一种可动镜片调整机构的制作方法

本发明涉及一种集成电路装备制造领域,尤其涉及一种可动镜片调整机构。

背景技术：

在光刻投影物镜中，由于镜片的制造和装配误差，使得物镜的成像像质变差，为了解决这一问题，一般采用可动镜片以补偿镜片的制造和装配误差。美国专利US 2008/0204905, 可动镜组由三个均布的柔性块支撑，通过柔性块的弹性变形实现可动镜片的移动。中国专利CN200810204974，可动镜组由三个均布的杠杆机构支撑，通过杠杆的转动实现可动镜片的移动。

上述两个专利，在实现上有一定的局限性，结构比较复杂，且需要三点均布支撑镜片，通过调整三个支撑点的位置，实现镜片的运动，这两种结构适用于调整圆形镜片，但对应长条形矩形镜片，一般从结构布局上无法实现三点支撑。

技术实现要素：

为了克服现有技术中存在的缺陷，本发明提出一种可动镜片调整机构，用以解决现有像差补偿机构结构复杂的问题。

为了实现上述发明目的，本发明公开一种可动矩形镜片调整机构，包括：支撑基座、2侧的柔性块、所述矩形镜片、至少一个电机和若干的弹簧座和拉簧，所述柔性块固定在所述支撑基座上，所述支撑基座用于支撑所述矩形镜片；其特征在于，所述柔性块为对称结构且有8处开槽。

较优地，所述柔性块由若干杠杆组合并设置有一边重叠的双平行四边形铰链机构的组成。

较优地，所述柔性块为弹性材料。

较优地，一侧的所述支撑基座被基座弹簧座和所述拉簧牵制。

较优地，一侧的所述支撑基座被所述电机驱动仅做Z向运动。

较优地，所述拉簧用于实现驱动所述柔性块的Z向运动。

与现有技术相比较，本发明可动镜片调整机构通过在矩形镜片的两条短边处各布置一个双平行四边形铰链机构，保证整个运动机构只有一个自由度，结构简单，稳定可靠。

附图说明

关于本发明的优点与精神可以通过以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。

图1是本发明可动镜片调整机构结构示意图；

图2是图1中沿A-A剖视图；

图3是本发明可动镜片调整机构立体结构图；

图4是柔性块立体结构图；

图5是柔性块结构示意图；

图6是柔性铰链机构原理图；

图7是柔性铰链运动原理图。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本发明的具体实施例。

如图1-3所示，本发明可动镜片调整机构包括：支撑基座100、柔性块200、镜片300、电机400、弹簧座500和拉簧600。支撑基座100是整个机构的安装基础，通过安装铰链260a和260b将柔性块200固定在支撑基座100上。 镜片300固定在杠杆270上，由两个电机400驱动杠杆270实现镜片300在Z方向上运动，并保证镜片300在Z方向上调整平稳。通过拉簧600驱动杠杆270实现镜片300做反向运动，实现镜片300做-Z方向运动。

柔性块200为整个可动镜片调整机构的关键零件，如图4-7所示，采用弹性材料。柔性块200为对称结构，在H1、H2、H3、H4、H5、H6、H7和H8处开槽，相当于8个支点，构成双平行四边形铰链机构，由杠杆210a、220a、230a和270组成外平行四边形铰链机构，杠杆220a、240a、250a和260a组成内四边形铰链机构，通过两边的双平行四边形铰链机构，保证整个运动机构只有1个自由度，即杠杆270只能做Z方向运动，如图中DZ，且没有XY方向运动，从而消除了运动串扰现象，提高运动精度。

本说明书中所述的只是本发明的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明的限制。凡本领域技术人员依本发明的构思通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在本发明的范围之内。