工作平台的平行度运作机构的制作方法
【专利摘要】本实用新型的工作平台的平行度运作机构包括一平台及一运作装置。该平台具有一第一穿孔。该运作装置用以升降该平台，且包括一底座、一从定位柱、三升降模组及一平面校正模组。该从定位柱、该数个升降模组及该平面校正模组是设于该底座上。该从定位柱用以限制该平台旋转的角度。该数个升降模组用以将该平台升起或降下。该平面校正模组固定于该平台上，且可随该平台上升或下降。
【专利说明】工作平台的平行度运作机构
【技术领域】
[0001]本实用新型是与平台的升降机构有关，特别是指一种可任意调整平台的水平角度及高度的运作机构。
[0002]【背景技术】
[0003]中国台湾新型第568349号专利揭露一种用于奈米转印之平行度调整装置，其包括一转印单元、一承载单元、一平行度调整机构及一驱动源。该驱动源用以驱动该转印单元与承载单元之其中至少一者，以令该转印单元的转印用模具与该承载单元上的基板接触而进行转印，并藉其接触使该平行度调整机构受压，而调整该转印用模具与该基板间的转印平行度。该平行度调整机构包括一弹性膜及封装于该弹性膜内的流体，如此，就可以利用弹性膜来调整该基板的平行度。但是，由于该专利是利用密闭弹性膜及流体的受压，而被动地进行平行度补偿，因此，该专利不能主动且快速地调整该基板的平行度，且，密闭弹性膜及流体在未受压时，该专利无法调整该基板的平行度。
[0004]中国台湾发明第500973号揭露近接式曝光之光罩与工件之间隙控制方法及近接式曝光装置，该近接式曝光装置是利用移动第一移动机构，使工件载置台接近光罩，再藉由间隙测定机构测定间隙量，并利用第二移动机构控制工件载置台的倾斜与升降。但是，该工件载置台仅能升降移动，而无法进行其它方向的运作。
[0005]为了改善上述的缺失，本实用新型提供能主动且进行多角度调整基板平行度的平行度运作机构。
[0006]
【发明内容】
[0007]本实用新型的工作平台的平行度运作机构包括一平台及一运作装置。该平台具有一第一穿孔。该运作装置用以升降该平台，且包括一底座、一从定位柱、三升降模组及一平面校正模组。该底座正对该平台，且具有前、后、左及右侧边。该从定位柱固设于该底座上，且邻近该底座的右侧边，并从该定位柱穿过该平台的第一穿孔。该数个升降模组具有一驱动单元、一螺杆及一支撑单元。该驱动单元连接该螺杆，且用以驱动该螺杆。该支撑单元设于该螺杆上，且随该螺杆转动而相对该螺杆移动。该数个支撑单元分别用以支撑该平台。该平面校正模组设于该底座上，且邻近该底座的左侧边，并正对该从定位柱。该平面校正模组具有一轨道及滑设于该轨道的一校正单元。该校正单元连接于该平台上。如此，本实用新型的工作平台运作机构即可藉由该数个升降模组的运作，而将该平台升起或降下，再者，该平台的第一穿孔、该从定位柱及该平面校正模组是供调整该平台的水平角度。
[0008]较佳地，该校正单元包括一支撑架及一球轴承。该球轴承固设于该支撑架上，且可相对该支撑架转动。其中，该平台连接该球轴承。表示，该平台可利用该球轴承而相对该支撑架作倾斜的转动。
[0009]较佳地，每一支撑单元具有一支撑部、一钢珠、承接部及至少两弹簧。该钢珠设于该支撑部及该承接部之间。该承接部支撑该平台且可藉由该钢珠而相对该支撑部摆动。每一弹簧的两端分别连接该支撑部及该承接部。如此，该数个支撑单元就可顺应该平台的摆动而自由调整。【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的一较佳实施例的压印系统的立体图。
[0011]图2是图1中压印系统的正视图。
[0012]图3是图1中工作平台的平行度运作机构的立体图。
[0013]图4是图3中工作平台的平行度运作机构的正视图。
[0014]图5是图3中平台、从定位柱及平面效正模组的立体图。
[0015]图6是图5中平台、从定位柱及平面效正模组的正视图。
[0016]图7是图5中平台、从定位柱及平面效正模组的爆炸图。
[0017]图8是图5中平台及从定位柱的作动示意图。
[0018]图9是图4中升降模组及平台的局部放大图。
[0019]图10是图9中升降模组的支撑单元的爆炸图。
【具体实施方式】
[0020]如图1及图2所示，该压印系统10包括一压合机构20及一工作平台的平行度运作机构30，该压合机构20设于该工作平台的平行度运作机构30上。该压合机构20包括一压印装置21及一基板承载装置23。该压印装置21可随该工作平台的平行度运作机构30作动，而向上升起。该基板承载装置23被固定于该工作平台的平行度运作机构30上，且用以承载一基板。如此，当该工作平台的平行度运作机构30开始作动时，该压印装置21就可被升起至完整平行抵靠该基板承载装置23的位置，或降下至远离该基板承载装置23。
[0021]如图3及图4所示，图3及图4是省略图1的压合机构20。该工作平台的平行度运作机构30包括一平台31及一运作装置33。该平台31具有一第一穿孔311。该运作装置33用以升降该平台31，且包括一底座331、一从定位柱333、三升降模组335及一平面效正模组337。该底座331正对该平台31，且具有前、后、左及右侧边3311、3313、3315、3317。该从定位柱333固设于该底座331上，且邻近该底座331的右侧边3317，并该从定位柱333穿过该平台31的第一穿孔311。该数个升降模组335分别固设于该底座331上，且邻近该底座331的前、左及右侧边3311、3315、3317。每一升降模组335具有一驱动单元3351、一螺杆3353及一支撑单元3355。该驱动单元3351连接该螺杆3353，且用以驱动该螺杆3353。该支撑单元3355分别用以支撑该平台31。该平面效正模组337设于该底座331上，且邻近该底座331的左侧边3315，并正对该从定位柱333。该平面效正模组337具有一轨道3371及滑设于该轨道3371的一校正单元3373，该校正单元3373固定且连接于该平台31上。如此，当该数个升降模组335的驱动单元3351带动该数个螺杆3353转动时，即可将该平台31升起或降下(表示沿Z轴运动)，且该平面效正模组337的效正单元3373也会随着该平台31升起或降下而沿该轨道3371移动。再者，由于该第一穿孔311的孔径略大于该从定位柱333，所以，若需要微调该平台31的倾斜角度，就可以藉由该数个升降模组335、该平台31的第一穿孔311的孔径及该从定位柱333的配置与运作来限制该平台31的Z轴旋转角度。
[0022]如图5及图6所示，该校正单元3373包括一支撑架3375及一球轴承3377。该球轴承3377固设于该支撑架3375上，且可相对该支撑架3375转动，其中，该球轴承3377连接该平台31。如此，该平台31利用校正单元3373的结构而作XY平面的转动。[0023]如图7所示，该平台31还有位于该第一穿孔311的相对侧的一第二穿孔313。该校正单元3373还包括一固定环3379及一支撑柱3381。该固定环3379抵顶于该平台31上，且位于该平台31的顶面。该支撑柱3381穿过该球轴承3377、该平台31的第二穿孔313及该固定环3379，且固设于该支撑架3375上，以限制并决定该平台31相对该校正单元3373作Z轴方向转动角度。
[0024]请再参照图7，该平台31还具一夹持模组。该夹持模组位于该第一穿孔311的孔缘，且夹靠该从定位柱333，并有一第一定位件315及一第二定位件317。该第一及第二定位件315、317是相正对。该第一定位件315具有一第一固定块3151及枢设于该第一固定块3151上的一第一滚轮3153,该第一固定块3151固定于该平台31上,该第一滚轮3153的轮面3155抵顶该从定位柱333。该第二定位件317具有一第二固定块3171、一摆臂3173、一弹簧3175及一第二滚轮3177，该第二固定块3171固定于该平台31上，该摆臂3173的一端枢设于该第二固定块3171上，且相对该第二固定块3171摆动，该弹簧3173设于该第二固定块3171内，该弹簧3173的两端分别抵顶该摆臂3173的另一端及该第二固定块3171，该第二滚轮3177枢设于该摆臂3173的另一端上，且该第二滚轮3177的轮面3179抵顶于该从定位柱333上。如图8所示，当该平台31在调整倾角时，该第一及第二滚轮3153、3177的轮面3155、3179均可保持抵靠在该从定位柱333上，而夹着该从定位柱333。
[0025]需要特别注意的是，该夹持模组是用以夹靠该从定位柱333的外周面，所以，该夹持模组也可以是其它结构，但该结构需要可以夹在该从定位住333的外周面，且可以沿该从定位柱333作Z轴移动，故不以此所述的该夹持模组的结构为限。
[0026]如图9及图10所示，每一升降模组335的支撑单元3355具有一支撑部3357、一钢珠3359、一承接部3361及三弹簧3363。该钢珠3359设于该支撑部3357及该承接部3361之间。该承接部3361支撑该平台31，且可藉由该钢珠3359而相对该支撑部3357摆动，如此，该平台31就可以朝任意方向微调倾斜角度。每一弹簧3363的两端分别连接该支撑部3357及该承接部3361，以辅助该平台31定位。但实务中，该弹簧3363的数量也可以采用两个或三个以上，所以不以三个为限。
[0027]该承接部3361包括一连接块3365及一止推轴承3367，该连接块3365具有一容槽3369，该止推轴承3367设于该容槽3369内，且连接该平台31。如此，在该平台31被调整倾斜角度时，该平台即可藉由该止推轴承3367而相对该支撑部3357滑动。
[0028]由于，本实用新型的工作平台的水平度运作机构具有上述的结构，所以，该平台不仅可被升起或降下，还可以依据该基板承载装置的基板平面任意调整水平角度，以确保在该平台上的压印装置与该基板完整平行压合。
[0029]需要特别注意的是，该平台的第一穿孔也可以是其它形态，因为该第一穿孔只是供该从定位柱穿过，所以，不以此较佳实施例所述为限。若选用其它校正单元，且其可稳定地固定该平台，这样，该平台也可以省略该第二穿孔，所以，该校正单元及该第二穿孔不以较佳实施例所述为限。此外，于此实施例中，该工作平台运作机构用以升降该压印装置，但也可以改为升降该基板承载装置，所以，不以升降该压印装置为限。
[0030]综上所述，本发明的工作平台的平行度运作机构不仅可被应于该压印系统中，也可以被应用于其它需要控制平台的平行度设备上，所以，本发明的工作平台的平行度运作机构不以应用在压印系统为限。
【权利要求】
1.一种工作平台的平行度运作机构，其特征在于，包括: 一平台；及 一运作装置，用以升降该平台及调整该平台的平行度，且包括一底座、一从定位柱、三升降模组及一平面校正模组，该底座正对该平台，且具有前、后、左及右侧边，该从定位柱固设于该底座上，且邻近该底座的右侧边，该从定位柱穿过该平台，该数个升降模组分别固设于该底座上，且邻近该底座的前、左及右侧边，每一升降模组具有一驱动单元、一螺杆及一支撑单元，该驱动单元连接该螺杆，且用以驱动该螺杆，该支撑单元设于该螺杆上，且随该螺杆转动而相对该螺杆移动，该数个支撑单元分别用以支撑该平台，该平面校正模组设于该底座上，且邻近该底座的左侧边，并正对该从定位柱，该平面校正模组具有一轨道及滑设于该轨道的一校正单元，该校正单元连接该平台，以使该平台转动。
2.根据权利要求1所述的工作平台的平行度运作机构，其特征在于，该校正单元包括一支撑架及一球轴承，该球轴承固设于该支撑架上，且可相对该支撑架转动，其中，该平台连接该球轴承。
3.根据权利要求2所述的工作平台的平行度运作机构，其特征在于，该平台有一第一穿孔及一第二穿孔，该第一穿孔供该从定位柱穿过其中，该球轴承穿过该第二穿孔。
4.根据权利要求2所述的工作平台的平行度运作机构，其特征在于，该校正单元包括一固定环及一支撑柱，该固定环抵顶于该平台上，且位于该平台的顶面，该支撑柱穿过该球轴承、该平台的第二穿孔及该固定环，且固设于该支撑架上。
5.根据权利要求1所述的工作平台的平行度运作机构，其特征在于，每一支撑单元具有一支撑部、一钢珠、一承接部及至少两弹簧，该钢珠设于该支撑部及该承接部之间，该承接部支撑该平台，且可相对该支撑部摆动，每一弹簧的两端分别连接该支撑部及该承接部。
6.根据权利要求5所述的工作平台的平行度运作机构，其特征在于，该承接部包括一连接块及一止推轴承，该连接块具有一容槽，该止推轴承设于该容槽内，且连接该平台。
7.根据权利要求1所述的工作平台的平行度运作机构，其特征在于，该平台有一第一穿孔及一夹持模组，该第一穿孔供该从定位柱穿过，该夹持模组位于该第一孔的孔缘，且夹靠该从定位柱。
8.根据权利要求7所述的压印系统的工作平台运作机构，其特征在于，该夹持模组具有一第一定位件及一第二定位件，该第一及第二定位件是相正对，该第一定位件具有一第一固定块及枢设于该第一固定块上的一第一滚轮，该第一固定块固定于该平台上，该第一滚轮的轮面抵顶该从定位柱，该第二定位件具有一第二固定块、一摆臂、一弹簧及一第二滚轮，该第二固定块固定于该平台上，该摆臂的一端枢设于该第二固定块上，且相对该第二固定块摆动，该弹簧设于该第二固定块内，该弹簧的两端分别抵顶该第二固定块及该摆臂，该第二滚轮枢设于该摆臂的另一端上，且该第二滚轮的轮面抵顶于该从定位柱上。
【文档编号】G03F7/00GK203520009SQ201320166184
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年4月7日 优先权日:2013年4月7日
【发明者】邱建清, 陈赞仁 申请人:东捷科技股份有限公司