技术总结
本发明涉及一种LCoS微显示驱动面板制备工艺，其包括：硅衬底及集成电路器件制备；PECVD(等离子增强化学气相淀积)方法生长介质；CMP(化学机械抛光)；铝布线步骤；刻通孔；溅射Ti/TiN和钨，反刻钨，形成钨塞；制备镜面反射电极；制备薄盒，灌装液晶；优选地，所述镜面反射电极采用ITO来制作。本发明的方法用ITO代替铝制备镜面反射电极，提高了镜面反射电极反射率和抗氧化性。
技术研发人员：杜寰
受保护的技术使用者：杜寰
文档号码：201510161388
技术研发日：2015.04.08
技术公布日：2016.11.23