一种衍射光栅的制作方法

文档序号:12457668阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种衍射光栅,其特征在于,所述衍射光栅包括:不透光薄膜及开设在所述不透光薄膜上的N个透光圆孔;N为大于100的正整数,其中,

所述N个透光圆孔以预设的几率密度、呈准斜方格子分布在所述不透光薄膜上;且所述透光圆孔的大小与所述准斜方格子的周期之间具有预设的比例。

2.如权利要求1所述的衍射光栅,其特征在于,所述准斜方格子沿x轴方向的周期为2Pξ,所述准斜方格子沿y轴方向的周期为Pη;且Pη≥Pξ/2。

3.如权利要求2所述的衍射光栅,其特征在于,所述2Pξ≥λ,所述λ为入射光的波长。

4.如权利要求3所述的衍射光栅,其特征在于,所述Pη≥λ/2。

5.如权利要求2所述的衍射光栅,其特征在于,所述r=0.203Pξ;其中,所述r为圆孔的半径。

6.如权利要求2所述的衍射光栅,其特征在于,所述透光圆孔在所述不透光薄膜上分布的几率密度根据几率密度函数ρ(s)=1/(2a)确定;其中,所述s为所述透光圆孔的中心沿ξ方向偏离所述准斜方格子的距离,所述a为所述距离的最大值。

7.如权利要求6所述的衍射光栅,其特征在于,所述|s|≤a。

8.如权利要求6所述的衍射光栅,其特征在于,所述a=Pξ/4。

9.如权利要求6所述的衍射光栅,其特征在于,所述不透光薄膜的材料具体包括:金、银、铝、铬、硅、氮化硅或碳化硅。

10.如权利要求1所述的衍射光栅,其特征在于,所述不透光薄膜的厚度为50~5000nm。

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