亚波长矩形单周期光栅结构的制作方法及偶数分束器的制造方法
【专利摘要】本发明提出一种亚波长矩形单周期光栅结构的制作方法，其用于制作可实现偶数分束的亚波长矩形单周期光栅结构，其包括如下步骤：S11、确定入射波波长和光栅基底的材料的折射率；S13、根据目标偶数分束数构建评价函数；S15、利用严格耦合波理论和全局优化算法，结合所述评价函数，优化获得所述亚波长矩形单周期光栅结构的脊宽、槽宽及深度；S17、根据所述脊宽、所述槽宽及所述深度，制作所述亚波长矩形单周期光栅结构。获得的亚波长矩形单周期光栅结构可对不同的入射波波长实现较为理想的偶数分束效果；同时，具有所述亚波长矩形单周期光栅结构的偶数分束器可有效地实现偶数分束，且其为周期性矩形结构，易于生产复制，实用性强。
【专利说明】亚波长矩形单周期光栅结构的制作方法及偶数分束器
【技术领域】
[0001]本发明涉及衍射光学器件，尤其涉及一种可实现偶数分束的亚波长矩形单周期光栅结构的制作方法及偶数分束器。
【背景技术】
[0002]分束器是光学系统中起重要作用的分光元件，在光纤通信、光计算、图像处理和光盘存储等众多【技术领域】中，经常需要利用分束器将单一信号变换为多个信号输出。偶数分束器是将一束入射电磁波变换为偶数束输出，即1x2，1x4,1x6……，其具有对称分光效果及较高光能利用率的优点，使偶数分束器在搭建光学系统中具有重要意义。
[0003]普通光栅设计理论——标量衍射理论由于其设计局限性，无法产生高衍射效率偶数等光强分束的效果。
[0004]
【发明者】徐平, 黄海漩, 杨拓 申请人:深圳大学