专利名称：超高真空窗口的制作方法
技术领域：
本发明涉及超高真空设备，特别是一种适用于超高真空系统的超高真空通光窗
背景技术：
在磁光阱超高真空系统中，要求窗口具有较高的透过率，以获得较高的冷却功率， 因此要求超高真空窗口镀增透膜。而市场上销售的超高真空窗口通常不镀膜，但是对成品窗口镀膜工艺复杂、质量难以达到要求且镀膜成本高、灵活性不强。而将玻璃基片镀好膜后用铟封制作的超高真空窗口，由于铟的熔点较低，使得装有超高真空窗口的真空系统不能高温烘烤，整个真空系统的真空度难以达到要求，且铟封窗口存在制作工艺复杂，成品率低，易损坏等原因。
发明内容
本发明的目的是为特殊通光要求的超高真空系统提供一种超高真空窗口，该超高真空窗口制作简单、快捷、方便、低成本、可操作性强、结构比较灵活。本发明的技术解决方案如下
一种超高真空窗口，包括一个法兰，其特征在于还包括一个圆筒和一块圆形的窗口玻璃板，所述的圆筒的一端和所述的法兰密封相连，该圆筒的另一端与所述的窗口玻璃板密封相连。所述的法兰为具有金属刀口和通孔内台阶的法兰。所述的圆筒采取金属材料制作成一端具有周边台阶的圆筒，所述的圆筒及其周边台阶与所述的法兰的内部结构相配合，该圆筒的另一端具有内周沿台阶，供所述的窗口玻璃板安置封装。所述的圆筒的内壁具有内螺纹，供所述的窗口玻璃板和卡环安装。所述的圆形的窗口玻璃板镀有通光波长的增透膜。所述的圆形的窗口玻璃板为平凸透镜。本发明的技术效果
本发明超高真空窗口通过法兰盘安装于超高真空系统上，为超高真空系统提供一个高透射率的观测、通光窗口。本发明超高真空窗口为超高真空系统可提供一个快捷、方便、低成本、制作简单、 灵活的超高真空窗口。
图1是本发明超高真空窗口的结构示意图。图2是图1超高真空窗口的剖视图。
具体实施例方式下面结合实施例和附图对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范围。先请参阅图1、图2，图1是本发明超高真空窗口的结构示意图，图2是图1超高真空窗口的剖视图，由图可见，本发明超高真空窗口包括一个法兰1，一个圆筒2和一块圆形的窗口玻璃板3，所述的圆筒2的一端和所述的法兰1密封相连，该圆筒2的另一端与所述的窗口玻璃板3密封相连。本实施例中法兰1为具有金属刀口和通孔内台阶的法兰。所述的圆筒2采取金属材料制作成一端具有周边台阶的圆筒，所述的圆筒2及其周边台阶与所述的法兰1的内部结构相配合，该圆筒2的另一端具有内周沿台阶，供所述的窗口玻璃板3 安置封装。所述的圆筒2的内壁具有内螺纹，供所述的窗口玻璃板3和卡环安装，卡环用于固定成像透镜组或其他零件，也可以依据特定的使用场合来增加或减小长度、或反向粘贴。所述的窗口玻璃板3上镀通光激光的波长的增透膜。玻璃基板也可以依据需要做成平凸透镜。以增加成像系统的视场角。
权利要求
1.一种超高真空窗口，包括一个法兰(1 )，其特征在于还包括一个圆筒(2)和一块圆形的窗口玻璃板(3)，所述的圆筒(2)的一端和所述的法兰(1)密封相连，该圆筒(2)的另一端与所述的窗口玻璃板(3)密封相连。
2.根据权利要求1所述的超高真空窗口，其特征在于所述的法兰(1)为具有金属刀口和通孔内台阶的法兰。
3.根据权利要求2所述的超高真空窗口，其特征在于所述的圆筒(2)采取金属材料制作成一端具有周边台阶的圆筒，所述的圆筒(2)及其周边台阶与所述的法兰(1)的内部结构相配合，该圆筒(2)的另一端具有内周沿台阶，供所述的窗口玻璃板(3)安置封装。
4.根据权利要求3所述的超高真空窗口，其特征在于所述的圆筒(2)的内壁具有内螺纹，供所述的窗口玻璃板(3 )和卡环安装。
5.根据权利要求1至4任一项所述的超高真空窗口，其特征在于所述的圆形的窗口玻璃板(3)镀有通光波长的增透膜。
6.根据权利要求1至4任一项所述的超高真空窗口，其特征在于所述的圆形的窗口玻璃板(3)为平凸透镜。
全文摘要
一种用于超高真空系统的超高真空窗口，由法兰、圆筒和窗口玻璃板构成，所述的圆筒的一端和所述的法兰密封相连，该圆筒的另一端与所述的窗口玻璃板密封相连。本发明具有制作简单、低成本、使用快捷、方便、可操作性强、结构比较灵活的特点。
文档编号G02B7/02GK102540381SQ20121004311
公开日2012年7月4日 申请日期2012年2月24日 优先权日2012年2月24日
发明者刘洪力, 尹士奇, 徐震, 洪涛, 王育竹 申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所