光照射装置的制作方法

本申请的发明涉及一种朝对象物照射光的装置。

背景技术：

光在工业上的利用在各种领域中正在发展，以各种目的来进行向对象物照射光。特别是，通过光是对象物的性质变化的光处理的技术，在各种制品的制造工序中被广泛利用。

例如，在液晶显示器的制造工序中，近年，变得较多采用被称为光取向的光处理。光取向为如下技术：在得到液晶显示器用的取向层、视场角补偿膜用的取向层时，通过对取向层用的膜材进行光照射，由此得到取向膜(成为取向层的膜)。

在这样的光处理的领域中，有时采用如下的构成：预先向某个设定的区域照射光，将光处理的对象物(以下，称为工件)以在该区域(以下，称为照射区域)通过的方式进行搬运，由此进行光处理。如专利文献1所示那样，在上述光取向的领域中也使用采用了这种构成的装置。

图9是这种以往的光照射装置的概略图，图9(1)为主视概略图，图9(2)为侧视概略图。如图9所示那样，光照射装置具备向照射区域照射光的光照射器1以及搬运工件w的搬运机构3。

在图9中，照射区域是宽度比工件w的宽度稍大的方形区域。光照射器1构成为，以能够按照该方形图案进行光照射的方式具备光源11、镜12。例如，构成为，具备宽度方向较长的棒状的光源11、以及从上侧覆盖光源11的长条的镜12。搬运机构3的搬运路成为水平方向，贯穿照射区域而设定。

工件w被保持在工作台2上，工作台2在通过照射区域的同时进行移动，由此向工件w进行光照射。在进行光取向的情况下，光照射器1的构造为，在光源11的出射侧保持有偏振元件14，使通过了偏振元件14的光(偏振光)向工件w照射。

专利文献1：日本特开2014－174287号公报

在进行上述那样的光处理的光照射装置中，需要对工件赋予足够的光量，但光量不足时，一般来说光处理变得不充分。在此，光照射装置所具备的光源为，光输出逐渐降低的情况较多。该情况是由劣化导致的情况较多，但即使没有达到劣化程度，有时光输出性能也从最初的状态降低若干。

上述那样的光照射装置，以在照射区域中以规定的照度进行光照射的情况为前提，以规定的速度对工件进行搬运而使其通过照射区域，由此对工件赋予规定量的光量。由此，当照度从预定的值降低时，直接导致光量的降低，成为光处理不足。

因此，经常进行定期地测定照度，并检查是否能够得到足够的照射强度或者照射量。然后，在照射强度或者照射量降低了限度以上的情况下，采取对光源进行交换等措施。

照射强度、照射量的检查所需要的照度计6，以往，如图9(2)所示那样，设置在光照射器1内。照度计6的位置为不遮挡向照射区域的光照射的位置。

在这样的以往的光照射装置中，进行照度测定的位置，不是对工件w实际进行光照射的位置(照射区域内的位置)，因此存在的问题为，未忠实地监视对于工件w的实际的照射强度或者照射量的降低。

例如，在光处理的领域中，利用紫外区域的光的较高能量来进行处理的情况较多，作为棒状的光源而使用高压水银灯那样的放电灯的情况较多。关于棒状的放电灯，有时随时间经过在两端的电极附近产生黑化等，而光输出降低。即使在两端部光输出降低，在包括中央部的其他部分存在足够的光输出，也能够足够使用的情况较多。即，在照射区域中以足够的照度进行光照射的情况较多。

在这样的情况下，当还是如图9(2)所示那样，照度计6设置于从照射区域脱离的位置时，有时照度计6会检测到照度降低，并判断为光源11的交换时期到来。即，有时虽然还能够足够地使用，但会显示出应进行光源11的交换的含义的指示。

由此，照度计6优选尽量配置于接近照射区域的场所。在该情况下，更优选将照度计6配置于照射区域内而对照射区域的照度进行测定，但由于在工件w的处理中(通过照射区域时)不能够位于照射区域内，因此作为其结果，保持使光源11点亮的状态，在处理的间隙使照度计6配置于照射区域、或者通过照射区域，而进行照度测定。该构成如专利文献1所示。

如专利文献1那样，在处理的间隙是照度计配置于照射区域、或者通过照射区域并且进行照度测定时，存在两个较大问题。一个问题为，为了使照度计移动而另外需要特别的机构，在机构上变得复杂。另一个问题为，由于设置在处理的间隙进行照度测定的步骤，因此会对生产率带来影响。在专利文献1中，对于后者的问题，利用处理结束后的工件的排出时间来进行照度测定，因此对生产间隔时间无影响。然而，这种装置中的工件的排出，通常使用机器人来进行，其动作速度比较快。另一方面，在专利文献1中，以与工件的速度相同的速度使照度传感器移动，在照射光量较多的处理的情况下使速度变慢，照度传感器的移动速度也变慢。在该情况下，即使工件的排出结束，照度传感器的移动(照度测定)也有可能还没有结束，会对生产间隔时间产生影响。

技术实现要素：

本申请的发明是考虑上述那样的情况而进行的，其目的在于提供一种光照射装置，具备对由光源的劣化等引起的照度降低进行监视的功能，该光照射装置具有的构造为，在机构上不会变得复杂，且不会对生产率产生影响。

为了解决上述课题，本申请的技术方案1记载的发明为一种光照射装置，具备：光照射器，向照射区域照射光；工作台，在上侧保持对象物；以及搬运机构，沿着以通过照射区域的状态设定的搬运路使工作台移动而搬运对象物，其构成为，

在工作台的侧面，安装有对来自光照射器的光的照度进行测定的照度计。

此外，为了解决上述课题，技术方案2记载的发明为，在上述技术方案1的构成中，具备：光照射器，向照射区域照射光；工作台，在上侧保持对象物；以及搬运机构，沿着以通过照射区域的状态设定的搬运路使工作台移动而搬运对象物，其构成为，

在工作台上安装有对来自光照射器的光的照度进行测定的照度计，照度计的安装位置为，来自光照射器的光相对于对象物不被遮挡，且来自光照射器的光不被对象物遮挡的位置。

此外，为了解决上述课题，技术方案3记载的发明构成为，在上述技术方案1或者2的构成中，上述照度计安装在通过上述照射区域的位置。

此外，为了解决上述课题，技术方案4记载的发明构成为，在上述技术方案1、2或者3的构成中，设置有使上述工作台以上下方向为轴旋转的θ移动机构。

此外，为了解决上述课题，技术方案5记载的发明构成为，在上述技术方案1的构成中，上述工作台的俯视的轮廓形状具有至少一个角部，

上述照度计分别安装于夹着角部而相邻的二个侧面。

此外，为了解决上述课题，技术方案6记载的发明构成为，在上述技术方案1的构成中，上述工作台的俯视的轮廓形状为方形，

上述照度计在各侧面上安装有至少一个。

此外，为了解决上述课题，技术方案7记载的发明构成为，在上述技术方案6的构成中，上述照度计为，在位于上述方形的轮廓形状中相对的边的侧面上分别安装的照度计，不位于在上述搬运路的方向上延伸的相同直线上或者设置有使上述工作台以上下方向为轴旋转而使姿势变化的θ机构。

此外，为了解决上述课题，技术方案8记载的发明构成为，在上述技术方案1的构成中，上述工作台的俯视的轮廓形状为具有相对的二个边的形状，

上述照度计分别安装在位于相对的边的侧面上，并且，各照度计不位于在上述搬运路的方向上延伸的相同直线上，或者设置有使上述工作台以上下方向为轴旋转而使姿势变化的θ机构。

此外，为了解决上述课题，技术方案9记载的发明构成为，在上述技术方案1至8任一个构成中，具备使上述工作台在与上述搬运路的方向交叉的方向上直线移动的辅助移动机构。

此外，为了解决上述课题，技术方案10记载的发明构成为，在上述技术方案1至9任一个构成中，具备对上述照度计的测定值进行累计而计算累计光量的光量计算单元、以及存储所计算出的光量的存储部。

发明的效果

如以下说明的那样，根据本申请的技术方案1记载的发明，用于对向对象物的光照射的强度或者量进行监视的照度计安装于工作台的侧面，因此在更接近对象物的条件下进行照度测定。因此，不会误判断光源的劣化等。此外，不需要在照射区域或者其附近配置照度计，或者另外设置用于使其通过照射区域或者其附近的机构，因此在机构上简化。此外，不需要在对象物的排出的时间段对照度进行测定，因此不会对生产率产生影响。

此外，根据技术方案2记载的发明，用于对向对象物的光照射的强度或者量进行监视的照度计安装于工作台，因此在更接近对象物的条件下进行照度测定。因此，不会误判断光源的劣化等。此外，不需要在照射区域或者其附近配置照度计，或者另外设置用于使其通过照射区域或者其附近的机构，因此在机构上简化。此外，不需要在对象物的排出的时间段对照度进行测定，因此不会对生产率产生影响。

此外，根据技术方案3记载的发明，除了上述效果，由于照度计安装于通过照射区域的位置，因此由于这一点而在进一步接近对象物的条件下进行照度测定。因此，误判断的可能性进一步降低。

此外，根据技术方案4记载的发明，除了上述效果，设置有使工作台以上下方向为轴旋转的θ移动机构，因此照度计也进行旋转，能够使照度计位于能够通过照射区域中的任意位置的位置，能够在任意的位置对照度进行测定。

此外，根据技术方案5记载的发明，除了上述效果，照度计分别安装于夹着角部而相邻的两个侧面上，因此能够对两处的照度进行测定而得到照度分布。

此外，根据技术方案6记载的发明，除了上述效果，工作台的俯视的轮廓形状为方形，照度计在工作台的各侧面上安装有至少一个，因此能够在三处或者四处对照度进行测定而得到照度分布。

此外，根据技术方案7记载的发明，除了上述效果，能够在四处对照度进行测定而得到照度分布。

此外，根据技术方案8记载的发明，除了上述效果，能够在两处对照度进行测定而得到照度分布。

此外，根据技术方案9记载的发明，除了上述效果，具有使工作台在与搬运路的方向交叉的方向上直线移动的辅助移动机构，因此能够在该方向的任意位置对照度进行测定。

此外，根据技术方案10记载的发明，除了上述效果，对照度计的测定值进行累计而得到的光量存储于存储部，因此能够进行光量的监视。

附图说明

图1是第一实施方式的光照射装置的立体概略图。

图2是第一实施方式的光照射装置的主视概略图。

图3是第一实施方式的光照射装置的侧视概略图。

图4是对第二至第四各实施方式的主要部分进行表示的平面概略图。

图5是对在第四实施方式中使测定位置增多的例子进行表示的平面概略图。

图6是对在第三实施方式中在不同位置对照射光量分布进行测定的例置进行表示的平面概略图。

图7是对在第三实施方式中用于提高生产率的构成进行表示的平面概略图。

图8是表示其他实施方式的照度计6的安装构造的平面概略图。

图9是以往的光照射装置的概略图。

符号的说明

1光照射器

2工作台

3搬运机构

4辅助移动机构

5θ移动机构

6照度计

7控制器

71光量计算单元

具体实施方式

接下来，对用于实施本申请发明的形态(以下，称为实施方式)进行说明。在以下的说明中，作为光照射装置的例子，列举光取向用偏振光照射装置。其中，本申请发明不限定于光取向用偏振光照射装置。

图1～图3是第一实施方式的光照射装置的概略图，图1是立体概略图，图2是主视概略图，图3是侧视概略图。图1～图3所示的光照射装置具备：光照射器1，向照射区域照射光；工作台2，在上侧保持对象物w；以及搬运机构3，沿着以通过照射区域的状态设定的搬运路使工作台2移动。在本实施方式中，为了进行光处理而进行光照射。以下，将对象物w称为工件。

首先，对有效照射区域以及搬运路进行说明。

在仅称为“照射区域”的情况下，存在广泛地指光所照射的区域的情况、以及作为应该照射光的区域而设定的区域的情况这两个含义。“有效照射区域”的含义为，被预先设定为通过作为对于工件w的光处理而有效的照度被照射光的区域的区域，是上述两个含义中后者的含义。在本实施方式中，在照射面中实际上没有向有效照射区域外照射的光，有效照射区域与广泛含义的照射区域一致。由此，不需要进行区别，在以下的说明中，“照射区域”按照有效照射区域(设定区域)的含义来使用。

在本实施方式中，照射区域被设定为长方形的区域。为了方便，将长方形的长边方向称为y方向，将短边方向称为x方向。搬运路以通过照射区域的状态设定，但在本实施方式中，搬运路的朝向与x方向一致。即，照射区域与搬运路交叉(在y方向上正交)。

关于工件w，当将y方向的长度作为“宽度”时，照射区域的y方向的长度，与工件w的宽度相比为足够长。因此，当工件w被沿着搬运路搬运而通过照射区域时，工件w的上面的整面被光照射。

另外，在本实施方式中，工件w成为方形板状部件，但如后述那样，工作台2能够围绕以上下方向为轴的旋转轴旋转，因此通过旋转而工件w的宽度的大小变动。由此，照射区域的大小被设定为，即使在宽度最大的情况下，照射区域的y方向的长度也比工件w的宽度大。

对这样的照射区域进行光照射的光照射器1，由光源11、覆盖光源11的背后的镜12、以及对这些进行收容的灯罩13等构成。如上述那样，照射区域为长方形，因此光源11采用具有在y方向上较长的发光部的棒状的光源。本实施方式的装置为照射紫外线的装置，因此采用放射紫外线的高压水银灯、金属卤化物灯那样的棒状的放电灯。光源11被配置为长边方向与y方向一致的状态。另外，作为光源11，能够使用将多个由led、ld等构成的紫外线发光元件在y方向上配置为阵列状的光源。

镜12也是在y方向上较长，是所谓的槽状镜。镜12的反射面的x方向上的截面形状，成为椭圆圆弧或者抛物线。

本实施方式成为光取向用的光照射装置，光照射器1将向规定的朝向偏振了的光向照射区域照射。具体地说，如图2以及图3所示那样，在灯罩13内设置有偏振元件14。作为偏振元件14，在本实施方式中使用格栅偏振元件。格栅偏振元件，是在透明基板上形成有微小条纹(线和空间)状的格栅的构造的元件，且是使构成格栅的各线状部的分离间隔成为所偏振的光的波长程度或者比其短的距离的构造的元件。

难以通过一个偏振元件14来覆盖宽度大的照射区域，因此在本实施方式中，采用将多个偏振元件14沿y方向排列而单元化的构造。即，沿y方向排列的多个偏振元件14、以及由保持了各偏振元件14的未图示的框架等形成的偏振元件单元搭载于灯罩13内。各偏振元件14位于光源11与照射区域之间。

如图1所示那样，工作台2为台状的部件，在本实施方式中成为在俯视中轮廓形状为方形的部件。工作台2具备多个未图示的支撑销。各支撑销从工作台2的上面稍微突出。各支撑销中的一部分为管状，进行用于真空吸附的吸气。工作台2在各支撑销上进行真空吸附并且进行保持。

另外，工作台2具备未图示的对准机构。对准机构是读取设置在工件w上的未图示的标记而对工件w的位置、姿势进行微调的机构。

在本实施方式中，搬运机构3成为采用了直线马达的机构。具体地说，搬运机构3具备与x方向平行地延伸的直线引导件31、以及磁石以沿x方向延伸的方式配置的直线马达的固定件32。然后，设置有移动台(以下，称为x方向移动台)33，该移动台33设置有相对于固定件32被驱动的可动件。x方向移动台33的移动通过使可动件的各磁极的极性依次改变来进行。另外，x方向移动台33具有与直线引导件31嵌合的槽，随着直线马达32的动作，被直线引导件31引导并且在x方向上移动。此外，作为搬运机构，还能够采用适用了滚珠丝杠的机构。

此外，在本实施方式中，设置有使工作台2沿y方向直线移动的机构(以下，称为辅助移动机构)4、以及使各工作台2围绕上下方向的轴旋转的机构(以下，称为θ移动机构)5。关于辅助移动机构4，也采用直线马达方式的搬运机构。

然后，如图1所示那样，在y方向移动台43上固定有θ移动机构5，以通过该θ移动机构5轴支撑的状态安装有工作台2。θ移动机构5为如下机构：包括伺服马达，使工作台2相对于基准方向朝所指定的角度旋转，并能够保持其姿势。基准方向例如为x方向。通过这样的机构，工作台2能够在x方向上搬运，并且能够在y方向以及θ方向上移动。

这样的实施方式的光照射装置，为了监视对于工件w的光照射的强度或者量，而具备照度计6。在实施方式的说明中，照度是指光照射的强度且是放射照度(w/m²)。照度计对照射区域的放射照度进行测定。此外，照射量是照射区域中的光能量量，“光量”严格来说为“累计光量”。累计光量(j/m²)＝照度(w/m²)×照射时间(sec)。

实施方式的装置的较大特征点为，照度计6安装在工作台2上。照度计6安装在工作台6上，存在两个含义。一个含义为，在尽量接近被光照射的工件w的位置上测定照度，且与工作台2一体地移动，结果，在工件w被光照射的状况下，同样地被光照射而测定照度。

更具体地说明，在本实施方式中，照度计6安装在工作台2的侧面21上。如上所述，工作台2为俯视的轮廓形状为方形的台状的部件。当将方形的一边的方向朝向与x方向平行或者垂直的方向的状态作为稳定姿势时，在本实施方式中，固定在稳定姿势的工作台2的沿着x方向的侧面21上。

在照度计6向工作台2的安装中重点在于，照度计6安装于通过光照射器1的照射区域的位置。

在为了进行光处理而进行光照射时，从确保处理的均匀性的观点出发，以成为长方形的照度较高的区域同时成为照度均匀的区域的方式，采用光源11、镜12的形状、配置。在该情况下，均匀、且较高照度的区域是被利用于光处理的区域，这就是照射区域。

照射区域为，相对于沿y方向搬运时的工件的宽度(y方向的长度)，为足够长的区域。即，以相对于要处理的工件的宽度、照射区域的宽度(y方向的长度)为足够长的方式，决定光源11、镜12的形状、配置。由此，照射区域在y方向上比工件w的宽度更宽，存在宽裕度。在实施方式中，照度计6配置在通过该宽裕度的区域的位置。另外，照射区域为，其宽度相对于工作台2的宽度成为足够宽，而形成宽裕度。通过在工作台2的宽度方向的侧面安装照度计6，由此照度计6成为通过照射区域的状态。

如此，在照度计6通过照射区域的位置安装照度计6所具有的意义为，在与实际上工件w所受到的光照射的状态成为尽量相同的状态的位置对照度进行测定。另外，即使照度计6的初始安装位置为照射区域外，只要安装于工作台2，则通过适当地进行y方向移动或者θ移动来使其通过照射区域内、或者通过接近照射区域的场所，也能够进行测定，因此与安装于灯罩13等相比，能够在与对于工件6的光照射更大程度地接近的状况下进行照度测定。

作为照度计6，使用将si光电二极管等用作为受光元件的照度计。照度计6以受光面朝向上方的姿势固定。如图3所示那样，照度计6的受光面，与载放在工作台2上的工件的上面成为相同高度。这一点也具有在尽可能与工件相同的状态下进行照度测定的意义。另外，关于照度计6的安装，能够采用适用对照度计6进行保持的支架固定于工作台2的侧面21的构造。

如图3所示那样，实施方式的光照射装置具备对装置的各部分进行控制的控制器7。控制器7除了对搬运机构3的动作进行控制以外，还对光源11的点亮电源11进行控制。如图3所示那样，照度计6与控制器7连接，照度计6的测定信号向控制器7输入。

控制器7中安装有根据照度计6的输出值来计算累计光量的光量计算单元71。光量计算单元71为控制器7所具备的时序程序的一部分(软件)，但也有时通过硬件来实现。光量计算单元71构成为，每当进行一次处理(工作台2的一次往复运动)，就根据照度计6的测定值来计算累计光量，并存储到控制器7所具备的存储部(存储器等)72。装置具备对存储部72所存储的数据进行显示的未图示的显示器，累计光量的数据能够被作为履历数据而适当地显示于显示器。

另一方面，除了照度计6以外，装置还具备光测定单元8。光测定单元8为，在通常处理时，处于从照射区域远离的待机位置，在维护等时配置于照射区域而使用。光测定单元8除了对照射区域的照度进行测定的功能以外，还具有对所照射的偏振光的偏振轴的朝向进行测定的功能。

如图1所示那样，光测定单元8搭载在搬运机构3上，通常在设定于x方向的一方侧的端部的待机位置进行待机。待机位置例如被设定于装载位置的外侧(远离照射区域一侧)。

光测定单元8包括搭载在直线引导件31以及固定件32上的x方向移动台81、搭载在x方向移动台81上的y方向移动机构82以及y方向移动台83、固定在y方向移动台83上的主照度计84、以及同样固定在y方向移动台83上的偏振光测定器85等。

y方向移动机构82同样是使y方向移动台83沿y方向移动的机构，可以是直线马达方式的机构，也可以是利用滚珠丝杠的机构。

主照度计84同样为，将si光电二极管等光电变换元件作为受光元件而内置。受光面的高度与设置于工作台2的照度计6同样，与工作台2所保持的工件w的表面为相同高度。

偏振光测定器85是用于对向照射区域照射的偏振光的朝向进行监视的测定器。偏振光测定器是局部受光元件、配置在受光元件的入射侧的分析器、以及使分析器围绕光轴(在该例中为上下方向)旋转的旋转机构等的测定器。分析器为一种偏振元件，是使某个特定方向的直线偏振光选择性地通过的板状的光学部件。

分析器的板面配置为与光轴垂直，并向旋转方向旋转。通过光照射器1内的偏振元件14而偏振的偏振光照射于照射区域。在对该偏振光的偏振轴的朝向进行检查的情况下，使偏振光测定器85位于照射区域内，使分析器旋转。通过分析器的旋转，受光元件的输出周期性地变化。输出成为最高时的旋转角度，表示所照射的偏振光的偏振轴的朝向。

以下，对具有上述构成的实施方式的光照射装置的动作进行说明。

通过agv(autoguidedvehicle：自动导引车)那样的批搬运机构或者气动输送机那样的单张处理搬运机构，搬运到未图示的机器人的动作范围内的位置。光照射器1预先使光源11点亮，向照射区域进行光照射。在动作的初始状态下，工作台2处于装载位置，通过未图示的机器人将一个工件w载放到工作台2上。然后，未图示的对准机构动作，相对于基准方向(例如x方向)使工件w成为规定的姿势。此外，辅助移动机构4根据需要而动作，使工件w位于y方向的规定位置。

在该状态下，搬运机构3动作，使工作台2沿x方向移动，使其通过照射区域。结果，对工件w进行光照射。在本实施方式中，光通过偏振元件14而成为偏振光，偏振后的光朝规定的朝向照射。

搬运机构3为，在工作台2上的工件w完全通过了照射区域之后，使其在规定的反转位置反转。“完全通过”是指，工件w的x方向后方的边缘完全通过照射区域。此外，反转位置为，在图2所示的照度分布中，为照度实际为零的位置(照射区域外的位置)，是在工件w的哪个位置照度都成为零的位置。

搬运机构3在使工作台2在反转位置反转了之后，使其沿x方向反向移动而返回到装载位置。在本实施方式中，在该回路中也向工件w照射光(偏振光)。然后，未图示的机器人从返回装载位置的工作台2上除去工件w，将下一个的工件w载放到工作台2上。

另外，在本实施方式中，θ方向的旋转为，相对于偏振元件14的姿势(所照射的偏振光的偏振轴的朝向)使工件w成为规定的姿势，因此有时根据批(品种)而成为不同的旋转。在该情况下，在某批的处理结束之后，变更控制器7中的设定信息。结果，对于下一批的各工件w，θ移动机构5适当地动作，在成为不同的旋转角度的状态搬运而照射偏振光。

在这样的动作中，照度计6与工作台2一体地移动，并通过照射区域。因此，照度计6与工作台2上的工件w同样地接受光照射，测定值向控制器7输出。安装于控制器7的光量计算单元71对照度计6的输出值进行积分而计算累计光量。光量计算单元71为每进行一次处理(工作台2的一次往复运动)就根据照度计6的测定值来计算累计光量，并存储于控制器7所具备的存储部(存储器等)72。

然后，对装置的动作进行监视的操作者，定期地将存储部72的履历数据显示于显示器，并检查累计光量是否为规定的范围内。如果累计光量比规定值降低，则判断为光量不足，实施光源11的交换等适当的措施。

在上述动作的实施方式的光照射装置中，用于对向工件w的照射光量进行监视的照度计6安装在工作台2的侧面，因此在更接近工件w的条件下进行照度测定。因此，不会误判断光源11的劣化等。此外，在本实施方式中，照度计6安装于通过照射区域的位置，因此根据这一点能够在更接近工件w的条件下进行照度测定。因此，误判断的可能性进一步降低。

并且，不需要另外设置用于在照射区域配置照度计6的机构、使其以通过照射区域的方式移动的机构，因此能够在机构上简化。此外，不需要在工件w排出的时间段测定照度，因此也不会对生产率产生影响。

在上述装置的动作中，在反复进行了一定程度的次数的处理之后的装置的维护时，使用光测定单元8。即，在使工作台2向相反侧退避的状态下，使x方向移动台81沿x方向移动，将光测定单元8中的例如偏振光测定器85配置到照射区域内而测定偏振光。然后，根据测定结果，确认偏振光的偏振轴的朝向是否朝向所希望的方向。

此外，主照度计84用于照度计6的性能检查等。即，在将主照度计84配置到与照度计6相同的y方向位置上之后，使其沿x方向以设定通过速度通过并且测定照度，对光量进行计算并检测与照度计6的光量之间的差异。如果差异较大，则进行照度计6的较正。即，主照度计84能够用作为各照度计6的较正用。照度计6频繁通过照射区域而接受光照射，因此特性容易变化。因此，使用主照度计84来适当地进行较正。

接下来，对第二至第四各实施方式进行说明。图4是对第二至第四各实施方式的主要部分进行表示的平面概略图。在第二至第四各实施方式中，所安装的照度计6的数量以及安装位置与第一实施方式不同。

即，在图4(1)所示的第二实施方式中，在俯视为方形的工作台2上，在夹着一个角部而相邻的二个侧面上分别安装有照度计6。此外，在图4(2)所示的第三实施方式中，在俯视为方形的工作台2的四个侧面上分别安装有照度计6。

在图4(3)所示的第四实施方式中，与第三实施方式同样，在四个侧面上安装有照度计6，但是在位于相对的二个边的侧面上安装的照度计6的位置与第三实施方式不同。即，在第三实施方式中，位于相对的二个边的各照度计6，在该边的延伸方向上的位置相同。例如，当工作台2的各边沿着上述x方向、y方向时，如图4(2)所示那样，在第三实施方式中，位于沿着y方向的边的二个照度计6，在从y方向观察时位于相同的位置。另一方面，在图4(3)所示的第四实施方式中，位于沿着y方向的边的二个照度计6，在y方向上位于相互错开的位置。

这些第二至第四实施方式的光照射装置，当与第一实施方式相比较时，具有在y方向即照射区域的长度方向上能够在多个位置测定照度的意义、即能够测定照度分布的意义。该意义产生的意义为，各照度计6与工作台2一体地移动而通过照射区域，因此能够进行y方向的不同的多个位置的照射光量、即照射光量分布的测定。

对照度分布测定的意义、照射光量分布测定的意义更详细地进行说明。

如上所述，y方向是指，在某个方向上较长的照射区域的该长度方向，光源11、镜12以在该方向上足够均匀地进行光照射的方式选定形状、配置。当y方向上的照度变得不均匀时，这直接导致y方向上的照射光量的不均匀化，因此会成为问题。通常，关于y方向上的照度均匀性，也是以±百分之几的方式预先决定规格，并在确认了进入该范围的状态下，开始装置的运转。

然而，由于某种原因，y方向的照度分布会变得不均匀。上述的使用了棒状的放电灯的情况下的端部的黑化，也是一个原因。此外，在y方向上配置有多个光源的情况下，任一个光源的输出降低也成为y方向的照度分布的不均匀化的原因。当y方向的照度分布变得不均匀时，直接导致工件w受到的照射光量的不均匀化，需要监视该不均匀化是否在允许范围内。为了进行该监视，需要在y方向的至少两处测定照度。上述第二至第四实施方式的光照射装置具有的意义为，除了能够在更接近工件w的状态下进行光量监视，还能够如下地对照度分布不均匀化进行监视。

这样的y方向照度分布的测定，通过适当地使用辅助移动机构4、θ移动机构5，能够进一步提高其意义。关于这一点，作为一个例子列举第四实施方式进行说明。图5是对在第四实施方式中使测定位置变多的例子进行表示的平面概略图。

在实施方式的装置中，如上所述，在去路和回路上进行对于工件w的光照射。此时，以在去路和回路上在y方向上不同的位置进行光照射的方式，在反转位置使辅助移动机构4动作。即，在反转位置使工作台2稍微向y方向偏移。偏移量为小于相邻的照度计6的在y方向上观察的分离间隔的距离(例如一半)。然后，在偏移的位置上进行回路的搬运。于是，y方向上的照射光量的测定位置增倍，在该例子成为八处。即，能够在八处进行照射光量分布的监视并且进行工件w的处理。虽然省略说明，但在第二实施方式、第三实施方式中，通过使用辅助移动机构4来使测定位置增倍这一点也相同。

如此在不同的位置测定照射光量分布，还能够使用θ移动机构5来进行。关于这一点，以第三实施方式为例进行说明。图6是对于在第三实施方式中在不同的位置测定照射光量分布的例子进行表示的平面概略图。

图6表示的状态为，在第三实施方式中在使工作台2从基准方向(x方向)旋转了α的状态下对工件w进行搬运。假定如下情况：对于某个工件w，成为工作台2的一边朝向x方向的状态而对工件w进行搬运并且进行处理，对于其他工件w，在使工作台2旋转α的状态下对工件w进行搬运并且进行处理。在该情况下，在θ＝0°的情况下，y方向的测定位置实际上为3处，但当旋转α时，测定位置成为4处。在θ＝0°和θ＝α时，照射光量测定位置分别不同，因此当将θ＝0°时的测定结果与θ＝α时的测定结果进行总和时，得到合计7处的照射光量分布。如此，通过使用θ移动机构5，能够在不同的位置测定照射光量分布、或者使测定位置增加。虽然省略说明，但是这一点在第二实施方式、第四实施方式中也同样。

另外，在第三实施方式中，在成为工作台2的一边沿着x方向的姿势时，位于沿着y方向的边的一对照度计6，在y方向上位于相同的位置。因此，在工作台2的一边沿着x方向的姿势(θ＝0°)的情况下，测定位置成为3处。即，可以说不需要在沿着y方向的边上设置二个照度计6。然而，根据使用方法的不同，对提高生产率做出贡献。关于这一点，使用图7进行说明。图7是对于在第三实施方式中用于提高生产率的构成进行表示的平面概略图。

在图7中，将位于沿着y方向的边的二个照度计61、62中，在纸面上位于左侧的照度计设为第一照度计61，将位于右侧的照度计设为第二照度计62。工作台2在去路上沿着x方向从左向右前进，在回路上从右向左前进。在该情况下，能够在去路上对第二照度计62的测定数据进行累计而作为累计光量，在回路上对第一照度计61的数据进行累计而作为累计光量，将两者合计而作为该y方向位置的整体的累计光量的数据。于是，在去路上，在工件w的x方向后方的边缘(在该例中为左侧的边缘)经过了照射区域的阶段，使速度加快而到达反转位置。工件w通过照射区域的速度，按照与所需要的照射光量增加的关系而成为较慢的规定的速度，在第二照度计62经过了照射区域之后能够使速度加快。此外，在回路上，在工件w的x方向后方的边缘(在该例中为右侧的边缘)经过了照射区域之后，能够使速度加快而到达装载位置。于是，生产间隔时间变短，生产率提高。以进行这样的动作的方式，对控制器7所安装的时序程序进行编程。

关于照度计6的安装，能够进行上述第一至第四实施方式以外的安装。关于这一点，使用图8进行说明。图8是表示其他实施方式中的照度计6的安装构造的平面概略图。

首先，在图8(1)中，在位于沿着x方向的工作台2的相对的二边的侧面上分别安装有照度计6。在该情况下，也能够进行y方向上的照度分布、照射光量分布的测定，特别是，能够检测由棒状的光源11的两个端部的黑化等引起的照度降低。

此外，在图8(2)中，在位于沿着y方向的工作台2的一边的侧面上安装有多个照度计6。在该情况下，也能够进行y方向上的照度分布、照射光量分布的测定。然后，通过适当地使用辅助移动机构4、θ移动机构5，由此能够适当地变更测定位置。

此外，在图8(3)中，表示在位于沿着x方向的工作台2的一边的侧面上安装有多个照度计6的例子。在该情况下，当该边保持沿着x方向的状态固定时，与第一实施方式实际上相同，因此没有成为多个的意义，但如在图8(3)中由虚线表示的那样，如果具有使其沿θ方向旋转的机构，则能够进行y方向的多个位置的照射光量测定。

此外，在图8(4)中，表示在工作台2内安装了照度计6的例子。工作台2具有用于安装照度计6的凹部，以陷入该凹部的状态安装照度计6。同样，照度计6的受光面优选与载放在工作台2上的工件w的上面为相同高度。另外，在图8(4)所示的例子中，虽然在工作台2内，但照度计6在俯视时处于工件w的载放位置的外侧。即，在工作台2上载放了工件w时，为对于来自光照射器1的光、工件w不遮挡照度计6的状态，照度计6成为不遮挡工件w的状态。在该情况下，当同样在y方向上设置多个照度计6时，能够测定照射光量分布，因此更优选。此外，当工作台2内的照度计6的配置位置为通过照射区域的位置时，在更接近工件w的状态下测定照度，由此较优选。

除此之外，即使照度计6位于从工作台2分离的位置，有时也能够称为“安装于工作台”。例如，在固定于臂的一端的工作台2的侧面、在另一端固定照度计6而使其保持于臂的构造中，该照度计6也可以说是安装于工作台2。

另外，照度计6可以是对分光放射照度进行测定的测定器(分光器)。

在上述各实施方式中，工作台2的俯视的轮廓形状为方形，但在实施本申请发明时，不需要限定于方形。也可以是三角形、五边形、圆形等。在圆形的情况下，假定构成为，相对于圆的中心以180°间隔将二个照度计6安装于侧面、或者以90°间隔安装四个照度计6。

另外，上述各实施方式的光照射装置为光取向用偏振光照射装置，但本申请发明也能够构成为其他光照射装置。例如，能够构成为为了进行光固化性树脂的固化等光处理而对工件w照射光的装置。此外，还能够构成为制品的外观检查、各种分析那样的光处理以外的用途而进行光照射的装置。

在上述各实施方式中，还能够采用如日本特开2014－174352号公报所公开的那样的构成：使二个工作台夹着照射区域而在x方向的两侧分别配置工作台，并使其分别保持工件w而交替地通过照射区域，由此对各工件w进行光照射。在该情况下，对于照度计，可以安装于一个工作台，也可以安装于两个。在安装于两个的情况下，当使安装于一方的工作台的照度计的y方向位置、与安装于另一方的工作台的照度计的y方向位置相互不同时，能够与上述情况同样地取得照度或者光量的分布，因此较优选。

另外，照射区域成为y方向为长边方向的长方形，但这不是必须的条件，也可以是x方向(搬运方向)为长边方向的长方形，也可以是正方形。

辅助移动机构4具有将照度计6配置到y方向的任意位置的意义，但是为此，辅助移动机构4的移动的方向只要是与x方向交叉的方向即可，不一定需要为y方向(与x方向呈直角的方向)。

此外，关于光源，对将棒状的光源11沿着y方向进行配置的例子进行了说明，但这是将长条的发光部沿着y方向配置的例子。除此之外，也有时将点光源排列为直线状而使其与棒状的光源(线状的发光部)等价。并且，在将棒状的光源沿x方向配置的情况下，如果这样的光源在y方向上排列有多个，则在y方向能够视为排列有点光源，因此能够使其同样地起作用。