数据转换方法、描画系统及记录介质的制作方法

数据转换方法、描画系统及记录介质的制作方法
【专利摘要】一种数据转换方法、描画系统及记录介质。在数据转换装置中，将被分层的输入数据转换成输出数据时，对表示第一情况的数据转换效率上升程度的第一缓存效率与表示第二情况的数据转换效率上升程度的第二缓存效率进行比较，第一情况为缓存了在作为输入数据所表示的图案的父类图形中参照的第一参照图形要素的情况，第二情况为缓存了在第一参照图形要素中参照的第二参照图形要素的情况。在缓存了数据转换的效率上升程度大的参照图形要素后，用缓存的参照图形要素的参照扫描宽度，从输入数据向输出数据转换。由此，能够通过数据转换的效率上升来缓存适当的参照图形要素。结果，能够恰当提高从输入数据向输出数据进行数据转换的效率。
【专利说明】数据转换方法、描画系统及记录介质
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种将表示多个图形要素的被分层的输入数据转换成作为扫描宽度数据(run length data)的输出数据的技术。
【背景技术】
[0002]以往，通过向在半导体基板、印刷基板或者等离子显示装置、液晶显示装置用的玻璃基板等(以下，称为“基板”)上形成的感光材料照射光，来描画图案。近年来，伴随着图案的高清化，使用一种在感光材料上利用光束扫描来直接描画图案的图案描画装置。
[0003]在设计阶段，通常，利用CAD (计算机辅助设计)数据等的矢量数据表现这种图案，在利用图案描画装置描画图案时，进行如下的光栅图像处理(RIP:Raster ImageProcessing):将该矢量数据转换成能够被图案描画装置使用的扫描宽度数据(run lengthdata)等的光栅数据。目前，追求在图案描画装置中缩短数据转换所需的时间的技术。
[0004]例如，在日本特开2010-80777号公报(文献I)中，提出了如下的技术:提取在描画图案中反复出现的定形图案，生成曝光用定形光栅数据，在曝光装置进行曝光动作时，将固有图案的图案数据转换成固有光栅数据，并且合成曝光用定形光栅数据与固有光栅数据，由此,来生成曝光光栅数据。
[0005]在日本特开2008-225187号公报(文献2)中也同样地提出了如下的技术:在将矢量形式的设计数据进行光栅化时，提取在设计数据中反复记载的作为结构要素的部件，针对每一种部件，仅将一个部件光栅化，并转换成部件光栅数据。在文献2中，另外，在多头(multi head)的描画装置中，在根据整体的光栅数据针对每个记录头生成光栅数据时，对第一方法和第二方法的数据量进行推断及比较，来判断选择哪一种方法，所述第一方法是指包括部件和布局信息的方法，所述第二方法是指按照布局信息来排列并合成部件的方法。
[0006]在日本特开2007-208057号公报(文献3)中，提出了如下的方法:针对输入数据所包含的图形数据要素，检索已经进行了矩形划分处理的处理结束数据要素的数据库，在检测出对应的处理结束数据要素的情况下，将该处理结束数据要素纳入输出数据，在没有检测出对应的处理结束数据要素的情况下，对图形数据要素进行矩形划分处理，生成处理结束数据要素之后，将该要素纳入输出数据。
[0007]在此，通常，图案的矢量数据表现为具有分层结构的数据块的集合。各数据块包括用于参照一个以上的图形要素或其它数据块所表示的图形要素的信息。在上述的文献I?文献3提出的技术中，在将这种矢量数据转换成光栅数据时，仅将反复出现的数据块进行一次光栅化，生成(即，高速缓存)参照光栅数据，针对同种类的数据块，使用参照光栅数据。
[0008]然而，在反复出现的数据块具有分层结构的情况下，在高速缓存了一个数据块时，用于数据转换的时间，有可能变得比在高速缓存了该数据块所参照的数据块时用于数据转换的时间长。换言之，根据在分层结构中的不同分层中进行高速缓存，数据转换效率也会发生变化。
【发明内容】

[0009]本发明提供一种将表示多个图形要素的被分层的输入数据转换成作为扫描宽度数据的输出数据的数据转换方法。本发明还提供一种在基板上描画图案的描画系统。本发明提供一种记录有将多个图形要素的作为矢量数据的输入数据转换成作为扫描宽度数据的输出数据的程序的记录介质。本发明的目的在于提高数据转换效率。
[0010]本发明的一种数据转换方法具有:(a)工序，基于输入数据，求出在第一情况下的第一缓存效率，所述第一缓存效率表示从所述输入数据向所述输出数据转换的效率上升的程度，所述输入数据包括:父类图形数据块，其表示父类图形；第一参照图形数据块，其表示在所述父类图形数据块中被参照的第一参照图形要素；第二参照图形数据块，其表示在所述第一参照图形数据块中被参照的第二参照图形要素；所述第一情况是指:假设将单独对所述第一参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第一参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形内的所述第一参照图形要素的第一参照区域中，都配置所述第一参照扫描宽度的情况，(b)工序，基于所述输入数据，求出在第二情况下的第二缓存效率，所述第二情况是指:假设将单独对所述第二参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第二参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向所述输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形及所述第一参照图形要素内的所述第二参照图形要素的第二参照区域中，都配置所述第二参照扫描宽度的情况，(c)工序，在所述第一缓存效率大于所述第二缓存效率的情况下，根据所述第一参照图形数据块，生成所述第一参照扫描宽度，并将其作为参照扫描宽度而存储在所述高速缓冲存储器内；在所述第一缓存效率小于所述第二缓存效率的情况下，根据所述第二参照图形数据块，生成所述第二参照扫描宽度，并将其作为所述参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，(d)工序，在所述父类图形内，在所有的配置有与所述参照扫描宽度对应的参照图形要素的参照区域中，配置所述参照扫描宽度，并且进行从所述输入数据向所述输出数据的转换；在所述(a)工序中，通过将第一特征量乘以第一次数，来求出所述第一缓存效率，所述第一特征量表示所述第一参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第一次数是指，将所述父类图形数据块中的所述第一参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数，在所述(b)工序中，通过将第二特征量乘以第二次数，来求出所述第二缓存效率，所述第二特征量表示所述第二参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第二次数是指，将所述父类图形数据块及所述第一参照图形数据块的所述第二参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数。由此，能够提高数据转换效率。
[0011]本发明的另一种数据转换方法具有:(a)工序，基于输入数据，求出在第一情况下的第一缓存效率，所述第一缓存效率表示从所述输入数据向所述输出数据转换的效率上升的程度，所述输入数据包括:父类图形数据块，其表示父类图形；第一参照图形数据块，其表示在所述父类图形数据块中被参照的第一参照图形要素；第二参照图形数据块，其表示在所述第一参照图形数据块中被参照的第二参照图形要素；所述第一情况是指:假设将单独对所述第一参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第一参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形内的所述第一参照图形要素的第一参照区域中，都配置所述第一参照扫描宽度的情况，(b)工序，基于所述输入数据，求出在第二情况下的第二缓存效率，所述第二情况是指:假设将单独对所述第二参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第二参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向所述输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形及所述第一参照图形要素内的所述第二参照图形要素的第二参照区域中，都配置所述第二参照扫描宽度的情况，(C)工序，在所述第一缓存效率大于所述第二缓存效率并且还大于规定的效率阈值的情况下，根据所述第一参照图形数据块，生成所述第一参照扫描宽度，并将其作为参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内；在所述第一缓存效率小于所述第二缓存效率并且所述第二缓存效率大于所述效率阈值的情况下，根据所述第二参照图形数据块生成所述第二参照扫描宽度，并将其作为所述参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，(d)工序，在所述(C)工序中存储了所述参照扫描宽度的情况下，在所述父类图形内，在所有的配置有与所述参照扫描宽度对应的参照图形要素的参照区域中，配置所述参照扫描宽度，并且进行从所述输入数据向所述输出数据的转换；在所述(c)工序中没有存储所述参照扫描宽度的情况下，进行从所述输入数据向所述输出数据的转换；在所述(a)工序中，通过将第一特征量乘以第一次数，来求出所述第一缓存效率，所述第一特征量表示所述第一参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第一次数是指，将所述父类图形数据块中的所述第一参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数；在所述(b)工序中，通过将第二特征量乘以第二次数，来求出所述第二缓存效率，所述第二特征量表示所述第二参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第二次数是指，将所述父类图形数据块及所述第一参照图形数据块的所述第二参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数。由此，能够提高数据转换效率。
[0012]在本发明的一个优选的实施方式中，在所述第一参照扫描宽度及所述第二参照扫描宽度中，将多个扫描宽度分别延伸的方向作为第一方向，将与所述第一方向垂直的方向作为第二方向，所述第一特征量为所述第一参照图形要素所包含的图形要素组在所述第二方向上的宽度的合计，所述第二特征量为所述第二参照图形要素所包含的图形要素组在所述第二方向上的宽度的合计。
[0013]在本发明的另一个优选的实施方式中，在所述父类图形数据块中，参照多个第一参照图形要素，各第一参照图形要素包括多个图形要素，在所述数据转换方法中，在所述Ca)工序之前还具有合成所述多个图形要素的工序。
[0014]在本发明的另一个优选的实施方式中，在所述第一参照图形数据块中，参照多个第二参照图形要素，各第二参照图形要素包括多个图形要素，在所述数据转换方法中，在所述(b)工序之前还具有合成所述多个图形要素的工序。
[0015]本发明的一种描画系统具有:数据转换装置，其利用规定的数据转换方法，将输入数据转换成输出数据，描画装置，其基于由所述数据转换装置生成的所述输出数据，在基板上描画图案；所述数据转换方法具有:(a)工序，基于输入数据，求出在第一情况下的第一缓存效率，所述第一缓存效率表示从所述输入数据向所述输出数据转换的效率上升的程度，所述输入数据包括:父类图形数据块，其表示父类图形；第一参照图形数据块，其表示在所述父类图形数据块中被参照的第一参照图形要素；第二参照图形数据块，其表示在所述第一参照图形数据块中被参照的第二参照图形要素；所述第一情况是指:假设将单独对所述第一参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第一参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形内的所述第一参照图形要素的第一参照区域中，都配置所述第一参照扫描宽度的情况，(b)工序，基于所述输入数据，求出在第二情况下的第二缓存效率，所述第二情况是指:假设将单独对所述第二参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第二参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向所述输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形及所述第一参照图形要素内的所述第二参照图形要素的第二参照区域中，都配置所述第二参照扫描宽度的情况，(c)工序，在所述第一缓存效率大于所述第二缓存效率的情况下，根据所述第一参照图形数据块，生成所述第一参照扫描宽度，并将其作为参照扫描宽度而存储在所述高速缓冲存储器内；在所述第一缓存效率小于所述第二缓存效率的情况下，根据所述第二参照图形数据块，生成所述第二参照扫描宽度，并将其作为所述参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，(d)工序，在所述父类图形内，在所有的配置有与所述参照扫描宽度对应的参照图形要素的参照区域中，配置所述参照扫描宽度，并且进行从所述输入数据向所述输出数据的转换；在所述(a)工序中，通过将第一特征量乘以第一次数，来求出所述第一缓存效率，所述第一特征量表示所述第一参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第一次数是指，将所述父类图形数据块中的所述第一参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数，在所述(b)工序中，通过将第二特征量乘以第二次数，来求出所述第二缓存效率，所述第二特征量表示所述第二参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第二次数是指，将所述父类图形数据块及所述第一参照图形数据块的所述第二参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数；所述描画装置具有:基板保持部，其保持所述基板，光调制元件，其对所述基板照射光，照射位置移动机构，其使从所述光调制元件导出的光在所述基板上的照射位置相对于所述基板移动，光调制元件控制部，其基于所述输出数据，控制所述光调制元件调制光。由此，能够提高数据转换效率。
[0016]本发明的另一种描画系统具有:数据转换装置，其利用规定的数据转换方法，将输入数据转换成输出数据，描画装置，其基于由所述数据转换装置生成的所述输出数据，在基板上描画图案；所述数据转换方法具有:(a)工序，基于输入数据，求出在第一情况下的第一缓存效率，所述第一缓存效率表示从所述输入数据向所述输出数据转换的效率上升的程度，所述输入数据包括:父类图形数据块，其表示父类图形；第一参照图形数据块，其表示在所述父类图形数据块中被参照的第一参照图形要素；第二参照图形数据块，其表示在所述第一参照图形数据块中被参照的第二参照图形要素；所述第一情况是指:假设将单独对所述第一参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第一参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形内的所述第一参照图形要素的第一参照区域中，都配置所述第一参照扫描宽度的情况，(b)工序，基于所述输入数据，求出在第二情况下的第二缓存效率，所述第二情况是指:假设将单独对所述第二参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第二参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向所述输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形及所述第一参照图形要素内的所述第二参照图形要素的第二参照区域中，都配置所述第二参照扫描宽度的情况，(c)工序，在所述第一缓存效率大于所述第二缓存效率并且还大于规定的效率阈值的情况下，根据所述第一参照图形数据块，生成所述第一参照扫描宽度，并将其作为参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内；在所述第一缓存效率小于所述第二缓存效率并且所述第二缓存效率大于所述效率阈值的情况下，根据所述第二参照图形数据块生成所述第二参照扫描宽度，并将其作为所述参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，(d)工序，在所述(C)工序中存储了所述参照扫描宽度的情况下，在所述父类图形内，在所有的配置有与所述参照扫描宽度对应的参照图形要素的参照区域中，配置所述参照扫描宽度，并且进行从所述输入数据向所述输出数据的转换；在所述(c)工序中没有存储所述参照扫描宽度的情况下，进行从所述输入数据向所述输出数据的转换；在所述(a)工序中，通过将第一特征量乘以第一次数，来求出所述第一缓存效率，所述第一特征量表示所述第一参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第一次数是指，将所述父类图形数据块中的所述第一参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数，在所述(b)工序中，通过将第二特征量乘以第二次数，来求出所述第二缓存效率，所述第二特征量表示所述第二参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第二次数是指，将所述父类图形数据块及所述第一参照图形数据块的所述第二参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数；所述描画装置具有:基板保持部，其保持所述基板，光调制元件，其对所述基板照射光，照射位置移动机构，其使从所述光调制元件导出的光在所述基板上的照射位置相对于所述基板移动，光调制元件控制部，其基于所述输出数据，控制所述光调制元件调制光。由此，能够提高数据转换效率。
[0017]使计算机执行如下的工序，由此，来通过所述计算机执行记录在本发明的一种记录介质内的程序，这些工序包括:(a)工序，基于输入数据，求出在第一情况下的第一缓存效率，所述第一缓存效率表示从所述输入数据向所述输出数据转换的效率上升的程度，所述输入数据包括:父类图形数据块，其表示父类图形；第一参照图形数据块，其表示在所述父类图形数据块中被参照的第一参照图形要素；第二参照图形数据块，其表示在所述第一参照图形数据块中被参照的第二参照图形要素；所述第一情况是指:假设将单独对所述第一参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第一参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形内的所述第一参照图形要素的第一参照区域中，都配置所述第一参照扫描宽度的情况，(b)工序，基于所述输入数据，求出在第二情况下的第二缓存效率，所述第二情况是指:假设将单独对所述第二参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第二参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向所述输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形及所述第一参照图形要素内的所述第二参照图形要素的第二参照区域中，都配置所述第二参照扫描宽度的情况，(c)工序，在所述第一缓存效率大于所述第二缓存效率的情况下，根据所述第一参照图形数据块，生成所述第一参照扫描宽度，并将其作为参照扫描宽度而存储在所述高速缓冲存储器内；在所述第一缓存效率小于所述第二缓存效率的情况下，根据所述第二参照图形数据块，生成所述第二参照扫描宽度，并将其作为所述参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，Cd)工序，在所述父类图形内，在所有的配置有与所述参照扫描宽度对应的参照图形要素的参照区域中，配置所述参照扫描宽度，并且进行从所述输入数据向所述输出数据的转换；在所述(a)工序中，通过将第一特征量乘以第一次数，来求出所述第一缓存效率，所述第一特征量表示所述第一参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第一次数是指，将所述父类图形数据块中的所述第一参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数，在所述(b)工序中，通过将第二特征量乘以第二次数，来求出所述第二缓存效率，所述第二特征量表示所述第二参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第二次数是指，将所述父类图形数据块及所述第一参照图形数据块的所述第二参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数。由此，能够提高数据转换效率。
[0018]使计算机执行如下的工序，由此，来通过所述计算机执行记录在本发明的另一种记录介质内的程序，这些工序包括:(a)工序，基于输入数据，求出在第一情况下的第一缓存效率，所述第一缓存效率表示从所述输入数据向所述输出数据转换的效率上升的程度，所述输入数据包括:父类图形数据块，其表示父类图形；第一参照图形数据块，其表示在所述父类图形数据块中被参照的第一参照图形要素；第二参照图形数据块，其表示在所述第一参照图形数据块中被参照的第二参照图形要素；所述第一情况是指:假设将单独对所述第一参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第一参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形内的所述第一参照图形要素的第一参照区域中，都配置所述第一参照扫描宽度的情况，(b)工序，基于所述输入数据，求出在第二情况下的第二缓存效率，所述第二情况是指:假设将单独对所述第二参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第二参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向所述输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形及所述第一参照图形要素内的所述第二参照图形要素的第二参照区域中，都配置所述第二参照扫描宽度的情况，(c)工序，在所述第一缓存效率大于所述第二缓存效率并且还大于规定的效率阈值的情况下，根据所述第一参照图形数据块，生成所述第一参照扫描宽度，并将其作为参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内；在所述第一缓存效率小于所述第二缓存效率并且所述第二缓存效率大于所述效率阈值的情况下，根据所述第二参照图形数据块生成所述第二参照扫描宽度，并将其作为所述参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，(d)工序，在所述(C)工序中存储了所述参照扫描宽度的情况下，在所述父类图形内，在所有的配置有与所述参照扫描宽度对应的参照图形要素的参照区域中，配置所述参照扫描宽度，并且进行从所述输入数据向所述输出数据的转换；在所述(C)工序中没有存储所述参照扫描宽度的情况下，进行从所述输入数据向所述输出数据的转换，在所述(a)工序中，通过将第一特征量乘以第一次数，来求出所述第一缓存效率，所述第一特征量表示所述第一参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第一次数是指，将所述父类图形数据块中的所述第一参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数，在所述(b)工序中，通过将第二特征量乘以第二次数，来求出所述第二缓存效率，所述第二特征量表示所述第二参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第二次数是指，将所述父类图形数据块及所述第一参照图形数据块的所述第二参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数。由此，能够提高数据转换效率。
[0019]下面，通过参照附图对本发明进行的详细的说明，来明确上述的目的及其它的目的、特征、形态及优点。
【专利附图】

【附图说明】
[0020]图1是表示一个实施方式的描画系统的结构的图。
[0021]图2是描画装置的侧视图。
[0022]图3是描画装置的俯视图。[0023]图4是放大表示空间光调制器的图。
[0024]图5A是表示光调制元件的剖面的图。
[0025]图5B是表示光调制元件的剖面的图。
[0026]图6是表示数据转换装置的结构的图。
[0027]图7A是表示数据转换的流程的图。
[0028]图7B是表示数据转换的流程的一部分的图。
[0029]图8是表示父类图形的图。
[0030]图9是表示第一参照图形要素的图。
[0031]图10是表示第二参照图形要素的图。
[0032]图11是表示父类图形的概念图。
[0033]图12是表示第一参照图形要素的概念图。
[0034]图13是表示第一参照图形要素的图。
[0035]图14是表示第二参照图形要素的图。
[0036]图15是表示父类图形的图。
[0037]图16是表示处理时间的图。
[0038]图17是表示父类图形的图。
[0039]图18是表示父类图形的概念图。
[0040]图19是表示图形要素的图。
[0041]图20是表示图形要素的图。
[0042]图21是表示第一参照图形要素的概念图。
[0043]图22是表示数据转换的流程的一部分的图。
[0044]图23是表示父类图形的概念图。
[0045]图24是表示第一参照图形要素的概念图。
[0046]图25是表不处理时间的图。
[0047]图26是表示数据转换的流程的一部分的图。
[0048]图27是表示数据转换的流程的一部分的图。
[0049]其中，附图标记说明如下:
[0050]I描画装置，
[0051]3基板保持部，
[0052]7数据转换装置，
[0053]9 基板，
[0054]25主扫描机构，
[0055]61光调制元件控制部，
[0056]75高速缓冲存储器，
[0057]81、81a 父类图形，
[0058]82、82a第一参照图形要素，
[0059]83、83a第二参照图形要素，
[0060]100描画系统，
[0061]461光调制元件，[0062]707 程序，
[0063]811 ?815、813a、813b 图形要素，
[0064]Sll ?S16、SllO ?S113、S120、S131、S132 步骤。
【具体实施方式】
[0065]图1是表示本发明的一个实施方式的描画系统100的结构的图。描画系统100是利用光在液晶显示装置用的玻璃基板(下面，简称为“基板”)上的感光材料上描画图案的系统。如图1所示，描画系统100具有数据转换装置7、描画装置I。数据转换装置7将作为表示图案的矢量数据的输入数据转换成作为扫描宽度数据的输出数据(即，进行光栅化处理)。描画装置I基于由数据转换装置7生成的输出数据，在基板上描画图案。在图1中，一并显示数据转换装置7的各功能。下面，在针对描画装置I进行了说明之后，针对数据转换装置7及由数据转换装置7处理的数据进行说明。
[0066]图2及图3分别是表示描画装置I的侧视图及俯视图。如图2及图3所示，描画装置I具有保持部移动机构2、基板保持部3、光照射部4、机架12。基板保持部3，在(+ Z)一侧的主面91 (以下，称为“上表面91”)上保持形成有感光材料层的基板9。保持部移动机构2设置在基台11上，使基板保持部3向与Z方向垂直的X方向及Y方向移动。机架12以横跨基板保持部3及保持部移动机构2的方式固定于基台11上。光照射部4安装在机架12上，对基板9上的感光材料照射调制后的光。另外，如图2所示，描画装置I具有对保持部移动机构2、光照射部4等的各结构进行控制的控制部6。
[0067]如图2及图3所示，基板保持部3具有载物台31、载物台旋转机构32、支撑板33。基板9载置在载物台31上。支撑板33以能够使载物台31旋转的方式支撑该载物台31。载物台旋转机构32，在支撑板33上以与基板9的上表面91垂直的旋转轴321为中心，来旋转载物台31。
[0068]保持部移动机构2具有副扫描机构23、基板24、主扫描机构25。副扫描机构23使基板保持部3向图2及图3中的X方向(以下，称为“副扫描方向”)移动。基板24借助副扫描机构23来对支撑板33进行支撑。主扫描机构25使基板保持部3与基板24 —并在与X方向垂直的Y方向(以下，称为“主扫描方向”)上移动。在描画装置I中，通过保持部移动机构2，使基板保持部3在与基板9的上表面91平行的主扫描方向及副扫描方向上移动。
[0069]如图2及图3所示，副扫描机构23具有线性马达231、一对线性导轨232。线性马达231在支撑板33的下侧(B卩，(-Z) 一侧)，沿着与载物台31的主面平行并且与主扫描方向垂直的副扫描方向延伸。一对线性导轨232在线性马达231的(+Y)—侧及(-Y)—侧沿着副扫描方向延伸。主扫描机构25具有线性马达251、一对气动滑板(air slider)252。线性马达251在基板24的下侧，沿着与载物台31的主面平行的主扫描方向延伸。一对气动滑板252在线性马达251的(+ X) —侧及(-X) —侧沿着主扫描方向延伸。
[0070]如图3所示，光照射部4具有多个(在本实施方式中，为8个)光学头部41，该多个光学头部41沿着副扫描方向以等间隔排列而安装在机架12上。另外，如图2所示，光照射部4具有与各光学头部41连接的光源光学系统42、出射紫外线的UV (紫外线滤光镜)光源43及光源驱动部44。UV光源43为固体激光器。通过驱动光源驱动部44，从UV光源43出射波长为355nm的紫外线，并经由光源光学系统42将紫外线引导至光学头部41。[0071]各光学头部41具有出射部45、光学系统451、47、空间光调制器46。出射部45朝向下方出射来自UV光源43的光。光学系统451对来自出射部45的光进行反射并将其引导至空间光调制器46。空间光调制器46对经由光学系统451而照射来的来自出射部45的光进行调制并进行反射。光学系统47将来自空间光调制器46的调制后的光引导至设置于基板9的上表面91的感光材料上。
[0072]图4是放大表示空间光调制器46的图。如图4所示，空间光调制器46具有衍射光栅型的多个光调制元件461，该多个光调制元件461借助出射部45将照射来的来自UV光源43 (参照图2)的光引导至基板9的上表面91。利用半导体装置制造技术制造光调制元件461，该光调制元件461为能够改变光栅深度的衍射光栅。在光调制元件461以平行排列的方式交替形成有多个挠性带(ribbon)461a及多个固定带461b,多个挠性带461a设置为相对于背后的基准面能够单个地(沿着垂直于基准面的方向)进行上下移动，多个固定带461b相对于基准面固定。作为衍射光栅型的光调制元件,例如，已知有GLV(Grating LightValve:光栅光阀)(Silicon Light Machines (加利福尼亚州森尼韦尔)的注册商标)。
[0073]图5A及图5B是表示在与挠性带461a及固定带461b垂直的面上的光调制元件461的剖面的图。如图5A所示,在挠性带461a及固定带461b相对于基准面461c位于同一高度(即，挠性带461a不弯曲变形)的情况下，光调制元件461的表面位于同一水平面上，将入射光LI的反射光作为零级光L2导出。另一方面，如图5B所示，在与固定带461b相比，挠性带461a向基准面461c —侧弯曲变形的情况下，挠性带461a变为衍射光栅的槽的底面，从入射有入射光LI的光调制元件461导出一级衍射光L3 (进而，可导出高级衍射光)，零级光消失。像这样，光调制元件461利用衍射光栅来进行光调制。
[0074]在图2示出的光照射部4中，来自UV光源43的光被光源光学系统42变为线状光(光束剖面为线状的光)，进而经由出射部45而照射至空间光调制器46的排列成线状的多个挠性带461a及固定带461b(参照图5A及图5B上。在光调制元件461中，将相邻的各一条挠性带461a及固定带461b作为一对带对，三个以上的带对与所描画的图案的一个画素对应。
[0075]在光调制元件461中，基于来自与各空间光调制器46连接的光调制元件控制部61的信号，分别控制与图案的各画素对应的带对(成对的带)的挠性带461a，使这些挠性带461a能够在如图5A示出的状态与如图5B示出的状态之间转变，如图5A示出的状态是指，与各画素对应的带对出射零级光(正反射光)的状态，如图5B示出的状态是指，出射非零阶衍射光(主要为一级衍射光((+ I)阶衍射光及(-1)阶衍射光))的状态。另外，通过使挠性带461a弯曲变形至在图5A示出的状态与图5B示出的状态之间的状态，使光调制元件461处于出射比图5A示出的状态强度小的零级光的状态。
[0076]将从光调制元件461出射的零级光引导至光学系统47，将一级衍射光引导至与光学系统47不同的方向。此外，为了防止变为杂散光，通过图示省略的遮光部遮住一级衍射光。来自光调制兀件461的零级光经由光学系统47而被引导至基板9的上表面91,由此，在基板9的上表面91上，对在X方向(即，副扫描方向)上排列的多个照射位置分别照射调制后的光。
[0077]在图2及图3示出的描画装置I中，从光照射部4的光调制元件461，对由保持部移动机构2的主扫描机构25驱动而在主扫描方向上移动的基板9照射调制后的光。换言之，主扫描机构25成为照射位置移动机构，其使从光调制元件461引导至基板9的光在基板9上的照射位置相对于基板9在主扫描方向上移动。此外，在描画装置I中，例如，可以不移动基板9，而是通过使光调制元件461在主扫描方向上移动，来使基板9上的照射位置在主扫描方向上移动。描画装置I 一边使基板9在主扫描方向上移动,一边通过图2不出的控制部6的光调制元件控制部61，基于从数据转换装置7向描画装置I输出的输出数据，控制光调制元件461调制光，由此，在基板9上描画向数据转换装置7输入的输入数据所表示的图案。
[0078]接着，针对数据转换装置7进行说明。图6是表示数据转换装置7的结构的图。与通常的计算机同样地，数据转换装置7为连接了如下的部分的结构:进行各种运算处理的CPU (中央处理器)701、存储被执行的程序或者作为运算处理的作业区域的RAM (随机存储器)702、存储基本程序的ROM (只读存储器)703、存储各种信息的固定磁盘704、向作业者显示各种信息的显示器705、键盘、鼠标等的输入部706等。在固定磁盘704内存储有由数据转换装置7执行的程序707。程序707为将输入数据转换成作为扫描宽度数据的输出数据的(即，进行光栅化)程序，其中输入数据为表示描画在基板上的预计的图案的矢量数据。
[0079]在图1中，利用功能框表示数据转换装置7的CPU701 (参照图6)等通过按照程序707来进行运算处理等(B卩，程序707由数据转换装置7执行)而实现的功能。图1中的数据接收部71、图形要素合成部72、缓存效率运算部73、缓存部74、高速缓冲存储器75、输出数据生成部76、格式转换部77、数据输出部78相当于由CPU701等实现的功能。此外，这些功能可以由多台计算机来实现。
[0080]接着，说明利用图1示出的数据转换装置7进行的从输入数据向输出数据的数据转换。下面，首先，针对不使用图形要素合成部72而进行的数据转换进行说明，此后，针对使用图形要素合成部72的数据转换，进行说明。图7A及图7B是表示不使用图形要素合成部72的数据转换的流程的图。在数据转换装置7中，首先，由图1示出的数据接收部71接收作为矢量数据的输入数据。
[0081]图8是表示由输入数据表示的图案(以下，称为“父类图形81”)的图。在输入数据中，在捕捉多个图形要素来作为描画在规定的配置区域80中的父类图形81的基础上，多个图形要素分别表现为作为矢量数据的数据块。该数据块包括表示对应的图形要素的形状和在基板9上的位置的信息、用于参照与其它的图形要素对应的数据块的信息等。实际的数据转换装置7对与输入数据所包含的多个图形要素对应的数据块进行后述的处理，在以下的说明中，为了便于理解，将图形要素自身作为处理的处理对象来进行说明。此外，通常，实际的输入数据包括表示多种多样的形状的多个图形要素的数据块。
[0082]父类图形81包括两个长方形的图形要素811、两个三角形的图形要素812、六个平行四边形的图形要素813、一个梯形的图形要素814、一个菱形的图形要素815。合计十二个图形要素811?815排列成4行X3列的矩阵状。图形要素811?815的最大宽度彼此相等，都为“I”。在图8中，利用平行斜线填涂各图形要素。在后述的其它的同样的附图中，也利用平行斜线填涂图形要素。
[0083]在表示父类图形81的父类图形数据块中，参照从图8中的左侧起第一列的四个图形要素，此时，将这四个图形要素作为图9所示的表示一个第一参照图形要素82的第一参照图形数据块。第一参照图形要素82包括各一个图形要素811、812、两个图形要素813。另夕卜，在父类图形数据块中，还参照从图8中的左侧起第二列的四个图形要素，此时，将这四个图形要素作为表示第一参照图形要素82的第一参照图形数据块。
[0084]在父类图形数据块中，参照从图8中的左侧起第三列的图形要素中的下侧的两个图形要素813，此时，将这两个图形要素813分别作为图10示出的表示一个第二参照图形要素83的第二参照图形数据块。第二参照图形要素83包括一个图形要素813。在表示第一参照图形要素82的第一参照图形数据块中，参照图9中的下侧的两个图形要素813，此时，将这两个图形要素813分别作为图10示出的表示一个第二参照图形要素83的第二参照图形数据块。
[0085]此外，就参照输入数据中的数据块而言，有时会放大或者缩小图形要素来进行参照，或者使图形要素旋转改变朝向来进行参照。在数据转换装置7中，不将进行这种参照的图形要素看作参照图形要素，仅在利用原始大小及朝向参照图形要素的情况下，才看作参照图形要素。然而，将通过反复进行多次使图形要素旋转的参照之后得到的与原始的图形要素朝向相同并且大小相等的图形要素，也看作参照图形要素。
[0086]图11是考虑上述参照关系，概念性地表示利用父类图形数据块表示的父类图形81的图。父类图形81包括两个第一参照图形要素82、两个第二参照图形要素83、各一个图形要素814、815。图12是考虑上述参照关系，概念性地表示利用第一参照图形数据块表示的第一参照图形要素82的图。第一参照图形要素82包括两个第二参照图形要素83、各一个图形要素811、812。
[0087]输入数据包括分别表示父类图形数据块、第一参照图形数据块、第二参照图形数据块的数据块。输入数据被分层为父类图形数据块、第一参照图形数据块及第二参照图形数据块。
[0088]在图8中，从图中的上侧朝向下侧的方向(以下，称为“第一方向”)与图2及图3示出的描画装置I的从(+ Y) —侧朝向(-Y)—侧的主扫描方向对应，从图中的左侧朝向右侧的方向(即，为与第一方向垂直的方向，以下，称为“第二方向”)与描画装置I的从(+ X)一侧朝向(-X) —侧的副扫描方向对应。
[0089]若接收到输入数据，则缓存效率运算部73 (参照图1)基于输入数据，求出图9示出的第一参照图形要素82的第一缓存效率(步骤SI I)。第一缓存效率是表示在如下的情况下从输入数据向输出数据转换的效率上升的程度的值，该情况是指:将单独对第一参照图形要素82进行扫描宽度编码处理(Run Length Encoding)之后得到的第一参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器75内，在从输入数据向输出数据转换时，假设在所有的配置有父类图形81内的第一参照图形要素82的第一参照区域中，都配置第一参照扫描宽度。
[0090]就计算第一缓存效率而言，首先，求出参照父类图形数据块中的第一参照图形要素82的次数(图7B:步骤S111)。如图11所示，在表示父类图形81的父类图形数据块中，参照第一参照图形要素82的次数为两次。接着，求出表示对第一参照图形要素82进行扫描宽度编码处理所需的时间的第一特征量(步骤S112)。第一特征量为伴随对第一参照图形要素82进行扫描宽度编码处理所需的时间变长而变大的量。例如，可以利用在实际对第一参照图形要素82进行扫描宽度编码处理的情况下所需的时间，来作为第一特征量。
[0091]在对第一参照图形要素82进行扫描宽度编码处理的情况下，首先，如图13所示，利用沿着第一方向的多条直线801，以规定宽度划分第一参照图形要素82。由此，设定沿着第二方向排列有该规定宽度的多个区域800。直线801为描画装置I的与主扫描方向平行的直线，以下，称为“扫描线801”。上述的规定宽度为基于描画装置I的描画分辨率来决定的宽度，以下，称为“单位宽度”。另外，以下，将区域800称为“单位区域800”。
[0092]接着，根据第一参照图形数据块生成表示各单位区域800的第一参照图形要素82的扫描宽度的单位扫描宽度。然后，通过对这些单位扫描宽度和表示对应的单位区域800的位置的数据建立关联，来生成表示第一参照图形要素82的第一参照扫描宽度，该第一参照图形要素82的第一参照扫描宽度为沿着第一方向延伸的多个扫描宽度的集合。
[0093]另外，就计算第一缓存效率而言，可以利用第一参照图形要素82的外接矩形的面积、第一参照图形要素82所包含的图形要素的数量、第一参照图形要素82所包含的图形要素的顶点的总数、第一参照图形要素82所包含的图形要素组在第二方向上的宽度的合计，来作为第一特征量。在本实施方式中，利用第一参照图形要素82所包含的图形要素组(SP，一个图形要素811、一个图形要素812、两个图形要素813)在第二方向上的宽度的合计，来作为第一特征量。
[0094]若求出第一特征量，则将第一特征量乘以特定次数，由此,来求出第一缓存效率(步骤S113)，该特定次数是指，将在步骤Slll中求出的第一参照图形要素82的参照次数减去I而得到的次数。如上所述，参照次数为两次，第一特征量为四个图形要素的最大宽度的合计，即“4”，因此，第一缓存效率为“4”。
[0095]若求出第一缓存效率，则缓存效率运算部73基于输入数据，求出第二参照图形要素83的第二缓存效率(步骤S12)。第二缓存效率是表示在如下的情况下的从输入数据向输出数据转换的效率上升的程度的值，该情况是指:单独将第二参照对图形要素83进行扫描宽度编码处理之后得到的第二参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器75内，在从输入数据向输出数据转换时，假设在所有的配置有父类图形81内及第一参照图形要素82内的第二参照图形要素83的第二参照区域中，都配置第二参照扫描宽度。
[0096]计算第二缓存效率的过程与上述的计算第一缓存效率的过程基本相同。就计算第二缓存效率而言，首先，求出参照父类图形数据块及第一参照图形数据块中的第二参照图形要素83的次数。如图11所示，在表示父类图形81的父类图形数据块中，参照第二参照图形要素83的次数为两次。另外，如图12所示，在表示第一参照图形要素82的第一参照图形数据块中，参照第二参照图形要素83的次数为两次。如图11所示，在父类图形数据块中，参照两次第一参照图形要素82，因此，因具有两个第一参照图形数据块，所以合计参照四次第二参照图形要素83。因此，参照父类图形数据块及第一参照图形数据块的第二参照图形要素83的次数为六次。
[0097]接着，求出表示对第二参照图形要素83进行扫描宽度编码处理所需的时间的第二特征量。第二特征量是伴随对第二参照图形要素83进行扫描宽度编码处理所需的时间变长而变大的量。利用与第一特征量同样的量，来作为第二特征量。在本实施方式中，利用第二参照图形要素83所包含的图形要素组(B卩，一个图形要素813)在第二方向上的宽度的合计，来作为第二特征量。
[0098]第二特征量只要利用与第一特征量同样的量即可，例如，可以利用在实际对第二参照图形要素83进行扫描宽度编码处理的情况下所需的时间，来作为第二特征量。与上述的对第一参照图形要素82进行的扫描宽度编码处理同样地，对第二参照图形要素83进行扫描宽度编码处理。在对第二参照图形要素83进行扫描宽度编码处理的情况下，如图14所示，第二参照图形要素83被划分成多个单位区域800，根据第二参照图形数据块，生成表示各单位区域800的第二参照图形要素83的扫描宽度的单位扫描宽度。然后，通过对这些单位扫描宽度和表示对应的单位区域800的位置的数据建立关联，生成表示第二参照图形要素83的第二参照扫描宽度，该第二参照图形要素83的第二参照扫描宽度为沿着第一方向延伸的多个扫描宽度的集合。另外，可以利用第二参照图形要素83的外接矩形的面积、第二参照图形要素83所包含的图形要素的数量、第二参照图形要素83所包含的图形要素的顶点的总数，来作为第二特征量。
[0099]若求出第二特征量，则将第二特征量乘以特定次数，由此，来求出第二缓存效率，该特定次数是指，将在步骤Slll中求出的第二参照图形要素83的参照次数仅减去I而得到的次数。如上所述，参照次数为六次，第二特征量为一个图形要素813的最大宽度，即“4”，因此，第二缓存效率为“5”。此外，第二缓存效率的计算，可以与第一缓存效率的计算(步骤Sll)同时进行，还可以在步骤Sll之前进行。
[0100]若求出第一缓存效率及第二缓存效率，则对第一缓存效率与第二缓存效率进行比较(步骤S13)。在第一缓存效率大于第二缓存效率的情况下，缓存部74 (参照图1)根据表示第一参照图形要素82的第一参照图形数据块，来生成第一参照扫描宽度，并作为参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器75内(步骤S14)。另一方面，在第一缓存效率小于第二缓存效率的情况下，根据表示第二参照图形要素83的第二参照图形数据块，生成第二参照扫描宽度，并作为参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器75内(步骤S15)。
[0101]换言之，在第一缓存效率大于第二缓存效率的情况下，缓存第一参照图形要素82，在第一缓存效率小于第二缓存效率的情况下，缓存第二参照图形要素83。在第一缓存效率等于第二缓存效率的情况下，在本实施方式中，进行步骤S15，但也可以进行步骤S14。
[0102]如上所述，第一缓存效率为“4”，第二缓存效率为“5”，因此，根据与图14示出的第二参照图形要素83对应的第二参照图形数据块，生成第二参照扫描宽度，将第二参照扫描宽度作为参照扫描宽度，存储在高速缓冲存储器75内。
[0103]若在高速缓冲存储器75内存储参照扫描宽度，则如图15所示，输出数据生成部76将父类图形81的配置区域80划分成多个单位区域800。接着，针对各单位区域800，生成表示与各单位区域800重叠的图形要素的扫描宽度的单位扫描宽度。
[0104]在生成单位扫描宽度时，针对与参照扫描宽度对应的参照图形要素(在本实施方式中，为第二参照图形要素83)，根据高速缓冲存储器75内的参照扫描宽度，读取与单位区域800重叠的部分，并将该部分纳入单位扫描宽度。另外，针对参照图形要素以外的图形要素，基于表示该图形要素的数据块，获取与单位区域800重叠的区域的起点及终点等的信息，并将该信息纳入单位扫描宽度。
[0105]然后，通过对与各单位区域800对应的单位扫描宽度和表示各单位区域800的位置的数据建立关联，生成输出数据(即，扫描宽度数据)(步骤S16)，该输出数据为沿着第一方向延伸的多个扫描宽度的集合。换言之，利用输出数据生成部76，在父类图形81内，在所有的配置有与参照扫描宽度对应的参照图形要素(在本实施方式中，第二参照图形要素83)的参照区域内，配置存储在高速缓冲存储器75内的参照扫描宽度，并且进行从输入数据向输出数据的转换。[0106]若数据转换结束，则在通过格式转换部77将该输出数据进行格式转换，转换成适合描画装置I的处理的格式之后，通过数据输出部78向描画装置I输出格式转换之后的输出数据。描画装置I基于格式转换之后的数据，从图2示出的控制部6的光调制元件控制部61向各空间光调制器46发送信号，并且主扫描机构25使基板9在主扫描方向上(即，与基板9上的上述第一方向对应的方向)移动，由此，在基板9上的感光材料上描画输入到数据转换装置7内的输入数据所表示的图案。
[0107]如上所述，在数据转换装置7中，对第一缓存效率和第二缓存效率进行比较，第一缓存效率表示在缓存有第一参照图形要素82的情况下数据转换的效率上升的程度，第二缓存效率表示在缓存有第二参照图形要素83的情况下数据转换的效率上升的程度。然后，在缓存了数据转换的效率上升的程度相对较大的参照图形要素之后，利用已缓存的参照图形要素的参照扫描宽度，进行从输入数据向输出数据的数据转换。由此，能够通过数据转换的效率上升来缓存适当的参照图形要素。其结果为，能够恰当地提高从输入数据向输出数据进行数据转换的效率。
[0108]在此，若考虑对长边与短边的比率在大到某种程度以上的长方形(B卩，细长的长方形)的图形要素进行扫描宽度编码处理，则将图形要素配置成该图形要素的长边与第一方向平行，在该情况下，图形要素重叠的单位区域800的数量变少，因此，扫描宽度编码处理所需的时间变得比较短。另一方面，在将图形要素配置成该图形要素的长边与第二方向平行的情况下，图形要素重叠的单位区域800的数变多，因此，扫描宽度编码处理所需的时间变长。
[0109]若利用第一参照图形要素82及第二参照图形要素83的外接矩形的面积、顶点数量等，来作为在求出第一缓存效率及第二缓存效率时的第一特征量及第二特征量，则在父类图形81包含有上述那种细长的长方形的图形要素的情况下，因图形要素的朝向而使扫描宽度编码处理的需要时间出现的差异，不会反映至第一缓存效率及第二缓存效率。
[0110]相对于此，在本实施方式的数据转换装置7中，第一特征量为第一参照图形要素82所包含的图形要素组在第二方向上的宽度的合计，第二特征量为第二参照图形要素83所包含的图形要素组在第二方向上的宽度的合计。由此，即使在细长的长方形的图形要素等的因朝向不同而使扫描宽度编码处理的需要时间相差很大的图形要素被包含在父类图形81内的情况下，在考虑这种图形要素的影响的前提下，也能够高精度地求出第一缓存效率及第二缓存效率。其结果为，能够进一步恰当地提高从输入数据向输出数据进行数据转换的效率。
[0111]另外，与利用在实际对第一参照图形要素82及第二参照图形要素83进行扫描宽度编码处理的情况下的需要时间来作为第一特征量及第二特征量的情况相比，能够缩短求出第一特征量及第二特征量所需的时间。其结果为，能够缩短从输入数据向输出数据进行数据转换所需的时间。
[0112]图16是表示对通过数据转换装置7进行数据转换所需的时间(B卩，处理时间)与通过比较例的数据转换装置进行数据转换的处理时间进行比较的图。在比较例的数据转换装置中，没有考虑缓存效率，就输入数据而言，缓存所有参照了四次以上参照的图形要素。各柱形图的下侧的部位表示缓存图形要素所需的时间，上侧的部位为对输入数据所表示图案进行扫描宽度编码处理所需的时间。在本实施方式的数据转换装置7中，与比较例的数据转换装置相比，虽然扫描宽度编码处理所需的时间略微增加，但缓存所需的时间大幅度减少。其结果为，与比较例的数据转换装置相比，能够减少数据转换所需的时间。
[0113]接着，针对将表示另一种父类图形81a的输入数据向输出数据进行的数据转换进行说明。图17是表示利用由数据接收部71接收的输入数据表示的父类图形81a的图。在父类图形81a中，取代图8示出的父类图形81的各图形要素813，配置有图形要素813a及图形要素813b的组合。各组合的图形要素813a与图形要素813b之间的位置关系彼此相同。另外，与父类图形81同样地，包括图形要素811、812、814、815。
[0114]图形要素813a为大致呈L字状的图形要素，具有填涂属性。图形要素813b为比图形要素813a小一圈的大致呈L字状的图形要素，具有中空属性(被剪切为中空)。图形要素813b配置成重叠在图形要素813a上。在描画装置I中，在与具有填涂属性的图形要素对应的基板9上的区域内进行描画，不在与中空属性的图形要素对应的区域内进行描画。就图形要素813a、813b而言，在图形要素813a中，在不与图形要素813b重叠的区域所对应的基板9上的区域内，进行描画。在图17中，在图形要素813a、813b中，在与要在基板9上进行描画的区域对应的区域填涂平行斜线。
[0115]图18是考虑参照关系，概念性地表示父类图形81a的图。父类图形81a包括两个第一参照图形要素82a、两个第三参照图形要素84、两个第四参照图形要素85、一个图形要素814、一个图形要素815。第四参照图形要素85配置成重叠在第三参照图形要素84上。图19及图20是分别表示第三参照图形要素84及第四参照图形要素85的图。第三参照图形要素84包括一个图形要素813a，第四参照图形要素85包括一个图形要素813b。图21是考虑参照关系，概念性地表示第一参照图形要素82a的图。第一参照图形要素82a包括各一个图形要素811、812、两个第三参照图形要素84、两个第四参照图形要素85。
[0116]在利用图7A示出的方法(即，不使用图1示出的图形要素合成部72的方法)对表示父类图形81a的输入数据进行数据转换的情况下，第三参照图形要素84与第四参照图形要素85彼此之间不具有参照的关系，因此，同时执行第三参照图形要素84的缓存及第四参照图形要素85的缓存。然后，就生成步骤S16的输出数据而言，在所有的配置有父类图形81a内的第三参照图形要素84的参照区域内，配置有已缓存的第三参照图形要素84的参照扫描宽度，在所有的配置有第四参照图形要素85的参照区域(即，与配置有第三参照图形要素84的参照区域重叠的区域)内，配置有已缓存的第四参照图形要素85的参照扫描宽度。此后，在各参照区域中，合成两个参照扫描宽度。即使在该情况下，与上述同样地，仍然能够恰当地提高从输入数据向输出数据进行数据转换的效率。
[0117]另一方面，在数据转换装置7中使用图形要素合成部72的情况下，如图22所示，在步骤S12之前，具体来说，在步骤Sll与步骤S12之间，通过图形要素合成部72来合成图形要素813a、813b (步骤S120)。如图23及图24所示，在父类图形81a及各第一参照图形要素82a中，参照合成之后的各图形要素813a、813b，来作为第二参照图形要素83a。换言之，各第二参照图形要素83a包括两个图形要素813a、813b，在步骤S120中，合成该图形要素 813a、813b。
[0118]接着，在步骤S12中，求出第二参照图形要素83a的第二缓存效率(即，合成之后的图形要素813a、813b的缓存效率)。如上所述，第二特征量为第二参照图形要素83a所包含的图形要素组在第二方向上的宽度的合计。在本实施方式中，将合成前的图形要素813a的宽度“I”与图形要素813b的宽度“I”的合计“2”作为第二特征量。将第二特征量“2”乘以从参照次数减去I而得到的次数(五次)，由此，得出第二缓存效率为“10”。另外，第一参照图形要素82a的第一缓存效率通过将第一特征量“6”乘以从参照次数减去I而得到的次数(一次)，由此，得出第一缓存效率为“6”。
[0119]然后，在步骤S13、S15中，对第二参照图形要素83a (即，合成之后的图形要素813a、813 (b)进行扫描宽度编码处理，将其作为参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器75内。此后，就生成步骤S16的输出数据而言，在所有的配置有图17示出的父类图形81a内的图形要素813a、813b的参照区域内，配置有已缓存的第二参照图形要素83a的参照扫描览度。
[0120]图25是对在图形要素合成部72中是否合成图形要素的情况下的数据转换的处理时间进行比较的图。各柱形图的下侧的部位表示图形要素的缓存所需的时间，上侧的部位为输入数据所表示的图案的扫描宽度编码处理所需的时间。通过使用图形要素合成部72来进行图形要素的合成，与不进行图形要素的合成的情况相比，缓存所需的时间基本不变，但扫描宽度编码处理所需的时间减少。其结果为，通过在缓存前进行图形要素的合成，与不进行图形要素的合成的相比，能够缩短数据转换所需的时间。此外，第二参照图形要素83a所包含的多个图形要素813a、813b不必须重合。图形要素813a、813b彼此之间可以仅重叠一部分，也可以彼此相离(不重叠)。
[0121]参照图17?图25，针对在多个第二参照图形要素83a分别包括多个图形要素813a、813b的情况下的数据转换进行了说明，在多个第一参照图形要素分别包括多个图形要素的情况下的数据转换也同样。此外，各第一参照图形要素所包含的多个图形要素的位置关系彼此相同。在该情况下，如图26所示，在步骤Sll之前，通过图形要素合成部72合成多个图形要素，来作为第一参照图形要素(步骤S110)。
[0122]在图7A示出的步骤Sll中，针对合成之后的多个图形要素，求出缓存效率，作为第一参照图形要素的第一缓存效率。然后，在步骤S13中，在判断为第一缓存效率比第二缓存效率大的情况下，在步骤S14中，对作为上述的合成之后的图形要素的第一参照图形要素进行扫描宽度编码处理，并将进行扫描宽度编码处理之后的第一参照图形要素作为参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器75内。此后，就生成步骤S16的输出数据而言，在所有的配置有父类图形内的第一参照图形要素的区域内，配置已缓存的第一参照图形要素的参照扫描宽度。其结果为，与对第二参照图形要素83a所包含的多个图形要素813a、813b进行合成的情况同样地，与不进行图形要素的合成的情况相比，能够缩短数据转换所需的时间。此夕卜，在第一参照图形要素及第二参照图形要素分别包括多个图形要素的情况下，可以进行步骤SllO及步骤S120两个步骤。
[0123]接着，说明在输入数据包含多种父类图形的情况下的数据转换的一个例子。各父类图形至少参照第一参照图形要素，第一参照图形要素参照第二参照图形要素。各父类图形中的第一参照图形要素及第二参照图形要素，可以为与其它父类图形中的第一参照图形要素及第二参照图形要素相同的图形要素，也可以为与之不同的图形要素。换言之，输入数据包括父类图形数据块、第一参照图形数据块及第二参照图形数据块的多个组合。
[0124]若输入数据所包含的该组合的数量增加，则存储在高速缓冲存储器75内的参照扫描宽度的数据量也增大。于是，针对各组合(即，针对各父类图形)，在进行了步骤S11、S12之后，如图27所示，对第一缓存效率与第二缓存效率进行比较(步骤S13)，在第一缓存效率大于第二缓存效率的情况下，对第一缓存效率与规定的效率阈值进行比较(步骤S131)。
[0125]若第一缓存效率大于效率阈值，则根据表示第一参照图形要素的第一参照图形数据块，生成第一参照扫描宽度，并作为参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器75内(图7A:步骤S14)。换言之，缓存第一参照图形要素。然后，在父类图形内，在所有的配置有与参照扫描宽度对应的参照图形要素(第一参照图形要素)的参照区域内，配置存储在高速缓冲存储器75内的参照扫描宽度，并且进行从输入数据向输出数据的转换(步骤S16)。另一方面，在第一缓存效率在效率阈值以下的情况下，不缓存第一参照图形要素，在步骤S16中，与其它的图形要素同样地，也对第一参照图形要素进行扫描宽度编码处理。
[0126]在第一缓存效率在第二缓存效率以下的情况下，对第二缓存效率与效率阈值进行比较(步骤S132)。若第二缓存效率大于效率阈值，则根据表示第二参照图形要素的第二参照图形数据块生成第二参照扫描宽度，并作为参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器75内(步骤S15)。换言之，缓存第二参照图形要素。然后，在父类图形内，在所有的配置有与参照扫描宽度对应的参照图形要素(第二参照图形要素)的参照区域内，配置存储在高速缓冲存储器75内的参照扫描宽度，并且进行从输入数据向输出数据的转换(步骤S16)。另一方面，在第二缓存效率在效率阈值以下的情况下，不缓存第二参照图形要素，在步骤S16中，与其它的图像要素同样地，也对第二参照图形要素进行扫描宽度编码处理。
[0127]即，在数据转换装置7中，对第一缓存效率及第二缓存效率中相对较大的缓存效率与效率阈值进行比较，在该缓存效率大于效率阈值的情况下，进行与该缓存效率对应的参照图形要素的缓存(步骤S14或者步骤S15)。另一方面，在上述缓存效率在效率阈值以下的情况下，不缓存与该缓存效率对应的参照图形要素。缓存参照图形要素，在高速缓冲存储器75内存储有参照扫描宽度的情况下，利用已缓存的参照扫描宽度，进行从输入数据向输出数据的数据转换(步骤S16)。在没有存储参照扫描宽度的情况下，在步骤S16中，与其它的图形要素同样地，对与该参照扫描宽度对应的参照图形要素进行扫描宽度编码处理。
[0128]像这样，在数据转换装置7中，通过仅缓存缓存效率大于规定的效率阈值的参照图形要素，能够抑制存储在高速缓冲存储器75内的参照扫描宽度的数据量增大，并且提高从输入数据向输出数据进行数据转换的效率。另外，通过改变效率阈值，能够参照高速缓冲存储器75的容量，进行恰当的缓存。此外，就利用了效率阈值的上述的数据转换而言，也可以像利用图17?图25说明的那样，合成第二参照图形要素所包含的多个图形要素。同样地，可以合成第一参照图形要素所包含的多个图形要素。
[0129]上述描画系统100能够进行各种各样的变更。
[0130]在数据转换装置7中，可以在步骤S13之前，针对图8?图11示出的父类图形81所包含的所有图形要素811?815、第一参照图形要素82及第二参照图形要素83，求出缓存效率，在步骤S13中进行比较，但没有被其它的图形要素参照的图形要素的参照次数为一次，缓存效率为零。因此，实质上，求出并比较第一参照图形要素82及第二参照图形要素83的缓存效率。
[0131]在上述实施方式中，输入数据被分层为父类图形81、第一参照图形要素82及第二参照图形要素83的三个分层，还可以分层成四个以上的分层。在该情况下，将被其它的图形要素参照的一个图形要素作为第一参照图形要素，将该第一参照图形要素所参照的图形要素作为第二参照图形要素，进行上述的数据转换。不需要从父类图形直接参照第一参照图形要素，借助其它的图形要素间接地进行参照。
[0132]在描画系统100中，数据转换装置7还可以不对输出数据进行格式转换，将输出数据输出至描画装置1，利用描画装置I进行格式转换。
[0133]由数据转换装置7转换成输出数据的输入数据不限于表示描画在液晶显示装置用的玻璃基板上的图案的数据，例如，可以为表示描画在等离子显示装置等的其它平板显示装置或者光掩模用的玻璃基板上的图案的数据，可以为LSI (大规模集成电路)用的图案数据。另外，利用数据转换装置将用于其它的各种各样的目的的输入数据转换成输出数据。
[0134]描画装置I不限于具有上述的结构，只要基于作为扫描宽度数据的输出数据来进行描画的装置即可。例如，描画装置I的光照射部4还可以包括具有GLV以外的其它的光调制元件的空间光调制器。
[0135]上述实施方式及各弯曲变形例的结构可以在彼此不矛盾的前提下适当地进行组
口 ο
[0136]详细地描述并说明了发明，但上述的说明为例示性的，而非限定。因此，在不脱离本发明的范围的前提下，能够进行各种弯曲变形或方式。
【权利要求】
1.一种数据转换方法，将表示多个图形要素的被分层的输入数据转换为作为扫描宽度数据的输出数据，其特征在于， 具有: (a)工序，基于输入数据，求出在第一情况下的第一缓存效率，所述第一缓存效率表示从所述输入数据向所述输出数据转换的效率上升的程度，所述输入数据包括:父类图形数据块，其表示父类图形；第一参照图形数据块，其表示在所述父类图形数据块中被参照的第一参照图形要素；第二参照图形数据块，其表示在所述第一参照图形数据块中被参照的第二参照图形要素；所述第一情况是指:假设将单独对所述第一参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第一参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形内的所述第一参照图形要素的第一参照区域中，都配置所述第一参照扫描宽度的情况， (b)工序，基于所述输入数据，求出在第二情况下的第二缓存效率，所述第二情况是指:假设将单独对所述第二参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第二参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向所述输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形及所述第一参照图形要素内的所述第二参照图形要素的第二参照区域中，都配置所述第二参照扫描宽度的情况， (C)工序，在所述第一缓存效率大于所述第二缓存效率的情况下，根据所述第一参照图形数据块，生成所述第一参照扫描宽度，并将其作为参照扫描宽度而存储在所述高速缓冲存储器内；在所述第一缓存效率小于所述第二缓存效率的情况下，根据所述第二参照图形数据块，生成所述第二参照扫描宽度，并将其作为所述参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，
(d)工序，在所述父类图形内，在所有的配置有与所述参照扫描宽度对应的参照图形要素的参照区域中，配置所述参照扫描宽度，并且进行从所述输入数据向所述输出数据的转换； 在所述(a)工序中，通过将第一特征量乘以第一次数，来求出所述第一缓存效率，所述第一特征量表示所述第一参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第一次数是指，将所述父类图形数据块中的所述第一参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数， 在所述(b)工序中，通过将第二特征量乘以第二次数，来求出所述第二缓存效率，所述第二特征量表示所述第二参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第二次数是指，将所述父类图形数据块及所述第一参照图形数据块的所述第二参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数。
2.一种数据转换方法，将表示多个图形要素的被分层的输入数据转换为作为扫描宽度数据的输出数据，其特征在于， 具有: (a)工序，基于输入数据，求出在第一情况下的第一缓存效率，所述第一缓存效率表示从所述输入数据向所述输出数据转换的效率上升的程度，所述输入数据包括:父类图形数据块，其表示父类图形；第一参照图形数据块，其表示在所述父类图形数据块中被参照的第一参照图形要素；第二参照图形数据块，其表示在所述第一参照图形数据块中被参照的第二参照图形要素；所述第一情况是指:假设将单独对所述第一参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第一参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形内的所述第一参照图形要素的第一参照区域中，都配置所述第一参照扫描宽度的情况， (b)工序，基于所述输入数据，求出在第二情况下的第二缓存效率，所述第二情况是指:假设将单独对所述第二参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第二参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向所述输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形及所述第一参照图形要素内的所述第二参照图形要素的第二参照区域中，都配置所述第二参照扫描宽度的情况， (C)工序，在所述第一缓存效率大于所述第二缓存效率并且还大于规定的效率阈值的情况下，根据所述第一参照图形数据块，生成所述第一参照扫描宽度，并将其作为参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内；在所述第一缓存效率小于所述第二缓存效率并且所述第二缓存效率大于所述效率阈值的情况下，根据所述第二参照图形数据块生成所述第二参照扫描宽度，并将其作为所述参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内， (d)工序，在所述(C)工序中存储了所述参照扫描宽度的情况下，在所述父类图形内，在所有的配置有与所述参照扫描宽度对应的参照图形要素的参照区域中，配置所述参照扫描宽度，并且进行从所述输入数据向所述输出数据的转换；在所述(C)工序中没有存储所述参照扫描宽度的情况下，进行从所述输入数据向所述输出数据的转换， 在所述(a)工序中，通过将第一特征量乘以第一次数，来求出所述第一缓存效率，所述第一特征量表示所述第一参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第一次数是指，将所述父类图形数 据块中的所述第一参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数，在所述(b)工序中，通过将第二特征量乘以第二次数，来求出所述第二缓存效率，所述第二特征量表示所述第二参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第二次数是指，将所述父类图形数据块及所述第一参照图形数据块的所述第二参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数。
3.如权利要求1或者2所述的数据转换方法，其特征在于， 在所述第一参照扫描宽度及所述第二参照扫描宽度中， 将多个扫描宽度分别延伸的方向作为第一方向，将与所述第一方向垂直的方向作为第二方向， 所述第一特征量为所述第一参照图形要素所包含的图形要素组在所述第二方向上的宽度的合计，所述第二特征量为所述第二参照图形要素所包含的图形要素组在所述第二方向上的宽度的合计。
4.如权利要求3所述的数据转换方法，其特征在于， 在所述父类图形数据块中，参照多个第一参照图形要素，各第一参照图形要素包括多个图形要素， 在所述数据转换方法中，在所述(a)工序之前还具有合成所述多个图形要素的工序。
5.如权利要求4所述的数据转换方法，其特征在于， 在所述第一参照图形数据块中，参照多个第二参照图形要素，各第二参照图形要素包括多个图形要素， 在所述数据转换方法中，在所述(b)工序之前还具有合成所述多个图形要素的工序。
6.如权利要求1或者2所述的数据转换方法，其特征在于， 在所述父类图形数据块中，参照多个第一参照图形要素，各第一参照图形要素包括多个图形要素， 在所述数据转换方法中，在所述(a)工序之前还具有合成所述多个图形要素的工序。
7.如权利要求6所述的数据转换方法，其特征在于， 在所述第一参照图形数据块中，参照多个第二参照图形要素，各第二参照图形要素包括多个图形要素， 在所述数据转换方法中，在所述(b)工序之前还具有合成所述多个图形要素的工序。
8.如权利要求1或者2所述的数据转换方法，其特征在于， 在所述第一参照图形数据块中，参照多个第二参照图形要素，各第二参照图形要素包括多个图形要素， 在所述数据转换方法中，在所述(b)工序之前还具有合成所述多个图形要素的工序。
9.一种描画系统，其在基板上描画图案，其特征在于， 具有: 数据转换装置，其利用规定的数据转换方法，将输入数据转换成输出数据， 描画装置，其基于由所述数据转换装置生成的所述输出数据，在基板上描画图案； 所述数据转换方法具有: (a)工序，基于输入数据，求出在第一情况下的第一缓存效率，所述第一缓存效率表示从所述输入数据向所述输出数据转换的效率上升的程度，所述输入数据包括:父类图形数据块，其表示父类图形；第一参照图形数据块，其表示在所述父类图形数据块中被参照的第一参照图形要素；第二参照图形数据块，其表示在所述第一参照图形数据块中被参照的第二参照图形要素；所述第一情况是指:假设将单独对所述第一参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第一参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形内的所述第一参照图形要素的第一参照区域中，都配置所述第一参照扫描宽度的情况， (b)工序，基于所述输入数据，求出在第二情况下的第二缓存效率，所述第二情况是指:假设将单独对所述第二参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第二参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向所述输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形及所述第一参照图形要素内的所述第二参照图形要素的第二参照区域中，都配置所述第二参照扫描宽度的情况， (C)工序，在所述第一缓存效率大于所述第二缓存效率的情况下，根据所述第一参照图形数据块，生成所述第一参照扫描宽度，并将其作为参照扫描宽度而存储在所述高速缓冲存储器内；在所述第一缓存效率小于所述第二缓存效率的情况下，根据所述第二参照图形数据块，生成所述第二参照扫描宽度，并将其作为所述参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内， (d)工序，在所述父类图形内，在所有的配置有与所述参照扫描宽度对应的参照图形要素的参照区域中，配置所述参照扫描宽度，并且进行从所述输入数据向所述输出数据的转换； 在所述(a)工序中，通过将第一特征量乘以第一次数，来求出所述第一缓存效率，所述第一特征量表示所述第一参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第一次数是指，将所述父类图形数据块中的所述第一参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数，在所述(b)工序中，通过将第二特征量乘以第二次数，来求出所述第二缓存效率，所述第二特征量表示所述第二参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第二次数是指，将所述父类图形数据块及所述第一参照图形数据块的所述第二参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数； 所述描画装置具有: 基板保持部，其保持所述基板， 光调制元件，其对所述基板照射光， 照射位置移动机构，其使从所述光调制元件导出的光在所述基板上的照射位置相对于所述基板移动， 光调制元件控制部，其基于所述输出数据，控制所述光调制元件调制光。
10.一种描画系统，其在基板上描画图案，其特征在于， 具有: 数据转换装置，其利用规定的数据转换方法，将输入数据转换成输出数据， 描画装置，其基于由所述数据转换装置生成的所述输出数据，在基板上描画图案； 所述数据转换方法具有: (a)工序，基于输入数据，求出在第一情况下的第一缓存效率，所述第一缓存效率表示从所述输入数据向所述输出数据转换的效率上升的程度，所述输入数据包括:父类图形数据块，其表示父类图形；第一参照图形数据块，其表示在所述父类图形数据块中被参照的第一参照图形要素；第二参照图形数据块，其表示在所述第一参照图形数据块中被参照的第二参照图形要素；所述第一情况是指:假设将单独对所述第一参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第一参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形内的所述第一参照图形要素的第一参照区域中，都配置所述第一参照扫描宽度的情况， (b)工序，基于所述输入数据，求出在第二情况下的第二缓存效率，所述第二情况是指:假设将单独对所述第二参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第二参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向所述输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形及所述第一参照图形要素内的所述第二参照图形要素的第二参照区域中，都配置所述第二参照扫描宽度的情况， (C)工序，在所述第一缓存效率大于所述第二缓存效率并且还大于规定的效率阈值的情况下，根据所述第一参照图形数据块，生成所述第一参照扫描宽度，并将其作为参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内；在所述第一缓存效率小于所述第二缓存效率并且所述第二缓存效率大于所述效率阈值的情况下，根据所述第二参照图形数据块生成所述第二参照扫描宽度，并将其作为所述参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内， (d)工序，在所述(C)工序中存储了所述参照扫描宽度的情况下，在所述父类图形内，在所有的配置有与所述参照扫描宽度对应的参照图形要素的参照区域中，配置所述参照扫描宽度，并且进行从所述输入数据向所述输出数据的转换；在所述(C)工序中没有存储所述参照扫描宽度的情况下，进行从所述输入数据向所述输出数据的转换，在所述(a)工序中，通过将第一特征量乘以第一次数，来求出所述第一缓存效率，所述第一特征量表示所述第一参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第一次数是指，将所述父类图形数据块中的所述第一参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数， 在所述(b)工序中，通过将第二特征量乘以第二次数，来求出所述第二缓存效率，所述第二特征量表示所述第二参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第二次数是指，将所述父类图形数据块及所述第一参照图形数据块的所述第二参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数； 所述描画装置具有: 基板保持部，其保持所述基板， 光调制元件，其对所述基板照射光， 照射位置移动机构，其使从所述光调制元件导出的光在所述基板上的照射位置相对于所述基板移动， 光调制元件控制部，其基于所述输出数据，控制所述光调制元件调制光。
11.如权利要求9或者10所述的描画系统，其特征在于， 在所述第一 参照扫描宽度及所述第二参照扫描宽度中， 将多个扫描宽度分别延伸的方向作为第一方向，将与所述第一方向垂直的方向作为第二方向， 所述第一特征量为所述第一参照图形要素所包含的图形要素组在所述第二方向上的宽度的合计，所述第二特征量为所述第二参照图形要素所包含的图形要素组在所述第二方向上的宽度的合计。
12.如权利要求11所述的描画系统，其特征在于， 在所述父类图形数据块中，参照多个第一参照图形要素，各第一参照图形要素包括多个图形要素， 在所述数据转换方法中，在所述(a)工序之前还具有合成所述多个图形要素的工序。
13.如权利要求12所述的描画系统，其特征在于， 在所述第一参照图形数据块中，参照多个第二参照图形要素，各第二参照图形要素包括多个图形要素， 在所述数据转换方法中，在所述(b)工序之前还具有合成所述多个图形要素的工序。
14.如权利要求9或者10所述的描画系统，其特征在于， 在所述父类图形数据块中，参照多个第一参照图形要素，各第一参照图形要素包括多个图形要素， 在所述数据转换方法中，在所述(a)工序之前还具有合成所述多个图形要素的工序。
15.如权利要求14所述的描画系统，其特征在于， 在所述第一参照图形数据块中，参照多个第二参照图形要素，各第二参照图形要素包括多个图形要素， 在所述数据转换方法中，在所述(b)工序之前还具有合成所述多个图形要素的工序。
16.如权利要求9或者10所述的描画系统，其特征在于， 在所述第一参照图形数据块中，参照多个第二参照图形要素，各第二参照图形要素包括多个图形要素，在所述数据转换方法中，在所述(b)工序之前还具有合成所述多个图形要素的工序。
17.—种记录介质，其记录有将作为多个图形要素的矢量数据的输入数据转换成作为扫描宽度数据的输出数据的程序，使计算机执行如下的工序，由此来通过所述计算机执行所述程序，这些工序包括: (a)工序，基于输入数据，求出在第一情况下的第一缓存效率，所述第一缓存效率表示从所述输入数据向所述输出数据转换的效率上升的程度，所述输入数据包括:父类图形数据块，其表示父类图形；第一参照图形数据块，其表示在所述父类图形数据块中被参照的第一参照图形要素；第二参照图形数据块，其表示在所述第一参照图形数据块中被参照的第二参照图形要素；所述第一情况是指:假设将单独对所述第一参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第一参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形内的所述第一参照图形要素的第一参照区域中，都配置所述第一参照扫描宽度的情况， (b)工序，基于所述输入数据，求出在第二情况下的第二缓存效率，所述第二情况是指:假设将单独对所述第二参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第二参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向所述输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形及所述第一参照图形要素内的所述第二参照图形要素的第二参照区域中，都配置所述第二参照扫描宽度的情况， (C)工序，在所述第一缓存效率大于所述第二缓存效率的情况下，根据所述第一参照图形数据块，生成所述第一参照扫描宽度，并将其作为参照扫描宽度而存储在所述高速缓冲存储器内；在所述第一缓存效率小于所述第二缓存效率的情况下，根据所述第二参照图形数据块，生成所述第二参照扫描宽度，并将其作为所述参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内， (d)工序，在所述父类图形内，在所有的配置有与所述参照扫描宽度对应的参照图形要素的参照区域中，配置所述参照扫描宽度，并且进行从所述输入数据向所述输出数据的转换； 在所述(a)工序中，通过将第一特征量乘以第一次数，来求出所述第一缓存效率，所述第一特征量表示所述第一参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第一次数是指，将所述父类图形数据块中的所述第一参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数， 在所述(b)工序中，通过将第二特征量乘以第二次数，来求出所述第二缓存效率，所述第二特征量表示所述第二参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第二次数是指，将所述父类图形数据块及所述第一参照图形数据块的所述第二参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数。
18.—种记录介质，其记录有将作为多个图形要素的矢量数据的输入数据转换成作为扫描宽度数据的输出数据的程序，使计算机执行如下的工序，由此来通过所述计算机执行所述程序，这些工序包括: (a)工序，基于输入数据，求出在第一情况下的第一缓存效率，所述第一缓存效率表示从所述输入数据向所述输出数据转换的效率上升的程度，所述输入数据包括:父类图形数据块，其表示父类图形；第一参照图形数据块，其表示在所述父类图形数据块中被参照的第一参照图形要素；第二参照图形数据块，其表示在所述第一参照图形数据块中被参照的第二参照图形要素；所述第一情况是指:假设将单独对所述第一参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第一参照扫描宽度存储在高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形内的所述第一参照图形要素的第一参照区域中，都配置所述第一参照扫描宽度的情况， (b)工序，基于所述输入数据，求出在第二情况下的第二缓存效率，所述第二情况是指:假设将单独对所述第二参照图形要素进行扫描宽度编码处理之后得到的第二参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内，在从所述输入数据向所述输出数据转换时，在所有的配置有所述父类图形及所述第一参照图形要素内的所述第二参照图形要素的第二参照区域中，都配置所述第二参照扫描宽度的情况， (C)工序，在所述第一缓存效率大于所述第二缓存效率并且还大于规定的效率阈值的情况下，根据所述第一参照图形数据块，生成所述第一参照扫描宽度，并将其作为参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内；在所述第一缓存效率小于所述第二缓存效率并且所述第二缓存效率大于所述效率阈值的情况下，根据所述第二参照图形数据块生成所述第二参照扫描宽度，并将其作为所述参照扫描宽度存储在所述高速缓冲存储器内， (d)工序，在所述(C)工序中存储了所述参照扫描宽度的情况下，在所述父类图形内，在所有的配置有与所述参照扫描宽度对应的参照图形要素的参照区域中，配置所述参照扫描宽度，并且进行从所述输入数据向所述输出数据的转换；在所述(C)工序中没有存储所述参照扫描宽度的情况下，进行从所述输入数据向所述输出数据的转换， 在所述(a)工序中，通过将第一特征量乘以第一次数，来求出所述第一缓存效率，所述第一特征量表示所述第一参照 图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第一次数是指，将所述父类图形数据块中的所述第一参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数，在所述(b)工序中，通过将第二特征量乘以第二次数，来求出所述第二缓存效率，所述第二特征量表示所述第二参照图形要素的扫描宽度编码处理所需的时间，所述第二次数是指，将所述父类图形数据块及所述第一参照图形数据块的所述第二参照图形要素的参照次数减去I而得到的次数。
19.如权利要求17或者18所述的记录介质，其特征在于， 在所述第一参照扫描宽度及所述第二参照扫描宽度中， 将多个扫描宽度分别延伸的方向作为第一方向，将与所述第一方向垂直的方向作为第二方向， 所述第一特征量为所述第一参照图形要素所包含的图形要素组在所述第二方向上的宽度的合计，所述第二特征量为所述第二参照图形要素所包含的图形要素组在所述第二方向上的宽度的合计。
20.如权利要求19所述的记录介质,其特征在于， 在所述父类图形数据块中，参照多个第一参照图形要素，各第一参照图形要素包括多个图形要素， 在通过所述计算机执行所述程序的过程中，还使所述计算机在所述(a)工序之前执行合成所述多个图形要素的工序。
21.如权利要求20所述的记录介质，其特征在于， 在所述父类图形数据块和所述第一参照图形数据块中，参照多个第二参照图形要素，各第二参照图形要素包括多个图形要素， 在通过所述计算机执行所述程序的过程中，还使所述计算机在所述(b)工序之前执行合成所述多个图形要素的工序。
22.如权利要求17或者18所述的记录介质，其特征在于， 在所述父类图形数据块中，参照多个第一参照图形要素，各第一参照图形要素包括多个图形要素， 在通过计算机执行所述程序的过程中，还使所述计算机在所述(a)工序之前执行合成所述多个图形要素的工序。
23.如权利要求22所述的记录介质，其特征在于， 在所述父类图形数据块和所述第一参照图形数据块中，参照多个第二参照图形要素，各第二参照图形要素包括多个图形要素， 在通过计算机执行所述程序的过程中，还使所述计算机在所述(b)工序之前执行合成所述多个图形要素的工序。
24.如权利要求17或者18所述的记录介质，其特征在于， 在所述父类图形数据块和所述第一参照图形数据块中，参照多个第二参照图形要素，各第二参照图形要素包括多 个图形要素， 在通过计算机执行所述程序的过程中，还使所述计算机在所述(b)工序之前执行合成所述多个图形要素的工序。
【文档编号】G03F7/20GK104036063SQ201410038129
【公开日】2014年9月10日 申请日期:2014年1月26日 优先权日:2013年3月6日
【发明者】山田亮 申请人:大日本网屏制造株式会社