1.一种光扫描器,其特征在于,
所述光扫描器具有:
第一Si层;
第一SiO2层;以及
第二Si层,
所述第一Si层、所述第一SiO2层及所述第二Si层形成以所述第一Si层、所述第一SiO2层及所述第二Si层的顺序层叠的层结构,
所述第二Si层包括可动部以及以能够使所述可动部绕摆动轴摆动的形式支撑所述可动部的轴部,
所述第一Si层包括保持部,
所述第一SiO2层包括连接所述可动部与所述保持部的连接部,
所述光扫描器包括:
光反射部,设置于所述保持部的与设置有所述连接部的面相反的面一侧,对光进行反射,
所述可动部与所述连接部以直接接合的方式进行接合。
2.根据权利要求1所述的光扫描器,其特征在于,
在从所述可动部的板厚度方向看的俯视观察中,所述保持部与所述轴部的至少一部分重合。
3.根据权利要求1或2所述的光扫描器,其特征在于,
所述光扫描器具有第一部分,所述第一部分设置于所述保持部的设置有所述连接部的面,由所述第一SiO2层形成,
其中,从所述可动部的板厚度方向看的俯视观察中,所述第一部分在与所述轴部重合的区域具有槽部。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的光扫描器,其特征在于,
所述光扫描器具有:
第二SiO2层,设置于所述第一Si层的与设置有所述第一SiO2层的面相反的一侧,以及
第二部分,设置于所述保持部与所述光反射部之间,由所述第二SiO2层形成。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的光扫描器,其特征在于,
所述光扫描器具有支撑部,所述支撑部由所述第二Si层形成,支撑所述轴部。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的光扫描器,其特征在于,
所述光扫描器具有支撑部结构体,所述支撑部结构体由所述第一Si层形成,在从所述保持部的板厚度方向看的俯视观察中,以包围所述保持部的至少一部分的形式设置,并与所述支撑部接合。
7.根据权利要求6所述的光扫描器,其特征在于,
在所述支撑部结构体的与设置有所述支撑部的面相反的面上,设置有降低所述光的反射的降低反射膜。
8.根据权利要求7所述的光扫描器,其特征在于,
所述保持部与所述支撑部结构体的分隔距离小于所述可动部与所述支撑部的分隔距离。
9.一种光扫描器的制造方法,其特征在于,
所述光扫描器包括:
可动部;
轴部,以能够使所述可动部绕摆动轴摆动的形式支撑所述可动部;
保持部,在所述可动部的厚度方向上与所述可动部分离地配置;
连接部,位于所述可动部与所述保持部之间,连接所述可动部与所述保持部;以及
光反射部,设置于所述保持部的与设置有所述可动部的面相反的面一侧,对光进行反射,
所述光扫描器的制造方法包括:
形成所述连接部的工序,准备层叠有第一Si层及第一SiO2层的第一基板,由所述第一SiO2层形成所述连接部;
进行直接接合的工序,准备具有第二Si层的第二基板,对所述第一基板的所述连接部与所述第二基板的所述第二Si层进行直接结合;
形成所述可动部及所述轴部的工序,从与设置有所述第一基板的面相反的面一侧对所述第二Si层进行图案化,以形成所述可动部及所述轴部;
形成所述保持部的工序,从与设置有所述第二基板的面相反的面一侧对所述第一Si层进行图案化,以形成所述保持部;
配置所述光反射部的工序,在所述保持部上配置所述光反射部。
10.根据权利要求9所述的光扫描器的制造方法,其特征在于,
所述第一基板具有第二SiO2层,所述第二SiO2层设置于所述第一Si层的与设置有第一SiO2层的面相反一侧的面;
在形成所述保持部的工序中,通过由所述第二SiO2层形成的掩膜进行图案化。
11.一种光扫描器的制造方法,其特征在于,
所述光扫描器包括:
可动部;
轴部,以能够使所述可动部绕摆动轴摆动的形式支撑所述可动部;
保持部,在所述可动部的厚度方向上与所述可动部分离地配置;
连接部,位于所述可动部与所述保持部之间,连接所述可动部与所述保持部;以及
光反射部,设置于所述保持部的与设置有所述可动部的面相反一侧,对光进行反射,
所述光扫描器的制造方法包括:
准备SOI基板的工序,所述SOI基板具有第一Si层、第二Si层以及设置于所述第一Si层与所述第二Si层之间的第一SiO2层,由所述第一SiO2层形成所述连接部;
形成所述可动部与所述轴部的工序,从与设置有所述第一Si层的面相反的面一侧对所述第二Si层进行图案化,以形成所述可动部及所述轴部;
形成所述保持部的工序,从与设置有所述第二Si层的面相反的面一侧对所述第一Si层进行图案化,以形成所述保持部;
配置所述光反射部的工序,在所述保持部上配置所述光反射部。
12.一种图像显示装置,其特征在于,
具有权利要求1至8中任一项所述的光扫描器。
13.一种头戴式显示器,其特征在于,包括:
权利要求1至8中任一项所述的光扫描器;以及
框架,搭载所述光扫描器并佩戴于观察者的头部。