技术特征：
技术总结
本发明提供一种光照射装置，在具有对由光源的劣化等引起的照度降低进行监视的功能时，在机构不变得复杂，且不对生产率产生影响。在上侧保持对象物(W)的工作台(2)，通过搬运机构(3)在X方向上移动，在通过有效照射区域时工件(W)接受光照射。在工作台(2)的侧面(21)上安装有照度计，与工作台(2)一体地移动而通过有效照射区域。照度计(6)的测定值向控制器(7)输送，控制器(7)所具备的光量计算单元(71)对光量进行计算而存储于存储部(72)。
技术研发人员：木村淳治
受保护的技术使用者：优志旺电机株式会社
技术研发日：2016.09.29
技术公布日：2017.08.29