技术特征：
技术总结
本发明提供光照射装置以及光照射方法，在最佳的定时监视是否对于对象物照射有适当量的光，根据监视结果对光源进行适当控制。上侧保持了对象物(W)的工作台(2)，通过搬运机构(3)向X方向移动，在通过照射区域时工件(W)受到光照射。工作台(2)的侧面(21)上安装的照度计的测定值向控制器(7)发送，控制器(7)所具备的点亮控制单元(73)对测定值进行累计而计算光量，并与设定为光量的光基准值进行比较，以差分消失的方式将控制指令信号向光源(11)的点亮电源(110)发送。
技术研发人员：木村淳治
受保护的技术使用者：优志旺电机株式会社
技术研发日：2016.09.29
技术公布日：2017.08.01