一种缩小频率偏差的n×n阵列波导光栅光波长路由器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种缩小频率偏差的N×N阵列波导光栅光波长路由器。它包括N条输入波导、输入平板波导区、阵列波导区、输出平板波导区和N条输出波导；采用倾斜的罗兰圆结构在输入平板波导区和输出平板波导区引入长度差，消除了传统阵列波导光栅光波长路由器的自由光谱范围要求和衍射级次为整数两者无法同时实现的矛盾，解决了自由光谱范围出现偏差的问题，从而减小了输出通道的频率偏差。本实用新型在不改变传统阵列波导光栅光波长路由器各个组成部分，同时不引入额外器件的基础上，解决了传统阵列波导光栅光波长路由器输出波长出现频率偏差的问题，适用于基于二氧化硅、磷化铟和硅等的波导材料和波导结构，具有制作简单、成本低等优点。
【专利说明】一种缩小频率偏差的NXN阵列波导光栅光波长路由器
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种阵列波导光栅光波长路由器，具体涉及一种缩小频率偏差的 NXN阵列波导光栅光波长路由器。
【背景技术】
[0002] 随着半导体工艺的最小特征尺寸按照摩尔定律持续减小，芯片集成度越来越高， 各个晶体管间的数据交换速度将无法跟上其本身的数据处理速度，基于金属传导的电互连 技术正面临不可逾越的"电子瓶颈"。与电互连相比，光互连（Optical Interconnect)以光 子为信息载体，具有超高带宽、超快传输速率、抗电磁干扰和低能耗等优势，将引发新一轮 的信息产业革命。
[0003] 硅基光互连技术具有功耗低、与半导体CMOS工艺兼容、可集成、成本低等优点，是 实现片间和片上光互连的理想平台。光波长路由器可以实现光节点上/下行波长的智能分 配，高速无阻塞光域的选路交换，保证透明传输，是光互连网络系统的核心器件之一。
[0004] 光波长路由器可以用环形共振器（Ring resonator)，蚀刻衍射光栅（EDG)等方式 实现。但考虑较多波长信道和制作要求时，阵列波导光栅（AWG)是光波长路由器的最佳选 择之一。AWG具有结构紧凑、易于集成、性能优良和可靠性高等众多优点。由NXN型阵列波 导光栅（AWG)构成的光波长路由器正成为研究热点。
[0005] 严重的输出波长频率偏差是阵列波导光栅光波长路由器的一个相当重要的问题。 对于普通的阵列波导光栅光波长路由器，其中心波长由光栅方程n。A L = m入。（式1)决定， 其中，n。是阵列波导的有效折射率，AL是相邻阵列波导在阵列波导区的长度差，m是衍射 级次，A。是中心波长。其自由光谱范围表示为FSH = Ai/(NcilL}(式2)，其中，N。是阵列 波导的群折射率。在NXN的光波长路由应用中，要求AWG的FSR正好是通道间隔的N倍， 而衍射级次m又必须是整数。因此两个等式无法同时满足。只能通过公式（2)求得阵列波 导长度差在代入公式（1)得到的衍射级次m就近取整。那么根据整数m再反推回的FSR就 和实际要求的存在偏差，引起比较严重的频率偏差现象，特别是当传输通道数目较多，FSR 较大时，该现象就会更加明显。对于光互连网络而言，传输信号的频率误差将带来严重的后 果，劣化传输信号，增大通信系统的误码率。因此，为了加大阵列波导光栅光波长路由器在 光互连网络中的进一步应用，必须减小其输出波长的频率偏差。
[0006] 目前国内外报道的减小阵列波导光栅光波长路由器输出波长频率偏差的方法主 要是与合波器结合的反馈法?在"32 X 32 arrayed-waveguide grating multiplexer with uniform loss and cyclic frequency characteristics"，K. Okamoto, T. Hasegawa，0? Ishida，et al.，Electronics Lett.，33 (22)，1865-1866, 1997 这篇文章中提到，利用一个 NXM的阵列波导光栅（其中M >2N)，N个需要的通道位于M个输出通道的中间，并且当从 N个不同通道输入时其聚焦波长出现在N个输出通道之外时利用一个合波器将其反馈到N 个中间输出通道内，由于只利用阵列波导光栅的M个输出通道的中间N个通道，从而利用反 馈解决了频率偏差问题。
[0007] 该方法成功地减小了阵列波导光栅光波长路由器输出波长的频率偏差。但是，由 于3dB合波器的引入，增大了工艺制作的复杂性，使器件的性能变低、成本变高。特别对于 具有较大色散的AWG，例如，超小尺寸的硅纳米线阵列波导光栅，要实现输出波长频率偏差 的减小，该方法将变得十分困难，也就限制了该类阵列波导光栅光波长路由器在光互连中 的应用。 实用新型内容
[0008] 针对【背景技术】的不足，本实用新型的目的在于提供一种缩小频率偏差的NXN阵 列波导光栅光波长路由器，解决传统阵列波导光栅光波长路由器减小输出波长的频率偏差 方法造成的工艺变复杂、器件性能变差，结构复杂，成本增大等问题。
[0009] 本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0010] 本实用新型依次包括N条输入波导、输入平板波导区、阵列波导区、输出平板波导 区和N条输出波导；光从N条输入波导依次通过输入平板波导区、阵列波导区和输出平板波 导区传播至N条输出波导；由N条输入波导末端构成的输入面是在第一个罗兰圆上，输入平 板波导区和阵列波导区的交界曲线是在一个比第一个罗兰圆半径大一倍的第一个光栅圆 上，并且第一个罗兰圆与第一个光栅圆在输入平板波导区和阵列波导区的交界曲线的中心 点相切；由N条输出波导末端构成的输出面是在第二个罗兰圆上，输出平板波导区和阵列 波导区的交界曲线是在一个比第二个罗兰圆半径大一倍的第二个光栅圆上，并且第二个罗 兰圆与第二个光栅圆在输出平板波导区和阵列波导区的交界曲线的中心点相切。
[0011] 输入平板波导区和阵列波导区的交界曲线中心的切线与输入平板波导区的光轴 的夹角和输出平板波导区和阵列波导区的交界曲线中心的切线与输出平板波导区的光轴 的夹角均为同一角度a，且a为大于〇°小于180°非90°的角度，并满足关系式a = 90° -asin(ALsMa)，其中da为阵列波导区的中间阵列波导的中心与相邻的阵列波导中心 的连线的距离，ALs是对应相邻阵列波导的光路在输入平板波导区中的长度差，也是对应 相邻阵列波导的光路在输出平板波导区中的长度差；阵列波导光栅光波长路由器在阵列波 导区的长度差和在输入平板波导区和输出平板波导区的长度差以及由此决定的输入平板 波导区、阵列波导区和输出平板波导区的几何形状是根据使得该阵列波导光栅光波长路由 器自由光谱范围要求和衍射级次为整数两者同时满足时而决定的。
[0012] 光从N条输入波导依次通过输入平板波导区、阵列波导区和输出平板波导区传播 至N条输出波导时经过阵列波导区中相邻两波导所对应的总光程差由输入平板波导区中 的光程差\ALs、阵列波导区中的光程差r^AL和输出平板波导区中的光程差\ALs共同决 定，其中，ns是输入平板区和输出平板区中的有效折射率。
[0013] 所述N条输入波导展开呈辐射状，连接输入平板波导区的一端排列在第一个罗兰 圆的圆弧上；阵列波导中的每条波导正对中心输入波导，排列在第一个光栅圆的圆弧上，此 第一个光栅圆和第一个罗兰圆在输入平板波导区和阵列波导区的交界曲线的中心点处相 切；输入平板波导区的光轴与第一个罗兰圆的直径，也就是第一个光栅圆的半径，不重合， 而是成一个角度P ;输入平板波导区引入的长度差ALs = da ^sinP，其中，P为输入平板 波导区的光轴和第一个罗兰圆直径之间的夹角。
[0014] 所述对应NXN阵列波导光栅光波长路由器，N个信道占据阵列波导光栅光波长路 由器的整个自由光谱范围，即信道间隔为自由光谱范围的1/N。
[0015] 所述输入平板波导区的N条输入波导的结构与输出平板波导区的N条输出波导的 结构对称，从而构成N X N端口的光波长路由器。
[0016] 本实用新型具有的有益效果是：
[0017] 1.本实用新型有效减小阵列波导光栅光波长路由器由于自由光谱范围要求和衍 射级次为整数两者无法同时实现而引起的严重的输出波长频率偏差，工作原理简单。
[0018] 2.本实用新型的制作工艺与传统阵列波导光栅光波长路由器的制作工艺完全兼 容，不需要加入额外元件，不需要额外工艺步骤，不影响传统阵列波导光栅光波长路由器的 其他性能。
[0019] 3.本实用新型应用于不同材料、不同波导结构的阵列波导光栅光波长路由器，具 有制作简单、成本低等优点。
【专利附图】
【附图说明】
[0020] 图1是6X6的阵列波导光栅光波长路由器的波长路由示意图。
[0021] 图2是传统阵列波导光栅光波长路由器的结构示意图。
[0022] 图3是图2输入平板波导区和输出平板波导区采用的波导结构放大图。
[0023] 图4是本实用新型的阵列波导光栅光波长路由器的结构示意图。
[0024] 图5是图4输入平板波导区和输出平板波导区采用的波导结构放大图。
[0025] 图6是6X6的传统阵列波导光栅光波长路由器的输出频谱图。
[0026] 图7是本实用新型的6X6的阵列波导光栅光波长路由器的输出频谱图。
[0027] 图8是6X6的传统阵列波导光栅光波长路由器和本实用新型的6X6的阵列波导 光栅光波长路由器的输出波长频率偏差的比较图。
[0028] 图9是8X8的传统阵列波导光栅光波长路由器的输出频谱图。
[0029] 图10是本实用新型的8X8的阵列波导光栅光波长路由器的输出频谱图。
[0030] 图11是8X8的传统阵列波导光栅光波长路由器和本实用新型的8X8的阵列波 导光栅光波长路由器的输出波长频率偏差的比较图。
[0031] 图中：1、N条输入波导，2、输入平板波导区，3、阵列波导区，4、输出平板波导区，5、 N条输出波导，6、输入平板波导区和阵列波导区的交界曲线中心的切线，7、输入平板波导区 的光轴，8、第一个罗兰圆，9、第一个光栅圆，10、输入平板波导区和阵列波导区的交界曲线， 11、输入面，12、中心输入波导，13、输出平板波导区的光轴，14、输出平板波导区和阵列波导 区的交界曲线中心的切线，15、输出平板波导区和阵列波导区的交界曲线，16、输出面，17、 中心输出波导，18、第一个罗兰圆直径，19、第二个罗兰圆直径，20、阵列波导区的中间阵列 波导的中心与相邻的阵列波导中心的连线。
【具体实施方式】
[0032] 下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。的波长路由示意图
[0033] 如图1所示的6X6的阵列波导光栅光波长路由器的波长路由示意图，第三输入 通道为中心输入通道。该阵列波导光栅光波长路由器的波长路由功能为：当波长A1? 入6从第一输入通道输入时，第一输出通道到第六输出通道的输出波长依次为入'5 (入5)， 入'6( X 6)，X X 2，X 3，X 4 ;当波长A i?入6从第二输入通道输入时，第一输出通道到第 六输出通道的输出波长依次为X ' 6〇 6)，X X 2，X 3，X 4，X 5;当波长入i?X 6从第三输 入通道输入时，第一输出通道到第六输出通道的输出波长依次为入i，入2，入3，入4，入 5，入6;当波长A A6从第四输入通道输入时，第一输出通道到第六输出通道的输出波长依次为 入2，A 3，A 4，A 5，A 6，A " i ( A D ;当波长入i?入6从第五输入通道输入时，第一输出通道 到第六输出通道的输出波长依次为入3，入4，入5，入6,入"1(入1)，入"2(入2);当波长入1? 入6从第六输入通道输入时，第一输出通道到第六输出通道的输出波长依次为X 4，X 5，入6， 入"JX1), X" 2(x2)，X" 3(入3)。其中，X表示衍射级次为m时的输出波长，X'表示衍 射级次为m_l时的输出波长，X "表不衍射级次为m+1时的输出波长。
[0034] 为实现波长路由功能，阵列波导光栅光波长路由器的自由光谱范围是输入/输出 通道数与信道间距的乘积，表示为
[0035] FSR = NX A 入 （1)
[0036] 其中，N为阵列波导光栅光波长路由器的输入/输出通道数，A X为阵列波导光栅 光波长路由器的信道间距，FSR是阵列波导光栅光波长路由器的自由光谱范围。
[0037] 如图2所示，是传统阵列波导光栅光波长路由器的结构示意图，包括N条输入波导 1、 输入平板波导区2、阵列波导区3、输出平板波导区4和N条输出波导5 ;输入平板波导区 的光轴7是中心输入波导12与输入平板波导区和阵列波导区的交界曲线10的中心点的连 线，（若输入波导数目为奇数，则是最中间一根输入波导为中心输入波导，若输入波导数目 为偶数，则是最中间两根输入波导之一为中心输入波导，图示所选的是最中间两根输入波 导中上面一根为中心输入波导），输出平板波导区的光轴13是中心输出波导17与输出平板 波导区和阵列波导区的交界曲线15的中心点的连线。这些结构都是集成在同一基底上。
[0038] 传统阵列波导光栅光波长路由器中光从N条输入波导1依次通过输入平板波导区 2、 阵列波导区3和输出平板波导区4传播至N条输出波导5时经过阵列波导区3中相邻两 波导所对应的总光程差仅是由阵列波导区3中的光程差Iic^L构成，其中，n。是阵列波导区 的有效折射率，AL是阵列波导区相邻两波导的长度差。
[0039] 传统阵列波导光栅光波长路由器输入平板波导区和阵列波导区的交界曲线中心 的切线6与输入平板波导区的光轴7相互垂直，输出平板波导区和阵列波导区的交界曲线 中心的切线14与输出平板波导区的光轴13相互垂直。
[0040] 图3是图2中输入平板波导区2的放大图，它与输出平板波导区4的结构相同。现 以罗兰圆的结构为例详细说明输入平板波导区：N条输入波导1连接输入平板波导区2的 一端均匀地排列在第一个罗兰圆8上，阵列波导区3中的每条波导正对中心输入波导12， 均匀地排列在第一个光栅圆9上，第一个光栅圆9的半径是第一个罗兰圆8的半径的两倍。 输入平板波导区和阵列波导区的交界曲线10在第一个光栅圆9上，并且第一个光栅圆9和 第一个罗兰圆8在输入平板波导区和阵列波导区的交界曲线10的中心点相切。输入平板 区的光轴7与第一个罗兰圆直径18,也就是第一个光栅圆9的半径重合。
[0041] 传统阵列波导光栅光波长路由器的中心波长满足如下衍射方程：
[0042] nc A L = m A c (2)
[0043] 其中，n。是阵列波导区的有效折射率，AL是阵列波导区相邻两波导的长度差，A。 是中心波长，m是衍射级次。
[0044] 传统阵列波导光栅光波长路由器的自由光谱范围满足如下方程：
[0045] FSE = A|/(NcilL) (3)
[0046] 其中，N。是阵列波导区的群折射率。
[0047] 在NXN的光波长应用中，要求阵列波导光栅的自由光谱范围正好是信道间隔的N 倍，即需满足式（I) :FSR = NX A X。确定了传统阵列波导光栅光波长路由器的输入/输 出通道数N和信道间隔△ A后，也就确定传统阵列波导光栅光波长路由器的自由光谱范围 FSR。
[0048] 由于传统阵列波导光栅光波长路由器的中心波长入。是已经确定的，所以通过式 (3)可以求得传统阵列波导光栅光波长路由器阵列波导区相邻两波导的长度差AL。随后 再将AL代入式（2)，可以得到传统阵列波导光栅光波长路由器的衍射级次m。通过式（2) 求得的衍射级次m-般不是整数，这与阵列波导光栅要求其衍射级次m为整数不符。因此， 对于传统阵列波导光栅光波长路由器，会对衍射级次m就近取整。这样，根据整数m由式 (2)和式（3)反推的传统阵列波导光栅光波长路由器实际的阵列波导区相邻两波导长度差 与实际的自由光谱范围就和理论要求存在偏差，从而引起比较严重的输出波长频率偏差现 象。特别是当输入/输出通道数N较多，自由光谱范围FSR较大时，输出波长频率偏差现象 会更加明显。
[0049] 如图4、图5所示，本实用新型和传统阵列波导光栅光波长路由器不同，输入平 板波导区和阵列波导区的交界曲线中心的切线6与输入平板波导区的光轴7的夹角和输 出平板波导区和阵列波导区的交界曲线中心的切线14与输出平板波导区的光轴13的 夹角均为同一角度a，且a为大于〇°小于180°非90°的角度，并满足关系式a = 90° -asin(ALsMa)，其中da为阵列波导区的中间阵列波导的中心与相邻的阵列波导中心 的连线20的距离（若阵列波导数目为奇数则是最中间一根阵列波导为中心阵列波导，若阵 列波导输入为偶数则是最中间两根阵列波导之一为中心阵列波导，图示所选的相邻阵列波 导为右边相邻阵列波导；另外，为了示意明白，阵列波导区的中间阵列波导的中心与相邻的 阵列波导中心的连线20有一个移位），△ Ls是对应相邻阵列波导的光路在输入平板波导区 2中的长度差，也是对应相邻阵列波导的光路在输出平板波导区4中的长度差；阵列波导 光栅光波长路由器在阵列波导区3的长度差和在输入平板波导区2和输出平板波导区4的 长度差以及由此决定的输入平板波导区2、阵列波导区3和输出平板波导区4的几何形状是 根据使得该阵列波导光栅光波长路由器自由光谱范围要求和衍射级次为整数两者同时满 足时而决定的。
[0050] 光从N条输入波导1依次通过输入平板波导区2、阵列波导区3和输出平板波导区 4传播至N条输出波导5时经过阵列波导区3中相邻两波导所对应的总光程差由输入平板 波导区2中的光程差ns A Ls、阵列波导区3中的光程差n。A L和输出平板波导区4中的光程 差ns A Ls共同决定，其中，ns是输入平板区2和输出平板区4中的有效折射率。
[0051] N条输入波导1展开呈辐射状，连接输入平板波导区2的一端排列在第一个罗兰 圆8的圆弧上；阵列波导中的每条波导正对中心输入波导12,排列在第一个光栅圆9的圆 弧上，此第一个光栅圆9和第一个罗兰圆8在输入平板波导区和阵列波导区的交界曲线10 的中心点处相切；第一个光栅圆9的半径是第一个罗兰圆8的半径的两倍；这里罗兰圆和 光栅圆的设计和蚀刻光栅的几何构造类似。输入平板波导区的光轴7与第一个罗兰圆的直 径18,也就是第一个光栅圆9的半径，不重合，而是成一个角度P ;输入平板波导区2引入 的长度差ALs = da ，其中，P为输入平板波导区的光轴7和第一个罗兰圆直径18 之间的夹角。
[0052] 对应NXN阵列波导光栅光波长路由器，N个信道占据阵列波导光栅光波长路由器 的整个自由光谱范围，即信道间隔为自由光谱范围的1/N。
[0053] 输入平板波导区2的N条输入波导1的结构与输出平板波导区4的N条输出波导 5的结构对称，从而构成N X N端口的光波长路由器。
[0054] 缩小频率偏差的NXN阵列波导光栅光波长路由器的中心波长满足如下衍射方 程：
[0055] 2ns A Ls+nc A L = m 入 c (4)
[0056] 缩小频率偏差的NXN阵列波导光栅光波长路由器的自由光谱范围满足如下方 程：
[0057] FSR = X^/ (NcAL + 2 NffALe) (5)
[0058] 其中，Ns是输入平板波导区2和输出平板波导区4的群折射率。
[0059] 在NXN的光波长应用中，要求阵列波导光栅的自由光谱范围正好是信道间隔的N 倍，即需满足式⑴：FSR = NX A入。确定了缩小频率偏差的NXN阵列波导光栅光波长路 由器的输入/输出通道数N和信道间隔A A后，也就确定了缩小频率偏差的NXN阵列波 导光栅光波长路由器的自由光谱范围FSR。
[0060] 本实用新型通过采用倾斜的罗兰圆结构分别在在输入平板波导区2和输出平板 波导区4引入长度差ALs，增加了一个结构参数，自由光谱范围要求和衍射级次为整数两者 可以同时实现。因此，光栅级次m可以精确取整，通过式（4)和式（5)得到的实际的自由光 谱范围FSR与设计值一致，解决了传统阵列波导光栅光波长路由器的自由光谱范围FSR出 现偏差的问题，从而有效减小了传统阵列波导光栅光波长路由器的输出波长的频率偏差。 [0061] 阵列波导光栅光波长路由器在阵列波导区3的长度差和在输入平板波导区2和输 出平板波导区4的长度差以及由此决定的输入平板波导区2、阵列波导区3和输出平板波导 区4的几何形状是根据使得该阵列波导光栅光波长路由器自由光谱范围要求和衍射级次 为整数两者同时满足时而决定的。该输入/输出平板波导区和阵列波导区3的长度差可由 下式得到：
【权利要求】
1. 一种缩小频率偏差的NXN阵列波导光栅光波长路由器，依次包括N条输入波导 (1) 、输入平板波导区（2)、阵列波导区（3)、输出平板波导区（4)和N条输出波导（5);光从 N条输入波导（1)依次通过输入平板波导区（2)、阵列波导区（3)和输出平板波导区（4)传 播至N条输出波导（5);由N条输入波导（1)末端构成的输入面（11)是在第一个罗兰圆 (8)上，输入平板波导区和阵列波导区的交界曲线（10)是在一个比第一个罗兰圆（8)半径 大一倍的第一个光栅圆（9)上，并且第一个罗兰圆（8)与第一个光栅圆（9)在输入平板波 导区和阵列波导区的交界曲线（10)的中心点相切；由N条输出波导（5)末端构成的输出面 (16)是在第二个罗兰圆上，输出平板波导区和阵列波导区的交界曲线（15)是在一个比第 二个罗兰圆半径大一倍的第二个光栅圆上，并且第二个罗兰圆与第二个光栅圆在输出平板 波导区和阵列波导区的交界曲线（15)的中心点相切；其特征在于：输入平板波导区和阵列 波导区的交界曲线中心的切线（6)与输入平板波导区的光轴（7)的夹角和输出平板波导区 和阵列波导区的交界曲线中心的切线（14)与输出平板波导区的光轴（13)的夹角均为同一 角度a，且a为大于0°小于180°非90°的角度，并满足关系式a =90° _asin(ALE/ d。)，其中da为阵列波导区的中间阵列波导的中心与相邻的阵列波导中心的连线（20)的距 离，ALS是对应相邻阵列波导的光路在输入平板波导区（2)中的长度差，也是对应相邻阵列 波导的光路在输出平板波导区（4)中的长度差；阵列波导光栅光波长路由器在阵列波导区 (3)的长度差和在输入平板波导区（2)和输出平板波导区（4)的长度差以及由此决定的输 入平板波导区（2)、阵列波导区（3)和输出平板波导区（4)的几何形状是根据使得该阵列波 导光栅光波长路由器自由光谱范围要求和衍射级次为整数两者同时满足时而决定的。
2. 根据权利要求1所述的一种缩小频率偏差的NXN阵列波导光栅光波长路由器，其特 征在于：光从N条输入波导（1)依次通过输入平板波导区（2)、阵列波导区（3)和输出平板 波导区（4)传播至N条输出波导（5)时经过阵列波导区（3)中相邻两波导所对应的总光程 差由输入平板波导区（2)中的光程差nsALs、阵列波导区（3)中的光程差r^AL和输出平板 波导区⑷中的光程差nsALs*同决定，其中，\是输入平板区⑵和输出平板区⑷中的 有效折射率。
3. 根据权利要求1所述的一种缩小频率偏差的NXN阵列波导光栅光波长路由器，其 特征在于：所述N条输入波导（1)展开呈辐射状，连接输入平板波导区（2)的一端排列在第 一个罗兰圆（8)的圆弧上；阵列波导中的每条波导正对中心输入波导（12)，排列在第一个 光栅圆（9)的圆弧上，此第一个光栅圆（9)和第一个罗兰圆（8)在输入平板波导区和阵列 波导区的交界曲线（10)的中心点处相切；输入平板波导区的光轴（7)与第一个罗兰圆的 直径（18)，也就是第一个光栅圆（9)的半径，不重合，而是成一个角度0 ;输入平板波导区 (2) 引入的长度差ALs = da*Sin0，其中，@为输入平板波导区的光轴（7)和第一个罗兰 圆直径（18)之间的夹角。
4. 根据权利要求1所述的一种缩小频率偏差的NXN阵列波导光栅光波长路由器，其特 征在于：所述对应NXN阵列波导光栅光波长路由器，N个信道占据阵列波导光栅光波长路 由器的整个自由光谱范围，即信道间隔为自由光谱范围的1/N。
5. 根据权利要求1所述的一种缩小频率偏差的NXN阵列波导光栅光波长路由器，其 特征在于：所述输入平板波导区（2)的N条输入波导（1)的结构与输出平板波导区（4)的 N条输出波导（5)的结构对称，从而构成NXN端口的光波长路由器。
【文档编号】G02B6/12GK204142993SQ201420516767
【公开日】2015年2月4日 申请日期:2014年9月10日 优先权日:2014年9月10日
【发明者】陈冠廷, 郎婷婷, 邹俊, 何建军 申请人:浙江大学