专利名称：反射镜的调整机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及调整机构，尤其涉及反射镜法线方向的调整机构。
背景技术：
反射镜在光学系统中用于不同角度的光路方向转换。为了使入射到反射镜上的光 线沿系统要求的方向出射，就需要对反射镜法线方向进行调整。对于反射镜位置的固定，不 同的需求及空间位置有不同的安装及调节方式。对于用反射镜把光束改变90度方向的应 用，目前光学系统中法线方向的调整机构包括调节座、镜座、调节螺钉以及球面垫圈等，在 法线方向上调节座的中心插入一个平调螺钉作为反射镜旋转角度的中心支点来调整反射 镜的二维倾角。此结构需要有一定的空间，不能通用于任何光路中。此外，现有技术还采用 在平面上间隔120度均布三个粗调螺钉、三个微调螺钉调整反射镜的角度，此结构虽然结 构简单，随空间位置结构尺寸可调，但没有固定支点，反射镜位置不容易调整与锁紧。解决 此问题需要在结构上加球面垫圈，不仅增加零件，而且对于空间受限制的结构，小型的球面 垫圈不易加工。再加上反射镜倾角不易调整，光斑路径不易控制，调整效率低。
发明内容有鉴于现有技术的上述缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简 单，调整精度高的反射镜调整机构。为实现上述目的，本实用新型提供了一种反射镜的调整机构，包括固定座，其容纳 所述反射镜；设在所述固定座上的法向可调固定部，其将所述固定座固定至基部，所述法向 可调固定部在所述固定座上形成经过所述固定座中心的对称轴，并且使得所述对称轴可沿 所述反射镜的法向移动；沿所述对称轴设置的粗调部，其调整所述固定座的相对于所述对 称轴的倾角；沿所述对称轴设置的精调部，其调整所述固定座的相对于所述对称轴的倾角； 其中，所述粗调部的倾角调整范围大于所述精调部的倾角调整范围。较佳地，所述法向可调固定部包括螺孔、压缩弹簧和十字槽细牙沉头螺钉。较佳地，所述粗调部包括螺孔、压缩弹簧和内六角圆柱头螺钉。较佳地，所述精调部包括顶丝孔、内六角球端细牙紧定螺钉。较佳地，所述调整机构还包括锁紧机构，以使得所述固定座相对于所述基部锁紧。较佳地，所述锁紧机构为锁紧螺母。本实用新型的反射镜调整机构采用相对于对称轴均布的多点调整，通过调整两侧 的粗调螺钉与微调螺钉以及支点在反射镜法向方向的位置即可调整反射镜在光路中的位 置，其结构简单，调整效率高，光路光斑容易控制，机械结构可随反射镜的大小变化，不受空 间的限制。
参考下文较佳实施例的描述以及附图，可最佳地理解本实用新型及其目的与优点，其中图1为根据本实用新型的反射镜调整机构的侧视图；图2为图1所述的反射镜调整机构的示意俯视图；图3为图1所示反射镜的局部轴测图。
具体实施方式
参见本实用新型实施例的附图，下文将更详细地描述本实用新型。然而，本实用新 型可以以许多不同的形式实现，并且不应解释为受在此提出之实施例的限制。相反，提出这 些实施例是为了达成充分及完整公开，并且使本技术领域的技术人员完全了解本实用新型 的范围。现根据图1-3描述根据本实用新型的反射镜调整机构。图1为根据本实用新型的 反射镜调整机构的侧视图。图2为图1所述的反射镜调整机构的示意俯视图。图3为图1 所示反射镜的局部轴测图。如图1-3所示，调整机构包括为大致圆形的反射镜固定座1。固定座1中间设有 容纳反射镜2的腔室。当反射镜2置于所述腔室之后，将透明的压盖3压入所述腔室从而 将反射镜2固定在所述腔室中。固定座1的上表面上设有沿其径向成一条直线的两个穿通 固定座1的螺孔8。本实施例中，两个螺孔8在图2中的水平方向上，沿经过固定座1中心 的轴线设置。应理解，螺孔8还可有其他的设置方式，只要它们相对于固定座的中心对称， 即能形成经过固定座1中心的对称轴。将调整弹簧6装入反射镜固定座1上的螺孔8中， 然后插入十字槽细牙沉头螺钉81。拧入沉头螺钉81从而将反射镜固定座1安装在基座7 上。由于固定座1在水平方向上安有两个螺孔8，并且螺孔8沿相对于固定座1的中 心对称，就相当于水平方向由两个支点确定一条经过固定座1的中心的对称轴。压缩弹簧 6和沉头螺钉81相配合，通过拧紧和拧松沉头螺钉81，从而限制固定座1在垂直于反射镜 法向的方向上的位移，即该对称轴在反射镜的法向可移动。螺孔8、压缩弹簧6和十字槽细 牙沉头螺钉81为法向可调固定部的例子。在固定座1的上表面上，沿在外圆周均布有六个穿通固定座的螺孔5。应理解，螺 孔5不限于六个，可沿所述对称轴设置若干个对称的螺孔5。将压缩弹簧6装入螺孔5中， 然后插入内六角圆柱头螺钉51。拧入内六角螺钉51从而将固定座1进一步固定在基座7 上。压缩弹簧6和内六角螺钉51相配合，通过拧紧或拧松内六角螺钉5，从而调节固定座1 相对于由法向可调固定部控制的所述对称轴的倾角。由于内六角螺钉51直接固定至基座 7，并且选用的螺钉的尺寸较大，因此可对固定座1的倾角做较大范围的调节。螺孔5、压缩 弹簧6、以及内六角螺钉51为粗调部的例子。在固定座1的上表面上，沿所述腔室的开口的周围，设有十个顶丝孔4。应理解，顶 丝孔4不限于十个，可沿所述对称轴设置若干个对称的顶丝孔4。与螺孔8和螺孔5不同， 顶丝孔4并非穿孔。将内六角球端细牙紧定螺钉41插入顶丝孔4。拧紧紧定螺钉41从而 调节固定座1相对于由法向可调固定部控制的所述对称轴的倾角。由于紧定螺钉41仅拧 入固定座1而不连接至基座7，且紧定螺钉41为细牙紧定螺钉，由此可对固定座1的倾角做 精确的细微调节。顶丝孔4、压缩弹簧6、以及紧定螺钉41为精调部的例子。[0021]由此，通过装有弹簧的粗调部和精调部，分别对固定座1作相对于由所述法向可 调固定部控制的对称轴的倾角，可以实现角度大幅度的调整，也可以实现局部调整，以使来 自反射镜前方的光束在指定的位置达到90度的方向变化。另一实施例中，紧定螺钉41上还设有锁紧螺母9。锁紧螺母9在粗调部和精调部 完全调整好之后，将其余悬空的内六角球端细牙紧定螺钉41拧到基座面，并利用锁紧螺母 锁9将固定座1相对于基座7锁紧。紧螺母锁9为锁紧机构的例子。现描述根据本实用新型的反射镜调整机构的调整过程。首先，在光路中反射镜位置的调整一般通过光路中光斑在CXD成像的清晰度来判 断反射镜的法向位置与反射镜倾角调整合适的程度。基于CXD成像的情况首先调整十字槽 细牙沉头螺钉81来调整反射镜在法向位移，以使反射镜2移到光路图像比较清晰的位置。然后以十字槽细牙沉头螺钉81位置的支点组成的轴为对称轴，调整内六角圆柱 头螺钉51进行粗调。接着，以十字槽细牙沉头螺钉位置的支点组成的轴为对称轴，调整相对于对称轴 的内六角球端细牙紧定螺钉41进行精调，同时还要配合粗调进行调整。然后，当反射镜调到适当位置时，通过测量CCD图像的精度可以判断反射镜的位 置是否满足要求。最后，利用其余悬空的内六角球端细牙紧定螺钉41拧到基座面，并利用锁紧螺母 9锁紧即可。最终以光路在CCD成像的清晰度来判断反射镜在法向与倾角的位置。本实用新型的反射镜调整机构具有如下优点。(1)本实用新型的反射镜调整机构采用相对于对称轴均布的多点调整，通过调整 两侧的粗调螺钉与微调螺钉以及支点在反射镜法向方向的位置即可调整反射镜在光路中 的位置。结构简单，调整效率高，光路光斑容易控制，机械结构可随反射镜的大小变化，不受 空间的限制；(2)本实用新型的反射镜调整机构采用在反射镜法向平面上固定两支点来限制中 心轴垂直法向平面的自由度，该支点在法向方向上可调，由此调整的精度更高；(3)本实用新型的反射镜调整机构采用粗调和精调的两级调整，进一步增进了调 整的精度；(4)本实用新型的反射镜调整机构还带有锁紧机构，解决了现有技术中的反射镜 不易锁紧的弱点。这里本实用新型的描述和应用是说明性的，并非想将本实用新型的范围限制在上 述实施例中。这里所披露的实施例的变形和改变是可能的，对于那些本领域的普通技术人 员来说实施例的替换和等效的各种部件是公知的。本领域技术人员应该清楚的是，在不脱 离本实用新型的精神或本质特征的情况下，本实用新型可以以其他形式、结构、布置、比例， 以及用其他元件、材料和部件来实现。在不脱离本实用新型范围和精神的情况下，可以对这 里所披露的实施例进行其他变形和改变。
权利要求一种反射镜的调整机构，其特征在于，包括固定座，其容纳所述反射镜；设在所述固定座上的法向可调固定部，其将所述固定座固定至基部，所述法向可调固定部在所述固定座上形成经过所述固定座中心的对称轴，并且使得所述对称轴可沿所述反射镜的法向移动；沿所述对称轴设置的粗调部，其调整所述固定座的相对于所述对称轴的倾角；沿所述对称轴设置的精调部，其调整所述固定座的相对于所述对称轴的倾角；其中，所述粗调部的倾角调整范围大于所述精调部的倾角调整范围。
2.如权利要求1所述的调整机构，其特征在于，所述法向可调固定部包括螺孔、压缩弹 簧和十字槽细牙沉头螺钉。
3.如权利要求1所述的调整机构，其特征在于，所述粗调部包括螺孔、压缩弹簧和内六 角圆柱头螺钉。
4.如权利要求1所述的调整机构，其特征在于，所述精调部包括顶丝孔、内六角球端细 牙紧定螺钉。
5.如权利要求1所述的调整机构，其特征在于，所述调整机构还包括锁紧机构，以使得 所述固定座相对于所述基部锁紧。
6.如权利要求5所述的调整机构，其特征在于，所述锁紧机构为锁紧螺母。
专利摘要一种反射镜的调整机构，包括固定座，其容纳反射镜；设在固定座上的法向可调固定部，其将固定座固定至基部，法向可调固定部在固定座上形成经过固定座的中心的对称轴，并且使得对称轴可沿反射镜的法向移动；沿对称轴设置的粗调部，其调整固定座相对于对称轴的倾角；沿对称轴设置的精调部，其调整固定座相对于对称轴的倾角；其中，粗调部的倾角调整范围大于精调部的倾角调整范围。本实用新型的反射镜调整机构采用相对于对称轴均布的多点调整，通过调整两侧的粗调螺钉与微调螺钉以及支点在反射镜法向方向的位置即可调整反射镜在光路中的位置，其结构简单，调整效率高，光路光斑容易控制，机械结构可随反射镜的大小变化，不受空间的限制。
文档编号G02B7/198GK201654310SQ20102012028
公开日2010年11月24日 申请日期2010年2月26日 优先权日2010年2月26日
发明者张春莲, 徐兵, 王端秀, 蔡巍, 陈跃飞 申请人:上海微电子装备有限公司