确定物体在光学装置的光束路径中的位置的制作方法

文档序号:11160583阅读:来源:国知局
技术总结
为确定物体(100)平行于光学装置(1)的光学轴(120)的位置,从第一照射方向(210‑1)及从第二照射方向(210‑2)照射所述物体(100),且在每一种情况中获取图像(230‑1、230‑2)。基于所述图像(230‑1、230‑2)中所述物体的成像位置(220‑1、220‑2)之间的距离(250)来确定所述物体(100)的所述位置。

技术研发人员:L.斯托普;C.胡泽曼;M.斯蒂克
受保护的技术使用者:卡尔蔡司显微镜有限责任公司
文档号码:201580047434
技术研发日:2015.07.10
技术公布日:2017.05.10

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