电光调制器的制造方法
【专利摘要】本发明提供一种电光调制器，其包括一基底、一形成于该基底上的Y型光波导、多个设置于该基底上的调制电极及地电极。该Y型光波导包括一第一分支及一第二分支，该第一分支包括一第一子Y型光波导，该第二分支包括一第二子Y型光波导。该多个调制电极及地电极分别用于调制该第一子Y型光波导及该第二子Y型光波导以使该第一子Y型光波导及该第二子Y型光波导输出的光束的功率相同，从而提高消光比。
【专利说明】电光调制器
【技术领域】
[0001]本发明涉及高速光通讯系统，特别涉及一种电光调制器。
【背景技术】
[0002]马赫-曾德尔(Mach-Zehner)电光调制器利用电光效应通过调制电场改变Y型光波导两个分支之一的等效折射率，从而改变在其中传输的光束的相位，使之与Y型光波导另外一分支中传输的光束存在相位差。如此，Y型光波导两个分支中传输的光束重新汇聚后将发生干涉，输出功率取决于相位差，也即是由调制电场决定，从而实现调制。然而，Y型光波导两个分支中传输的光束的功率往往存在微小差异，导致当电光调制器作为开关使用时，关闭状态依然有微小功率输出而开启状态时输出的功率并非最大，消光比(extinct1nrat1)下降。
【发明内容】
[0003]有鉴于此，有必要提供一种可提高消光比的电光调制器。
[0004]一种电光调制器，其包括:
一基底;
一形成于该基底上的Y型光波导，该Y型光波导包括一第一分支及一第二分支，该第一分支包括一第一子Y型光波导，该第一子Y型光波导包括一第一子分支及一第二子分支，该第二分支包括一第二子Y型光波导，该第二子Y型光波导包括一第三子分支及一第四子分支；该第二子分支及该第四子分支分别位于该第一子分支及该第三子分支两侧；该基底在该第二子分支与该第一子分支相背一侧开设有一第一凹槽、在该第一分支与该第二分支之间开设一第二凹槽及在该第四子分支与该第三子分支相背一侧开设有一第三凹槽；
一填充于该第一凹槽的第一地电极；
一设置于该基底上且位于该第二子分支与该第一子分支之间的第一调制电极；
一填充于该第二凹槽的第二地电极；
一覆盖该第三子分支的第二调制电极；
一覆盖该第四子分支的第三地电极；及一填充于该第三凹槽的第三调制电极。
[0005]该第一地电极、该第一调制电极及该第二地电极配合用于调制该第一子Y型光波导而该第二地电极、该第二调制电极、该第三地电极及该第三调制电极配合用于调制该第二子Y型光波导以使该第一子Y型光波导及该第二子Y型光波导输出的功率相同。
[0006]如此，当该电光调制器作为开关使用时，该第一子Y型光波导及该第二子Y型光波导输出的功率分别决定该第一分支及该第二分支参与干涉的功率，而由于该第一子Y型光波导及该第二子Y型光波导输出的光束的功率相同，从而使得关闭状态输出功率最小而开启状态时输出功率最大，消光比提高。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]图1为本发明较佳实施方式的电光调制器的立体示意图。
[0008]图2为图1的电光调制器沿线I1-1I的剖面示意图。
[0009]主要元件符号说明
【权利要求】
1.一种电光调制器,其包括: 一基底; 一形成于该基底上的Y型光波导，该Y型光波导包括一第一分支及一第二分支，该第一分支包括一第一子Y型光波导，该第一子Y型光波导包括一第一子分支及一第二子分支，该第二分支包括一第二子Y型光波导，该第二子Y型光波导包括一第三子分支及一第四子分支；该第二子分支及该第四子分支分别位于该第一子分支及该第三子分支两侧；该基底在该第二子分支与该第一子分支相背一侧开设有一第一凹槽、在该第一分支与该第二分支之间开设一第二凹槽及在该第四子分支与该第三子分支相背一侧开设有一第三凹槽； 一填充于该第一凹槽的第一地电极； 一设置于该基底上且位于该第二子分支与该第一子分支之间的第一调制电极； 一填充于该第二凹槽的第二地电极； 一覆盖该第三子分支的第二调制电极； 一覆盖该第四子分支的第三地电极；及 一填充于该第三凹槽的第三调制电极； 该第一地电极、该第一调制电极及该第二地电极配合用于调制该第一子Y型光波导而该第二地电极、该第二调制电极、该第三地电极及该第三调制电极配合用于调制该第二子Y型光波导以使该第一子Y型光波导及该第二子Y型光波导输出的功率相同。
2.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该基底的材料采用铌酸锂晶体。
3.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该Y型光波导包括一输入段及一输出段，该第一分支及该第二分支自该输入段分叉出并汇聚入该输出段，该第一分支还包括一与该输入段连接的第一子输入段及一与该输出段连接第一子输出段，该第一子分支及该第二子分支自该第一子输入段分叉出并汇聚入该第一子输出段，该第二分支还包括一与该输入段连接的第二子输入段及一与该输出段连接第二子输出段，该第三子分支及该第四子分支自该第二子输入段分叉出并汇聚入该第二子输出段。
4.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该基底包括一个顶面，该Y型光波导是自该顶面向该基底内部高温扩散金属钛而形成的，该第一凹槽、该第二凹槽及该第三凹槽自该顶面向该基底内开设，该第一凹槽、该第二凹槽及该第三凹槽的深度大于或至少等于该Y型光波导的深度，而该第一地电极、该第二地电极及该第三调制电极分别填满该第一凹槽、该第二凹槽、该第三凹槽，与该第一调制电极、该第二调制电极及该第三地电极高度平齐，并伸出侧翼覆盖该顶面。
5.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该输入段、该输出段、该第一子分支、该第二子分支、该第三子分支及该第四子分支平行设置，该第二子分支及该第四子分支分别位于该第一子分支及该第三子分支两侧，该第二子分支比该第一子分支短，该第一凹槽与该第二子分支平行、对齐且等长，该第一调制电极也与该第二子分支平行、对齐且等长。
6.如权利要求5所述的电光调制器，其特征在于，该第一调制电极沿垂直于该第二子分支的方向在该第二凹槽上的投影完全落在该第二凹槽上。
7.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该输入段、该输出段、该第一子分支、该第二子分支、该第三子分支及该第四子分支平行设置，该第二子分支及该第四子分支分别位于该第一子分支及该第三子分支两侧，该第四子分支比该第三子分支短，该第三凹槽与该第四子分支平行、对齐且等长，该第三地电极也与该第四子分支平行、对齐且等长。
8.如权利要求7所述的电光调制器，其特征在于，该第二调制电极134与该第三地电极平行、对齐且等长，且该第二调制电极沿垂直于该第二分支的方向在该第二凹槽上的投影完全落在该第二凹槽上。
9.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该电光调制器还包括一设置于该基底与该第二调制电极及该第三地电极之间的缓冲层，用于防止在该第一子分支、该第二子分支、该第三子分支及该第四子分支传输的光束被该第二调制电极与该第三地电极吸收。
10.如权利要求9所述的电光调制器，其特征在于，该缓冲层采用二氧化硅制成。
【文档编号】G02F1/035GK104133304SQ201310155202
【公开日】2014年11月5日 申请日期:2013年4月30日 优先权日:2013年4月30日
【发明者】黄新舜 申请人:鸿富锦精密工业（深圳）有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司