技术总结
一种基于石墨烯的电吸收光学调制器及其制造方法。该光学调制器制作在衬底(10)上，包括基于石墨烯的长程SPP波导结构、第一电极(301)、第二电极(302)、光输入端和光输出端；其中基于石墨烯的长程SPP波导结构包括依次形成于衬底(10)上的第一高折射率材料层(201)、第一石墨烯层(202)、第一低折射率材料层(203)、金属薄膜层(204)、第二低折射率材料层(205)、第二石墨烯层(206)、第二高折射率材料层(207)。该光学调制器基于长程SPP波导和电介质加载的SPP波导两种波导结构，因此兼且调制深度大，插入损耗小，品质因子高，对光场的限制作用强的优点。该基于石墨烯的电吸收光学调制器的制备方法，工艺简单，适于规模化生产。
技术研发人员：王健;胡晓;贺继方
受保护的技术使用者：华为技术有限公司
技术研发日：2014.04.11
技术公布日：2019.01.18