使用由规定量的聚有机硅氧烷树脂构成的有机硅系树脂(例如参照特开平6-9937号 公报)。热固化性的聚有机硅氧烷树脂只要为通过利用加热的连续的水解_脱水缩合反 应而形成由硅氧烷键骨架引起的三维网状结构，就没有特别限制，一般具有在高温、长时间 的加热下显示固化性、一旦固化就难以因过热而再软化的性质。这样的聚有机硅氧烷树脂含有下述通式(A)作为构成单位，其形状可以为链状、 环状、网状形状的任何一种。((R1) (R2) SiO) n . . . (A)在上述通式㈧中，"R1 ”及"R2”表示同种或异种的取代或非取代的一价烃基。具体 来说，作为"R1 ”及"R2”，可以例示甲基、乙基、丙基、丁基等的烷基；乙烯基、烯丙基等的烯 基；苯基、甲苯基等的芳基；环己基、环辛基等的环烷基；或键合于这些基团的碳原子上的 氢原子被卤原子、氰基、氨基等代替的基团，例如氯甲基、3，3，3_三氟丙基、氰甲基、γ-氨 基丙基、Ν-( β -氨基乙基)-γ -氨基丙基等。"R1 ”及"R2”也可以为选自羟基及烷氧基的基 团。另外，上述通式㈧中，“η”表示50以上的整数。聚有机硅氧烷树脂通常溶解于甲苯、二甲苯、石油系溶剂这样的烃系溶剂、或这些 溶剂与极性溶剂的混合物中使用。另外，在能相互溶解的范围内，也可以配合组成不同的物 质使用。聚有机硅氧烷树脂的制造方法没有特别的限定，可以使用公知的任一种方法。例 如，可以将有机卤代硅烷的一种或两种以上的混合物通过水解或醇解而得到，聚有机硅氧 烷树脂一般含有硅烷醇基或烷氧基等水解性基团，将这些基团换算为硅烷醇基含有1 10 质量％。这些反应一般在能熔融有机卤代硅烷的溶剂的存在下进行。另外，也可以通过将 在分子链末端具有羟基、烷氧基或商原子的直链状的聚有机硅氧烷与有机三氯硅烷共水解 而合成嵌段共聚物的方法来得到。这样得到的聚有机硅氧烷树脂一般含有残留的HCl，在本 实施方式的组合物中，从保存稳定性良好考虑，可以使用IOppm以下、优选Ippm以下的HC 1 的聚硅氧烷树脂。在晶片透镜1的制造中，作为成型用的模，可使用图2的母模成型模(以下简称为 “母模”)10、副母模成型模(以下简称为“副母模”)20。〈母模〉如图2所示，母模10相对立方体状的基底部12，以阵列状形成了多个凸部14。凸 部14为与晶片透镜1的透镜部5对应的部位，以大致半球形状突出。予以说明的是，母模 10的外形状可以这样为四角形，也可以为圆形。本发明的权利范围不受该差异限制，以下以 四角形状为例进行说明。母模10的光学面形状(表面形状)可以如图2所示具有形成了凸部14的凸形 状，也可以如图4所示具有形成了多个凹部16的凹形状。其中，这些凸部14、凹部16的表 面(成型面)形状形成为与成型转印于玻璃基板3上的透镜部5的光学面形状(与玻璃基 板3相反的面的形状)对应的正形状。在以下的说明中，使图2的母模10为“母模10Α”、 使图4的母模10为“母模10Β”而进行区别。
作为母模IOA的材料，在通过切削、研削等的机械加工来创制光学面形状的情况 下，可以使用金属或金属玻璃。作为分类，可以举出铁系材料、其它合金。作为铁系可以 举出热模具、冷模具、塑料模具、高速度工具钢、一般结构用压延钢材、机械结构用碳钢、 铬 钼钢、不锈钢。其内，作为塑料模具，有预硬钢、回火钢、时效处理钢。作为预硬钢，可以 举出SC系、SCM系、SUS系。更具体而言，SC系有PXZ。SCM系可以举出HPM2、HPM7、PX5、 IMPAX。SUS 系可以举出 HPM38、HPM77、S-STAR、G-STAR、STAVAX、RAMAX-S、PSL。另外，作为 铁系的合金，可以举出特开2005-113161号公报、特开2005-206913号公报。非铁系的合 金主要熟知铜合金、铝合金、锌合金。作为例子，可以举出特开平10-219373号公报、特开 2000-176970号公报中所示的合金。作为金属玻璃的材料，PdCuSi, PdCuSiNi等由于在金 刚石切削中的被削性高、工具的磨损少而适合。另外，无电解、电解的镍磷镀敷等的非晶态 合金也由于在金刚石切削中的被削性良好而适合。这些高被削性材料可以构成母模IOA全 体，也可以通过镀敷、溅射等的方法特别是只覆盖光学转印面的表面。另外，作为母模IOA的材料，机械加工稍微难，但也可以使用玻璃。如果母模IOA 中使用玻璃，则也可以得到使UV光透过这样的优点。只要为一般使用的玻璃，就没有特别 限定。特别是作为母模IOA的塑模成型用材料，可以举出如低熔点玻璃、及金属玻璃之 类的在低温可以容易地确保流动性的材料。如果使用低熔点玻璃，则在成型UV固化性 的材料时，也可以从样品的模具侧照射，因此是有利的。作为低熔点玻璃，可以举出玻璃 化转变温度在600°c左右或其以下的玻璃、且玻璃组成为ZnO-PbO-B2Oy PbO-SiO2-B2O3、 PbO-P2O5-SnF2等。另外，作为在400°C以下熔融的玻璃，可以举出PbF2-SnF2-SnO-P2O5及其类 似结构品。作为具体的材料，可以举出S-FPL51、S-FPL53、S-FSL5、S-BSL7、S-BSM2、S-BSM4、 S-BSM9、S-BSM10、S-BSM14、S-BSM15、S-BSM16、S-BSM18、S-BSM22、S-BSM25、S-BSM28、 S-BSM71、S-BSM81、S-NSL3、S-NSL5、S-NSL36、S-BAL2、S-BAL3、S-BAL11、S-BAL12、S-BAL14、 S-BAL35、S-BAL41、S-BAL42、S-BAM3、S-BAM4、S-BAMl2, S-BAH10、S-BAHlU S-BAH27、 S-BAH28、S-BAH32、S-PHM52、S-PHM53、S-TILl、S-TIL2、S-TIL6、S-TIL25、S-TIL26、S-TIL27、 S-TIMl、S-TIM2、S-TIM3、S-TIM5、S-TIM8、S-TIM22、S-TIM25、S-TIM27、S-TIM28、S-TIM35、 S-TIM39、S-TIHl、S-TIH3、S-TIH4、S-TIH6、S-TIH10、S-TI H11、S-TIH13、S-TIH14、S_TIH18、 S-TIH2 3、S-TIH5 3、S-LAL7、S-LAL8、S-LAL9、S-LAL10、S-LAL12、S-LAL13、S-LAL14、S-LAL18、 S-LAL54、S-LAL56、S-LAL58、S-LAL59、S-LAL61、S-LAM 2、S-LAM3、S-LAM7、S-LAM51、 S-LAM52、S-LAM54、S-LAM55、S-LAM58、S-LAM59、S-LAM60、S-LAM61、S-LAM66、S-LAH51、 S-LAH52、S-LAH53、S-LAH55、S-LAH58、S-LAH59、S-LAH60、S-LAH63、S-LAH64、S-LAH65、 S-LAH66、S-LAH71、S-LAH79、S-YGH51、S-FTMl6, S-NBM51、S-NBH 5、S-NBH8、S-NBH51、 S-NBH52、S-NBH53、S-NBH55、S-NPHU S-NPH 2、S-NPH53、P-FKOIS, P-FKH2S、P-SK5S、 P-SK12S、P-LAK13S、P-LASF03S、P-LASFHlIS, P-LASFHl2S 等，但不必特别限定于这些材料。另外，金属玻璃同样也可以通过塑模来容易地成型。作为金属玻璃，可以举出特开 平8-109419号公报、特开平8-333660号公报、特开平10-81944号公报、特开平10-92619 号公报、特开2001-140047号公报、特开2001-303218号公报、特表2003-534925号公报所 述的结构，但不必特别限定于这些。母模IOA的光学面可以为形成了单一的凸部14的面，也可以为如图2所示的以阵列状形成了多个凸部14的面。作为创制母模IOA的光学面的方法，有金刚石切削加工。如果母模IOA的光学面为形成了单一的凸部14的面，则可以通过将镍磷、铝合金、 易切削加工黄铜(真铸)或金属玻璃、非晶态合金等的材料用于模材料、用金刚石的工具进 行切削加工来实现。如果母模IOA的光学面为以阵列状形成了多个凸部14的面，则使用用金刚石形成 了切刃的球头立铣刀B(参照图13)来切削加工光学面形状。此时，由于工具的切刃不是完 全的圆弧，由于切刃的使用场所不同加工形状产生误差，因此期望对于光学面形状的任一 部分进行切削时，一边调整工具的倾斜度使得使用的切刃的位置处于相同、一边进行加工。具体而言，首先，用并进3轴将球头立铣刀B的刃尖圆弧中心定位于被加工物和工 具相接点的加工面的法线上。进而，使用旋转轴将切刃的使用位置Bl定位于被加工物和工 具的接触点。通过连续进行这样的工具位置控制，进行光学面形状的切削加工。由于在进行这样的加工时，加工机至少需要并进自由度3、旋转自由度1，如果不 是具有合计4以上的自由度的加工机就不能实现，因此在形成母模IOA的光学面的情况下， 使用具有4以上的自由度的加工机。〈副母模〉如图2所示，副母模20由副母模成型部22和副母模基板26构成。在副母模成型 部22中以阵列状形成多个凹部24。凹部24的表面(成型面)形状形成为与晶片透镜1中 的透镜部5对应的负形状，在该图中以大致半球形状凹陷。《副母模成型部》副母模成型部22由树脂22A形成。作为树脂22A，优选脱模性良好的树脂，特别优 选透明树脂。在即使不涂布脱模剂也可脱模方面优异。作为树脂，可以为光固化性树脂、热 固性树脂、热塑性树脂中的任一种。作为光固化性树脂，可以举出氟系树脂，作为热固性树脂，可以举出氟系树脂、有 机硅系树脂。其中，优选脱模性良好的树脂，即其固化时的表面能低的树脂。作为热塑性树 脂，可以举出聚碳酸酯、环烯烃聚合物等的透明、脱模性比较良好的烯烃系树脂。予以说明 的是，以氟系树脂、有机硅系树脂、烯烃系树脂的顺序脱模性变得良好。该情况下，也可不具 有副母模基板26。通过使用这样的树脂，可以使其弯曲，因此在脱模时更成为优势。以下，对于氟系树脂、有机硅系树脂、热塑性树脂详细进行说明。(氟系树脂)作为氟系树脂，可以举出PTFE(聚四氟乙烯)、PFA(四氟乙烯-全氟烷基乙烯基 醚共聚物)、FEP (四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(4，6氟化))、ETFE (四氟乙烯-乙烯共聚物)、 PVDF (聚偏氟乙烯(2氟化))、PCTFE(聚三氟氯乙烯(3氟化))、ECTFE (三氟氯乙烯-乙烯 共聚物)、PVF(聚氟乙烯)等。作为氟系树脂的优势，为脱模性、耐热性、耐化学品性、绝缘性、低摩擦性等，作为 缺点，由于结晶性而透明性差。由于熔点高，因此，在成型时需要为高温(300°C左右)。另外，成型方法为浇铸成型、注射成型、挤出成型、吹塑成型、传递成型等，其中特 别优选光透射性优异、可以注射成型、挤出成型的FEP、PFA、PVDF等。作为可以熔融成型的级别，例如可以举出旭硝子制Fluon PFA、住友3M社制 Dyneon PFA, Dyneon THV等。特别是Dyneon THV系列，由于低熔点(120°C左右)，因此可以在比较低的温度下成型，由于高透明，因此优选。另外，作为热固化性的非晶态氟树脂，旭硝子制寸^卜^ ，>一 K S也因高透 射率、良脱模性而优选。(有机硅系树脂)有机硅系树脂中有1液湿气固化型的树脂，和2液加成反应型、2液缩合型的树脂。作为优势，具有脱模性、柔软性、耐热性、阻燃性、透湿性、低吸水性、透明级别多 等，但作为缺点，具有线膨胀率大等。特别是含有PDMS (聚二甲基硅氧烷)结构这样的装模用途的有机硅树脂由于脱模 性良好而优选，期望RTV弹性体的高透明级别。例如优选>〒4 7· · /、°7才一^ > ^ · r -J 7 X制TSE3450 (2液混合、加成型)、旭化成口力一 ” 二一 >制ELAST0SIL M 4647 (2液型RTV有机硅橡胶)、另外信越* U 二一 >制的KE-1603 (2液混合、加成型RTV 橡胶)、東 > 夕‘々一二 > 7制的SH-9555 (2液混合、加成型RTV橡胶)、SYLGARD 184、ν ^ 求7卜184、WL-5000系列(感光性有机硅缓冲材料、通过UV可以构图)等。成型方法在2液型RTV橡胶的情况下，为室温固化或加热固化。(热塑性树脂)作为热塑性树脂，可以举出脂环式烃系树脂、丙烯酸类树脂、聚碳酸酯树脂、聚酯 树脂、聚醚树脂、聚酰胺树脂及聚酰亚胺树脂等的透明树脂，其中，特别优选使用脂环式烃 系树脂。如果用热塑性树脂构成副母模20，则可直接转用一直以来实施的注射成型技术， 可以容易地制作副母模20。另外，如果热塑性树脂为脂环式烃系树脂，则由于吸湿性非常 低，副母模20的寿命变长。另外，环烯烃树脂等的脂环式烃系树脂由于耐光性·光透射性 优异，因此在为了使活性光线固化性树脂固化，即使在使用UV光源等的短波长的光的情况 下，劣化也少，可以形成模具而长期使用。作为脂环式烃系树脂，可例示下述式(1)表示的树脂。[化1]上述式(1)中，“x”、“y”表示共聚比，为满足0/100彡y/x彡95/5的实数。“η”为 0、1或2，表示取代基Q的取代数。“R1”为选自碳数2 20的烃基组中的1种或2种以上 的(2+η)价的基团。“R2”为氢原子、或为选自由碳及氢构成的碳数1 10的结构组中的1 种或2种以上的1价的基团。“R3”为选自碳数2 20的烃基组中的1种或2种以上的2 价的基团。“Q”为选自COOR4(R4为氢原子、或选自由烃构成的碳数1 10的结构组中的1 种或2种以上的1价的基团)表示的结构组中的1种或2种以上的1价的基团。在上述通式(1)中，R1优选为选自碳数2 12的烃基组中的1种或2种以上的2 价的基团，更优选为下述通式(2)(式(2)中，ρ为0 2的整数)表示的2价的基团，进一 步优选为上述通式(2)中ρ为0或1的2价的基团。
在本实施方式中，共聚的类型没有特别限制，可以适用无规共聚、嵌段共聚、交替 共聚等的公知的共聚类型，优选为无规共聚。另外，本实施方式中使用的聚合物在不损害通过本实施方式的成型方法得到的制 品的物性的范围，根据需要也可以具有由其它可以共聚的单体衍生的重复结构单元。其共 聚比没有特别限定，优选为20摩尔％以下，进一步优选为10摩尔％以下，在该共聚比以上 进行共聚的情况下，恐怕得不到不损害光学特性的高精度的光学零件。此时的共聚的类型 没有特别限定，优选为无规共聚作为适用于副母模20的优选的热塑性脂环式烃系聚合物的另一个例子，可例示 含有具有脂环式结构的重复单元以使得具有下述通式(4)表示的脂环式结构的重复单元 (a)和下述式(5)及/或下述式(6)及/或下述式(7)表示的链状结构的重复单元(b)的 合计含量达到90质量％以上、而且重复单元(b)的含量为1质量％以上、不足10质量％的 聚合物。[化4][化5]
CN 101970220 A说 明 书11/23 页[化2]
Λ_/
J \Ti
GH-CH
/ V
HjG-CH2 ^ ( 2 >R1的结构可以仅使用1种也可以2种以上并用。作为R2的例子，可以举出氧原 子、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、2-甲基丙基等，优选为氢原子、及/或甲基，最优选 为氢原子。作为R3的例子，作为含有该基团的结构单元的优选的例子，在η = 0的情况下， 例如可以举出(a)、(b)、(c)(其中，式(a) (c)中、R1如上所述)等。另外，η优选为0。[化3]
14Fk
Ras .
Rai
ι
(5)[化6]
(6 )[化7]
R雄H
%) P1
%
Bgt
p4
(7>
R33分别独立地表示氢原子、链状烃基、
HR33在式(4)、式(5)、式(6)及式(7)中，R21 卤原子、烷氧基、羟基、醚基、酯基、氰基、氨基、酰胺基、甲硅烷基、及被极性基团(卤原子、 烷氧基、羟基、酯基、氰基、酰胺基、酰亚胺基、或甲硅烷基)取代了的链状烃基等。具体而 言，作为卤原子，可以举出氟原子、氯原子、溴原子、及碘原子，作为被极性基取代了的链状 烃基，例如可以举出碳原子1 20、优选1 10、更优选1 6的卤代烷基。作为链状烃基， 例如可以举出碳原子数1 20、优选1 10、更优选1 6的烷基；碳原子数2 20、优 选2 10、更优选2 6的烯基。上述式(4)中的X表示脂环式烃基，构成其的碳数通常为4个 20个、优选为4 个 10个、更优选为5个 7个。通过使构成脂环式结构的碳原子数为该范围内，可以降 低双折射。另外，脂环式结构不限于单环结构，例如可以为降莰烷环等的多环结构。脂环式烃基也可以具有碳-碳不饱和键，其含量为全部碳-碳键的10%以下、优 选为5%以下、更优选为3%以下。通过使脂环式烃基的碳-碳不饱和键为该范围，透明性、 耐热性提高。另外，在构成脂环式烃基的碳上也可以键合氢原子、烃基、卤原子、烷氧基、羟 基、酯基、氰基、酰胺基、酰亚胺基、甲硅烷基、及被极性基团(卤原子、烷氧基、羟基、酯基、 氰基、酰胺基、酰亚胺基、或甲硅烷基)取代了的链状烃基等，其中，氢原子或碳原子数1 6个的链状烃基在耐热性、低吸水性的方面是优选的。另外，上述式(6)在主链中具有碳-碳不饱和键，上述式(7)在主链中具有碳-碳 饱和键，但在强烈要求透明性、耐热性的情况下，不饱和键的含有率为构成主链的全部 碳-碳间键的通常10%以下、优选为5%以下、更优选为3%以下。在本实施方式中，脂环式烃系共聚物中的具有通式(4)表示的脂环式结构的重复
单元(a)和通式(5)及/或通式(6)及/或通式(7)表示的链状结构的重复单元(b)的合
计含量，以质量基准计，通常为90%以上、优选为95%以上、更优选为97%以上。通过使合
计含量为上述范围，可以使低双折射性、耐热性、低吸水性、机械强度高度平衡。
作为制造上述脂环式烃系共聚物的制造方法，可以举出使芳香族乙烯基系化合 物与可共聚的其它单体共聚、使主链及芳香环的碳_碳不饱和键氢化的方法。氢化前的共聚物的分子量，通过GPC测定的聚苯乙烯(或聚异戊二烯)换算重均 分子量(Mw)为1,000 1，000，000的范围、优选为5,000 500,000的范围、更优选为 10，000 300，000的范围。在共聚物的重均分子量(Mw)过度小时，由其得到的脂环式烃系 共聚物的成型物的强度特性差，相反，过度大时，氢化反应性差。作为在上述的方法中使用的芳香族乙烯基系化合物的具体例，例如可以举出苯 乙烯、α -甲基苯乙烯、α -乙基苯乙烯、α -丙基苯乙烯、α -异丙基苯乙烯、α -叔丁基苯 乙烯、2-甲基苯乙烯、3-甲基苯乙烯、4-甲基苯乙烯、2，4_ 二异丙基苯乙烯、2，4_ 二甲基苯 乙烯、4-叔丁基苯乙烯、5-叔丁基-2-甲基苯乙烯、单氯苯乙烯、二氯苯乙烯、单氟苯乙烯、 4-苯基苯乙烯等，优选苯乙烯、2-甲基苯乙烯、3-甲基苯乙烯、4-甲基苯乙烯等。这些芳香 族乙烯基系化合物可以分别单独使用，或组合2种以上使用。作为可共聚的其它单体，没有特别限定，可以使用链状乙烯基化合物及链状共轭 二烯化合物等，在使用链状共轭二烯的情况下，制造过程中的操作性优异，另外得到的脂环 式烃系共聚物的强度特性优异。作为链状乙烯基化合物的具体例，例如可以举出乙烯、丙烯、1-丁烯、1-戊烯、 4-甲基-1-戊烯等的链状烯烃单体；1-氰基乙烯(丙烯腈)、1_氰基-1-甲基乙烯(甲基 丙烯腈)、1-氰基-I-氯乙烯(α -氯丙烯腈)等的腈系单体；1-(甲氧基羰基)-1-甲基乙 烯(甲基丙烯酸甲酯)、1_(乙氧基羰基)-ι-甲基乙烯(甲基丙烯酸乙酯)、1_(丙氧基羰 基)-1_甲基乙烯(甲基丙烯酸丙酯)、1_( 丁氧基羰基)-ι-甲基乙烯(甲基丙烯酸丁酯)、 1-甲氧基羰基乙烯(丙烯酸甲酯)、1-乙氧基羰基乙烯(丙烯酸乙酯)、1-丙氧基羰基乙烯 (丙烯酸丙酯)、1-丁氧基羰基乙烯(丙烯酸丁酯)等的(甲基)丙烯酸酯系单体、1-羧基 乙烯(丙烯酸)、1-羧基-1-甲基乙烯(甲基丙烯酸)、马来酸酐等的不饱和脂肪酸系单体 等，其中，优选链状烯烃单体，最优选乙烯、丙烯、1-丁烯。链状共轭二烯例如可以举出1，3-丁二烯、异戊二烯、2，3-二甲基-1，3-丁二烯、 1，3_戊二烯、及1，3_己二烯等。在这些链状乙烯基化合物及链状共轭二烯中，优选链状共 轭二烯，特别优选丁二烯、异戊二烯。这些链状乙烯基化合物及链状共轭二烯可以分别单独 使用，也可以组合2种以上使用。聚合反应可以为自由基聚合、阴离子聚合、阳离子聚合等，没有特别的限制，在考 虑聚合操作、后工序中氢化反应的容易度、及最终得到的烃系共聚物的机械强度时，优选阴
闻丁水口 7衣。在阴离子聚合的情况下，可以在引发剂的存在下、在通常0°C 200°C、优选 20°C 100°C、特别优选20°C 80°C的温度范围中、使用本体聚合、溶液聚合、淤浆聚合等 的方法，在考虑除去反应热时，优选溶液聚合。在该情况下，使用可以溶解聚合物及其氢化 物的惰性溶剂。溶液反应中使用的惰性溶剂例如可以举出正丁烷、正戊烷、异戊烷、正己 烷、正庚烷、异辛烷等的脂肪族烃类；环戊烷、环己烷、甲基环戊烷、甲基环己烷、萘烷等的脂 环式烃类；苯、甲苯等的芳香族烃类等。作为上述阴离子聚合的引发剂，例如可以使用正丁 基锂、仲丁基锂、叔丁基锂、己基锂、苯基锂等的单有机锂，二锂甲烷(di 1 ithiomethane)、1， 4-diobutaneU,4- 二锂-2-乙基环己烷等的多官能性有机锂化合物等。
在进行氢化前的共聚物的芳香环、环烯烃环等的不饱和环的碳-碳双键、主链的 不饱和键等的氢化反应的情况下，反应方法、反应方式没有特别的限制，可根据公知的方法 进行，但优选可以提高氢化率、而且与氢化反应同时发生的聚合物链断裂反应少的氢化方 法，例如可以举出在有机溶剂中使用含有选自镍、钴、铁、钛、铑、钯、钼、钌、及铼中的至少1 种的金属的催化剂进行的方法。氢化反应通常为10°c 250°C，从可以提高氢化率、且可以 减小与氢化反应同时发生的聚合物链断裂反应这样的理由考虑，优选为50°C 200°C、更 优选为80°C 180°C。另外氢压力通常为0. IMPa 30MPa，除了上述理由，从操作性的观点 考虑，优选为IMPa 20MPa、更优选为2MPa lOMPa。这样得到的氢化物的氢化率在利用1H-NMR的测定中，主链的碳-碳不饱和键、芳 香环的碳_碳双键、不饱和环的碳_碳双键的任一种通常均为90%以上、优选95%以上、更 优选97%以上。在氢化率低时，得到的共聚物的低双折射性、热稳定性等下降。在氢化反应结束后回收氢化物的方法没有特别限定。通常，可以使用通过过滤、 离心分离等方法除去氢化催化剂残渣后、将溶剂从氢化物的溶液直接通过干燥而除去的方 法；将氢化物的溶液注入对于氢化物而言为不良的溶剂中、使氢化物凝固的方法。《副母模基板》副母模基板26为即使仅在副母模20的副母模成型部22中强度劣化的情况下，也 可以通过在基板上粘贴树脂而副母模20的强度提高、可以多次成型这样的内衬材料。作为副母模基板26，如果为石英、有机硅晶片、金属、玻璃、树脂等、显示平滑性的 材料，均可以。在透明性的观点，考虑无论从副母模20的上面还是从下面都可以进行UV照射的 方面时，优选透明的模，例如石英、玻璃、透明树脂等。透明树脂可以为热塑性树脂、热固性 树脂、UV固化性树脂的任一种，也可以在树脂中添加微粒子而具有降低线膨胀系数等的效 果。这样通过使用树脂，由于与玻璃相比能弯曲，因此在脱模时更容易脱模，但由于树脂的 线膨胀系数大，如果在UV照射时产生热，则存在形状变形而不能完美地进行转印的缺点。予以说明的是，副母模基板26和形成了透镜用的固化性树脂的玻璃基板3，为了 抑制玻璃基板的面内方向的尺寸误差的产生，也优选线膨胀系数接近。具体而言，优选双方 的线膨胀系数的差为3X 10_5[/K]以下，其意味着优选副母模基板26也为玻璃基板。以下，一边参照图3 —边对于晶片透镜1的制造方法进行说明。如图3(a)所示，在母模IOA上涂布树脂22Α，将母模IOA的凸部14转印于树脂 22Α，使树脂22Α固化，对于树脂22Α形成多个凹部24。由此，形成副母模成型部22。予以说明的是，在图3中母模IOA和副母模成型部22形成了相同数量的凹部、凸 部，但由于副母模成型部22作为晶片透镜需要面积广、具有多个负形状的成型部，因此可 以为通过一边分步&反复形成小面积的母模IOA—边进行成型而成型为如副母模成型部这 样面积广、具有多个成型部的成型模的方法。例如，用具有如图3所示的3X3个光学面形 状的母模10Α，在构成副母模成型部的树脂22Α上一边依次使位置错开一边进行压印成型， 由此可以在基板上形成具有与如图9所示的6X6个光学面形状对应的成型面的副母模成 型部。树脂22Α可以为热固化性、也可以为光固化性、也可以为挥发固化性(溶剂挥发而固 化的HSQ(氢化硅倍半氧烷类等)。在重视高精度的成型转印性的情况下，由于在固化中不 施加热，因此优选树脂22A的热膨胀的影响少的利用UV固化性、挥发固化性树脂的成型，但不限于此。由于与固化后的母模IOA的剥离性良好的树脂22A在剥离时不需要大的力，因 此不会使成型光学面形状等不注意地变形，更优选。在树脂22A (副母模成型部22的材料)、树脂5A (透镜部5的材料)为固化性树脂 的情况下，母模IOA的光学面形状(凸部14)优选预测树脂22k的固化收缩、树脂5A的固 化收缩来设计。在母模IOA上涂布树脂22A的情况下，使用喷涂、旋涂、滴加、排出等的手法。在该 情况下，也可以一边抽真空一边涂布树脂22A。如果一边抽真空一边涂布树脂22A，则可不 在树脂22A中混入气泡地使树脂22A固化。予以说明的是，在此表示出了在母模IOA上涂布树脂的例子，也可以在另外配置 的基板上将形成副母模成型部的树脂分别滴加或排出在母模IOA被压印的位置，由母模 IOA进行压印，将其分别固化而形成。另外，为了容易地将固化了的树脂22A从母模IOA剥离，优选在母模IOA的表面涂 布脱模剂。在涂布脱模剂的情况下，进行母模IOA的表面改性。具体而言，使OH基立在母模 IOA的表面。表面改性的方法可以为UV臭氧清洗、氧等离子体灰化等使OH基立在母模IOA 的表面上的任意的方法。作为脱模剂，可以举出如硅烷偶联剂结构那样在末端键合有可水解的官能团的材 料，即具有在与存在于金属的表面的OH基之间弓丨起脱水缩合或氢键合等而进行键合这样 的结构的材料。在末端具有硅烷偶联结构、另一端具有脱模性功能的脱模剂的情况下，越在 母模IOA的表面形成OH基，母模IOA表面的进行共价键合的位置越增多，可以形成更牢固 的键。其结果，即使进行多次注射(〉3 7卜)成型，脱模效果也不变弱，耐久性增加。另 外，由于不需要形成底漆(基底层、SiO2涂层等)，因此可以在保持薄膜的情况下得到耐久 性提高的效果。所谓在末端键合有可水解的官能团的材料，优选可举出包含作为官能团的烷氧基 硅烷基、卤化硅烷基、季铵盐、磷酸酯基等的材料。另外，末端基团也可以为例如三嗪硫醇这 样的与模具发生强的键合的基团。具体而言，为具有如下通式所示的烷氧基硅烷基(8)或 卤化硅烷基(9)的材料。-Si (ORl) nR2 (3_n) (8)-SiXmR3 (3_m) (9)其中，Rl及R2为烷基(例如，甲基、乙基、丙基、丁基等)，η及m为1、2或3，R 3 为烷基(例如，甲基、乙基、丙基、丁基等)或烷氧基(例如，甲氧基、乙氧基、丁氧基等)。X 为卤原子(例如，Cl、Br、I)。另外，在R1、R2、R3或X的2个以上与Si键合的情况下，也可以在上述的基团或原 子的范围内、例如2个Rm为如烷基和烷氧基这样地不相同。烷氧基硅烷基-SiORl及卤化硅烷基-SiX与水分反应而形成-SiOH，进而其与存在 于玻璃、金属等的模材料的表面的OH基之间发生脱水缩合或氢键合等而进行键合。图12表示在末端使用作为可水解的官能团的一个例子的烷氧基硅烷基的脱模 剂、和母模IOA表面的OH基的反应图。图12(a)中，-OR表示甲氧基(-OCH3)、乙氧基(-OC2H5)，通过水解而产生甲醇(CH3OH)、乙醇(C2H5OH),形成图12(b)的硅烷醇(-SiOH)。其后，部分脱水缩合，图12 (c)所 示形成硅烷醇的缩合物。进而，如图12(d)所示，通过与母模10 (无机材料)表面的OH基 的氢键而吸附，最后，如图12(e)所示脱水，形成-0-化学键(共价键)。予以说明的是，图 12显示烷氧基硅烷基团的情况，在卤化硅烷基的情况下，也基本上发生同样的反应。即在本发明中使用的脱模剂，在其一端在母模IOA表面进行化学键合，在另一端 将功能性基团取向，覆盖母模10A，可以形成薄、耐久性优异的均勻的脱模层。作为具有脱模性功能侧的结构而优选的是表面能低的结构、例如氟取代烃基、烃 基。(功能性侧为氟系的脱模剂)作为氟取代烃基，特别优选在分子结构的一端具有CF3(CF2)a-基、 CF3 · CF3 · CF (CF2) b-基等的全氟基团(a及b为整数)的氟取代烃基，另外，优选全氟基团 的长度以碳数计为2个以上，接着CF3(CF2)a-的CF3上的CF2基团的数为5以上是合适的。另外，全氟基团为直链不是必要的，也可以具有支链结构。进而，作为近年的环境 问题的应对，也可以为CF3 (CF2) C-(CH2) Cl-(CF2)e-这样的结构。在该情况下，c为3以下，d 为整数(优选为l)、e为4以下。上述的氟脱模剂通常为固体，将其涂布于母模IOA的表面，需要形成溶解于有机 溶剂的溶液。虽然根据脱模剂的分子结构而不同，但多数情况下作为该溶剂优选氟化烃系 的溶剂或在其中混合有若干有机溶剂的溶剂。溶剂的浓度没有特别限定，由于需要的脱模 膜的特征为特别薄，因此浓度低的溶剂是充分的，可以为1 3质量％。将该溶液涂布于母模IOA表面，可以使用浸渍涂布、喷涂、刷涂、旋涂等的通常的 涂布方法。涂布后通常通过自然干燥使溶剂蒸发而形成干燥涂膜，此时涂布的膜厚不应该 特别规定，但20 μ m以下是适当的。作为具体例，可以举出夕· 4 ^ >工业制才—卟DSX、〒·-，寸一 7 HD-1100, HD-2100、住友3M制^ ^ , ” EGC1720、竹内真空被膜制三嗪硫醇的蒸镀、AGC制非晶态氟寸 λ卜7 7°夕’l· 一卜、Μ、工3 7 4 于丨J 7卟制防污涂料0PC-800等。(功能性侧为烃系的脱模剂)作为烃基，可以如CnH2n+1这样为直链，也可以为支化。有机硅系脱模剂包含在该分 类中。以往，作为是以有机聚硅氧烷树脂为主要成分的组合物、形成显示拒水性的固化 皮膜的组合物，已知数量很多的组合物。例如在特开昭55-48245号公报中提案有以下的组 合物包含含羟基的甲基聚硅氧烷树脂、α，ω-二羟基二有机聚硅氧烷和有机硅烷的、固 化而形成脱模性、防污性优异、显示拒水性的皮膜的组合物。另外，特开昭59-140280号公 报中提案有以下的组合物为将以含全氟烷基的有机硅烷和含氨基的有机硅烷为主要成分 的有机硅烷的部分共水解缩合物作为主剂的组合物、形成拒水性、拒油性优异的固化皮膜 的组合物。作为具体例，可以举出AGC七4 W笑力卟制毛一卟卜·、；^ “夕卜，夕毛卜7 7 A ^ \ * A制才A另午”卞SIC-330、434，東 > 夕·々夂笑力A制SR-2410等。另外，作 为自组装单分子膜，可以举出日本曹达制SAMLAY。在树脂22A为光固化性树脂的情况下，点亮配置于母模IOA的上方的光源50而进行光照射。作为光源50，可以举出高压水银灯、金属卤化物灯、氙灯、卤素灯、荧光灯、黑光灯、 G灯、F灯等，可以为线状光源，也可以为点状光源。高压水银灯为在365nm、436nm具有窄 的光谱的灯。金属卤化物灯为水银灯的一种，紫外区的输出功率比高压水银灯高数倍。氙 灯为具有最接近太阳光的光谱的灯。卤素灯含有许多长波长的光、是近红外光为大部分的 灯。荧光灯具有光的三原色均等的照射强度。黑光灯为在351nm处具有峰顶、放射300nm 400nm的近紫外光的灯。在由光源50进行光照射的情况下，可以将多个线状或点状的光源50以格子状配 置并一次使光到达树脂22A的整个面，也可以对于树脂22A的表面平行地扫描线状或点状 的光源50，使得光依次到达树脂22k。在该情况下，优选对于光照射时的亮度分布、照度(强 度)分布进行测定，基于其测定结果来控制照射次数、照射量、照射时间等。使树脂22A进行光固化后(副母模20的制作后)、也可以对于副母模20进行后固 化(加热处理)。即，如果进行最初被填充的树脂的光固化后进行加热处理，可以使副母模 20的树脂22A完全固化，可以延长副母模20的模寿命。另外，虽然在此以副母模的固化为 例进行记述，当然不必说，在将形成光学形状的树脂进行成型、固化的情况下也同样可以适 用后固化。在该情况下，如果在成型模和基板之间填充树脂、在成型模没有脱模的状态下进 行加热处理，则可以一同使成型模的转印性和从成型模的脱模性提高。予以说明的是，加热处理将加热温度设定为多个阶段，通过使第1阶段的温度为 低温、使第2阶段的温度比第1阶段的温度高，可以使在第1阶段模向树脂的转印性提高、 使在第2阶段树脂从模的脱模性进一步提高，因此优选。在该情况下，第1阶段的温度更优选70 90°C、第2阶段的温度更优选100 250 "C。另外，加热处理可以将树脂从模脱模后进行，但在该情况下，也可以如在脱模前进 行第1加热处理、在脱模前进行第2加热处理这样插入脱模工序而将加热处理分开来进行。 通过这样处理，特别是在用成型模成型透镜(在此为副母模)的情况下，可以缩短占据成型 模的时间，缩短循环时间，生产率提高。予以说明的是，脱模前的第1加热处理和脱模后的第2加热处理在与上述循环时 间的关系上也可以与上述同样、使加热温度以低一高或高一低地进行变化。在树脂22A为热固性树脂的情况下，一边将加热温度、加热时间控制在最佳的范 围一边加热树脂22k。树脂22A也可以通过注射成型、加压成型、光照射之后进行冷却等的 手法进行成型。如图3(b)所示，对于副母模成型部22(树脂22A)的背面(与凹部24相反的面) 安装副母模基板26，内衬副母模成型部22。副母模基板26可以为石英，也可以为玻璃板，重要的是具有充分的弯曲强度和UV 透射率。为了提高副母模成型部22和副母模基板26的密合性，也可以进行对于副母模基 板26涂布硅烷偶联剂等的处理。予以说明的是，在如上所述，将母模IOA的凸部14转印于树脂22A、树脂22k固化 后(即，形成副母模成型部22后)、安装副母模基板26的情况下，使用粘接剂。相反，也可以可以将母模IOA的凸部14转印于树脂22A、树脂22A固化前安装副母模基板26。该情况下，不使用粘接剂，通过树脂22A的付着力张贴副母模基板26，或在副母 模基板26上涂布偶联剂而增强付着力，对于树脂22k附着副母模基板26。作为一边用副 母模基板26进行内衬一边使其固化的方法，例如有以下方法等使用热固性树脂作为树脂 22A，在母模IOA和副母模基板26之间在填充了该树脂22A的状态下将它们投入烘焙炉的 方法；使用UV固化性树脂作为树脂22A，同时使用UV透射性的基板作为副母模基板26，在 母模IOA和副母模基板26之间在填充了该树脂22A的状态下从副母模基板26侧对于树脂 22A照射UV光的方法。另外，用副母模基板26内衬副母模成型部22 (树脂22A)时，优选使用一直以来 公知的真空卡盘装置260，一边将副母模基板26吸引保持于该真空卡盘装置260的吸引面 260A、一边使该吸引面260A相对母模IOA中的凸部14的成型面为平行的状态，用副母模基 板26内衬副母模成型部22。由此，副母模20的背面20A(副母模基板26侧的面)相对母 模IOA中的凸部14的成型面为平行，在副母模20中凹部24的成型面与背面20A平行。因 此，如后所述，在通过副母模20成型透镜部5时，由于可以使副母模20的基准面、即背面 20A与凹部24的成型面平行，因此可以防止透镜部5偏心、或在厚度上具有不均，使透镜部 5的形状精度提高。可以高地维持透镜性能。另外，由于通过真空卡盘装置260吸引保持副 母模20，因此可以只通过真空排气的开/关来装卸副母模20。因此，可以容易地进行副母 模20的配置。另外，对于母模IOA也通过与上述真空卡盘装置260的吸引面260A平行的 第2真空卡盘装置而进行吸引保持时，在将固化了的副母模20从母模IOA剥离这样的最需 要慎重且注意的作业中，通过在两者固化密合的状态下将真空卡盘为OFF，可简单地从成型 装置卸下，可以在装置制约少的广阔环境下、其它装置上进行可靠的剥离作业。另外，在该 作业中通过真空卡盘将其它母模和副母模基板安装于成型装置时，可以连续进行副母模的 成型。在此，所谓背面20A相对凹部24的成型面为平行，具体而言，是指背面20A相对凹 部24的成型面中的中心轴为垂直。另外，真空卡盘装置260的吸引面260A优选用陶瓷材料制作。在该情况下，吸引 面260A的硬度提高，难以因副母模20 (副母模基板26)的装卸而对于该吸引面260A造成 损伤，因此，可以维持高的吸引面260A的面精度。另外，作为这样的陶瓷材料，优选使用氮 化硅、塞隆(寸4 7 口 > )。在该情况下，由于线膨胀系数小，为1.3X10_6[/K]，因此可相对 温度变化而维持高的吸引面260Α的平面度。予以说明的是，也可以通过使副母模20的内衬有副母模基板的面为平坦面、将玻 璃基板或副母模基板静电卡盘而在真空中成型。予以说明的是，在本实施方式中，作为使吸引面260Α相对母模IOA中的凸部14的 成型面为平行的状态的手法，使用如下的手法。首先，将母模IOA的表背面高精度地平行化。由此，在母模IOA上，凸部14的成型 面和背面变得平行。另外，相对从背面(与凸部14相反侧的面)侧支撑该母模IOA的支持面260Β、和 吸引面260Α，分别突出设置基准部件260C、260D。在此，这些基准部件260C、260D的形状设 定为以下形状，即，以支撑面260B及吸引面260A相互平行的状态母模IOA和副母模20抵 接时稳定地相互抵接的形状。
由此，通过使基准部件260C、260D之间抵接，相对吸引面260A，母模IOA的支撑面 260B、甚至母模10中的凸部14的成型面变得平行。但是，在上述的手法中，基准部件可以设置于支撑面260B及吸引面260A的至少一 者上，例如在只在支撑面260B设置基准部件的情况下，该基准部件的形状可设定为以下形 状，即，在支撑面260B及吸引面260A相互平行的状态下母模IOA和副母模20抵接时，相对 吸引面260A稳定地抵接的形状。同样，在只在吸引面260A设置基准部件的情况下，该基准 部件的形状可形成为以下形状，即，在支撑面260B及吸引面260A相互平行的状态下母模 IOA和副母模20抵接时，相对支撑面260B稳定地抵接的形状。利用这样的机械抵接的平行 度，可不具有特别的对准装置地实现数秒角度左右的再现性。如图3 (c)所示，将副母模成型部22和副母模基板26从母模IOA脱模，形成副母 模20。如果作为树脂22A使用PDMS (聚二甲基硅氧烷)等的树脂，与母模10的脱模性非 常好，因此从母模10的剥离不需要大的力，不会使成型光学面变形，因此良好。如图3(d)所示，在副母模20和玻璃基板3之间填充树脂5A使其固化。更详细而 言，对于副母模20的凹部24填充树脂5A，从其上方一边挤压玻璃基板3 —边使树脂5A固 化。在副母模20的凹部24中填充树脂5A的情况下，也可以一边抽真空一边填充树脂 5A。如果一边抽真空一边填充树脂5A，可以不在树脂5A中混入气泡地将树脂5A固化。也可以代替在副母模20的凹部24中填充树脂5A，在玻璃基板3上涂布树脂5A， 形成将涂布有树脂5A的玻璃基板3挤压于副母模20上的构成。在挤压玻璃基板3的情况下，优选玻璃基板3被赋予用于与副母模20轴对准的结 构。在玻璃基板3呈圆形状的情况下，例如优选形成D切口、I切口、印记、切去部等。也可 以将玻璃基板3形成为多角形状，在该情况下，与副母模20的轴对准容易。另外，也可以在 玻璃基板3的背面成型时将与表面侧的成型光学面的同轴度的标记图案在表面侧的成型 时与光学面同时成型转印。予以说明的是，在将副母模20挤压于基板3时，连接作为副母模20的成型部的凹 部间的平坦部与玻璃基板3的间隔决定了之后被填充的树脂的溢出导致的残膜的厚度，这 样的残膜在固化时恐怕因向基板的面内方向的收缩而引起尺寸误差，因此不优选。因此，该平坦部与玻璃基板的间隔为IOOym以下，进一步可优选50 μ m以下。在使树脂5A固化的情况下，可以将配置于副母模20的下方的光源52点亮而从副 母模20侧进行光照射，也可以将配置于玻璃基板3的上方的光源54点亮而从玻璃基板3 侧进行光照射，也可以将光源52、54双方同时点亮而从副母模20侧和玻璃基板3侧的两侧 进行光照射。作为光源52、54，可以使用与上述光源50同样的高压水银灯、金属卤化物灯、氙 灯、卤素灯、荧光灯、黑光灯、G灯、F灯等，可以为线状光源，也可以为点状光源。在从光源52、54进行光照射的情况下，可以将多个线状或点状的光源52、54格子 状以配置，使光一次到达树脂5A，也可以将线状或点状的光源52、54对于副母模20、玻璃基 板3平行地扫描使得光依次到达树脂5A。在该情况下，优选对于光照射时的亮度分布、照度 (强度)分布进行测定，根据该测定结果来控制照射次数、照射量、照射时间等。
在树脂5A固化时，形成透镜部5。其后，使透镜部5和玻璃基板3从副母模20脱 模，制造晶片透镜1 (该晶片透镜1只在玻璃基板3的表面形成透镜部5)。在将晶片透镜1从副母模20脱模的情况下，也可以预先在晶片透镜1 (玻璃基板 3)和副母模20之间设置拉伸层60，通过对于拉伸层60进行拉伸使得晶片透镜1从副母模 20脱模。在副母模20的副母模基板26为弹性原材料(树脂)的情况下，也可以将其稍稍 折弯以将晶片透镜1从副母模20脱模，在玻璃基板3代替玻璃而为弹性原材料(树脂)的 情况下，也可以将其稍稍折弯使得晶片透镜1从副母模20脱模。如果将晶片透镜1从副母模20稍微剥离而在两部件间形成间隙，则也可以将空气 或纯水压送到该间隙中使得晶片透镜1从副母模20脱模。予以说明的是，在以上的说明中，对于在玻璃基板3的单面设置透镜部5的方法进 行了说明，在两面设置的情况下，首先，准备具有多个与玻璃基板3的一面的透镜部5的光 学面形状对应的正形状的成型面的母模(未图示)、和具有多个与另一面的透镜部5的光学 面形状对应的正形状的成型面的母模，使用这些各母模形成副母模20C、20D(参照图3(e)、 (f))。由此，副母模20C具有与玻璃基板3的一面的透镜部5的光学面形状对应的负形状 的成型面，副母模20D具有与另一面的透镜部5的光学面形状对应的负形状的成型面。而 且，在各副母模20C、20D、和玻璃基板3之间填充树脂5A后，同时使树脂5A固化，在玻璃基 板3的两面成型透镜部5。由此，由于树脂5A不会仅在玻璃基板3的单面固化收缩，而是树 脂5A在两面同时固化收缩而分别形成透镜部5，因此与在各面依次设置透镜部5的情况不 同，可以防止玻璃基板3的翘曲，因此可以使透镜部5的形状精度提高。予以说明的是，所 谓使玻璃基板3的两面的树脂5A同时固化，是指在同一固化工艺中使树脂5A完全地固化， 不必要同时开始 结束固化，例如也可以在使副母模20C和玻璃基板3之间的树脂5A增粘 到规定的粘度后，使该树脂5A和另一树脂5A完全地固化。在此，在副母模20C、20D和玻璃基板3之间填充树脂5A，可以使用3种手法。在第1种手法中，如图3(e)、(f)所示，将树脂5A滴加或排出在副母模20C的上 面后，使该副母模20C和配设于其上方的玻璃基板3抵接，形成在这些玻璃基板3及副母模 20C之间填充了树脂5A的状态后，使玻璃基板3及副母模20C在相互抵接的状态下一体地 上下反转，将树脂5A滴加或排出在副母模20D的上面后，使该副母模20D和配设于其上方 的玻璃基板3抵接，形成在这些玻璃基板3及副母模20D之间填充了树脂5A的状态。在使 玻璃基板3及副母模20C以相互抵接的状态一体地上下反转时，在两者通过真空卡盘而被 吸引保持的情况下，可以通过其0FF/0N操作而简单地实现。在第2种手法中，将树脂5A滴加或排出在玻璃基板3的上面后，将该玻璃基板3 和配设于其上方的副母模20C抵接，形成在这些玻璃基板3及副母模20C之间填充了树脂 5A的状态，同时将树脂5A滴加或排出在副母模20D的上面后，使该副母模20D和配设于其 上方的玻璃基板3抵接，形成在这些玻璃基板3及副母模20D之间填充了树脂5A的状态。在第3种手法中，在玻璃基板3的单侧的每个光学面依次进行成型固化，但为了防 止固化收缩引起的翘曲，在两面的成型固化结束前不进行最初的成型面的脱模。因此，在最 初的固化成型中，副母模20C即使在填充了的树脂5A固化后也抵接、在该状态下通过副母 模20D进行相反面的成型。玻璃基板3在利用副母模20C的成型中，由于树脂5A的固化收缩而在成型面侧受到拉伸力，但通过在与副母模20C抵接的状态下受该该拉伸力，防止了 翘曲。在该状态下，在通过副母模20D进行相反面的树脂5A的填充和成型固化时，与该侧的 固化收缩引起的拉伸力均衡，即使将副母模20C、20D进行脱模，玻璃基板3也不产生翘曲。予以说明的是，在使玻璃基板3和副母模20C、20D抵接时，优选在其间不残留有气 泡地进行。另外，作为这里使用的树脂5A，可以为热固性树脂，也可以为UV固化性树脂，还 可以为挥发固化性树脂(HSQ等)。在使用UV固化性树脂的情况下，通过使副母模20C、20D 的至少一个为紫外线透射性，可以从该一个副母模侧对于玻璃基板3的两面的树脂5A同时 照射紫外线。在此，在玻璃基板3的表背两面形成透镜部5的情况下，如图7所示，准备使副母 模20纵横各放大了 2倍(倍率可以改变)这样的一体型的大直径副母模200、和图8的通 常的副母模20，在玻璃基板3的表面形成透镜部5的情况下可以使用副母模200，在其相反 侧的背面形成透镜部5的情况下可以多次使用副母模20。具体而言，对于玻璃基板3的表面使用大直径副母模200 —起形成透镜部5。对于 其后的玻璃基板3的背面，如图9所示，一边使副母模20每个大直径副母模200的1/4区 域分别错开、一边使用四次副母模20，形成透镜部5。根据这样的构成，对于具有使用大直 径副母模200而形成的透镜部5的玻璃基板3，副母模20的轴对准变容易，可以抑制使用大 直径副母模200而形成的透镜部5和使用副母模20而形成的透镜部5在玻璃基板3的表 背中配置偏离这样的情况。其中，在使用大直径副母模200的情况下，如从图10上段到下段所示，对于该副母 模成型部22有可能产生稍微的翘曲，也存在不能发挥作为模的本来的功能的情况。因此， 优选如图11所示，在其中央部以十字状设置树脂22A不存在的区域(应力缓和部210)以 使得分割大直径副母模200、形成抑制大直径副母模200的副母模成型部22的翘曲的产生 (缓和与玻璃基板3的应力)这样的构成。在设置应力缓和部210的情况下，例如在树脂22k为光固化性树脂时，可对于玻璃 基板3或副母模基板26进行掩蔽而形成光的未照射部、或对于光源52、54进行掩蔽而形成 光的未照射部。予以说明的是，也可以代替母模IOA而使用母模10B，不制作副母模20而由母模 IOB直接制作晶片透镜1。在该情况下，可以对于母模IOB的凹部16填充树脂5A，一边从其上方挤压玻璃基 板3 —边使树脂5A固化，其后使玻璃基板3和透镜部5从母模IOB脱模。树脂5A的固化 手段根据树脂材料而不同，例如在使用UV固化性树脂的情况下，从玻璃基板3侧照射UV使 其固化，但在使用热固性树脂的情况下，通过红外线灯、埋设于母模IOB内的加热器等进行 加热使其固化。用于从母模IOB剥离树脂5A的脱模是重要，作为该脱模方法，可考虑2种方法。作为第1种方法，在树脂5A中添加脱模剂。在该情况下，由于作为后工序的防反 射涂层的密合性降低、或与玻璃基板3的附着性降低，因此对于后者优选将偶联剂等涂布 于玻璃基板3上而强化附着力。作为第2种方法，在母模IOB的表面涂覆脱模剂。作为该脱模剂，可以使用形成三 嗪二硫醇、氟系、硅系的单分子层的脱模剂。通过使用该脱模剂，成膜厚度为IOnm左右时，可以以不影响光学面形状的厚度进行涂覆。为了提高密合性以使得该脱模剂在成型时不剥 落，可将偶联剂涂布于母模10B、或将在该脱模剂和母模IOB之间创制交联的SiO2等涂覆于 母模IOB时，密合性增强。[第2实施方式]第2实施方式与第1实施方式主要有以下方面不同，除此之外，大致相同。在晶片透镜1的制造中，作为成型用的模，使用图4所示的母模10、副母模30、次 副母模40。在第1实施方式中，在由母模IO(IOA)制造晶片透镜1时使用副母模20，相对 于此，在第2实施方式中，主要在由母模IO(IOB)制造晶片透镜1时使用副母模30、次副母 模40这2种模这方面不同。特别是由母模IOB制作副母模30的工序、由次副母模40制作 晶片透镜1的工序与第1实施方式大致相同，由副母模30制作次副母模40方面与第1实 施方式不同。如图4所示，母模IOB为对于立方体状的基底部12以阵列状形成了多个凹部16 的模。凹部16的形状形成与晶片透镜1的透镜部5对应的负形状，在该图中以大致半球形 状凹陷。母模IOB的外形状可以不是四角形，也可以为圆形状，在此以四角形状为例进行说明。母模IOB可以将镍磷、铝合金、易切削加工黄铜等的材料通过金刚石切削而高精 度地切削创制有光学面，也可以将超硬等的高硬度材料进行研削加工而进行创制。由母模 IOB创制的光学面优选如图4所示以阵列状配置有多个凹部16，也可以只配置有单一的凹 部16。如图4所示，副母模30由副母模成型部32和副母模基板36构成。在副母模成型 部32中以阵列状形成多个凸部34。凸部34的形状形成与晶片透镜1的透镜部5对应的正 形状，在该图中以大致半球形状突出。该副母模成型部32由树脂32A形成。树脂32A基本上可以使用与第1实施方式的副母模20的树脂22A同样的材料，特 别优选使用具有脱模性及耐热性、线膨胀系数小的树脂(即，表面能小的树脂)。具体而言， 可以为上述的光固化性树脂、热固性树脂及热塑性树脂的任意一种，也可以为透明或不透 明，例如，如果为热固性树脂，就需要为上述的氟系树脂。这是因为，为有机硅系树脂时，线 膨胀系数大，因此在热转印于次副母模40的情况下发生变形、不能正确地转印微细结构。副母模基板36可以使用与副母模基板26同样的材料。如图4所示，次副母模40由次副母模成型部42和次副母模基板46构成。在次副 母模成型部42中以阵列状形成多个凹部44。凹部44为与晶片透镜1的透镜部5对应的部 位，以大致半球形状凹陷。该次副母模成型部42由树脂42A形成。树脂42A也可以使用与第1实施方式的副母模20的树脂22A同样的材料，但从可 以使其弯曲、容易脱模的方面考虑，优选使用有机硅系树脂或烯烃系树脂。次副母模基板46也可以使用与副母模基板26同样的材料。接着，一边参照图5、图6，一边对于晶片透镜1的制造方法简单地进行说明。如图5 (a)所示，在母模IOB上涂布树脂32A，使树脂32A固化，将母模IOB的凹部 16转印于树脂32A，对于树脂32A形成多个凸部34。由此，形成副母模成型部32。如图5(b)所示，对于副母模成型部32粘接副母模基板36。其后，如图5 (c)所示，从母模IOB将副母模成型部32和副母模基板36脱模，制作副母模30。其后，如图5 (d)所示，在副母模30上涂布树脂42A,使树脂42A固化，将副母模30 的凸部34转印于树脂42A，对于树脂42A形成多个凹部44。由此，形成次副母模成型部42。其后，如图5(e)所示，对于次副母模成型部42安装次副母模基板46。如图6 (f)所示，从副母模30将次副母模成型部42和次副母模基板46脱模，制作 次副母模40。如图6(g)所示，对于次副母模40的凹部44填充树脂5A，一边从其上方挤压玻璃 基板3 —边使树脂5A固化。其结果，由树脂5A形成透镜部5。其后，从次副母模40将透镜 部5和玻璃基板3脱模，制造晶片透镜1 (该晶片透镜1只在玻璃基板3的表面形成透镜部 5 ο ) ο在玻璃基板3的背面也形成透镜部5而对于玻璃基板3的表背两面形成透镜部5 的情况下，准备具有多个与玻璃基板3的一面的透镜部5的光学面形状对应的负形状的成 型面的母模(未图示)、和具有多个与另一面的透镜部5的光学面形状对应的负形状的成型 面的母模，使用这些各母模，形成具有正形状的成型面的副母模，进而，使用这些各副母模 形成次副母模。而且，在各次副母模和玻璃基板3之间填充树脂5A后，使树脂5A固化，在 玻璃基板3的两面成型透镜部5。
权利要求
一种成型体的制造方法，其特征在于，其是在玻璃基板的表面形成了与由固化性树脂形成的凸或凹的多个成型部对应的形状的成型体的制造方法，具有以下工序准备具有多个与所述多个成型部对应的形状的负形状的成型面的第1成型模的工序；在所述第1成型模的形成了多个成型面的面上涂布固化性树脂的工序；进行被涂布了的所述固化性树脂的固化的固化工序，所述固化工序含有以下工序对于所述固化性树脂通过光照射而进行固化的光固化工序；通过对于在所述光固化工序中进行了固化的所述固化性树脂进行加热处理而进一步进行固化的加热固化工序。
2.如权利要求1所述的成型体的制造方法，其特征在于，所述加热固化工序在第1温度 下进行所述固化性树脂的固化后，在比所述第1温度还高的第2温度下进一步进行所述固 化性树脂的固化。
3.如权利要求2所述的成型体的制造方法，其特征在于，所述第1温度为70 90°C的 范围内，所述第2温度为100 250°C的范围内。
4.一种晶片透镜的制造方法，其特征在于，其是对于基板的两面设置了第1固化性树 脂制的光学部件的晶片透镜的制造方法，具有以下工序由具有多个与设置于基板的一面的所述光学部件的光学面形状对应的正形状的成型 面的第1成型模，形成具有多个与该光学面形状对应的负形状的成型面的由第2固化性树 脂形成的第1复制成型部，同时在该第1复制成型部内衬第1复制成型用基板，由此形成第 1复制成型模的工序；由具有多个与设置于基板的另一面的所述光学部件的光学面形状对应的正形状的成 型面的第2成型模，形成具有多个与该光学面形状对应的负形状的成型面的由第2固化性 树脂形成的第2复制成型部，同时在该第2复制成型部内衬第2复制成型用基板，由此形成 第2复制成型模的工序；在所述第1复制成型模和所述基板的一面之间填充所述第1固化性树脂的第1填充工序；在所述第2复制成型模和所述玻璃基板的另一面之间填充所述第1固化性树脂的第2 填充工序；在所述第1及第2填充工序后，使所述基板的分别被填充了的所述第1固化性树脂固 化的固化工序，同时，在所述固化工序内，在所述基板的至少一面进行的固化工序含有以下工序对于被填 充了的所述第1固化性树脂通过光照射而进行固化的光固化工序、通过对于在所述光固化 工序中进行了固化的所述第1固化性树脂进行加热处理而进一步进行固化的加热固化工序。
5.如权利要求4所述的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述加热固化工序通过加 热进行了所述光固化工序的填充于所述第1或第2复制成型模和基板之间的状态的第1固 化性树脂而进行，具有使通过所述加热固化工序而进行了固化的所述第1固化性树脂从所 述复制成型模脱模的脱模工序。
6.如权利要求5所述的晶片透镜的制造方法，其特征在于，在所述脱模工序后，具有通过对于脱模了的所述第1固化性树脂加热而进行固化的第2加热固化工序，所述加热固化 工序中的加热温度比所述第2加热固化工序中的加热温度还低。
7.如权利要求6所述的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述加热固化工序在70 90°C的范围内的加热温度下进行，所述第2加热固化工序在100 250°C的范围内的加热温 度下进行。
8.如权利要求4所述的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述加热固化工序含有在 第1加热温度下加热而进行固化的第1阶段、在比所述第1加热温度还高的加热温度下加 热而进行固化的第2阶段。
9.如权利要求4所述的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述基板为玻璃，所述第1 或第2复制成型用基板也为玻璃，所述基板用玻璃的线膨胀系数与所述第1或第2复制成 型用基板用玻璃的线膨胀系数的差为3X 10_5[/K]以下。
10.如权利要求4所述的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述第1或第2复制成型 模在所述多个成型面间分别具有平坦部，所述第1或第2填充工序时的所述第1或第2复 制成型模的平坦部与所述基板的间隔维持为100 μ m以下。
11.如权利要求4所述的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述第1填充工序形成如下状态将所述第1固化性树脂滴加或排出在所述基板的上 面后，使该基板与配设于该基板的上方的所述第1复制成型模抵接，在这些基板及第1复制 成型模之间填充了所述第1固化性树脂，所述第2填充工序形成如下状态将所述第1固化性树脂滴加或排出在所述第2复制 成型模的上面后，使该第2复制成型模和配设于该第2复制成型模的上方的所述基板抵接， 在这些基板及第2复制成型模之间填充了所述第1固化性树脂。
12.如权利要求4所述的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述第1填充工序在将所述第1固化性树脂滴加或排出在所述第1复制成型模的上面后，使该第1复制 成型模和配设于该第1复制成型模的上方的所述基板抵接，在这些基板及第1复制成型模 之间填充所述第1固化性树脂，其后，使所述基板及所述第1复制成型模在相互抵接的状态下一体地上下反转，然后，作为所述第2填充工序，将所述第1固化性树脂滴加或排出在所述第2复制成型模的 上面后，使该第2复制成型模和配设于该第2复制成型模的上方的所述基板抵接，在这些基 板及第2复制成型模之间填充所述第1固化性树脂。
13.如权利要求4所述的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述固化工序同时使分别 填充于所述第1、第2复制成型模和所述基板之间的所述第1固化性树脂固化。
14.如权利要求4所述的晶片透镜的制造方法，其特征在于，使填充于所述第1复制成 型模和所述基板之间的所述第1固化性树脂增粘到规定的粘度后，在所述第2复制成型模 和所述基板之间填充所述第1固化性树脂。
15.如权利要求4所述的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述第1或第2复制成型 模的成型面的一部分上为了应力缓和而具备所述第2固化性树脂不存在的区域。
全文摘要
本发明提供一种成型体的制造方法，其为了提高在玻璃基板的两面上设置由固化性树脂形成的凸或凹的多个成型体的情况下的成型体的形状精度，具有以下工序准备具有多个与多个成型部的形状的负形状的成型面对应的第1成型模的工序、在第1成型模的形成了多个成型面的面上涂布固化性树脂的工序、进行涂布的所述固化性树脂的固化的固化工序，固化工序含有以下工序对于固化性树脂通过光照射而进行固化的光固化工序、通过对于在所述光固化工序中进行了固化的所述固化性树脂进行加热处理而进一步进行固化的加热固化工序。
文档编号G02B3/00GK101970220SQ20098010917
公开日2011年2月9日 申请日期2009年3月12日 优先权日2008年3月19日
发明者冈崎直子, 斋藤正, 细江秀 申请人:柯尼卡美能达精密光学株式会社