光照射装置以及光照射方法与流程

本申请的发明涉及以各种目的朝对象物照射光的装置以及方法。

背景技术：

光在工业上的利用在各种领域中正在发展，以各种目的来进行朝对象物照射光。特别是，通过光使对象物的性质变化的光处理的技术，在各种制品的制造工序中被广泛利用。

例如，在液晶显示器的制造工序中，近年，变得较多采用被称为光取向的光处理。光取向为如下技术：在得到液晶显示器用的取向层、视场角补偿膜用的取向层时，通过对取向层用的膜材进行光照射，由此得到取向膜(成为取向层的膜)。

在这样的光处理的领域中，有时采用如下的构成：预先向某个确定的区域照射光，将光处理的对象物(以下，称为工件)以在该区域(以下，称为照射区域)通过的方式进行搬运。在上述光取向的领域中，也如专利文献1所示那样，使用采用了这种构成的装置。

专利文献1：日本特开2014－174287号公报

在进行上述那样的光处理的光照射装置中，需要对工件赋予适当的光量。当光量不足时，一般来说光处理变得不充分，相反在光量过度的情况下，基于光的化学反应发展，不能够进行适当的光处理。例如，光照射装置所具备的光源，光输出逐渐降低的情况较多。该情况是由劣化导致的情况较多，但即使没有达到劣化程度，有时光输出性能也从最初的状态降低若干。

上述那样的光照射装置，以在照射区域中以规定的照度进行光照射的情况为前提，以规定的速度对工件进行搬运而使其通过照射区域，由此对工件赋予规定量的光能量。由此，当照度从预定的值降低时，直接导致光能量的降低，成为光处理不足。

考虑到这一点，日本特开2014－174287号公报中公开了在照射区域配置照度传感器来确认是否得到所希望的光照射能量的技术。在该公报中，在光照射结束后的工件的排出工序的期间中，将照度传感器配置到照射区域，进行光照射能量的确认。

然而，即使在对工件进行光照射以外的期间在照射区域中配置照度传感器来进行光照射能量的确认，也不能保证在对实际的工件进行光照射时赋予足够的能量。例如，有可能存在如下情况：在对于工件的光照射中产生某种故障而光源的输出降低、以不足的照度进行了光照射的情况下，之后，在配置照度传感器来进行检查之前的期间该故障消除(不稳定地产生故障的情况)。在该情况下，成为不能够掌握在光量不足的情况下进行了处理的状态。并且，在该情况下，当在检查后重新开始处理时，还存在该故障又产生而在照度不足的情况进行处理的情况，会进一步进行光量不足的处理。

技术实现要素：

本申请的发明是考虑到上述课题而进行的，其目的在于提供光照射装置以及光照射方法，在最佳的定时监视是否对于对象物照射有适当量的光，根据监视结果对光源进行适当控制，由此常时对于对象物进行适当量的光照射。

为了解决上述课题，本申请的技术方案1记载的发明具有的构成为，一种光照射装置，具备朝照射区域照射光的光照射器、使对象物沿着以通过照射区域的形式设定的搬运路搬运的搬运机构、以及控制器，

光照射器具备光源以及向光源供给电力的点亮电源，

搬运机构是以设定通过速度通过照射区域而搬运对象物的机构，该设定通过速度通过这样的方式被确定：通过被光照射的照射区域，由此对象物所受到的光量成为规定值，

在该搬运机构上，设置有对在对象物通过照射区域时的光照射的强度或者量进行测定的测定器，

控制器具备存储部、以及对由点亮电源向光源供给的电力进行控制的点亮控制单元，

存储部存储有对于对象物的光照射的强度或者量的基准值即光基准值，

点亮控制单元是将存储部所存储的光基准值与测定器的测定值或者根据测定值计算出的计算值进行比较、以其差分消失的方式向点亮电源发送控制指令信号的单元。

此外，为了解决上述课题，技术方案2记载的发明具有的构成为，在上述技术方案1的构成中，上述光基准值为照度或者累计光量，

上述点亮控制单元是将上述光基准值与从上述测定器进行测定的结果得到的照度或者累计光量进行比较、以使其差分消失的方式向上述点亮电源发送控制指令信号的单元。

此外，为了解决上述课题，技术方案3记载的发明具有的构成为，在上述技术方案1或者2的构成中，上述照射区域在与搬运路交叉的方向上较长，

上述光基准值被设定为在上述照射区域的长度方向即区域长度方向上分布的光基准值分布，并存储于上述存储部，

上述点亮控制单元根据上述测定器对上述强度或者量进行了测定时的该测定器的区域长度方向上的位置，从光基准值分布中取得该位置的光基准值，并通过其与所取得的光基准值的比较来发送上述控制指令信号。

此外，为了解决上述课题，技术方案4记载的发明具有的构成为，在上述技术方案1至3中任一项的构成中，上述控制器遍及规定的控制间隔的光照射次数将上述测定器的测定值存储于上述存储部，

上述点亮控制单元是将基于控制间隔的光照射次数中的上述测定器的测定值的平均值或者各测定值而计算出的上述计算值的平均值与上述光基准值进行比较、以其差分消失的方式发送上述控制指令信号的单元。

此外，为了解决上述课题，技术方案5记载的发明具有的构成为，在上述技术方案1至4中任一项的构成中，上述光源设置有多个，能够对于各光源的每个设置有上述点亮电源，或者上述点亮电源能够独立地控制对于各光源的供给电力，

各光源对于分离的照射区域分别进行光照射，照射区域间的区域是实际上照度成为零的区域，

在上述存储部中，对于各照射区域设定有光基准值并存储，

上述测定器能够对于各照射区域分别测定光照射的强度或者量，

上述点亮控制单元是将对于各照射区域得到的测定值或者根据该测定值计算出的计算值与对于该照射区域设定的光基准值进行比较、而向对该光照射区域进行光照射的光源的点亮电源发送上述控制指令信号的单元。

此外，为了解决上述课题，技术方案6记载的发明具有的构成为，在通过光照射器对照射区域照射了光的状态下，通过搬运机构将对象物向照射区域依次搬运并使其以设定通过速度通过照射区域，由此对各对象物照射光的方法，

光照射器具备光源以及向光源供给电力的点亮电源，

设定通过速度是被确定为对象物所受到的光量成为规定值的速度，

该方法具备：

存储步骤，将照射区域的光照射的强度或者量的基准值即光基准值存储于存储部；

测定步骤，通过测定器对对象物通过照射区域时的光照射的强度或者量进行测定；以及

点亮控制步骤，将在存储步骤中存储的光基准值、以及在测定步骤中测定的测定值或者根据测定值计算出的计算值进行比较，以其差分消失的方式向点亮电源发送控制指令信号。

此外，为了解决上述课题，技术方案7记载的发明具有的构成为，在上述技术方案6的构成中，上述光基准值为照度或者累计光量，

上述点亮控制步骤是将上述光基准值与上述测定器进行测定的结果而得到的照度或者累计光量进行比较、并以使其差分消失的方式向点亮电源发送控制指令信号的步骤。

此外，为了解决上述课题，技术方案8记载的发明具有的构成为，在上述技术方案6或者7的构成中，上述照射区域在与搬运上述对象物的方向交叉的方向上较长，

上述存储步骤是将设定为在上述照射区域的长度方向即区域长度方向上分布的光基准值分布的光基准值向上述存储部存储的步骤，

上述点亮控制步骤是根据上述测定器对上述强度或者量进行了测定时的该测定器的区域长度方向的位置、从光基准值分布取得该位置的光基准值，通过其与所取得的光基准值的比较来发送上述控制指令信号的步骤。

此外，为了解决上述课题，技术方案9记载的发明具有的构成为，在上述技术方案6至8中任一项的构成中，上述测定步骤是遍及规定的控制间隔的光照射次数通过上述测定器对光照射的强度或者量进行测定的步骤，

上述点亮控制步骤是将基于控制间隔的光照射次数中的上述测定器的测定值的平均值或者各测定值而计算出的上述计算值的平均值与上述光基准值进行比较，以其差分消失的方式发送上述控制指令信号的步骤。

此外，为了解决上述课题，技术方案10记载的发明具有的构成为，在上述技术方案6至9中任一项的构成中，上述光源设置有多个，能够对于各光源的每个设置有上述点亮电源，或者上述点亮电源能够独立地控制对于各光源的供给电力，

各光源对于分离的照射区域分别进行光照射，照射区域间的区域是实际上照度成为零的区域，

上述存储步骤是将对于各照射区域设定的光基准值向上述存储部存储的步骤，

上述测定步骤是对于各照射区域分别测定光照射的强度或者量的步骤，

上述点亮控制步骤是将在上述测定步骤中根据对于各照射区域而得到的测定值或者根据该测定值计算出的计算值与对该照射区域设定的光基准值进行比较而向朝该光照射区域进行光照射的光源的点亮电源发送上述控制指令信号的步骤。

发明的效果

如以下说明的那样，根据本申请的技术方案1或者6记载的发明，对朝对象物进行光照射时的光照射的强度或者量进行测定，根据其测定结果控制向光源的供给电力，因此能够常时以最佳的强度或者量对于对象物进行光照射。

此外，根据技术方案3或者8记载的发明，除了上述效果以外，光基准值被设定、存储为照射区域的长度方向的分布，根据该方向上的测定器的测定时的位置、基于所取得的光基准值来求出偏差量，因此能够进行极其精细、更高精度的电力控制。

此外，根据技术方案4或者9记载的发明，除了上述效果以外，在取得规定的控制间隔的次数的平均之后与光基准值进行比较，因此不会由于不规则的重要因素而错误地执行控制。

此外，根据技术方案5或者10记载的发明，除了上述效果以外，由于成为多个光源分别朝分离的照射区域进行光照射的构成，将对于各照射区域的测定值与各个光基准值进行比较，将控制指令信号向对应的光源的点亮电源输出，因此容易以规定的强度或者量进行用于光照射的电力控制。

附图说明

图1是第一实施方式的光照射装置的立体概略图。

图2是第一实施方式的光照射装置的主视概略图。

图3是第一实施方式的光照射装置的侧视概略图。

图4是对光基准值进行表示的主视概略图。

图5是根据处理时用照度计6的测定结果对光源11的点亮电源110进行控制的控制系统的概略图。

图6是表示构成点亮控制单元73的顺序程序的一个例子的概略图。

图7是对第二实施方式的光基准值的例子进行表示的概略图。

图8是在第二实施方式中进行光源11的电力控制的控制系统的概略图。

图9是对在第二实施方式中进行电力控制的顺序程序的部分进行摘要表示的概略图。

图10是表示基于来自θ输出部51以及y方向输出部44的信息对处理时用照度计6的y方向的位置进行确定的平面概略图。

图11是第三实施方式的光照射装置的主视概略图。

图12是对控制器7中所安装的顺序程序的一部进行摘要而概略地表示的流程图。

图13是对控制器7中所安装的顺序程序的一部进行摘要而概略地表示的流程图。

图14是对关于处理时用照度计6的数量、配置的其他例子进行表示的平面概略图。

图15是对处理时用照度计6的配置的另外的其他例子进行表示的平面概略图。

符号的说明

1光照射器

11光源

110点亮电源

12镜

13灯罩

14偏振元件

2工作台

3搬运机构

31直线引导件

32固定件

33x方向移动台

4辅助移动机构

5θ移动机构

6处理时用照度计

7控制器

711临时文件

712履历数据文件

713顺序程序

73点亮控制单元

732信号输出部

74搬运控制部

75y方向控制部

76θ移动控制部

8光测定单元

84主照度计

85偏振光测定器

w工件

具体实施方式

接下来，对用于实施本申请发明的形态(以下，称为实施方式)进行说明。在以下的说明中，作为光照射的例子，列举为了进行光取向而照射偏振光的装置以及方法。但是，本发明不限定于该用途的装置以及方法。

图1～图3是实施方式的光照射装置的概略图，图1是立体概略图，图2是主视概略图，图3是侧视概略图。图1～图3所示的光照射装置具备：朝所设定的有效照射区域照射光的光照射器1；上侧保持对象物w的工作台2；沿着以通过有效照射区域的状态设定的搬运路搬运对象物w的搬运机构3；以及对装置的各部分进行控制的控制器7。在该实施方式中，为了进行光处理而进行光照射。以下，将对象物w称为工件。

首先，对有效照射区域以及搬运路进行说明。

在仅称为“照射区域”的情况下，存在广泛地指光所照射的区域的情况、以及作为应该照射光的区域而设定的区域的情况这两个含义。“有效照射区域”的含义为，被预先设定为通过作为对于工件w的光处理而有效的照度被照射光的区域的区域，是上述两个含义中后者的含义。在本实施方式中，在照射面中实际上没有向有效照射区域外照射的光，有效照射区域与广泛含义的照射区域一致。由此，不需要进行区别，在以下的说明中，“照射区域”按照有效照射区域(设定区域)的含义来使用。

在本实施方式中，照射区域被设定为长方形的区域。为了方便，将长方形的长边方向称为y方向，将短边方向称为x方向。搬运路被设定通过照射区域，但在本实施方式中，搬运路的朝向与x方向一致。即，照射区域与搬运路交叉(在y方向上正交)。

关于工件w，当将y方向的长度作为“宽度”时，照射区域的y方向的长度，与工件w的宽度相比为足够长。因此，当工件w被沿着搬运路搬运而通过照射区域时，工件w的上面的整个区域被光照射。

另外，在本实施方式中，工件w成为方形板状部件，但如后述那样，工作台2能够围绕上下方向的旋转轴旋转，因此通过旋转而工件w的宽度的大小变动。由此，照射区域的大小被设定为，即使在宽度最大的情况下，照射区域的y方向的长度也比工件w的宽度大。

对这样的照射区域进行光照射的光照射器1，由光源11、覆盖光源11的背后的镜12、以及对这些进行收容的灯罩13等构成。如上述那样，照射区域为长方形，因此光源11采用具有在y方向上较长的发光部的棒状的光源。本实施方式的装置为照射紫外线的装置，因此采用放射紫外线的高压水银灯、金属卤化物灯那样的棒状的放电灯。光源11被配置为长边方向与y方向一致的状态。另外，作为光源11，能够使用将多个由led、ld等构成的紫外线发光元件在y方向上配置为阵列状的光源。

光源11具备点亮电源110。点亮电源110包括将适当的电力向光源11供给而使其稳定地进行光输出的电源电路。

镜12也是在y方向上较长，是所谓的槽状镜。镜12的反射面的x方向上的截面形状，成为椭圆圆弧或者抛物线。

本实施方式成为光取向用的光照射装置，光照射器11将向规定的朝向偏振了的光向照射区域照射。具体地说，如图1～图3所示那样，在灯罩13内设置有偏振元件14。作为偏振元件14，在本实施方式中使用格栅偏振元件。格栅偏振元件，是在透明基板上形成有微小条纹(线和空间)状的格栅的构造的元件，且是使构成格栅的各线状部的分离间隔成为所偏振的光的波长程度或者比其短的距离的构造的元件。

难以通过一个偏振元件14来覆盖宽度大的照射区域，因此在本实施方式中，采用将多个偏振元件14沿y方向排列而单元化的构造。即，沿y方向排列的多个偏振元件14、以及由保持了各偏振元件14的未图示的框架等形成的偏振元件单元搭载于灯罩13内。各偏振元件14位于光源11与照射区域之间。

如图1所示那样，工作台2为台状的部件，在本实施方式中成为在俯视中为方形的部件。工作台2具备多个未图示的支撑销。各支撑销从工作台2的上面稍微突出。各支撑销中的一部分为管状，进行用于真空吸附的吸气。工作台2在各支撑销上进行真空吸附并且进行保持。

另外，工作台2具备未图示的对准机构。对准机构是读取设置在工件w上的未图示的标记而对工件w的位置、姿势进行微调的机构。

在本实施方式中，搬运机构3成为采用了直线马达的机构。具体地说，搬运机构3具备与x方向平行地延伸的直线引导件31、以及磁石以沿x方向延伸的方式配置的直线马达的定子32。然后，设置有移动台(以下，称为x方向移动台)33，该移动台33设置有相对于定子32被驱动的可动件。x方向移动台33的移动通过使可动件的各磁极的极性依次改变来进行。另外，x方向移动台33具有与直线引导件31嵌合的槽，随着直线马达32的动作，被直线引导件31引导并且在x方向上移动。此外，作为搬运机构，还能够采用适用了滚珠丝杠的机构。

此外，在本实施方式中，设置有使工作台2沿y方向直线移动的机构(以下，称为辅助移动机构)4、以及使各工作台2围绕上下方向的轴旋转的机构(以下，称为θ移动机构)5。关于辅助移动机构4，也采用直线马达方式的搬运机构。

然后，如图1所示那样，在y方向移动台43上固定有θ移动机构5，并以通过该θ移动机构5轴支撑的状态安装有工作台2。θ移动机构5为如下机构：包括伺服马达，使工作台2相对于基准方向朝所指定的角度旋转，并能够保持其姿势。基准方向例如为x方向。通过这样的机构，工作台2能够在x方向上搬运，并且能够在y方向以及θ方向上移动。

为了控制对于工件w的光照射的强度或者量，而具备能够在每次处理时对照射区域中的照度进行测定的照度计(以下，称为处理时用照度计)6。另外，在实施方式的说明中，照度是指光照射的强度且是放射照度(w/m²)。照度计对照射区域的放射照度进行测定。此外，照射量是照射区域中的光能量量，“光量”严格来说为“累计光量”。累计光量(j/m²)＝照度(w/m²)×照射时间(sec)。

在实施方式中，处理时用照度计6安装在工作台2上，结果，能够与工作台2一体地移动。具体地说明，在本实施方式中，处理时用照度计6安装在工作台2的侧面21上。如上所述，工作台2是在俯视中为方形的台状的部件。当将方形的一边的方向朝向x方向的状态设为稳定姿势时，在本实施方式中，固定在稳定姿势的工作台2的沿着x方向的侧面21上。

作为处理时用照度计6，使用将si光电二极管等用作为受光元件的照度计。处理时用照度计6以受光面朝向上方的姿势固定。如图3所示那样，处理时用照度计6的受光面与载放于工作台2的工件w的上面成为相同高度。这一点的意义在于，在尽可能与工件w相同的状态下进行照度测定。另外，关于处理时用照度计6的安装，例如也可以采用如下模式，使用对处理时用照度计6进行保持的支架固定在工作台2的侧面21上。

另一方面，与处理时用照度计6相区别地，装置还具有光测定单元8。光测定单元8在通常的处理时，处于与照射区域分离的待机位置，在维护等时配置于照射区域而使用。光测定单元8除了测定照射区域的照度以外，还具有对所照射的偏振光的偏振轴的朝向进行测定的功能。

如图1所示那样，光测定单元8搭载在搬运机构3上，通常在设定于x方向的一方侧的端部的待机位置进行待机。待机位置例如被设定于装载位置的外侧(远离照射区域的一侧)。

光测定单元8包括搭载在直线引导件31以及定子32上的x方向移动台81、搭载在x方向移动台81上的y方向移动机构82以及y方向移动台83、固定在y方向移动台83上的主照度计84、以及同样固定在y方向移动台83上的偏振光测定器85等。y方向移动机构82同样是使y方向移动台83沿y方向移动的机构，可以是直线马达方式的机构，也可以是利用滚珠丝杠的机构。

主照度计84同样为，将si光电二极管等光电变换元件作为受光元件而内置。受光面的高度与设置于工作台2的照度计6同样，与工作台2所保持的工件w的表面为相同高度。

偏振光测定器85是用于对向照射区域照射的偏振光的朝向进行监视的测定器。偏振光测定器是具备受光元件、配置在受光元件的入射侧的分析器、以及使分析器围绕光轴(在该例中为上下方向)旋转的旋转机构等的测定器。分析器为一种偏振元件，是使某个特定方向的直线偏振光选择性地通过的板状的光学部件。

分析器的板面配置为与光轴垂直，并向旋转方向旋转。通过光照射器1内的偏振元件14而偏振的偏振光照射于照射区域。在对该偏振光的偏振轴的朝向进行检查的情况下，使偏振光测定器85位于照射区域内，使分析器旋转。通过分析器的旋转，受光元件的输出周期性地变化。输出成为最高时的旋转角度，表示所照射的偏振光的偏振轴的朝向。

接下来，对使用了处理时用照度计6的光源11的供给电力控制进行说明。控制器7除了对搬运机构3的动作进行控制以外，还如图3所示那样对光源11的点亮电源110进行控制。然后，处理时用照度计6与控制器7连接，处理时用照度计6的测定信号向控制器7输入。

控制器7具备存储了用于装置的各部分的控制的设定信息、顺序程序713等的存储部71、以及执行顺序程序713等的处理器72等。存储部71、处理器72作为所谓的plc(programmablelogiccontroller：可编程逻辑控制器)的要素而具备。此外，如后述那样，存储部71、处理器72具备对光源11的点亮电源110进行控制的点亮控制单元。

首先，对为了进行点亮控制而需要的光基准值进行说明。图4是对光基准值进行表示的主视概略图。

光基准值是用于适当地进行光照射处理的照度或者基于累计光量的基准值。如图4(2)所示那样，通过在照射区域中通过而工件w受到的光能量的全量，由照度与照射时间的积、即以下的公式表示。

【数1】

累计光量(j/m²)＝照度(w/m²)×照射时间(sec)

由此，如果得知照射区域的照度以及在照射区域中通过的工件w的速度，则能够计算累计光量。如图4(2)所示那样，在沿x方向观察时，照度为在照射区域的外侧照度急剧地降低、并成为零的分布。工件w在接受如此分布的光的同时前进。

即，为了对工件w进行适当的光照射处理，需要对照度计测定的照度、或者考虑了搬运机构3所具有的工件w的速度数据(照射时间)的累计光量进行控制。将该照度或者基于累计光量的基准值设为光基准值。

在实施方式那样、工件w通过在照射区域中通过而接受光照射的构成中，在照射区域整体中通过时的光量的全量为工件w所接受的累计光量。作为为了执行处理所需的能量量的光量，使用该累计光量的值来设定。此时，累计光量如上所述是照度与照射时间之积，因此根据工件w在照射区域中通过的通过速度而改变。由此，作为处理所需要的能量量，首先设定成为基准的累计光量(基准光量)e的值，并根据与照射区域的照度之间的关系来设定通过速度v(以下，称为设定通过速度)。将照射区域外侧的区域视为照度零，来对设定通过速度v进行设定。如此设定的基准光量e和设定通过速度v存储于存储部71。

控制器7向搬运机构3发送控制信号，以使工作台2以设定通过速度v移动，另一方面，使点亮控制单元动作，对光源11的点亮电源110进行控制。使用图5对这一点进行说明。图5是基于处理时用照度计6的测定结果对光源11的点亮电源110进行控制的控制系统的概略图。

如图5所示那样，点亮控制单元73具备：光量计算部731，根据来自处理时用照度计6的照度测定值，计算累计光量；以及信号输出部732，将计算出的累计光量与存储部71所存储的基准光量进行比较，以使其差分消失的方式输出信号。在存储部71中存储有将从处理时用照度计6发送的照度测定值作为照度数据而临时记录的临时文件711。光量计算部731是从临时文件711读取照度数据而计算累计光量的单元。如图5所示那样，信号输出部732与点亮电源110连接。从信号输出部732输出的信号，是使对于光源11的供给电力增减的指令信号。是与当前的供给电力相比增加○○％、或者减少○○％这样的信号。信号输出部732例如为，如果所测定的照度比作为光基准值的照度少2％，则将用于以使照度上升2％而累计光量成为基准光量100％的方式增加供给电力的输出信号向点亮电源110发送。

此外，控制器7具备搬运控制部74、y方向控制部75以及θ方向控制部76。如后述那样，这些部，通过顺序程序713以及执行该顺序程序713的处理器72构成，对搬运机构3、辅助移动机构4以及θ移动机构5进行控制。

另外，临时文件711是以规定的取样周期对处理时用照度计6的输出(照度测定值)进行了记录的文件。

此外，存储部71存储有记录了对于各工件w的处理履历的履历数据文件712。履历数据文件712按照对各工件w赋予的每个id(工件id)记录了处理履历，处理履历还包括对该工件w进行处理时的光量。

光量计算部731、信号输出部732能够通过硬件来实现，但在本实施方式中通过软件来实现，通过由处理器72执行的顺序程序713构成。以下，对这一点进行说明。图6是表示构成点亮控制单元73的顺序程序的一个例子的概略图。

本实施方式的装置对板状的工件w进行单张处理，但在以下的说明中，将对于某个集中数量(1批)的工件w的处理的部分作为单位进行说明。在开始批的处理时，光源11的点亮电源110将规定的初始值电力向光源11供给而使光源11点亮。该情况下的规定的初始值电力，有时是被设定为实现能够得到基准光量的照度的电力的电力值，也有时是前次的批的处理时所控制的最后的电力值。

在初始状态下，工作台2处于装载位置。如图6所示那样，顺序程序向机器人发送控制信号，将批的最初的工件w设置于工作台2。然后，向未图示的对准机构发送控制信号，在使其进行了对准之后，向搬运机构3发送控制信号，并进行一系列的工件w的搬运动作。即，使工作台2沿x方向移动而通过照射区域，在反转位置使其反转之后，返回到装载位置。然后，向机器人发送控制信号，从工作台2除去工件w。这期间，从处理时用照度计6向控制器7发送照度测定值，并按照每个取样周期记录于存储部71的临时文件711。

时序控制器7在通过未图示的限位开关等确认了工作台2返回到装载位置之后，进行累计光量计算。即，从临时文件711读出照度测定值，基于设定通过速度计算累计光量。所计算的累计光量与该工件w的工件id一起被记录于履历数据文件712。

在本实施方式中，按照每一定处理次数(工件处理数)来进行基于与基准光量的比较结果的电力控制。将该次数作为控制间隔。如图6所示那样，顺序程序反复进行工件w向工作台2的载放、搬运(光照射)、工件w从工作台2的除去这样的一系列的处理。此时，对处理的次数进行计数，如果次数达到了控制间隔，则执行电力控制的时序。此外，在图6中，控制间隔数作为一个例子被设定为5。即，从履历数据文件712读出到该控制间隔为止的各处理的累计光量的数据，并计算平均值。然后，将平均值与基准光量进行比较，对其差分进行计算。然后，生成用于消除差分的电力的控制指令信号，并将其向光源11的点亮电源110输出。

接下来，对上述构成的实施方式的光照射装置的动作进行概略说明。以下的说明也是光照射方法的发明的实施方式的说明。

1批的工件w通过agv(autoguidedvehicle：自动导引车)那样的批搬运机构3预先搬运到未图示的机器人的位置。光照射器1使光源11以初始值电力的条件点亮。在该状态下顺序程序动作，每次一个地对工件w进行光照射。如果处理的次数达到了控制间隔，则顺序程序基于照度值或者计算出的累计光量的平均值来进行光源11的电力控制。当直到批的最后的工件w为止进行这样的处理时，该批的处理结束，进一步对下一批的工件w同样反复进行。

另外，θ移动机构5为了相对于所照射的偏振光来任意地调整工件w的朝向，而能够根据装置用户的请求使用。即，当利用θ移动机构5使工作台2旋转时，工作台2上的工件w的朝向相对于从偏振元件14出射的偏振光的偏振轴变化。因此，所照射的偏振光的偏振轴的朝向被任意地调整。

此外，辅助移动机构4以使对于工件w的偏振光照射更均匀化等为目的而被适当地使用。即，如日本特开2015－4896号公报所公开的那样，在排列多个偏振元件的偏振元件单元中，在各偏振元件14的边界部分正下方的位置偏振光容易变弱。为了消除该影响，在去路搬运之后、在反转位置使辅助移动机构4动作，通过与去路不同的y方向的位置而进行回路搬运。此外，在多个光源沿着y方向排列配置的情况下，照度分布也容易变得不均匀，因此在去路和回路中在y方向上通过不同位置，而使累计光量均匀化。

根据上述构成以及动作的实施方式的光照射装置以及光照射方法，测定向工件w进行光照射时的照度，基于其测定结果控制向光源11的供给电力，因此常时以最佳的累计光量对工件w进行光照射。

此时，在实施方式的装置中，处理时用照度计6安装于工作台2而与工作台2一体地移动，因此在与工件w被光照射的状况接近的状况下测定照度。因此，电力控制的精度提高。另外，在本实施方式中，处理时用照度计6安装于通过照射区域的位置，在这一点上可以说在与工件w完全相同的状况下测定照度。

此外，在实施方式的装置中，根据照度计的照度测定结果来计算光量并将其与累计光量进行比较，根据其结果来进行控制，因此根据这一点能够进行更高精度的控制。

并且，在本实施方式中，在根据照度计算累计光量而作为基准光量进行比较时，在取得了规定的控制间隔的次数的平均之后与基准光量进行比较，因此不会基于例如由瞬间的灯电压变动导致的照度变动等、不规则的重要因素来执行控制。即，其原因在于，在仅在1次处理中确认到光量降低的情况下，有时不能够判断为是由于光源11的劣化那样的随时间经过的重要因素的光量降低。

为了避免这样的情况，优选在光量不足持续了几次的情况下才首次进行电力控制。即，判断是否由于随时间经过的重要因素而产生光量不足的期间(处理次数)称为控制间隔。但是，在判断为未产生上述那样的不规则的重要因素的情况下，也有时不特别采用控制间隔，而只要产生1次光量不足就进行电力控制。

另外，在上述装置的动作中，在反复进行了一定程度的次数的处理之后的装置的维护时，使用光测定单元8。即，在使工作台2向相反侧退避的状态下，使x方向移动台81向x方向移动，将光测定单元8中的例如偏振光测定器85配置到照射区域内而对偏振光进行测定。然后，根据测定结果，确认偏振光的偏振轴的朝向是否朝向所希望的方向。此外，在将主照度计84配置到与处理时用照度计6相同的y方向位置上之后，使其在x方向上以设定通过速度通过并且测定照度，对累计光量进行计算而检测其与处理时用照度计6的差异。如果差异较大，则进行处理时用照度计6的较正。即，主照度计84能够用于处理时用照度计6的较正用。

接下来，对第二实施方式进行说明。

第二实施方式的光照射装置，在也具备控制器7、并进行光源11的供给电力控制这一点上与第一实施方式同样，但在第二实施方式中，能够在照射区域的长度方向(y方向)上在不同位置上测定照度，光基准值也被设定为在y方向上分布的值。

首先，对第二实施方式的光基准值进行说明。

在第二实施方式中，光基准值既可以是照度、也可以是累计光量。在以下的说明中，例示地设为光基准值为累计光量，但是，在累计光量的计算过程使用照度，因此也会提及照度。即，累计光量即光基准值(基准累计光量)，被设定为在y方向(照射区域长度方向)上分布的值、即光基准值分布。其既可以是照度分布、也可以是累计光量分布。“分布的值”的含义为，对于y方向的至少两个不同位置设定为在该位置应该实现的值。

图7是对第二实施方式的光基准值的例子进行表示的概略图。在图7中，纵轴表示光量，横轴表示y方向的位置。在该例子中，光基准值对y方向不同的七个位置的累计光量进行了设定。

图7所示那样的光基准值，通常通过在将新品的正常的光源11搭载于光照射器1的状态下进行光照射测试来取得。在第二实施方式的装置中也设置有光测定单元8，光测定单元8内的主照度计84能够以该目的来使用。

在照射测试中，光源11以暂定基准值的电力点亮。暂定基准值是成为能够得到装置用户所要求的累计光量的照度(基准照度)的电力，根据设定通过速度、照射区域的x方向的长度、光源11的规格等进行反算而选定。

然后，在使工作台2退避到规定的退避位置的状态下，使搬运机构3以及辅助移动机构4动作，而使光测定单元8内的主照度计84位于照射区域内的规定位置。例如，使主照度计84位于照射区域的中央。在该状态下对照度进行测定，并检查是否成为基准照度。如果未成为基准照度，则以成为基准照度的方式对向光源11的供给电力进行调整，使其与基准照度充分一致。以成为基准照度的方式进行了调整的最终的供给电力的值，作为初始值电力而同样地存储于存储部71。

接下来，在使搬运机构3动作而使光测定单元8一度位于照射区域外之后，与处理时同样地使光测定单元8往复运动，并使其以设定通过速度通过照射区域。根据此时的主照度计84的输出来计算累计光量，并确认是否与基准光量充分一致。之后，在再次使光测定单元8成为光源11正下方的位置之后，使y方向移动机构82动作，使主照度计84依次位于y方向的不同位置。然后，在各位置测定照度，得到y方向上的照度分布。此时，对照度的均匀性进行确认，并检测是否进入规定的范围。如果未进入，则可以认为其原因为光源11的照度分布状态由于某种原因而恶化，因此对光源11进行交换。如果确认到均匀性进入规定的范围，则将所得到的照度分布作为照度分布即光基准值(基准照度分布)而存储于存储部71。此外，以成为基准照度的方式进行了调整的最终的供给电力的值，作为初始值电力而同样储存于存储部71。

接下来，使主照度计84再次以设定通过速度往复运动，并在照射区域中通过。此时，使主照度计84依次位于得到基准照度分布的y方向的各位置，并在各位置往复运动而在照射区域中通过。然后，将在各位置得到的累计光量与该y方向的位置信息一起存储于存储部71。该光量意味着y方向的各位置的基准光量，以下，称为基准光量分布。

另外，有时在所得到的照度分布中计算平均值，并以在平均值中得到基准光量的方式对初始值电力进行微调。在上述例子中，在将主照度计84配置到照射区域的中央的状态下，以成为基准照度的方式对向光源11的供给电力进行了调整，但照射区域的中央的照度为最高的情况较多，因此在其他位置，成为比基准光量少的光量。即使如此，只要其差异足够小就没有问题，但也可以考虑优选设定为在照度分布的平均值中成为基准光量。在该情况下，按照照射区域的中央测定的照度与照射区域内的照度的平均值之间的偏离量，使初始值电力提高。

接下来，使用图8对用于基于如此设定而存储于存储部71的光量分布即光基准值来进行光源11的电力控制的构成进行说明。图8是在第二实施方式中进行光源11的电力控制的控制系统的概略图。

如图8所示那样，θ移动机构5具备将θ方向的移动量(旋转角度)向控制器7输出的θ输出部51。θ输出部51将工作台2相对于基准方向的旋转角度向控制器7输出，在此，基准方向为x方向。此外，辅助移动机构4具备对y方向的工作台2的移动量(移动距离)进行输出的y方向输出部44。y方向输出部44以能够在以y方向的确定位置为原点而将一方侧作为+、将另一方侧作为－的坐标中确定y方向的位置的方式，输出y方向的移动量。θ输出部51、y方向输出部44在装置的运转中将工作台2的旋转角度、y方向位置常时向控制器7输入。

与第一实施方式同样，在控制器7设置有点亮控制单元73。点亮控制单元73具备：光量计算部731，根据来自处理时用照度计6的照度测定值对累计光量进行计算；以及信号输出部732，将计算出的累计光量与存储部71所存储的基准光量进行比较，以其差分消失的方式输出信号。除此以外，在第二实施方式中，具备取得处理时用照度计6的y方向的位置信息的y方向位置取得部733。

在第二实施方式中，光量计算部731、信号输出部732通过软件来实现，成为顺序程序713的一部分。图9是对在第二实施方式中进行电力控制的顺序程序的部分进行摘要地表示的概略图。

如图9所示那样，第二实施方式的顺序程序，也是对在各次处理中来自处理时用照度计6的输出进行累计而计算累计光量。此时，在第二实施方式中，根据从θ输出部51、y方向输出部44输出的信息，确定处理时用照度计6的y方向位置。图10是对这一点进行表示的图，且是对基于来自θ输出部51以及y方向输出部44的信息的处理时用照度计6的y方向的位置的确定进行表示的平面概略图。

如图10所示那样，例如，工作台2的位置被作为工作台2的中心(俯视方形的中心)c的位置而输出，θ方向的旋转轴也被设定在工作台2的中心。在该情况下，顺序程序，首先根据来自y方向输出部44的信息取得工作台2的中心c相对于y方向的原点o的y方向位置。与工作台2的中心c相对的y方向的处理时用照度计6的分离距离l为已知的不变的信息(常量)，应用该情况而确定不进行θ旋转的情况下的处理时用照度计6的y方向的位置。接下来，根据来自θ输出部51的信息，通过l×cosα，计算工作台2θ旋转了α°时从y方向的中心c的位移，并通过将其与中心坐标相来确定y坐标，最终确定出处理时用照度计6的y方向的位置。此外，不仅可以以工作台2的中心c为基准来计算y方向的坐标，也可以以一方的直线引导件的位置为基准来计算y方向的坐标。

如图9所示那样，顺序程序为，在确定了处理时用照度计6的y方向的位置之后，将计算出的累计光量作为该y方向位置的累计光量而记录于存储部71的履历数据文件712。即，作为该工件w的履历数据，记录该工件w被处理时的处理时用照度计6的y方向位置以及该位置的累计光量。

然后，与第一实施方式同样，在达到控制间隔的次数时，对累计光量的平均值进行计算。然后，根据基准光量分布取得该y方向位置的基准光量，并将其与所测定的光量的平均值进行比较。然后，以其差消失的方式将控制指令信号向光源11的点亮电源110输出。另外，在达到控制间隔的次数之前，θ移动机构5或者以及辅助移动机构4进行动作而y方向位置变更的情况下，顺序程序将处理次数的计数复位为零。

另外，在图9中省略了图示，但也有时在基准光量分布中不包含与所取得的处理时用照度计6的y方向位置为相同位置的信息(基准光量)。在该情况下，根据测定位置前后的2点的基准光量，通过计算来求出该测定位置的基准光量。将前后2点的基准光量作为一次函数，根据其角度求出测定位置的基准光量，并对其进行应用而输出控制指令信号。

根据第二实施方式，光基准值作为y方向的分布而设定、存储，处理时用照度计6的测定时的y方向位置信息向控制器7输入而基于根据该y方向位置信息来确定、取得的光基准值求出偏差量，因此能够进行极其精细、更高精度的电力控制。

接下来，对第三实施方式进行说明。

图11是第三实施方式的光照射装置的主视概略图。如图11所示那样，第三实施方式的光照射装置在具备多个光照射器1这一点上与上述各实施方式不同。然后，各光照射器1的构造、配置以及各光照射装置所具备的光源11的控制被最佳化。

具体地说明，在第三实施方式的装置中，多个光照射器1形成多个分离的照射区域。图11同时表示出第三实施方式的x方向的照度分布。如图11所示那样，“分离的照射区域”意味着照射区域不重叠，且意味着夹着照度实际为零的区域而排列。实际为零是指，例如照度不对工件的光处理产生影响的照度。以照射区域夹着照度实际为零的区域而排列的方式，选定各光照射器1的镜12、灯罩13的尺寸形状，并选定各光照射器1的分离距离。

在这样的构造中，控制器7构成为，对于各光照射器1内的光源11所附属设置的各点亮电源110独立地发送控制指令信号。具体地说明，在本实施方式中也成为，处理时用照度计6安装于工作台2，与工作台2一体地移动而在照射区域中通过。因此，在工件w的处理时，处理时用照度计6的输出向控制器7发送，并存储于控制器7内的存储部71。

此外，在存储部71按照每个光照射器1来存储有光基准值。在此，作为光基准值也能够采用照度或者累计光量，但作为一个例子设为累计光量。即，对于各光照射器1设定有成为基准的光量的值，该值存储于存储部71。

图12以及图13是对控制器7所安装的顺序程序的一部分进行摘要而概略地表示的流程图。在本实施方式中也成为，顺序程序的一部分进行光源11的电力控制，该概略图如图12以及图13所示。

在图12中表示对各照射区域中的累计光量进行计算的部分。处理时用照度计6的输出是每个取样周期的照度数据，取样的时刻信息与该时刻的照度的数据建立对应地记录于临时文件711。照度的计测开始为，在比处理时用照度计6达到照射区域的定时足够前的定时(例如工作台2处于装载位置的状态)开始。因此，最初的时刻的照度测定值常时为零。

顺序程序为，从最初的测定时刻起依次读入照度测定值，并逐个相加(累计)。然后，在照度测定值实际成为超过零的值时，向区域计数器(变量)代入1。继续进行照度测定值的相加，在照度测定值再次实际成为零时，在该时刻将照度的累计值作为区域1中的累计光量的计算值而临时储存于变量。然后，将照度测定值的加法值复位为零。

然后，从零开始继续进行照度测定值的加法，并且在下一次照度测定值实际成为超过零的值的情况下，向区域计数器代入2。继续进行照度测定值的加法，然后在照度测定值成为零时，同样将该时刻的照度的加法值作为区域2的累计光量的计算值，而临时储存于其他存储器变量。然后，将照度的加法值复位为零。然后，从零开始继续进行照度测定值的加法，在下一次照度测定值实际超过零的情况下，向区域计数器代入3，并反复进行同样的处理。在该例子中，光照射器1的数量为三个，因此如果计算出区域3中的累计光量，则累计光量计算的部分的时序结束。

接下来，顺序程序与前述实施方式同样，判断处理次数是否达到控制间隔，如果达到，则进行电力控制。第三实施方式的顺序程序中、电力控制的部分如图13所示。如图13所示那样，顺序程序将计算出的累计各光量与存储部71所存储的各照射区域的基准光量进行比较。然后，分别以消失差异的方式输出控制指令信号。

即，如图11所示那样，按照去路的搬运朝向的顺序将照射区域设为区域1、区域2、区域3，将对应的光照射器设为光照射器1a、光照射器1b、光照射器1c。顺序程序将对于区域1计算出的累计光量与光照射器1a的基准光量进行比较，并以消除其差异的方式将控制指令信号向光照射器1a的点亮电源110输出。此外，顺序程序将对于区域2计算出的累计光量与光照射器1b的基准光量进行比较，并以消除其差异的方式将控制指令信号向光照射器b的点亮电源110输出。并且，将对于区域3计算出的累计光量与光照射器1c的基准光量进行比较，并以消除其差异的方式将控制指令信号向照射器b的点亮电源110输出。

在本实施方式中，各基准光量也可以是对于y方向的不同的多个位置分别设定的值(分布)，在该情况下，将处理时用照度计6的y方向位置的信息同样向控制器7输入而利用。此外，在各光照射器1a～1c所具备的光源11在型号、规格的方面全部相同的情况下，也有时能够作为基准光量而共通地设定相同的值。

无论如何，在该第三实施方式中，多个光源11成为分别对分离的照射区域进行光照射的构成，对各照射区域的累计光量进行测定，并且分别与基准光量进行比较而将控制信号向对应的光源11的点亮电源110输出，因此容易进行用于维持规定的光量的电力控制。在照射区域未分离的情况下，难以确定在工件w中产生的光量不足是由于哪个光源11的劣化。此外，在多个光源11中产生劣化而光量不足的情况下，难以判断使向各个光源11的供给电力上升哪种程度。在如第三实施方式那样照射区域分别分离而对各个测定累计光量的情况下，使向负责该照射区域的光源11的供给电力上升与累计光量降低相对应的量即可，控制较容易。另外，在当多个照射区域分离而分别独立地控制光源11的点亮电源110时、控制较容易这一点上，不仅在使用对工件w在照射区域中通过时的光照射的强度、量进行测定的测定器的情况下，例如在使用常时配置在灯罩内的照度计、在工件w的处理的间隔在照射区域中通过的照度计等的情况下，也是同样的。

在上述各实施方式中，处理时用照度计6的配置也可以是上述以外的各种的配置。以下，对这一点进行说明。图14是表示与处理时用照度计6的数量、配置有关的其他例子的平面概略图。

图14(1)表示在俯视为方形的工作台2上在夹着一个角部而相邻的两个侧面的各个上安装有处理时用照度计6的例子。此外，在图14(2)所示的第三实施方式中，表示在俯视为方形的工作台2的四个侧面的各个上安装有处理时用照度计6的例子。

在图14(3)所示的例子中，与(2)的例子同样在四个侧面上安装有处理时用照度计6，但安装在位于沿y方向延伸的两个边的侧面上的处理时用照度计6成为在y方向上错开的位置。

在这些图14(1)～(3)的构成中，具有能够在y方向(即、照射区域的长度方向)上的多个位置同时测定照度这样的意义。“同时”意味着，“在相同的1次处理时”，即、在1次处理中能够取得y方向的多个位置上的照度、累计光量的数据(即、照度分布、累计光量分布)。在该情况下，能够将作为所得到的测定值的累计光量分布与基准光量分布进行比较，以作为整体消除偏差的方式输出控制信号。具体地说，能够求出各位置的累计光量的差异的平均值，并以将其消除的方式输出控制指令信号。

此外，在所得到的累计光量分布的差别大到限度以上的情况下，即、最大值与最小值之差较大的情况下，还能够设为处理的均匀性限度以上地降低而对该工件w记录不良的履历。在成为不良的情况下，采取光源11的交换这样的适当的措施。

另外，对累计光量分布进行测定而判断光源11的劣化等的优点，还存在于能够适当地判断光源11的交换时期这一点。即，例如仅在棒状的光源11的端部的正下方通过的位置配置处理时用照度计6，不确认分布而仅利用一个测定点、通过该照度计6来确认光量的不足。在该情况下，在比该处理时用照度计6的位置更靠近中央的位置，确保足够的光量而工件w的处理没有特别的不良情况，但当将端部的测定结果作为基准时，会将其视为光量不足而以使向光源11的供给电力增加的方式输出控制指令信号。在该情况下，成为比所希望的累计光量更多的累计光量，处理变得不按照设计那样，因此不适当。另一方面，如果在多个位置测定光量而根据光量分布来判断是否正常，则能够防止上述那样的成为比所希望的累计光量更多的累计光量的情况。另外，在将光量分布存储为测定值的情况下，在与对各处理时用照度计6进行确定的id以及该处理时用照度计6的y方向位置信息建立对应的状态下，存储计算出的各光量。

图15是表示处理时用照度计6的配置的另外的其他例子的平面概略图。

首先，在图15(1)中，在位于沿着x方向的工作台2的相面对的二边的侧面上分别安装有处理时用照度计6。在该情况下，能够进行y方向的照度分布、累计光量分布的测定，特别是，能够对由棒状的光源11的两端的黑化等引起的照度降低进行监视。

此外，在图15(2)中，在位于沿着y方向的工作台2的一边的侧面上安装有多个照度计6。在该情况下，也能够进行y方向的照度分布、累计光量分布的测定。然后，通过适当地使用辅助移动机构4、θ移动机构5，能够适当地变更测定位置。

此外，在图15(3)中，表示在位于沿着x方向的工作台2的一边的侧面上安装有多个照度计6的例子。在该情况下，当该边保持沿着x方向的状态固定时，与第一实施方式实际上相同，因此没有设为多个的意义，但如果如在图15(3)中由虚线所示的那样具备向θ方向旋转的机构，则能够进行y方向的多个位置的照度、累计光量的测定。

此外，在图15(4)中表示在工作台2内安装有处理时用照度计6的例子。工作台2具有用于安装照度计6的凹部，并以陷入该凹部的状态安装处理时用照度计6。同样，处理时用照度计6的受光面优选成为与工作台2上所载放的工件w的上面为相同高度。另外，在图15(4)所示的例子中，虽然在工作台2内，但处理时用照度计6在俯视中成为工件w的载放位置的外侧。即，在工作台2上载放了工件w时，对于来自光照射器11的光，工件w为遮挡处理时用照度计6的状态，处理时用照度计6为不遮挡工件w的状态。在该情况下，当在y方向上设置多个处理时用照度计6时，能够测定照度分布、累计光量分布，因此较优选。

另外，在上述各实施方式中，作为进行用于利用于光源11的电力控制的测定的测定器、使用处理时用照度计6来测定照度，但也有时能够使用其他测定器。例如，使用根据所测定的照度在内部进行累计而作为累计光量进行输出的累计光量计也是同样的。在该情况下，光量作为测定值输出，因此在控制器7中不需要设置光量计算部。

此外，也可以按照工件w的上面的全部面积对照度计的输出进行积分，将工件所受到的面内全部能量作为测定值。在该情况下，对于光基准值，也可以设为按照工件w的上面的面积(已知)进行了积分的值。

此外，作为处理时用照度计6，也能够使用对分光放射照度进行测定的测定器(分光器)。

另外，在上述第三实施方式中，光照射器1a～1c分别具备点亮电源110，但也有时能够通过1台点亮电源使多个光源11点亮。在该情况下，至少，需要成为能够独立地控制对于各光源11的供给电力。例如，可以考虑如下构成：相对于供给的电源电路将光源11以并联的方式连接，在向各光源11的电力供给路径上设置电力控制元件。

此外，在上述各实施方式中，工作台2在俯视中为方形，但在实施本申请发明时，不需要限定为方形。也可以为三角形、五边形、圆形等。在圆形的情况下，假定构成为，相对于圆的中心以180°间隔在侧面上安装两个处理时用照度计6、或者以90°间隔安装四个处理时用照度计6。

另外，上述各实施方式的光照射装置为光取向用偏振光照射装置，但本申请发明也能够构成为其他光照射装置。例如，也能够构成为为了进行光固化性树脂的固化等光处理而向工件w照射光的装置。

在上述各实施方式中，也能够如日本特开2014－174352号公报所公开的那样，采用如下构成：将两个工作台2夹着照射区域而在x方向的两侧分别配置工作台2，并使其分别保持工件w而交替地在照射区域中通过，由此对各工件w进行光照射。在该情况下，对于处理时用照度计6，可以仅安装于一方的工作台2来对照度或者光量进行测定而进行光源11的电力控制，也可以安装于双方来对照度或者光量进行测定而进行光源11的电力控制。

此外，在上述各实施方式中，工作台在照射区域中通过而进行往复运动，由此向工件w进行光照射，但也有时不进行往复运动而仅在一次通过中就结束对于工件w的光照射。在该情况下，基于处理时用照度计6的累计光量计算也是仅对一次通过时的测定值进行累计而求出光量。

另外，照射区域成为y方向为长尺方向的长方形，但这不是必须条件，也可以是x方向(搬运方向)为长尺方向的长方形、也可以为正方形。

此外，关于光源11，对将棒状的光源11沿着y方向配置的例子进行了说明，但这是将长条的发光部沿着y方向进行配置的例子。此外，也有时将点光源排列为一条直线状而使其等价于棒状的光源(线状的发光部)。并且，在将棒状的光源沿着x方向配置的情况下，如果这样的光源在y方向上排列多个，则也能够视为在y方向上排列点光源，因此能够使其同样地起作用。