专利名称：一种基于多波长的对准系统及对准方法
技术领域：
本发明涉及一种集成电路装备制造领域，尤其涉及一种适用于光刻设备的基于双光源多周期标记的对准方法及对准系统。
背景技术：
光刻装置是制造集成电路的主要设备，其作用是使不同的掩膜图案依次成像到基底(如半导体硅片或LCD板)上的精确对准的位置。然而这个对准位置却因为连续图形所经历的物理和化学变化而改变，因此需要一个对准系统，以保证硅片对应掩膜的对准位置每次都能够被精确的对准。随着基底每单位表面积上的电子元件数量的增长以及电子元件的尺寸合成越来越小，对集成电路的精度要求日益提高，因此依次掩膜成像在基底上的位置必须越来越准确的固定，对光刻时对准精度的要求也越来越高。美国专利第5243195号公开了一种对准系统其中提及一种轴上对准方式，这种对准方式的优点在于掩膜和基底可以直接被对准，但其缺点在于难以改进到更高的精密度和准确度，而且各种工艺步骤会引起对准标记变化，从而引入不对称性和基底光栅标记的沟槽有效深度的变化。这种现象导致工艺检测不到光栅标记，或在其他情况下仅提供微弱的信号，对准系统稳定性降低。为了解决这个问题，中国专利申请第03164858号公开了一种双波长对准系统，包括具有第一波长和第二波长的对准辐射源；具有第一波长通道和第二波长通道的检测系统，第一波长通道接收对准标记第一波长处的对准辐射，第二波长通道接收对准标记第二波长处的对准辐射；以及一个定位单元，用以根据在第一波长处检测到的对准辐射相对于在第二波长处检测到的对准辐射的相对强度来确定对准标记的位置。从上述系统中，可以看出，该系统事实上是使用了两个独立的波长来照射和检测基底上的对准标记的位置，从而可以动态的选择对准激光，以取得更好的对准效果。但是，在现有的双波长激光测量系统中，对准策略设定一旦固定后，在策略执行过程中，一旦出现某一级次不满足要求的情况，将无法进行修改，从而导致对准失败，进而影响到对准系统的整体效率，导致光刻系统的拒片率提闻。
发明内容
为克服现有技术中存在的缺陷，本发明提供一种一种基于双光源多周期标记的对准方法及对准系统，该对准方法及对准系统可以使用于各种不同的对准标记。为实现上述发明目的，本发明提供一种基于多波长的对准系统，包括提供至少两个波长的对准辐射源，光学单元，对准标记、探测单元及处理单元，该处理单元获得该标记在不同辐射源照射下的全部级次信号，设定粗捕获及精捕获范围后对该全部级次信号进行对准级次的权重设置，并计算参与对准位置计算的级次权重；根据权重设置、颜色选择设置及设定的粗捕获及精捕获范围，计算对准位置。更进一步地,该对准标记包括双周期标记或三周期标记。该对准福射源包括红光激光光源与绿光激光光源。更进一步地，该粗捕获范围指在较大范围内的对准位置需要使用同一标记两个不同周期尺寸的一级光源信息进行对准。该精捕获范围指在较小范围内使用同一标记的同一周期的任意级次反射光源信息进行对准。更进一步地，该权重设置为静态权重设置。该静态权重设置包括设置需要选用的级次和一定的信号强度阈值范围，并对各级次设定计算权重，检查各级次的实际信号强度是否满足设定阈值的要求，如达标确认通过，该级次权重有效；如果达标个数小于所设定的选用个数，则进入冗错和非冗错两种机制。该进入冗错机制后进一步包括判断是否属于粗捕获范围或精捕获范围。该粗捕获范围下检查通过验证的级次数目是否为零，如为零，则停止冗错处理；检查捕获所需的不同周期的一级次光是否可用，如不可用，则停止冗错处理；满足上述条件后，放弃掉先前选择的但未通过验证的级次；检查剩余级次权重设置，重新计算各级次权重比例。该粗捕获范围下的处理进一步包括如各周期获得的高级次不具备权重值，则将各周期的一级光权重设置为1，计算对准位置。该精捕获范围下检查通过验证的 级次数目是否为零，如为零，则停止冗错处理；满足上述条件后，放弃掉先前选择的但未通过验证的级次；检查剩余级次权重设置，重新计算各级次权重比例。该精捕获范围下的处理进一步包括如各周期获得的高级次不具备权重值，则将各周期的一级光权重设置为1，计算对准位置。该进入非冗错机制后，如所选参与对准的级次信号强度并未全部确认有效停止此次对准，宣布对准失败。本发明同时公开一种基于多波长的对准方法，包括获得对准标记在不同辐射源照射下的全部级次信号，设定粗捕获及精捕获范围后对该全部级次信号进行对准级次的权重设置，并计算参与对准位置计算的级次权重；根据权重设置、颜色选择设置及设定的粗捕获及精捕获范围，计算对准位置。更进一步地,该对准标记包括双周期标记或三周期标记。该对准福射源包括红光激光光源与绿光激光光源。更进一步地，该粗捕获范围指在较大范围内得对准位置需要使用同一标记两个不同周期尺寸的一级光源信息进行对准。该精捕获范围指在较小范围内使用同一标记的同一周期的任意级次反射光源信息进行对准。更进一步地,该权重设置为静态权重设置。更进一步地，该静态权重设置包括设置需要选用的级次和一定的信号强度阈值范围，并对各级次设定计算权重，检查各级次的实际信号强度是否满足设定阈值的要求，如达标确认通过，该级次权重有效；如果达标个数小于所设定的选用个数，则进入冗错和非冗错两种机制。更进一步地，该进入冗错机制后进一步包括判断是否属于粗捕获范围或精捕获范围。该粗捕获范围下检查通过验证的级次数目是否为零，如为零，则停止冗错处理；检查捕获所需的不同周期的一级次光是否可用，如不可用，则停止冗错处理；满足上述条件后，放弃掉先前选择的但未通过验证的级次；检查剩余级次权重设置，重新计算各级次权重比例该粗捕获范围下的步骤进一步包括如各周期获得的高级次不具备权重值，则将各周期的一级光权重设置为1，计算对准位置。该精捕获范围下检查通过验证的级次数目是否为零，如为零，则停止冗错处理；满足上述条件后，放弃掉先前选择的但未通过验证的级次；检查剩余级次权重设置，重新计算各级次权重比例。该精捕获范围下的步骤进一步包括如各周期获得的高级次不具备权重值，则将各周期的一级光权重设置为1，计算对准位置。该进入非冗错机制后，如所选参与对准的级次信号强度并未全部确认有效停止此次对准，宣布对准失败。与现有技术相比较，该对准系统及其对准方法不但可以提供多种对准选择类型，增强工艺适应性，获得更精确的对准位置，并在工艺性较差的情况下，通过冗错应用，提高标记的对准通过率，进而保证对准系统的对准效率。
关于本发明的优点与精神可以通过以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。图I所示为已知技术的双光源多级次对准系统的示意·
图2所示为本发明所涉及的种对准标记的结构示意图；图3所示为本发明所涉及的对准标记所采集的波形示意图；图4所示为本发明所涉及的对准方法的流程图。
具体实施例方式下面结合附图详细说明本发明的具体实施例。图I所示为已知技术的双光源多级次对准系统的示意图。如图I所示，双光源多级次对准系统包括光源模块11，12、参考光栅2、光纤13，23、棱镜14，24、偏振镜3、物镜4、标记5、级次光楔15，25、反射镜16，26、物镜17，27、像平面18，28以及探测器19、29。双光源多级次对准系统的具体工作原理对于本领域的普通技术人员来说是公知常识，在此不再赘述。图2所示为本发明所涉及的种对准标记的结构示意图。其中a图是三周期对准标记，该对准标记的周期为L > M > S。b图是双周期对准标记,该对准标记的周期为L > M。上述两种对准标记的具体工作原理对于本领域的普通技术人员来说是公知常识，在此不再赘述。图3所示为本发明所涉及的对准标记所采集的波形示意图，其中a图是三周期对准标记经绿光波长照射后所获得的波形示意图，b图是双周期对准标记经绿光波长照射后所获得的波形示意图。在本发明中采用红绿双波长光源照明选择如图2所示的标记形式，经过图I的对准系统探测结构，可获得如图3所示的波形Pmi+P
greenM-1、^greenM-2、PgreenM-3、^greenM-4、PgreenM-5、PgreenM-6、PgreenM-7、PgreenS-1 ;PredL-1、PredM-1、PredM-2、PredM-3、PredM-4、PredM-5、PredM 6、PredM-7、PredS-1，中
P表不各级次光信号的对准位置；green/red表不光源颜色；L表不标记中较大尺寸的光栅周期，M表示标记中中等尺寸的光栅周期，S表示标记中较小尺寸的光栅周期；阿拉伯数字表示对应周期通过对准系统所能获得的光信号的级次信息。由于图3中仅出示经绿光波长照射后所获得的波形示意图，因此Pmn对应于图3中的Pu，依次类推。与之对应的各级次测量得到的信号强度为S
测 greenL-1、S 测 greenM-1、S 测 greenM-2、S 测 greenM-3、S 测 greenM-4、S 测 green]y—5、g、7、S 测 greeng—丨1、1、2、S 测 re(jjy—3、S 测redM-4、^ 测 redM-5、^ 测 redM-6、^ 测 redM-7、^ 测 redS-1， 其中SM表示各级次波形信号强度；green/red表
示光源颜色山表示标记中较大尺寸的光栅周期,M表示标记中中等尺寸的光栅周期,S表示标记中较小尺寸的光栅周期；阿拉伯数字表示对应周期通过对准系统所能获得的光信号的级次信息。以下将以多个实施例向结合的方式介绍本发明实施例一在本实施例中对准系统在对准策略中选择粗捕获形式获得对准位置(在对准位置计算过程中采用两个不同周期的级次进行对准计算)，允许在有所使用级次不通过的情况下使用冗错处理机制，在静态权重设置过程中选择L-l、M-U M-3、M-5、M-7参与对准位置的计算，其所选择级次设置的信号强度为S
设 greenL-1、S 设 greenjy—]_、3、3设8166爐—5、S 设
greenM-7、S 设 redL-1、S 设 redM-1、S 设 redM-3、S 设 redM-5、S 设 redM-7 对应所选择的级次设置的对准位置计算权
W 设 greenL-1、W 设 greenM-1、W 设 greenM-3、W 设 greenM-5、W 设 greenM-7、W 设 redL-1、W 设 redM-1、W 设 redM-3、W 设 redM-5、
ffSredM_7(ffeight表示对准位置计算权重)将设置的不同波长光源照射情况下参与对准的各级次的信号强度与实际测试获得的参与对准的各级次信号进行对比可知< Sm
C ,^ C ,C ,^ C ,C ,^ C ,C ,> C ,
greenL-1、U 设 greenM-1 U 测 greenM-1、U 设 greenM-3 U 测 greenM-3、U 设 greenM-5 U 测 greenM-5、U 设 greenM-7 U 测
greenM-7、S 设 redL-1〈 S 测 redL-1、S 设 re(m-1〈 S 测 redM-1、S 设 re(^—3〈 S 测 redM-3、S 设 re(^j—5〉S 测 redM-5、S 设 redM-7
>s#]redM_70经过对比可以了解到在使用绿色光源照射的情况下，标记中尺寸周期的七级光实际测得的信号强度没有达到设置的强度范围；使用红色光源照射的情况下，标记中尺寸周期的五级光和七级光实际测得的信号强度没有达到设置的强度范围。在本实施例中设定使用冗错处理，由于冗错处理机制是针对不同波长的光源的各级次信号分别处理，故此处以绿光为例，首先检查满足设定信号强度要求的参与对准应用的级次光的数目是否为零，经检测，不为零；其次由于采用粗捕获形式，需要有不同尺寸周期的一级光信号参与对准，经检测，L-I和M-I实际获得的信号强度大于所设置的信号强度范围，已达标，满足要求；再次，将未通过设定信号强度的M-7级光设定为不可使用，与之对应得M-7级光权重WSgMmM_7作废不再参与最终对准计算；最后，获得各级次的原有权重Ws
greenL-1、W 设 greenM-1、W 设 greenM-3、W 设 greenM-5、W 设 greenM-7 重新计算各级次权重W 设 greenL-1 W 设 greenL-1木(W 设 greenL-1+W 设 greenM-1+W 设 greenM-3+W 设 greenM-5+W 设 greenM-7) I (W 设greenL-1+胃设 greenM-1+胃设 greenM-3+胃设 greenM-5) W 设 greenM—I W 设 greenM—I* (W 设 greenL-1+W 设 greenM-1+W 设 greenM-3+W 设 greenM-5+W 设 greenM-7) I (W 设greenL-1+胃设 greenM-1+胃设 greenM-3+胃设 greenM-5) W 设 greenM—3 W 设 greenM-3木(W 设 greenL-1+W 设 greenM-1+W 设 greenM-3+W 设 greenM-5+W 设 greenM-7) I (W 设greenL-1+胃设 greenM-1+胃设 greenM-3+胃设 greenM-5) W 设 greenM—5 W 设 greenM-5木(W 设 greenL-1+W 设 greenM-1+W 设 greenM-3+W 设 greenM-5+W 设 greenM-7) I (W 设greenL-1+胃设 greenM-1+胃设 greenM-3+胃设 greenM-5) 同理可以获得红光照射情况下各级次参与对准位置计算的权重W^redL-i — W 设代乩-1* (W 设 redL-I+W 设 redM—+W 设 redM—3+W 设 redM—5+W 设 redM—7) / (W 设 redL—+W 设 redM—丄+W
设 redM-3);W^redM-I — W设代應―(W设 redL—工+W 设redM—工+W 设redM—3+W设redM—5+W设redM—7) / (W设 redL—i+W设 redM—i+W设 redM-3);
W 设 redM_3 — W^edM_3* (W 设 redH+W 设 reH+W 设 redM_3+W 设 redM_5+W 设 redM_7) / (W redL-l+^ iS； TedM-I+^
设 redM-3);在颜色动态选择环节，比较不同波长照射情况下通过验证的各级次的信号强度总和，最终选用信号强度总和大的颜 色进行最终对准位置计算(具体比较方法见CN09471. I所述)计算最终对准位置。实施例二 在本实施例中对准系统在对准策略中选择精捕获形式获得对准位置(在对准位置计算过程中采用两个不同周期的级次进行对准计算)，允许在有所使用级次不通过的情况下使用冗错处理机制，在静态权重设置过程中选择L-l、M-U M-3、M-5、M-7参与对准位置的计算，其所选择级次设置的信号强度为S
设 greenL-1、S 设 greenjy—]_、3、3设8166爐—5、S 设
greenM-7、S 设 redL-1、S 设 redM-1、S 设 redM-3、S 设 redM-5、S 设 redM-7 对应所选择的级次设置的对准位置计算权
W 设 greenL-1、W 设 greenM-1、W 设 greenM-3、W 设 greenM-5、W 设 greenM-7、W 设 redL-1、W 设 redM-1、W 设 redM-3、W 设 redM-5、
ffSredM_7(ffeight表示对准位置计算权重)将设置的不同波长光源照射情况下参与对准的各级次的信号强度与实际测试获得的参与对准的各级次信号进行对比可知< Sm
C ,^ C ,C ,^ C ,C ,^ C ,C ,> C ,
greenL-1、U 设 greenM-1 U 测 greenM-1、U 设 greenM-3 U 测 greenM-3、U 设 greenM-5 U 测 greenM-5、U 设 greenM-7 U 测
greenM-7、S 设 redL-1〈 S 测 redL-1、S 设 re(m-1〈 S 测 redM-1、S 设 re(^—3〈 S 测 redM-3、S 设 re(^j—5〉S 测 redM-5、S 设 redM-7
>s#]redM_70经过对比可以了解到在使用绿色光源照射的情况下，标记中尺寸周期的七级光实际测得的信号强度没有达到设置的强度范围；使用红色光源照射的情况下，标记中尺寸周期的五级光和七级光实际测得的信号强度没有达到设置的强度范围。在本实施例中设定使用冗错处理，由于冗错处理机制是针对不同波长的光源的各级次信号分别处理，故此处以绿光为例，首先检查满足设定信号强度要求的参与对准应用的级次光的数目是否为零，经检测，不为零；其次，将未通过设定信号强度的M-7级光设定为不可使用，与之对应得M-7级光权重WsgMmM_7作废不再参与最终对准计算；最后，获得各级次的原有权重W
设 greenL-1、W 设 greenM-1、W 设 greenM-3、W 设 greenM-5、W 设 greenM-7 重新计算各级次权重W 设 greenL-1 W 设 greenL-1木(W 设 greenL-1+W 设 greenM-1+W 设 greenM-3+W 设 greenM-5+W 设 greenM-7) I (W 设greenL-1+胃设 greenM-1+胃设 greenM-3+胃设 greenM-5) W 设 greenM—I W 设 greenM—I* (W 设 greenL-1+W 设 greenM-1+W 设 greenM-3+W 设 greenM-5+W 设 greenM-7) I (W 设greenL-1+胃设 greenM-1+胃设 greenM-3+胃设 greenM-5) W 设 greenM—3 W 设 greenM-3木(W 设 greenL-1+W 设 greenM-1+W 设 greenM-3+W 设 greenM-5+W 设 greenM-7) I (W 设greenL-1+胃设 greenM-1+胃设 greenM-3+胃设 greenM-5) W 设 greenM—5 W 设 greenM-5木(W 设 greenL-1+W 设 greenM-1+W 设 greenM-3+W 设 greenM-5+W 设 greenM-7) I (W 设greenL-1+胃设 greenM-1+胃设 greenM-3+胃设 greenM-5) 同理可以获得红光照射情况下各级次参与对准位置计算的权重W^redL-I — W设 redL-1* (W设 redL-I+W 设redM—+W 设redM—3+W设redM—5+W设redM—7) / (W设 redL—+W设 redM—丄+W
设 redM-3);W^redM-i — W 设代應―丨* (W 设 redL—丨+W 设 redM—丨+W 设 redM—3+W 设 redM—5+W 设 redM—7) / (W 设 redL—丨+W 设 redM—丄+W
设 redM-3);W^redM-3 — W设 redM—3* (W设 redL—工+W 设redM—工+W 设redM—3+W设redM—5+W设redM—7) / (W^ redL-1+^^ redM-1+^设 redM-3);在颜色动态选择环节，比较不同波长照射情况下通过验证的各级次的信号强度总和，最终选用信号强度总和大的颜色进行最终对准位置计算(具体比较方法见CN09471. I所述)计算最终对准位置。实施例三
在本实施例中对准系统在对准策略中选择粗捕获形式获得对准位置(在对准位置计算过程中采用两个不同周期的级次进行对准计算)，允许在有所使用级次不通过的情况下使用冗错处理机制，在静态权重设置过程中选择L-l、M-U M-3、M-5、M-7参与对准位置的计算，其所选择级次设置的信号强度为S
设 greenL-1、S 设 greenjy—]_、3、3设8166爐—5、S 设
greenM-7、S 设 redL-1、S 设 redM-1、S 设 redM-3、S 设 redM-5、S 设 redM-7 对应所选择的级次设置的对准位置计算权
W 设 greenL-1、W 设 greenM-1、W 设 greenM-3、W 设 greenM-5、W 设 greenM-7、W 设 redL-1、W 设 redM-1、W 设 redM-3、W 设 redM-5、
ffSredM_7(ffeight表示对准位置计算权重)将设置的不同波长光源照射情况下参与对准的各级次的信号强度与实际测试获得的参与对准的各级次信号进行对比可知< Sm
C ,> C ,C ,^ C ,C ,^ C ,C ,> C ,
greenL-1、U 设 greenM-1 U 测 greenM-1、U 设 greenM-3 U 测 greenM-3、U 设 greenM-5 U 测 greenM-5、U 设 greenM-7 U 测
greenM-7、S 设 redL-1〈 S 测 redL-1、S 设 re(m-1〈 S 测 redM-1、S 设 re(^—3〈 S 测 redM-3、S 设 re(^j—5〉S 测 redM-5、S 设 redM-7
>s#]redM_70经过对比可以了解到在使用绿色光源照射的情况下，标记中尺寸周期的一级光和七级光实际测得的信号强度没有达到设置的强度范围；使用红色光源照射的情况下，标记中尺寸周期的五级光和七级光实际测得的信号强度没有达到设置的强度范围。在本实施例中设定使用冗错处理，由于冗错处理机制是针对不同波长的光源的各级次信号分别处理，故此处以绿光为例，首先检查满足设定信号强度要求的参与对准应用的级次光的数目是否为零，经检测，不为零；其次由于采用粗捕获形式，需要有不同尺寸周期的一级光信号参与对准，经检测，L-I和M-I实际获得的信号中，L-I强度大于所设置的信号强度范围，已达标，满足要求，但M-I强度小于所设置的信号强度范围，未达标，故终止此次对准。实施例四在本实施例中对准系统在对准策略中选择粗捕获形式获得对准位置(在对准位置计算过程中采用两个不同周期的级次进行对准计算)，允许在有所使用级次不通过的情况下使用非冗错处理机制，在静态权重设置过程中选择L-I、M-I、M-3、M-5、M-7参与对准位置的计算，其所选择级次设置的信号强度为S
设 greenL-1、S 设 greenM-1、S 设 greenM-3、S 设 greenM-5、S 设
greenM-7、S 设 redL-1、S 设 redM-1、S 设 redM-3、S 设 redM-5、S 设 redM-7 对应所选择的级次设置的对准位置计算权
W 设 greenL-1、W 设 greenM-1、W 设 greenM-3、W 设 greenM-5、W 设 greenM-7、W 设 redL-1、W 设 redM-1、W 设 redM-3、W 设 redM-5、
W^redM_7(Weight表示对准位置计算权重)将设置的不同波长光源照射情况下参与对准的各级次的信号强度与实际测试获得的参与对准的各级次信号进行对比可知SggMt1 < s_
C ,\ CC ,C ,C ,C ,C ,\ C
greenL-1 A 0 设 greenM-1 0 测 greenM-1、0 设 greenM-3 ^^|ijgreenM-3、0 设 greenM-5 ^^|ijgreenM-5、0 设 greenM-7 0 测
greenM-7、S 设 redL-1〈 S 测 redL-1、S 设 redM-1〈 S 测 redM-1、S 设 re(jjy—3〈 S 测 redM-3、S 设 re(jjy—5〉S 测 redM-5、S 设 redM-7经过对比可以了解到在使用绿色光源照射的情况下，标记中尺寸周期的一级光和七级光实际测得的信号强度没有达到设置的强度范围；使用红色光源照射的情况下，标记中尺寸周期的五级光和七级光实际测得的信号强度没有达到设置的强度范围。在本实施例中未设定使用冗错处理，故由于级次不满足对准位置计算要求，故停止本次对准。附图4是本发明所涉及的对准方法的流程图。该对准方法主要包括以下步骤SlOl-设置粗-精捕获。对准粗精捕获范围设置，该范围的设置结合对准需要可以在较大范围内和较小范围内获得对准位置。该粗捕获范围指在较大范围内得对准位置需要使用同一标记两个不同周期尺寸的一级光源信息进行对准。精捕获范围指在较小范围内使用同一标记的同一周期的任意级次反射光源信息进行对准。选用不同周期可在不同范围内获得对准位置，当选用L，M两个周期的时候，可根据最小公倍数的方法获取对准范围，当仅选用一个周期的时候，则在一个周期范围内可获得对准位置。完成粗精捕获设置SlOl后进入权重设定步骤S201。通常而言，权重设定既包括静 态权重设定和动态权重设定，在本实施方式中，将详细介绍其中的一种——静态权重设定方式S201。静态权重设定包括、设置需要选用的级次和一定的信号强度阈值范围，并对各级次设定计算权重，检查各级次的实际信号强度是否满足设定阈值的要求，如达标确认通过，该级次权重有效；在静态权重设置方式下如所选参与对准的级次信号强度并未全部确认有效，需分冗错模式和非冗错模式两种情形加以处理；在静态权重设置方式下如所选参与对准的级次信号强度并未全部确认有效，且在冗错模式下，粗捕获范围和精捕获范围条件下，处理环节存在差异在静态权重设置方式下如所选参与对准的级次信号强度并未全部确认有效，且在冗错模式，粗捕获范围条件下检查通过验证的级次数目是否为零(需具备)，如为零，则停止冗错处理；检查捕获所需的不同周期的一级次光是否可用(需可用)，如不可用，则停止冗错处理；满足上述条件后，屏弃掉先前选择的但未通过验证的级次；检查剩余级次权重设置，重新计算各级次权重比例。如各周期获得的高级次不具备权重值，则将各周期的一级光权重设置为I，计算对准位置。在静态权重设置方式下如所选参与对准的级次信号强度并未全部确认有效，且在冗错模式，精捕获范围条件下查通过验证的级次数目是否为零(需具备)，如为零，则停止冗错处理；满足上述条件后，屏弃掉先前选择的但未通过验证的级次；检查剩余级次权重设置，重新计算各级次权重比例。如各周期获得的高级次不具备权重值，则将各周期的一级光权重设置为I，计算对准位置。在静态权重设置方式下如所选参与对准的级次信号强度并未全部确认有效，且在非冗错模式下，停止此次对准，宣布对准失败，即进入S401。完成静态权重设置S201后进入颜色选择设置S301步骤以获得对准位置S402。由于颜色选择设置S301继续沿用现有技术中的技术方案，对该部分技术手段的揭露具体方法参见CN09471. I所公开之内容。本说明书中所述的只是本发明的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明的限制。凡本领域技术人员依本发明的构思通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在本发明的范围之内。
权利要求
1.一种基于多波长的对准系统，包括提供至少两个波长的对准辐射源，光学単元，对准标记、探测单元及处理单元，其特征在于，所述处理单元获得所述标记在不同辐射源照射下的全部级次信号，设定粗捕获及精捕获范围后对所述全部级次信号进行对准级次的权重设置，并计算參与对准位置计算的级次权重；根据权重设置、顔色选择设置及设定的粗捕获及精捕获范围，计算对准位置。
2.如权利要求I所述的基于多波长的对准系统，其特征在于，所述对准标记包括双周期标记或三周期标记。
3.如权利要求I所述的基于多波长的对准系统，其特征在于，所述对准辐射源包括红光激光光源与绿光激光光源。
4.如权利要求I所述的基于多波长的对准系统，其特征在于，所述粗捕获范围指在较大范围内的对准位置需要使用同一标记两个不同周期尺寸的ー级光源信息进行对准。
5.如权利要求I所述的基于多波长的对准系统，其特征在于，所述精捕获范围指在较小范围内使用同一标记的同一周期的任意级次反射光源信息进行对准。
6.如权利要求I所述的基于多波长的对准系统，其特征在于，所述权重设置为静态权重设置。
7.如权利要求6所述的基于多波长的对准系统，其特征在干，所述静态权重设置包括设置需要选用的级次和一定的信号强度阈值范围，并对各级次设定计算权重，检查各级次的实际信号强度是否满足设定阈值的要求，如达标确认通过，该级次权重有效；如果达标个数小于所设定的选用个数，则进入冗错和非冗错两种机制。
8.如权利要求7所述的基于多波长的对准系统，其特征在干，所述进入冗错机制后进一歩包括判断是否属于粗捕获范围或精捕获范围。
9.如权利要求8所述的基于多波长的对准系统，其特征在干，所述粗捕获范围下检查通过验证的级次数目是否为零，如为零，则停止冗错处理；检查捕获所需的不同周期的ー级次光是否可用，如不可用，则停止冗错处理；满足上述条件后，放弃掉先前选择的但未通过验证的级次；检查剩余级次权重设置，重新计算各级次权重比例。
10.如权利要求9所述的基于多波长的对准系统，其特征在于，所述粗捕获范围下的处理进一歩包括如各周期获得的高级次不具备权重值，则将各周期的一级光权重设置为1，计算对准位置。
11.如权利要求8所述的基于多波长的对准系统，其特征在于，所述精捕获范围下检查通过验证的级次数目是否为零，如为零，则停止冗错处理；满足上述条件后，放弃掉先前选择的但未通过验证的级次；检查剩余级次权重设置,重新计算各级次权重比例。
12.如权利要求11所述的基于多波长的对准系统，其特征在于，所述精捕获范围下的处理进一歩包括如各周期获得的高级次不具备权重值，则将各周期的一级光权重设置为I，计算对准位置。
13.如权利要求7所述的基于多波长的对准系统，其特征在干，所述进入非冗错机制后，如所选參与对准的级次信号强度并未全部确认有效停止此次对准，宣布对准失败。
14.一种基于多波长的对准方法，其特征在干，获得对准标记在不同辐射源照射下的全部级次信号，设定粗捕获及精捕获范围后对所述全部级次信号进行对准级次的权重设置，并计算參与对准位置计算的级次权重；根据权重设置、顔色选择设置及设定的粗捕获及精捕获范围，计算对准位置。
15.一种如权利要求14所述的基于多波长的对准方法，其特征在干，所述对准标记包括双周期标记或三周期标记。
16.如权利要求14所述的基于多波长的对准方法，其特征在于，所述对准辐射源包括红光激光光源与绿光激光光源。
17.如权利要求14所述的基于多波长的对准方法，其特征在于，所述粗捕获范围指在较大范围内对准位置需要使用同一标记两个不同周期尺寸的ー级光源信息进行对准。
18.如权利要求14所述的基于多波长的对准方法，其特征在于，所述精捕获范围指在较小范围内使用同一标记的同一周期的任意级次反射光源信息进行对准。
19.如权利要求14所述的基于多波长的对准方法，其特征在于，所述权重设置为静态权重设置。
20.如权利要求19所述的基于多波长的对准方法，其特征在于，所述静态权重设置包括设置需要选用的级次和一定的信号强度阈值范围，并对各级次设定计算权重，检查各级次的实际信号强度是否满足设定阈值的要求，如达标确认通过，该级次权重有效；如果达标个数小于所设定的选用个数，则进入冗错和非冗错两种机制。
21.如权利要求20所述的基于多波长的对准方法，其特征在干，所述进入冗错机制后进ー步包括判断是否属于粗捕获范围或精捕获范围。
22.如权利要求21所述的基于多波长的对准方法，其特征在于，所述粗捕获范围下检查通过验证的级次数目是否为零，如为零，则停止冗错处理；检查捕获所需的不同周期的一级次光是否可用，如不可用，则停止冗错处理；满足上述条件后，放弃掉先前选择的但未通过验证的级次；检查剩余级次权重设置，重新计算各级次权重比例。
23.如权利要求22所述的基于多波长的对准方法，其特征在于，所述粗捕获范围下的步骤进一歩包括如各周期获得的高级次不具备权重值，则将各周期的一级光权重设置为I，计算对准位置。
24.如权利要求21所述的基于多波长的对准方法，其特征在于，所述精捕获范围下检查通过验证的级次数目是否为零，如为零，则停止冗错处理；满足上述条件后，放弃掉先前选择的但未通过验证的级次；检查剩余级次权重设置，重新计算各级次权重比例。
25.如权利要求24所述的基于多波长的对准方法，其特征在于，所述精捕获范围下的步骤进一歩包括如各周期获得的高级次不具备权重值，则将各周期的一级光权重设置为I，计算对准位置。
26.如权利要求20所述的基于多波长的对准方法，其特征在干，所述进入非冗错机制后，如所选參与对准的级次信号强度并未全部确认有效停止此次对准，宣布对准失败。
全文摘要
本发明公开一种基于多波长的对准系统，该对准系统能兼容各种对准标记。该对准系统包括提供至少两个波长的对准辐射源，光学单元，对准标记、探测单元及处理单元，该处理单元获得该标记在不同辐射源照射下的全部级次信号，设定粗捕获及精捕获范围后对该全部级次信号进行对准级次的权重设置，并计算参与对准位置计算的级次权重；根据权重设置、颜色选择设置及设定的粗捕获及精捕获范围，计算对准位置。
文档编号G03F9/00GK102692822SQ20111007445
公开日2012年9月26日 申请日期2011年3月25日 优先权日2011年3月25日
发明者韩悦 申请人:上海微电子装备有限公司