一种硅基调制器的制作方法

文档序号:12593617阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅基调制器,其特征在于,包括:光路选择器、两组波导和光耦合器,其中,

所述光路选择器,用于接收输入光,在电信号的控制下,控制光输入到第一组波导或者输入到第二组波导;

所述第一组波导和所述第二组波导,一端与所述光路选择器连接,另一端连接所述光耦合器,所述第一组波导或所述第二组波导将光输出给所述光耦合器,由所述光耦合器耦合输出,所述第一组波导和所述第二组波导的光程不相等,且其光程差与待获得的相位差相应。

2.如权利要求1所述的硅基调制器,其特征在于:

所述第一组波导为一条波导,所述第二组波导为一条波导,所述第一组波导和所述第二组波导的长度不相等,且长度差与所述光程差对应。

3.如权利要求1所述的硅基调制器,其特征在于:

所述第一组波导包括一条波导,所述第二组波导包括一条波导,

所述第一组波导中接入一相位控制器,或者所述第二组波导中接入一相位控制器,或者所述第一组波导和所述第二组波导中的分别接入一相位控制器。

4.如权利要求1所述的硅基调制器,其特征在于:

所述第一组波导包括两条长度相等且输出光场相位相同的第一波导和第四波导,所述第一波导和所述第四波导组成MZ结构,

所述第二组波导包括两条长度相等且输出光场相位相同的第二波导和第三波导,所述第二波导和所述第三波导组成MZ结构,

所述第一组波导中的波导和所述第二组波导中的波导的长度不相等,且长度差与所述光程差对应,所述第一组波导与所述第二组波导输出光场相位相反。

5.如权利要求1所述的硅基调制器,其特征在于:

所述第一组波导包括两条长度相等且输出光场相位相同的第一波导和第四波导,所述第一波导和所述第四波导组成MZ结构,

所述第二组波导包括两条长度相等且输出光场相位相同的第二波导和第三波导,所述第二波导和所述第三波导组成MZ结构,

在所述第一波导、所述第二波导、所述第三波导和所述第四波导中的一条或多条波导上接入一相位控制器,所述第一组波导与所述第二组波导输出光场相位相反。

6.如权利要求4或5所述的硅基调制器,其特征在于:

所述光路选择器包括第一微环结构和第二微环结构,所述第一微环结构的一端与所述第一组波导中的一条波导连接,所述第一微环结构的另一端与所述第二组波导中的一条波导连接,所述第二微环结构的一端与所述第一组波导中另一条波导连接,所述第二微环结构的另一端与所述第二组波导中的另一条波导连接。

7.如权利要求1-5任一项所述的硅基调制器,其特征在于:

所述光路选择器采用微环结构,当所述微环结构处于共振条件下,控制光通过一组波导,当所述微环结构处于非共振条件下,控制光通过另一组波导。

8.如权利要求7所述的硅基调制器,其特征在于:

所述微环结构包括PN节结构的相位控制器或MOS电容结构的相位控制器。

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