专利名称：干燥装置的制作方法
技术领域：
干燥装置
技术领域：
本实用新型是关于一种干燥装置，特别是有关于一种能避免基板在干燥之后产生外观不良缺陷的干燥装置。
背景技术：
随着光电技术和半导体技术的不断发展,液晶面板(Liquid Crystal Display, LCD)已广范应用于社会的各个领域。其中，在将液晶密封到两玻璃基板之间的制作工艺中， 所述两玻璃基板上的至少一液晶显示单元区域(简称显示区，其他区域简称非显示区，下同)会分别配置一层配向膜(Alignment Film)。具体而言，所述配向膜的形成步骤主要包含⑴涂膜步骤，将经一溶剂稀释过的配向膜材料通过印刷等工艺形成于所述玻璃基板的表面；(2)干燥步骤，以80°C至120°C范围内的温度使所述溶剂蒸发，只留下分布均一的配向膜；(3)焙烧步骤，以180°C以上的温度使所述配向膜固化。现有的干燥步骤主要是采用聚酰亚胺(polyimide, PI)溶液做为所述配向膜材料，并通过红外线辐射加热所述玻璃基板，使所述聚酰亚胺中的溶剂挥发，其缺点在于在所述基板干燥的过程中，其表面会产生受热不均匀和所述溶剂挥发速度不一致的问题，使得所述基板的表面上留下不均匀的斑痕，进而影响最终的产品质量。举例来说，在现有的干燥步骤中，常是将所述聚酰亚胺溶液涂布在所述基板的一第一表面上，并通过多个支撑销(Pin)支撑所述基板的一第二表面，使所述基板平躺在所述支撑销上。由于所述支撑销并非完全绝热，因而极容易导致所述支撑销与所述基板接触的区域以及没有接触的区域发生受热程度不一致的状况，进而使得在干燥步骤之后，所述第一表面上形成不均勻的压痕(Pin Mura)。为减少所述第一表面上的压痕等斑痕，现有支撑销常采用邻近效应(proximity) 的方式支撑所述基板，并选用绝热性较好的材质制作所述支撑销。其中，图IA及IB依序揭示现有的第一种支撑所述基板的作动示意图，以及2A至2E依序揭示现有的第二种支撑所述基板的作动示意图。请参照图IA至IB所示，在一现有配向膜的干燥装置中同时设置两组所述支撑销 30a及30b，并在干燥过程中以一定频率驱使所述支撑销30a及30b交替进行上升下降动作。如图IA所示，当所述支撑销30a向上支撑所述基板S时，所述支撑销30b即向下移动； 再如图IB所示，于一定时间后，当所述支撑销30b向上支撑所述基板S时，所述支撑销30a 即向下移动，如此依所述频率重复循环，直到完成干燥步骤。请参照图2A至2E，在另一现有配向膜的干燥装置中同样设置两组所述支撑销30c 及30d。在干燥过程中，所述支撑销30c保持不动，而所述支撑销30d以一定频率进行矩形顺时针路径的移动。如图2A所示，一开始由所述支撑销30c支撑所述基板S，而所述支撑销30d处于所述支撑销30c的下方；其后，如图2B所示，所述支撑销30d向上移动到所述支撑销30c的上方，同时抬起所述基板S ;之后，如图2C所示，所述支撑销30d带动所述基板 S 一起向左移动；再如图2D所示，所述支撑销30d向下移动到所述支撑销30c的下方，进而带动所述基板S再次置于所述支撑销30c上；如图2E所示，所述支撑销30d向右移动复位， 并再次重复图2A至2E的动作数次，直到完成干燥步骤。虽然现有工艺可借助交替改变所述支撑销与所述基板的接触点位置来稍微减少所述基板上的外观不良问题。然而，仍无法将所述基板的外观问题完全消除。故，确实有必要对配向膜的干燥步骤提供一可有效消所述基板上的斑痕的加工装置，以解决现有技术所存在的产品外观不良问题。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种干燥装置，即对配向膜提供一种可避免产生斑痕的配向膜干燥装置，以解决现有技术所存在的产品外观不良问题。本实用新型公开一种干燥装置，用于干燥预形成在一基板的一第一表面上的一配向膜材料。所述干燥装置包含一加热台、一第一支撑网、数根支撑销及一第一升降机构。所述加热台用以对所述基板的一第二表面进行加热；所述第一支撑网包含数条第一网线，所述第一网线共同定义数个第一网孔；所述支撑销位于至少一部分的所述第一网孔内；所述第一升降机构控制所述支撑销进行升降，使所述支撑销高于或低于所述第一支撑网。因此， 所述第一升降机构可决定在干燥步骤前后由所述支撑销支撑所述基板的所述第二表面；或在干燥过程中所述第一支撑网支撑所述基板的所述第二表面，以便避免所述基板的所述第一表面在干燥步骤后留下斑痕。本实用新型的次要目的在于提供一种干燥装置，包含一加热台、一第一支撑网、一第二支撑网、数根支撑销、一第一升降机构及一第二升降机构。所述第二支撑网包含数条第二网线，所述第二网线共同定义数个第二网孔；所述第二升降机构控制所述第一及第二支撑网交替进行升降，使所述第一支撑网高于或低于所述第二撑网，以决定由所述第一或第二支撑网来支撑所述基板的所述第二表面，使一基板在干燥过程中不与所述支撑销接触， 进而避免所述基板的一第一表面在干燥步骤后留下斑痕。本实用新型的另一目的在于提供一种干燥装置，其中所述第一支撑网及所述第二支撑网采用极细且承重力更佳的所述第一网线及所述第二网线来支撑所述基板，使所述基板在干燥过程中能平整且不弯曲地安置在所述第一支撑网或所述第二支撑网上，有助于确保所述基板在干燥步骤后不会弯曲变形。为达成本实用新型的前述目的，本实用新型提供一种干燥装置，用于干燥预形成在一基板的一第一表面上的一配向膜材料，其中所述干燥装置包含一加热台，用以对所述基板的一第二表面进行加热；一第一支撑网，包含数条第一网线，所述第一网线共同定义数个第一网孔；数根支撑销，位于至少一部分的所述第一网孔内；以及一第一升降机构，控制所述支撑销进行升降，使所述支撑销高于或低于所述第一支撑网，以决定由所述支撑销或所述第一支撑网来支撑所述基板的所述第二表面。为达成本实用新型的前述目的，本实用新型又提供一种干燥装置，用于干燥预形成在一基板的一第一表面上的一配向膜材料，其中所述干燥装置包含一加热台，用以对所述基板的一第二表面进行加热；一第一支撑网，包含数条第一网线，所述第一网线共同定义数个第一网孔；一第二支撑网，包含数条第二网线，所述第二网线共同定义数个第二网孔； 数根支撑销，位于至少一部分的所述第一网孔及所述第二网孔内；以及一第二升降机构，控制所述第一及第二支撑网交替进行升降，使所述第一支撑网高于或低于所述第二撑网，以决定由所述第一或第二支撑网来支撑所述基板的所述第二表面。在本实用新型的一实施例中，所述第一网线是碳纤维网线。在本实用新型的一实施例中，所述第一网线是以纵向及横向的交错排列形成所述第一网孔。在本实用新型的一实施例中，所述第一支撑网包含95条至2937条的所述第一网线，且两条平行且相邻的纵向(或横向)的所述第一网线的轴心之间的间距是3. 8毫米至 48毫米。在本实用新型的一实施例中，所述第一网线是互为平行排列形成所述第一网孔， 所述第二网线是互为平行排列形成所述第二网孔，其中所述第一网线位于所述第二网孔内进行升降，且所述第二网线位于所述第一网孔内进行升降。在本实用新型的一实施例中，所述第一网线及所述第二网线是碳纤维网线。在本实用新型的一实施例中，所述第一及第二网线的截面直径介于O. 8毫米至3 毫米之间。在本实用新型的一实施例中，所述第一及第二支撑网共包含95至2937条的所述第一及第二网线，且两条平行且相邻的所述第一及第二网线的轴心之间的间距是3. 8毫米至48毫米。在本实用新型的一实施例中，所述第二升降机构以一前周期及一后周期控制所述第一及第二支撑网交替升降，且所述前周期小于所述后周期。在本实用新型的一实施例中，所述支撑销的截面直径是2毫米。与现有技术相比较，本实用新型的干燥装置可避免支撑销与基板接触，故能确保基板的表面在干燥步骤后不留下斑痕，且可使配向膜材料更均匀地分布，更能避免基板产生变形，以达到提闻广品良率的目标。
图IA及IB依序是现有的第一种支撑所述基板的作动示意图。图2A至2E依序是现有的第二种支撑所述基板的作动示意图。图3是本实用新型提供干燥装置的第一实施例的示意图。图4是本实用新型干燥装置的第一实施例的第一支撑网的俯视图。图5A及5B依序揭示本实用新型第一实施例的干燥装置的第一升降机构的作动示意图。图6是本实用新型提供干燥装置的第二实施例的示意图。图7是本实用新型干燥装置的第二实施例的第一支撑网及第二支撑网的俯视图。图8A至8C依序是本实用新型第二实施例的干燥装置的第一升降机构及第二升降机构的作动示意图。
具体实施方式为让本实用新型上述目的、特征及优点更明显易懂，下文特举本实用新型较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。再者，本实用新型所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本实用新型，而非用以限制本实用新型。本实用新型所提出的干燥装置主要应用在一基板的加工领域，特别是半导体或光电的产品制造领域。主要是在所述基板涂布一配向膜溶液后的溶剂挥发干燥过程中，减少多个支撑销与所述基板接触的机会，避免所述基板的表面上形成斑痕。请参照图3所示，图3是本实用新型提供干燥装置300的第一实施例的示意图。所述干燥装置300可以是一液晶显示器的一基板干燥装置，其主要包含一加热台10、一第一支撑网20、数根支撑销30及一第一升降机构40，用以干燥预涂布形成在一基板S的一第一表面SI上且经溶剂稀释过的一配向膜材料(未绘示)，所述配向膜材料通常是指聚酰亚胺 (polyimide，PI)，但不限于此。本实用新型将于下文详细说明上述各组件。图4是本实用新型第一实施例的第一支撑网20的俯视图。所述第一支撑网20包含数条第一网线21，且所述第一支撑网20的所述第一网线21是以纵向及横向的交错排列形成所述第一支撑网20的多个第一网孔22。其中，假设所述基板S的长、宽及高分别可以是2500毫米、2200毫米及O. 5毫米，其重量大约是10公斤，则所述第一网线21可以选用碳纤维网线，其截面直径介于O. 8毫米至3毫米之间，所述第一支撑网20约包含95条至2937 条的所述第一网线21，且两条平行且相邻的纵向或横向的所述第一网线21的轴心之间的间距大约是3. 8毫米至48毫米，但不以此为限。请同时参照图3及图4所示，所述加热台10用以对所述基板S的一第二表面S2 进行加热，使所述溶剂自所述第一表面Si挥发而留下分布均一的一配向膜(未绘示)；所述支撑销30的数量可以少于或等于所述第一网孔22的数量，使得所述支撑销30位于至少一部分的所述第一网孔22内；以及所述第一升降机构40控制所述支撑销30进行升降，使所述支撑销30高于或低于所述第一支撑网20，以决定由所述支撑销30或所述第一支撑网 20来支撑所述基板S的所述第二表面S2。其中，所述支撑销30的截面直径可以是2毫米， 但不以此为限。图5A及5B依序揭示本实用新型第一实施例的所述干燥装置300的所述第一升降机构40的作动示意图。其中图5A显示所述第一升降机构40将所述支撑销30抬升至高于所述第一支撑网20的位置，使所述支撑销30支撑所述基板S的所述第二表面S2 ;图5B显示所述第一升降机构40将所述支撑销30降低至低于所述第一支撑网20的位置，使所述第一支撑网20支撑所述基板S的所述第二表面S2。请同时参照图3、图5A及图5B，当所述基板S未放置到所述干燥装置300之前，所述第一升降机构40先将所述支撑销30抬升至高于所述第一支撑网20的位置，此时所述支撑销30的顶端穿过部分所述第一网孔22 ;当所述基板S被放置在所述支撑销30上之后， 所述第一升降机构40将所述支撑销30降低，使所述基板S被所述第一支撑网20所支撑； 之后，启动所述加热台10的加热机制，使所述基板S在干燥过程中都安置在所述第一支撑网20上；在完成干燥步骤后，所述第一升降机构40再将所述支撑销30抬升至高于所述第一支撑网20的位置，进而带动所述基板S向上提升。请参照图6所示，其是本实用新型提供干燥装置的第二实施例的示意图。本实用新型第二实施例相似于本实用新型第一实施例的干燥装置300，并大致沿用相同组件名称及图号。在本实用新型第二实施例中，所述干燥装置400另包含一第二支撑网50，以及一
6第二升降机构60。而第二实施例的差异特征在于所述第二实施例的所述第二升降机构60 是用以控制所述第一支撑网20及所述第二支撑网50交替进行升降，使所述第一支撑网20 在干燥过程中高于或低于所述第二撑网50，以决定由所述第一支撑网20或第二支撑网50 来支撑所述基板S的所述第二表面S2。此外，图7是本实用新型第二实施例的所述第一支撑网20及所述第二支撑网50 的俯视图。其中，所述第一网线21及所述第二网线51均是互为平行沿纵向交错排列，其中各二相邻所述第一网线21之间的空间可以视为是一第一网孔22，及各二相邻所述第二网线51之间的空间也可以视为是一第二网孔52。所述第二升降机构60可控制所述第一网线 21于所述第二网孔52内相对所述第二网线51进行升降，及/或控制所述第二网线51于所述第一网孔22内相对所述第一网线21进行升降。其中，所述第二网线51也可以是碳纤维网线，其截面直径介于O. 8毫米至3毫米之间，而所述第一支撑网20及所述第二支撑网 50约共包含95条至2937条的所述第一网线21及所述第二网线51，且两条平行且相邻的所述第一网线21及所述第二网线51的轴心之间的间距大约是3. 8毫米至48毫米，但不以此为限。图8A至8C依序是本实用新型第二实施例的所述干燥装置400的所述第一升降机构40及所述第二升降机构60的作动示意图。请同时参照图6及图8A至8C,当所述基板S 未放置到所述干燥装置400之前，所述第一升降机构40先将所述支撑销30抬升至高于所述第一支撑网20的位置，此时所述第二支撑网50低于所述第一支撑网20，且所述支撑销 30的顶端同时穿过部分所述第一网孔22及部分所述第二网孔52 ;当所述基板S被放置在所述支撑销30上之后，所述第一升降机构40将所述支撑销30降低至低于所述第二支撑网 50的位置，使所述基板S被所述第一支撑网20所支撑；之后，启动所述加热台10的加热机制，并通过所述第二升降机构60控制所述第一支撑网20及所述第二支撑网50以一预定周期交替升降，使所述基板S在干燥过程中轮流安置在所述第一支撑网20或所述第二支撑网 50上，其中所述第二升降机构60可仅控制所述第一及第二支撑网20、50其中一个进行升降，或控制两者皆可进行升降；在完成干燥步骤后，所述所述第一升降机构40再将所述支撑销30抬升至高于所述第一支撑网20的位置，进而带动所述基板S向上提升。其中，所述预定周期包含一前周期及一后周期，并依所述溶剂挥发的状况设定所述前周期小于所述后周期。具体而言，在所述前周期中，所述第二升降机构60控制所述第一支撑网20及第二支撑网50于每5秒钟至10秒钟进行交替；而在所述后周期中，所述第二升降机构60控制所述第一支撑网20及第二支撑网50可于每20秒钟进行交替。如图3、图4、图5A、图5B、图6、图7及图8A至8C所示，本实用新型第一及第二实施例上述特征的优点在于所述干燥装置300及400分别借助所述第一升降机构40及所述第二升降机构60控制所述支撑销30、所述第一支撑网20及所述第二支撑网50的位置，使所述基板S在干燥过程中不与所述支撑销30接触，进而避免了所述基板S的所述第一表面 SI在干燥步骤后留下斑痕，并可减少所述支撑销30的使用数目及磨耗率。此外，所述第一支撑网20及所述第二支撑网50采用极细且承重力更加的所述第一网线21及所述第二网线51来支撑所述基板S，使所述基板S在干燥过程中能平整且不弯曲地安置在所述第一支撑网20或所述第二支撑网50上，有助于确保所述基板S在干燥步骤后不会弯曲变形。再者，通过所述第二升降机构60轮流对所述第一支撑网20及所述第二支撑网50以所述预定周期进行升降，可进而使得所述第一表面SI上的所述溶剂能更均匀地挥发，故有助于确保所述第一表面Si在干燥步骤后留下斑痕，以达到提高产品良率的目标。本实用新型已由上述相关实施例加以描述，然而上施例并未限制本实用新型的范围。相反的，包含于权利要求书的精神及范围的修改及均等设置均包括于本实用新型的范围内。
权利要求1.一种干燥装置，用于干燥预形成在一基板的一第一表面上的一配向膜材料，其特征在于所述干燥装置包含一加热台，用以对所述基板的一第二表面进行加热；一第一支撑网，包含数条第一网线，所述第一网线共同定义数个第一网孔；数根支撑销，位于至少一部分的所述第一网孔内；以及一第一升降机构，控制所述支撑销进行升降，使所述支撑销高于或低于所述第一支撑网，以决定由所述支撑销或所述第一支撑网来支撑所述基板的所述第二表面。
2.如权利要求I所述的干燥装置，其特征在于所述第一网线是碳纤维网线。
3.如权利要求I所述的干燥装置，其特征在于所述第一网线是以纵向及横向的交错排列形成所述第一网孔。
4.如权利要求2所述的干燥装置，其特征在于所述第一网线的截面直径介于O.8毫米至3毫米之间，两条平行且相邻的所述第一网线的轴心之间的间距是3. 8毫米至48毫米。
5.一种干燥装置，用于干燥预形成在一基板的一第一表面上的一配向膜材料，其特征在于所述干燥装置包含一加热台，用以对所述基板的一第二表面进行加热；一第一支撑网，包含数条第一网线，所述第一网线共同定义数个第一网孔；一第二支撑网，包含数条第二网线，所述第二网线共同定义数个第二网孔；数根支撑销，位于至少一部分的所述第一网孔及所述第二网孔内；以及一第二升降机构，控制所述第一及第二支撑网交替进行升降，使所述第一支撑网高于或低于所述第二撑网，以决定由所述第一或第二支撑网来支撑所述基板的所述第二表面。
6.如权利要求5所述的干燥装置，其特征在于所述第一网线是互为平行排列形成所述第一网孔，所述第二网线是互为平行排列形成所述第二网孔，其中所述第一网线位于所述第二网孔内进行升降，且所述第二网线位于所述第一网孔内进行升降。
7.如权利要求5所述的干燥装置，其特征在于所述第一网线及所述第二网线是碳纤维网线。
8.如权利要求5所述的干燥装置，其特征在于所述第一及第二网线的截面直径介于O.8毫米至3毫米之间，两条平行且相邻的所述第一及第二网线的轴心之间的间距是3. 8毫米至48毫米。
9.如权利要求5所述的干燥装置，其特征在于所述第二升降机构以一前周期及一后周期控制所述第一及第二支撑网交替升降，且所述前周期小于所述后周期。
10.如权利要求5所述的干燥装置，其特征在于所述支撑销的截面直径是2毫米。
专利摘要本实用新型公开一种干燥装置，用于干燥预形成在一基板的一第一表面上的一配向膜材料。所述干燥装置包含一加热台、一第一支撑网、数根支撑销及一第一升降机构。所述加热台用以对所述基板的一第二表面进行加热；所述第一支撑网包含数条第一网线，所述第一网线共同定义数个第一网孔；所述支撑销位于至少一部分的所述第一网孔内；所述第一升降机构控制所述支撑销进行升降，使所述支撑销高于或低于所述第一支撑网。因此，所述第一升降机构可决定在干燥步骤前后由所述支撑销支撑所述基板的所述第二表面；或在干燥过程中所述第一支撑网支撑所述基板的所述第二表面，以便避免所述基板的所述第一表面在干燥步骤后留下斑痕。
文档编号G02F1/1337GK202351589SQ20112034776
公开日2012年7月25日 申请日期2011年9月16日 优先权日2011年9月16日
发明者朱美娜 申请人:深圳市华星光电技术有限公司