专利名称：光阻瓶安全防护器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种光阻瓶安全防护器。
背景技术：
光阻(又名光刻胶)是集成电路行业不可或缺的原料，光阻是由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。光阻通常用于光刻工艺，具体地，光阻经光照后，在曝光区能很快地发生光固化反应，使得光阻的物理性能，特别是溶解性、亲合性等发生明显变化。经适当的溶剂处理，溶去可溶性部分，得到所需图像。光阻主要是以液态形式存放于光阻瓶内。请参考图1，图1为放置有光阻的光阻瓶示意图，其中光阻瓶包括瓶体10 ;密封所述瓶体10的密封盖11 ;盛放光阻的瓶胆12 ;贯穿密封盖11并与瓶体10贯通的进气管道13，所述进气管道13用于向瓶体10内通入气体，给予瓶胆12施加压力，使得瓶胆12向光阻设备输出光阻；贯穿密封盖11并与瓶胆12连通通的光阻输出管道14,所述光阻输出管道14在外部压力下将瓶胆12内的光阻向光阻设备输出，且所述光阻输出管道14深入瓶体10底部。在光刻工艺中，通常通过进气管道13向瓶体10内通入气体输入氮气或者氩气，在气体产生的压力下，光阻通过光阻输出管道14输出，直至光阻瓶内光阻用完。光阻瓶内的光阻用完之后，通常需要更换光阻瓶或补充光阻，此时操作人员需要将密封盖11拔出，在拔出密封盖11的时候，光阻瓶内残留的光阻会溅射出来，溅至操作人员皮肤表面，使得操作人员受伤。
实用新型内容本实用新型解决的问题是提供一种光阻瓶安全防护器，避免在更换光阻瓶或补充光阻时，伤害操作人员。为解决上述问题，本实用新型提供一种光阻瓶安全防护器，包括配置于光阻瓶外部的遮挡部，所述遮挡部适于遮挡从光阻瓶内溅射出的光阻。可选的，所述遮挡部形状为伞状、弧面状、平面状或帽状。可选的，8X XI2〉遮挡部面积>4X Xr2，其中I为光阻输出管道的长度，r为光阻瓶的半径。可选的，当所述遮挡部为伞状时， 伞状遮挡部与水平面的夹角Θ的范围为5。< Θ <35°。可选的，还包括与遮挡部连接的承接部，所述承接部用于承接光阻瓶内飞溅出的光阻以及承接遮挡部遮挡流入的光阻。可选的，所述承接部包括与所述遮挡部连接的导流壁，所述导流壁与所述遮挡部外延连接。可选的，所述导流壁内部具有至少I条的导流槽，所述导流槽适于将所述遮挡部遮挡的光阻导流至承接部地容器中。[0014]可选的，所述承接部包括与导流壁连接的容纳部，所述容纳部适于容纳飞溅的光阻。可选的，所述承接部内还放置有若干子容纳部，所述若干子容纳部独立于所述承接部，且所述子容纳部放置于所述容纳部内的位置与所述导流壁的导流槽对应，从而能够承接沿导流槽流出的光阻。与现有技术相比，本实用新型具有以下优点本实用新型在光阻瓶外部额外设置遮挡部，从而能够避免光阻瓶飞溅的光阻伤害
工作人员。进一步地，本实用新型采用承接部与遮挡部配合，不但能够避免飞溅的光阻伤害工作人员，还能够避免光阻污染超净间的地面，保证安全生产。进一步地，本实用新型·在所述承接部230内还设置有若干子容纳部，所述若干子容纳部独立于所述承接部，所述子容纳部放置于所述容纳部内的位置与所述导流壁的导流槽对应，从而能够承接沿导流槽流出的光阻；且在后续更换时，从而只需要更换子容纳部，而不需要将整个防护器废弃，节约了成本。
[0020]图1为放置有光阻的光阻瓶示意图；[0021]图2为本实用新型光阻瓶安全防护器的一实施例剖面示意图；[0022]图3为本实用新型光阻瓶安全防护器的一实施例俯视图；[0023]图4为本实用新型光阻瓶安全防护器的另一实施例剖面示意图；[0024]图5为本实用新型光阻瓶安全防护器的又一实施例示意图；[0025]图6为本实用新型光阻瓶安全防护器的又一实施例示意图。
具体实施方式
由背景技术可知，光阻瓶内的光阻用完之后，通常需要更换光阻瓶或补充光阻，此时操作人员需要将密封盖11拔出，在拔出密封盖11的时候，由于光阻瓶内存在内部残压，且在拔出密封盖的同时，需将深入瓶体10底部的所述光阻输出管道14同时拔出，若操作人员用力不当，光阻瓶内残留的光阻或者粘附于所述光阻输出管道14表面的光阻极易溅射出来，溅至操作人员皮肤表面，使得操作人员受伤。为此，本实用新型的发明人提供一种光阻瓶安全防护器，能够在更换光阻瓶或补充光阻时保护操作人员，提高光阻瓶更换的安全系数，保证安全生产。请参考图2和图3，图2为本实用新型光阻瓶安全防护器的一实施例剖面示意图，图3为本发明光阻瓶安全防护器的一实施例俯视图，包括配置于光阻瓶110外部的遮挡部120，所述遮挡部120适于遮挡从光阻瓶内溅射出的光阻。具体地，所述遮挡部120形状为伞状、弧面状、平面状、帽状等，需要说明的是，所述遮挡部120的面积与所述光阻输出管道的长度对应，其原因在于，在拔出光阻瓶密封盖时，通常会连同配置于密封盖内的光阻输出管道一同拔出，此时，除了受光阻瓶内的残压影响导致瓶内光阻溅射出来，光阻输出管道表面粘附的光阻在外力作用下，也会溅射，因此所述遮挡部120的面积如果太小，无法有效遮挡飞溅的光阻，而所述遮挡部120过大，则会造成浪费。本实用新型的发明人对光阻瓶内的残压和拔出光阻密封盖的力度大小进行了深入的研究，发现当8X Ji X12>S>4X Ji Xr2时，其中S为遮挡部120面积，I为光阻输出管道121的长度，r为光阻瓶110的半径，在光阻瓶内的残压和拔出光阻密封盖时飞溅的光阻都能够有效地被遮挡，所述遮挡部120遮挡效果佳。当所述遮挡部120为伞状时，请依旧参考图2，伞状遮挡部120与水平面的夹角Θ的范围为5° < Θ <35°时，遮挡部120遮挡效果佳，所述遮挡部120中间位置具有一装配结构，所述装配结构与光阻瓶110的密封盖结构匹配，使得所述遮挡部能够装配于密封盖上。所述遮挡部120的装配结构与密封盖外部可以为螺纹结合、卡合或弹性结合，从而有效地使得所述遮挡部120装配于密封盖。所述遮挡部120的材料为塑料、玻璃或耐腐蚀金属，例如为聚四氟乙烯(PTFE)、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、高密度聚乙烯(HDPP)、聚氯乙烯(PVC)、通用聚苯乙烯(GPPS)、耐冲击性聚苯乙烯(HIPS)、苯乙烯-丙烯腈共聚物(AS)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS)、聚甲基丙烯酸酯(PMMA)、聚酰胺(PA)、聚甲醛树脂(Ρ0Μ)。另外，发明人发现现有的光阻瓶在更换光阻瓶或补充光阻时，光阻输出管道内的残余光阻会滴至超净间(Clean Room)的黄光区域地面，对工作环境造成破坏。且光阻具有污染，后续清洁麻烦。为此，本实用新型的发明人还提出一种光阻瓶安全防护器，不但能够在更换光阻瓶或补充光阻时保护操作人员，提高光阻瓶更换的安全系数，而且能够防止残余的光阻污染地面，保证安全生产。请参考图4，图4为本实用新型光阻瓶安全防护器的另一实施例剖面示意图，包括配置于光阻瓶210外部的遮挡部220，所述遮挡部220适于遮挡从光阻瓶内溅射出的光阻。 所述遮挡部220的具体描述请参考前一实施例中遮挡部的描述，在这里不再赘述。所述光阻瓶安全防护器还包括与遮挡部220连接的承接部230，所述承接部230用于承接光阻瓶内飞溅出的光阻以及承接遮挡部220遮挡流入的光阻。具体地，所述承接部23O材料为塑料、玻璃或耐腐蚀金属，例如为聚四氟乙烯(PTFE)、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、高密度聚乙烯(HDPP)、聚氯乙烯(PVC)、通用聚苯乙烯(GPPS)、耐冲击性聚苯乙烯(HIPS)、苯乙烯-丙烯腈共聚物(AS)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS)、聚甲基丙烯酸酯(PMMA)、聚酰胺(PA)、聚甲醛树脂(Ρ0Μ)。还需要说明的是，所述承接部230与所述遮挡部220 —体成型，所述承接部230与所述遮挡部220形成一空腔，所述光阻瓶210的瓶体上部放置于所述空腔内，所述承接部230与所述光阻瓶210的瓶体总部或底部密闭连接，且所述承接部230具有容积，从而使得飞溅的光阻能够沿所述遮挡部220流至所述承接部230内。在本实用新型的其他实施例中，请参考图5，所述承接部230包括与所述遮挡部220连接的导流壁231，所述导流壁231与所述遮挡部220外延连接，且所述导流壁231内部具有至少I条的导流槽232，所述导流槽232适于将所述遮挡部220遮挡的光阻导流至承接部地容器中。[0042]所述承接部230还包括与导流壁231连接的容纳部233，所述容纳部233适于容纳飞溅的光阻。具体地，所述承接部230还设置有排出孔，所述排出孔连接废旧光阻处理装置，从而能够将飞溅的光阻直接排入安全的废旧光阻处理装置内。在另一实施例中，请参考图6，所述承接部230内还设置有若干子容纳部2331，所述若干子容纳部2331独立于所述承接部，即所述若干子容纳部2331可以与所述承接部230分离，所述子容纳部2331可以为小型的塑料杯、纸杯或玻璃杯，且所述子容纳部2331的大小与所述容纳部233的内部尺寸匹配，且所述子容纳部2331放置于所述容纳部233内的位置与所述导流壁231的导流槽232对应，从而能够承接沿导流槽232流出的光阻，在所述子容纳部2331内承接光阻后，可以直接将所述子容纳部2331从所述承接部230内拿出弃置，而不需要更换所述承接部230，从而能够节约成本。本实用新型在光阻瓶外部额外设置遮挡部，从而能够避免光阻瓶飞溅的光阻伤害
工作人员。进一步地，本实用新型采用承接部与遮挡部配合，不但能够避免飞溅的光阻伤害工作人员，还能够避免光阻污染超净间的地面，保证安全生产。本实用新型虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本实用新型，任何本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本实用新型技术方案的保护范围。
权利要求1.一种光阻瓶安全防护器，其特征在于，包括配置于光阻瓶外部的遮挡部，所述遮挡部适于遮挡从光阻瓶内溅射出的光阻。
2.如权利要求1所述光阻瓶安全防护器，其特征在于，所述遮挡部形状为伞状、弧面状、平面状或帽状。
3.如权利要求1所述光阻瓶安全防护器，其特征在于，8Xπ XI2〉遮挡部面积 >4X Xr2，其中I为光阻输出管道的长度，r为光阻瓶的半径。
4.如权利要求2所述光阻瓶安全防护器，其特征在于，当所述遮挡部为伞状时，伞状遮挡部与水平面的夹角Θ的范围为5° < Θ <35°。
5.如权利要求1所述光阻瓶安全防护器，其特征在于，还包括与遮挡部连接的承接部，所述承接部用于承接光阻瓶内飞溅出的光阻以及承接遮挡部遮挡流入的光阻。
6.如权利要求5所述光阻瓶安全防护器，其特征在于，所述承接部包括与所述遮挡部连接的导流壁，所述导流壁与所述遮挡部外延连接。
7.如权利要求6所述光阻瓶安全防护器，其特征在于，所述导流壁内部具有至少I条的导流槽，所述导流槽适于将所述遮挡部遮挡的光阻导流至承接部地容器中。
8.如权利要求5所述光阻瓶安全防护器，其特征在于，所述承接部包括与导流壁连接的容纳部，所述容纳部适于容纳飞溅的光阻。
9.如权利要求7所述光阻瓶安全防护器，其特征在于，所述承接部内还放置有若干子容纳部，所述若干子容纳部独立于所述承接部，且所述子容纳部放置于所述容纳部内的位置与所述导流壁的导流槽对应，从而能够承接沿导流槽流出的光阻。
专利摘要一种光阻瓶安全防护器，包括配置于光阻瓶外部的遮挡部，所述遮挡部适于遮挡从光阻瓶内溅射出的光阻。本实用新型能够有效防止光阻瓶内的光阻飞溅伤害工作人员。
文档编号G03F7/00GK202886837SQ20122053664
公开日2013年4月17日 申请日期2012年10月18日 优先权日2012年10月18日
发明者韩新田, 程蒙, 李纯阳, 傅钰 申请人:上海宏力半导体制造有限公司