曝光设备的制作方法

文档序号:11132766阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种曝光设备,其特征在于,包括:

曝光安装模组,所述曝光安装模组包括安装机罩、安装机架以及安装于所述安装机架上的进料机构、出料机构、曝光组件以及控制面板,所述曝光组件包括位置调节机构、吸附平台以及曝光模板固定平台,所述曝光模板固定平台的中部开设有安装方孔,所述吸附平台固定安装于所述安装方孔中,所述吸附平台上开设有若干吸附孔,所述吸附平台于所述安装方孔的四周设置有模板固定治具,所述曝光模板固定平台置于所述位置调节机构之上,所述位置调节机构用于调节所述曝光模板固定平台的水平位置、垂直位置以及旋转角度位置,所述进料机构及出料机构结构相同,对称置于所述曝光组件的后侧及前侧;所述安装机罩罩设于所述安装机架之外,所述安装机罩于所述曝光模板固定平台的上方开设有进光孔;

光源模组,所述光源模组包括光源机罩、光源底座、光线传递架、光源发生器、第一反射镜以及第二反射镜,所述光源发生器安装于所述光源底座上,所述光线传递架安装于所述光源底座的上方,所述第一反射镜安装于所述光线传递架上且位于所述光源发生器的上方,所述光线传递架延伸至所述进光孔的上方,所述第二反射镜安装于所述光线传递架上,且所述第二反射镜正对所述进光孔,所述光源机罩罩设于所述光源底座及所述光线传递架之外。

2.如权利要求1所述的曝光安装模组,其特征在于:所述进料机构或者出料机构包括支架、若干滚轮轴组件、滚轮轴驱动机构、升降板以及升降驱动机构,所述滚轮轴组件包括滚轮轴、两端部轮以及中间传送轮,两所述端部轮分别连接于所述滚轮轴的两端,所述中间传送轮固套于所述滚轮轴上且位于两所述端部轮之间,所述滚轮轴的两端旋转连接于所述支架上,两所述端部轮分别位于所述支架的两外侧,所述滚轮轴驱动机构安装于所述支架上,用于驱动所述滚轮轴转动,所述升降板搁置于所述支架上且位于两端部轮之间,所述升降板的中部开设有若干容所述中间传送轮伸出的伸出孔,所述升降驱动机构安装于所述支架上,用于驱动所述升降板上下移动。

3.如权利要求2所述的曝光安装模组,其特征在于:所述进料机构或者出料机构还包括对位机构。

4.所述对位机构包括两侧对位组件,两所述侧对位组件安装于所述机架上且对称位于所述支架的左右两侧,所述侧对位组件包括对位气缸、对位气缸座、对位板以及若干对位滚轮,所述对位气缸座安装于机架上且位于所述进料机构或者所述出料机构的一侧,所述对位气缸安装于所述对位气缸座上,且所述对位气缸的输出轴往内伸出与所述对位板的外端相接,所述对位滚轮自前而后均匀旋转安装于所述对位板的内端的底部,所述对位滚轮位于所述升降板的上方。

5.如权利要求1所述的曝光设备,其特征在:还包括冰水机,所述冰水机包括冰水机箱、冰水机体以及过滤装置,所述冰水机体安装于所述冰水机箱内,所述过滤装置安装于所述冰水机箱的顶部,所述过滤装置的输出端与所述冰水机体的输入端相接,所述光源机罩上开设有冷风进口,所述冰水机体的输出端与所述冷风进口连通相接。

6.如权利要求4所述的曝光设备,其特征在:还包括吹风机,所述吹风机安装于所述光线传递架上且位于所述冷风进口的一侧。

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